ラマン分光法
また当初は原子間力を利用して表面像を取得するのみであったが、現在では磁性や導電性を有するカンチレバーを用いることによって、表面形状像と同時に、磁気像を観察できる磁気力顕微鏡 (MFM) や、電気力（電気勾配力）を観察できる電気力顕微鏡 (EFM) という装置もある。最近ではこの他にも、AFM と蛍光顕微鏡、共焦点レーザー顕微鏡（）、全反射（: TIRF）蛍光顕微鏡、ラマン分光法などを組み合わせた様々なハイブリッド AFM が使用されている。