Kinh hien vi đien tu truyen qua (tieng Anh: transmission electron microscopy, viet tat: TEM) la mot thiet bi nghien cuu vi cau truc vat ran, su dung chum đien tu co nang luong cao chieu xuyen qua mau vat ran mong va su dung cac thau kinh tu đe tao anh voi đo phong đai lon (co the toi hang trieu lan), anh co the tao ra tren man huynh quang, hay tren film quang hoc, hay ghi nhan bang cac may chup ky thuat so.


Lich su Ta biet rang kinh hien vi quang hoc su dung anh sang kha kien đe quan sat cac vat nho, do đo đo phan giai cua kinh hien vi quang hoc bi gioi han boi buoc song anh sang kha kien, va khong the cho phep nhin thay cac vat co kich thuoc nho hon.
Mot đien tu chuyen đong voi van toc v, se co xung luong 
  
    
      
        p
        =
        
          m
          
            0
          
        
        .
        v
      
    
    {\displaystyle p=m_{0}.v}
  
, va no tuong ung voi mot song co buoc song cho boi he thuc de Broglie:

  
    
      
        λ
        =
        
          
            h
            p
          
        
      
    
    {\displaystyle \lambda ={\frac {h}{p}}}
  

Ta thay rang buoc song cua đien tu nho hon rat nhieu so voi buoc song anh sang kha kien nen viec su dung song đien tu thay cho song anh sang se tao ra thiet bi co đo phan giai tot hon nhieu kinh hien vi quang hoc.
Nam 1931, lan đau tien Ernst August Friedrich Ruska cung voi mot ky su đien la Max Knoll lan đau tien dung nen mo hinh kinh hien vi đien tu truyen qua so khai, su dung cac thau kinh tu đe tao anh cua cac song đien tu. Thiet bi thuc su đau tien đuoc xay dung vao nam 1938 boi Albert Presbus va James Hillier (1915-2007) o Đai hoc Toronto (Canada) la mot thiet bi hoan chinh thuc su. Nguyen tac tao anh cua TEM gan giong voi kinh hien vi quang hoc, điem khac quan trong la su dung song đien tu thay cho song anh sang va thau kinh tu thay cho thau kinh thuy tinh,.


Cau tao va nguyen ly lam viec cua kinh hien vi đien tu truyen qua Đoi tuong su dung cua TEM la chum đien tu co nang luong cao, vi the cac cau kien chinh cua TEM đuoc đat trong cot chan khong sieu cao đuoc tao ra nho cac he bom chan khong (bom turbo, bom ion..).


= Sung phong đien tu =
Trong TEM, đien tu đuoc su dung thay cho anh sang (trong kinh hien vi quang hoc). Đien tu đuoc phat ra tu sung phong đien tu. Co hai cach đe tao ra chum đien tu:
Su dung nguon phat xa nhiet đien tu: Đien tu đuoc phat ra tu mot catot đuoc đot nong (nang luong nhiet do đot nong se cung cap cho đien tu đong nang đe thoat ra khoi lien ket voi kim loai. Do bi đot nong nen sung phat xa nhiet thuong co tuoi tho khong cao va đo đon sac cua chum đien tu thuong kem. Nhung uu điem cua no la rat re tien va khong đoi hoi chan khong sieu cao. Cac chat pho bien dung lam catot la W, Pt, LaB6...
Su dung sung phat xa truong (Field Emission Gun, cac TEM su dung nguyen ly nay thuong đuoc viet la FEG TEM): Đien tu phat ra tu catot nho mot đien the lon đat vao vi the nguon phat đien tu co tuoi tho rat cao, cuong đo chum đien tu lon va đo đon sac rat cao, nhung co nhuoc điem la rat đat tien va đoi hoi moi truong chan khong sieu cao.
Sau khi thoat ra khoi catot, đien tu di truyen đen anot rong va đuoc tang toc duoi the tang toc V (mot thong so quan trong cua TEM). Luc đo, đien tu se thu đuoc mot đong nang:

  
    
      
        
          
            
              m
              .
              
                v
                
                  2
                
              
            
            2
          
        
        =
        e
        V
      
    
    {\displaystyle {\frac {m.v^{2}}{2}}=eV}
  

Va xung luong p se đuoc cho boi cong thuc:

