ナッサウ公国
郡域南部は、および帝国自由都市ヴェッツラーに属していた。1803年の帝国代表者会議主要決議の結果、ヴェッツラー伯領となり、その後ライン同盟首座大司教侯で帝国宰相のカール・テオドール・フォン・ダールベルクによって新たに創設されたフランクフルト大公国に編入された。旧ゾルムス領は1806年にナッサウ公国領となり、1815年にプロイセン王国領となった。1816年にプロイセンのヴェッツラー郡とブラウンフェルス郡が成立し、1822年にヴェッツラー郡に統合された。この郡は1932年まで飛び地としてプロイセンのに属した。郡域北部は中世からに属した。1806年から1813年までフランス占領下の、1813年から1815年までナッサウ＝オラニエン侯国に属したが、1816年にナッサウ公国領となった。ここではアムト・ヘルボルンとアムト・ディレンブルクを形成した。ナッサウ公国がプロイセンに併合された後、1866年に両アムトはディル郡に統合された。