蛍光X線
蛍光X線分析で特定の元素の内殻電子を励起するためには特定のエネルギー（吸収端エネルギー）以上のエネルギーを持ったX線を照射する必要がある。照射するX線としては、透過性の大きい硬X線や空気に吸収されやすい軟X線は使用されない。X線源には最も一般的にはX線管球（一種の真空管）からのX線、また特殊な場合には放射性同位元素 (RI) からのX線が使用され、また近年は、放射光を励起源とした蛍光X線分析も行われている。