فلوريد الهيدروجين
كما يمكن أن تتم عملية التحضير انطلاقاً من سداسي كلوريد التنغستن بالتفاعل مع فلوريد الهيدروجين أو ثلاثي فلوريد الزرنيخ أو خماسي فلوريد الأنتيموان: