Kinh hien vi đien tu quet (tieng Anh: scanning electron microscope, thuong viet tat la SEM), la mot loai kinh hien vi đien tu co the tao ra anh voi đo phan giai cao cua be mat mau vat bang cach su dung mot chum đien tu (chum cac electron) hep quet tren be mat mau. Viec tao anh cua mau vat đuoc thuc hien thong qua viec ghi nhan va phan tich cac buc xa phat ra tu tuong tac cua chum đien tu voi be mat mau vat.


Luoc su ve kinh hien vi đien tu quet Kinh hien vi đien tu quet lan đau tien đuoc phat trien boi Zworykin vao nam 1942 la mot thiet bi gom mot sung phong đien tu theo chieu tu duoi len, ba thau kinh tinh đien va he thong cac cuon quet đien tu đat giua thau kinh thu hai va thu ba, va ghi nhan chum đien tu thu cap bang mot ong nhan quang đien. 
Nam 1948, C. W. Oatley o Đai hoc Cambridge (Vuong quoc Anh) phat trien kinh hien vi đien tu quet tren mo hinh nay va cong bo trong luan an tien si cua D. McMullan voi chum đien tu hep co đo phan giai đen 500 Angstrom. Tren thuc te, kinh hien vi đien tu quet thuong pham đau tien đuoc san xuat vao nam 1965 boi Cambridge Scientific Instruments Mark I.


Nguyen ly hoat đong va su tao anh trong SEM Viec phat cac chum đien tu trong SEM cung giong nhu viec tao ra chum đien tu trong kinh hien vi đien tu truyen qua, tuc la đien tu đuoc phat ra tu sung phong đien tu (co the la phat xa nhiet, hay phat xa truong...), sau đo đuoc tang toc. Tuy nhien, the tang toc cua SEM thuong chi tu 10 kV đen 50 kV vi su han che cua thau kinh tu, viec hoi tu cac chum đien tu co buoc song qua nho vao mot điem kich thuoc nho se rat kho khan. Đien tu đuoc phat ra, tang toc va hoi tu thanh mot chum đien tu hep (co vai tram Angstrong đen vai nanomet) nho he thong thau kinh tu, sau đo quet tren be mat mau nho cac cuon quet tinh đien. Đo phan giai cua SEM đuoc xac đinh tu kich thuoc chum đien tu hoi tu, ma kich thuoc cua chum đien tu nay bi han che boi quang sai, chinh vi the ma SEM khong the đat đuoc đo phan giai tot nhu TEM. Ngoai ra, đo phan giai cua SEM con phu thuoc vao tuong tac giua vat lieu tai be mat mau vat va đien tu.
Khi đien tu tuong tac voi be mat mau vat, se co cac buc xa phat ra, su tao anh trong SEM va cac phep phan tich đuoc thuc hien thong qua viec phan tich cac buc xa nay. Cac buc xa chu yeu gom:

Đien tu thu cap (Secondary electrons): Đay la che đo ghi anh thong dung nhat cua kinh hien vi đien tu quet, chum đien tu thu cap co nang luong thap (thuong nho hon 50 eV) đuoc ghi nhan bang ong nhan quang nhap nhay. Vi chung co nang luong thap nen chu yeu la cac đien tu phat ra tu be mat mau voi đo sau chi vai nanomet, do vay chung tao ra anh hai chieu cua be mat mau.
Đien tu tan xa nguoc (Backscattered electrons): Đien tu tan xa nguoc la chum đien tu ban đau khi tuong tac voi be mat mau bi bat nguoc tro lai, do đo chung thuong co nang luong cao. Su tan xa nay phu thuoc rat nhieu vao thanh phan hoa hoc o be mat mau, do đo anh đien tu tan xa nguoc rat huu ich cho phan tich ve đo tuong phan thanh phan hoa hoc. Ngoai ra, đien tu tan xa nguoc co the dung đe ghi nhan anh nhieu xa đien tu tan xa nguoc, giup cho viec phan tich cau truc tinh the (che đo phan cuc đien tu). Ngoai ra, đien tu tan xa nguoc phu thuoc vao cac lien ket đien tai be mat mau nen co the đem lai thong tin ve cac đomen sat đien.


Mot so phep phan tich trong SEM Huynh quang catot (Cathodoluminesence): La cac anh sang phat ra do tuong tac cua chum đien tu voi be mat mau. Phep phan tich nay rat pho bien va rat huu ich cho viec phan tich cac tinh chat quang, đien cua vat lieu. 
Phan tich pho tia X (X-ray microanalysis): Tuong tac giua đien tu voi vat chat co the san sinh pho tia X đac trung, rat huu ich cho phan tich thanh phan hoa hoc cua vat lieu. Cac phep phan tich co the la pho tan sac nang luong tia X (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy - EDXS) hay pho tan sac buoc song tia X (Wavelength Dispersive X-ray Spectroscopy - WDXS)...
Mot so kinh hien vi đien tu quet hoat đong o chan khong sieu cao co the phan tich pho đien tu Auger, rat huu ich cho cac phan tich tinh te be mat.
SEMPA (Kinh hien vi đien tu quet co phan tich phan cuc tieng Anh: Scanning Electron Microscopy with Polarisation Analysis) la mot che đo ghi anh cua SEM ma o đo, cac đien tu thu cap phat ra tu mau se đuoc ghi nhan nho mot detector đac biet co the tach cac đien tu phan cuc spin tu mau, do đo cho phep chup lai anh cau truc tu cua mau.


Uu điem cua kinh hien vi đien tu quet Mac du khong the co đo phan giai tot nhu kinh hien vi đien tu truyen qua nhung kinh hien vi đien tu quet lai co điem manh la phan tich ma khong can pha huy mau vat va co the hoat đong o chan khong thap. Mot điem manh khac cua SEM la cac thao tac đieu khien đon gian hon rat nhieu so voi TEM khien cho no rat de su dung. Mot đieu khac la gia thanh cua SEM thap hon rat nhieu so voi TEM, vi the SEM pho bien hon rat nhieu so voi TEM.


Mot so anh chup bang SEM Xem them Kinh hien vi
Kinh hien vi đien tu truyen qua
Pho tan sac nang luong tia X
Scanning Electron Microscope


Tham khao Lien ket ngoai SEM in Museum of Science Luu tru ngay 10 thang 4 nam 2007 tai Wayback Machine
History of Electron Microscopy 1990s Luu tru ngay 4 thang 3 nam 2007 tai archive.today


Tham khao Joseph Goldstein, Dale E. Newbury, David C. Joy, Charles E. Lyman, Patrick Echlin, Eric Lifshin, L.C. Sawyer, J.R. Michael (2003). Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis. Springer; 3rd ed. ISBN-13 978-0306472923.{{Chu thich sach}}:  Quan ly CS1: nhieu ten: danh sach tac gia (lien ket)