رطوبة نسبية
عملية المعالجة بأكسيد الإيثيلين تتم عادة على درجة حرارة تتراوح بين 30°درجة سلسيوسية إلى 60°درجة سلسيوسية مع رطوبة نسبية أعلى من 30% و تركيز الغاز يتراوح بين 200 -800 مغ⁄لتر، وتتم علمية المعالجة لمدة ثلاث ساعات على الأقل. أكسيد الايثيلين يَنفُذ عبر المواد بشكلٍ جيد، حيث يمكنه اختراق الورق والقماش وبعض الأشرطة البلاستيكية، وهو على درجة عالية من الفعالية حيث بإمكانه قتل جميع أنواع الفيروسات المعروفة، والبكتيريا بما فيها الأبواغ الجرثومية، والفطريات. وهو متلائم الاستخدام مع معظم المواد حتى مع تكرار الاستخدام، ولكن على الرغم من ذلك فله خواص أخرى عديدة فهو قابل للاشتعال بشدة وله سمية عالية وخواص مسرطنة وأعراض جانبية تؤثر على الإنجاب. عند الانتهاء من التعقيم يجب القيام بعملية التحقق الحيوي للتأكد من نجاح عملية التعقيم أو حاجتها للإصلاح أو فشلها.