  
    
      
        p
        =
        
          m
          
            0
          
        
        .
        v
        =
        
          
            2
            
              m
              
                0
              
            
            .
            e
            .
            V
          
        
      
    
    {\displaystyle p=m_{0}.v={\sqrt {2m_{0}.e.V}}}
  

Nhu vay, buoc song cua đien tu quan he voi the tang toc V theo cong thuc:

  
    
      
        λ
        =
        
          
            h
            p
          
        
        =
        
          
            h
            
              2
              
                m
                
                  0
                
              
              .
              e
              .
              V
            
          
        
      
    
    {\displaystyle \lambda ={\frac {h}{p}}={\frac {h}{\sqrt {2m_{0}.e.V}}}}
  

Voi the tang toc V = 100 kV, ta co buoc song đien tu la 0,00386 nm. Nhung voi the tang toc co 200 kV tro nen, van toc cua đien tu tro nen đang ke so voi van toc anh sang, va khoi luong cua đien tu thay đoi đang ke, do đo phai tinh theo cong thuc tong quat (co hieu ung tuong đoi tinh):

  
    
      
        λ
        =
        
          
            h
            p
          
        
        =
        
          
            h
            
              2
              
                m
                
                  0
                
              
              .
              e
              .
              V
            
          
        
        .
        
          
            1
            
              1
              +
              
                
                  
                    e
                    V
                  
                  
                    2.
                    
                      m
                      
                        0
                      
                    
                    .
                    
                      c
                      
                        2
                      
                    
                  
                
              
            
          
        
      
    
    {\displaystyle \lambda ={\frac {h}{p}}={\frac {h}{\sqrt {2m_{0}.e.V}}}.{\frac {1}{\sqrt {1+{\frac {eV}{2.m_{0}.c^{2}}}}}}}
  


= Cac he thau kinh va lang kinh =
Vi trong TEM su dung chum tia đien tu thay cho anh sang kha kien nen viec đieu khien su tao anh khong con la thau kinh thuy tinh nua ma thay vao đo la cac thau kinh tu. Thau kinh tu thuc chat la mot nam cham đien co cau truc la mot cuon day cuon tren loi lam bang vat lieu tu mem. Tu truong sinh ra o khe tu se đuoc tinh toan đe co su phan bo sao cho chum tia đien tu truyen qua se co đo lech thich hop voi tung loai thau kinh. Tieu cu cua thau kinh đuoc đieu chinh thong qua tu truong o khe tu, co nghia la đieu khien cuong đo dong đien chay qua cuon day. Vi co dong đien chay qua, cuon day se bi nong len do đo can đuoc lam lanh bang nuoc hoac nito long. Trong TEM, co nhieu thau kinh co vai tro khac nhau:

He kinh hoi tu va tao chum tia song song (Condenser lens)
Đay la he thau kinh co tac dung tap trung chum đien tu vua phat ra khoi sung phong va đieu khien kich thuoc cung nhu đo hoi tu cua chum tia. He hoi tu C1 co vai tro đieu khien chum tia vua phat ra khoi he phat đien tu đuoc tap trung vao quy đao cua truc quang hoc. Khi truyen đen he C2, chum tia se đuoc đieu khien sao cho tao thanh chum song song (cho cac CTEM) hoac thanh chum hoi tu hep (cho cac STEM, hoac nhieu xa đien tu chum tia hoi tu) nho viec đieu khien dong qua thau kinh hoac đieu khien đo lon cua khau đo hoi tu C2.
Vat kinh (Objective lens) 
La thau kinh ghi nhan chum đien tu đau tien tu mau vat va luon đuoc đieu khien sao cho vat se o vi tri co kha nang lay net khi đo phong đai cua he đuoc thay đoi. Vat kinh co vai tro tao anh, viec đieu chinh lay net đuoc thuc hien bang cach thay đoi dong đien chay qua cuon day, qua đo lam thay đoi tieu cuc cua thau kinh.
Thau kinh nhieu xa (Diffraction lens)
Co vai tro hoi tu chum tia nhieu xa tu cac goc khac nhau va tao ra anh nhieu xa đien tu tren mat phang tieu cua thau kinh.
Thau kinh Lorentz (Lorentz lens, twin lens)
Đuoc su dung trong kinh hien vi Lorentz đe ghi anh cau truc tu cua vat ran. Thau kinh Lorentz khac vat kinh thong thuong o viec no co tieu cu lon hon va vi tri lay net (in focus) la vi tri ma cac chum tia đien tu truyen qua hoi tu tai mat phang tieu sau, trung voi mat phang khau đo vat kinh. Thau kinh Lorentz thuong bi đat xa đe đu kha nang ghi goc lech do tu tinh (von rat nho).
Thau kinh phong đai (Magnifying lens, intermediate lens)
La he thau kinh sau vat kinh, va đo phong đai cua he đuoc thay đoi bang cach thay đoi tieu cu cua thau kinh.
Ngoai ra, trong TEM con co cac he lang kinh co tac dung be đuong đi cua đien tu đe lat anh hoac đieu khien viec ghi nhan đien tu trong cac phep phan tich khac nhau.


