regulateur-de-debit-massique-numerique-Industriel-Brooks-SLAMF58XX.pdf — page 4

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Caractéristiques techniques – pression / température et certifications
Caractéristiques techniques – pression / température et certifications
SLAMf50 / 60
SLAMf51 / 61
SLAMf53 / 63
SLAMf64
VALEURS NOMINALES
Plage de température de service
–14 à 65 °C (7 à 149 °F) 7
Différentiel minimal de pression
(régulateurs)
5 psi / 0,35 bar
10 psi / 0,69 bar
Min. : 7,5 psi / 0,52 bar à 500 l / min
Min. : 14,5 psi / 1,00 bar à 1000 l / min
Min. : 35,0 psi / 2,41 bar à 2500 l / min
S. o.
Différentiel maximal de pression
(régulateurs)
En fonction de 
l’application, 
jusqu’à 1500 psi / 
103,4 bar 8
50 psi / 3,45 bar
290 psi / 20,0 bar
S. o.
Intégrité d’étanchéité (extérieure)
1 × 10 – 9 atm. cm³ / s He
Fermeture de vanne 
(fuite incidente) 9  10
< 1 % de la PE
S. o.
CARACTÉRISTIQUES MÉCANIQUES
Type de vanne
Normalement fermée, normalement ouverte, compteur
S. o.
Matériaux principaux en contact 
avec le fluide
Acier inoxydable 316, 316 / 316 L, acier inoxydable fortement allié, fluoroélastomères Viton®, 
Buna-N, Kalrez®, Téflon® / Kalrez® et EPDM
DIAGNOSTIC
Témoins d’état
Intégrité du MFC, état réseau
Alarmes 11
Sortie vanne de régulation, totalisateur de débit, interruption réseau, surchauffe, 
surtension / baisse de tension, entretien
Prise de diagnostic / service
RS485 par prise minijack 2,5 mm
7 Les certifications relatives aux zones dangereuses sont associées à une limitation de la plage de température de 0 – 65 °C.
8 Pression diff. > 1500 psi sur commande spéciale.
9 Sièges en métal et Téflon < 5 % de la pleine échelle.
10 Caractéristiques de fuite incidente et de fermeture de la vanne pour type de vanne normalement fermée.
11 Les modes d’alarme dépendent de l’interface de communication. Ils sont décrits dans le mode d’emploi de l’interface de communication numérique correspondante
SLAMf50 / 60
SLAMf51 / 61
SLAMf53 / 63
SLAMf64
CARACTÉRISTIQUES DE FONCTIONNEMENT
Plage de débit pleine échelle (éq. N 0 
Deg C Ref)
0,003 – 50 l(n) / min
15 – 150 l(n) / min
100 – 1100 l(n) / min
>1100 – 2500 
l( n) / min
18 – 2160 m³ / h
Précision du débit – appareils certifiés 
ISO / CEI 17025 (linéarité incluse, 
hors incertitude de mesure du système 
d’étalonnage selon SEMI E69) 6
±0,6 % du PC (20 – 100 % de la PE), 
±0,12 % de la PE (< 20 % de la PE)
±0,6 % de la PE
S. o.
Précision du débit (linéarité et 
incertitude de mesure du système 
d’étalonnage selon SEMI E69 
incluses) 6
±0,9 % du PC (20 – 100 % de la PE), 
±0,18 % de la PE (< 20 % de la PE)
±1,0 % de la PE
±1,0 % de 
la PE
Plage de régulation éq. N2
100:1 pour la PE de 1 – 50 l(n) / min (50:1 pour tous les autres débits PE)
S. o.
Répétabilité et reproductibilité
0,20 % du PC
±0,25 % du PC
Linéarité
Incluse dans la précision
Temps de réponse (durée totale de 
réglage dans les 
±2 % de la PE pour un échelon de 
régulation de 0 – 100 %)
< 1 seconde
< 3 secondes
S. o.
Stabilité du zéro
< +0,2 % de la PE par an
Coefficient de température
Zéro : < 0,05 % de la PE par °C ; étendue : < 0,1 % du PC par °C
Coefficient de pression
±0,03 % par psi (0 – 200 psi N2)
Sensibilité d’assiette
Écart maximal de < 0,2 % de la PE à partir de la précision spécifiée après remise à zéro