汪克爾引擎
由於汪克爾引擎體積小巧、構造簡單，美國柏克萊加州大學的微機電系統汪克爾引擎研究室已經發展出直徑1毫米、排氣量0.1 c.c.的汪克爾引擎；組成的材質包括矽和壓縮空氣。他們最終的目標是開發出一具可以供應100毫瓦特電力的內燃機。