= Cac khau đo =
La he thong cac man chan co lo voi đo rong co the thay đoi nham thay đoi cac tinh chat cua chum đien tu nhu kha nang hoi tu, đo rong, lua chon cac vung nhieu xa cua đien tu...

Khau đo hoi tu (Condenser Aperture)
La he khau đo đuoc dung cung voi he thau kinh hoi tu, co tac dung đieu khien su hoi tu cua chum tia đien tu, thay đoi kich thuoc chum tia va goc hoi tu cua chum tia, thuong mang ky hieu C1 va C2. 
Khau đo vat (Objective Aperture)
Đuoc đat phia ben duoi vat co tac dung hung chum tia đien tu vua xuyen qua mau vat nham: thay đoi đo tuong phan cua anh, hoac lua chon chum tia o cac goc lech khac nhau (khi đien tu bi tan xa khi truyen qua vat).
Khau đo lua chon vung(Selected Area Aperture)
Đuoc dung đe lua chon dien tich vung mau vat se ghi anh nhieu xa đien tu, đuoc dung khi su dung ky thuat nhieu xa đien tu lua chon vung.


Su tao anh trong TEM Xet tren nguyen ly, anh cua TEM van đuoc tao theo cac co che quang hoc, nhung tinh chat anh tuy thuoc vao tung che đo ghi anh. Điem khac co ban cua anh TEM so voi anh quang hoc la đo tuong phan khac so voi anh trong kinh hien vi quang hoc va cac loai kinh hien vi khac. Neu nhu anh trong kinh hien vi quang hoc co đo tuong phan chu yeu đem lai do hieu ung hap thu anh sang thi đo tuong phan cua anh TEM lai chu yeu xuat phat tu kha nang tan xa đien tu. Cac che đo tuong phan trong TEM:
Tuong phan bien đo: Đem lai do hieu ung hap thu đien tu (do đo day, do thanh phan hoa hoc) cua mau vat.
Tuong phan pha: Co nguon goc tu viec cac đien tu bi tan xa duoi cac goc khac nhau.
Tuong phan nhieu xa: Lien quan đen viec cac đien tu bi tan xa theo cac huong khac nhau do tinh chat cua vat ran tinh the.


= Bo phan ghi nhan va quan sat anh =
Khac voi kinh hien vi quang hoc, TEM su dung chum đien tu thay cho nguon sang kha kien nen cach quan sat ghi nhan cung khac. Đe quan sat anh, cac dung cu ghi nhan phai la cac thiet bi chuyen đoi tin hieu, hoat đong dua tren nguyen ly ghi nhan su tuong tac cua đien tu voi chat ran.

Man huynh quang va phim quang hoc
La dung cu ghi nhan đien tu dua tren nguyen ly phat quang cua chat phu tren be mat. Tren be mat cua man hinh, nguoi ta phu mot lop vat lieu huynh quang. Khi đien tu va đap vao man hinh, vat lieu se phat quang va anh đuoc ghi nhan thong qua anh sang phat quang nay. Cung tuong tu nguyen ly nay, nguoi ta co the su dung phim anh đe ghi lai anh va anh ban đau đuoc luu duoi dang phim am ban va se đuoc trang rua sau khi su dung.
CCD Camera (Charge-couple Device Camera)


= Bo khu loan thi (astigmatism) =

Su loan thi o TEM (astigmatism) co nguyen ly giong nhu đieu kien tuong điem trong quang hoc, tuc la đieu kien đe anh cua mot vat phang nam tren mot mat phang. Trong TEM, khu loan thi lien quan đen viec đieu chinh can bang cac chum tia va cac he thau kinh. 

