Hydrogen fluoride
يمكن تحضير هذا المركب من تفاعل تبادل هالوجيني انطلاقاً من ثلاثي كلوريد الفوسفور بالتفاعل مع فلوريد الهيدروجين؛ أو مع فلوريدات أخرى مثل فلوريد الزنك.