미쓰비시 중공업
1호차의 경우 미쓰비시 중공업, 2호차와 4호차의 경우 닛폰차량제조, 3호차의 경우 가와사키 중공업, 5호차부터 6호차까지 히타치 제작소에서 제작했다.