真空管
自愛迪生效應或稱熱離子發射發現之後，有多種真空管被開發出來，用以對交流進行整流。其中低功率型用作檢波，例如最早的真空管二極管是由弗萊明（John Ambrose Fleming）於1904年發明的弗萊明閥（），它在無線電報接收器中，把收到的訊號整流，以推動檢流計並偵測訊號。許多真空管的設備也在他們的電源中使用真空管作整流，例如收音機。一些特殊的真空整流器也設計予高電壓用途，例如供應電視機接收器陰極射線管的高壓電源，以及X射線設備高壓電源電源中所用的kenotron真空管。然而，因考慮壽命因素，燈絲溫度不宜過高，致使最大電流密度受限，因此真空整流器的電流容量通常不大。真空管整流器的另一限制是加熱器的電源經常需要特別安排，以便能與所整流的高電壓電路有足夠的絕緣。