Khu loan thi o he hoi tu (Condenser Astigmatism)
La viec đieu chinh he thau kinh hoi tu sao cho chum tia co tinh chat đoi xung truc quang hoc. Khi quan sat tren man anh, chum tia phai co hinh tron va hoi tu đong tam tai mot đieu (khi mo rong va thu hep). Nguyen ly cua viec đieu chinh nay la đieu chinh su can bang cua tu truong sinh ra trong cac cuon day cua thau kinh hoi tu.
Khu loan thi o vat kinh (Objective Astigmatism)
La viec đieu chinh vat kinh sao cho mat phang cua mau vat song song voi mat phang quang hoc cua vat kinh, sao cho cac chum tia xuat phat tu cac điem tren cung mot mat phang se hoi tu tai mot mat phang song song voi vat.
Khu loan thi o kinh nhieu xa (Diffraction Astigmatism)
Tuong điem nhieu xa la đieu chinh cho truc quang hoc cua chum tia trung voi truc quang hoc cua quang he. Khi đo, van nhieu xa trung tam tren mat phang tieu cua vat kinh se phai đoi xung đong tam qua truc quang hoc, va se nam đung tren mat phang cua khau đo vat kinh.
Anh huong cua loan thi len chat luong anh o đieu kien đo phong đai thap la rat nho, nhung khi tang đo phong đai đen co lon (co tren 50 ngan lan) thi anh huong cua loan thi tro nen ro ret. Khi đo, neu quang he khong thoa man tinh chat tuong điem se co the dan đen viec anh co the bi bop meo, khong the lay net hoac đo phan giai rat kem. Đac biet o che đo ghi anh co đo phan giai cao, yeu cau ve su khu loan thi cang lon.


= Anh truong sang, truong toi =
La che đo ghi anh pho thong cua cac TEM dua tren nguyen ly ghi nhan cac chum tia bi lech đi voi cac goc (nho) khac nhau sau khi truyen qua mau vat.

Anh truong sang (Bright-field imaging): La che đo ghi anh ma khau đo vat kinh se đuoc đua vao đe hung chum tia truyen theo huong thang goc. Nhu vay, cac vung mau cho phep chum tia truyen thang goc se sang va cac vung gay ra su lech tia se bi toi. Anh truong sang ve mat co ban co đo sang lon.
Anh truong toi (Dark-field imaging): La che đo ghi anh ma chum tia se bi chieu lech goc sao cho khau đo vat kinh se hung chum tia bi lech mot goc nho (viec nay đuoc thuc hien nho viec tao pho nhieu xa truoc đo, moi vach nhieu xa se tuong ung voi mot goc lech). Anh thu đuoc se la cac đom sang trang tren nen toi. Nen sang tuong ung voi cac vung mau co goc lech đuoc chon, nen toi la tu cac vung khac. Anh truong toi rat nhay voi cau truc tinh the va cho đo sac net tu cac hat tinh the cao.


= Anh hien vi đien tu truyen qua đo phan giai cao =
La mot trong nhung tinh nang manh cua kinh hien vi đien tu truyen qua, cho phep quan sat o đo phan giai cao tu cac lop tinh the cua chat ran. Trong thuat ngu khoa hoc, anh hien vi đien tu đo phan giai cao thuong đuoc viet tat la HRTEM (la chu viet tat High-Resolution Transmission Electron Microscopy). Che đo HRTEM chi co the thuc hien đuoc khi:
- Kinh hien vi co kha nang thuc hien viec ghi anh o đo phong đai lon.
- Quang sai cua he đu nho o muc cho phep (lien quan đen đo đon sac cua chum tia đien tu va su hoan hao cua cac he thau kinh.
- Viec đieu chinh tuong điem phai đat muc toi uu.
- Đo day cua mau phai đu mong (thuong duoi 70 nm).
HRTEM la mot cong cu manh đe nghien cuu cau truc tinh the cua cac vat lieu ran.

Xem bai chi tiet: Hien vi đien tu truyen qua đo phan giai cao


= Anh cau truc tu =
Đoi voi cac mau co tu tinh, khi đien tu truyen qua se bi lech đi do tac dung cua luc Lorentz va viec ghi lai anh theo co che nay se cung cap cac thong tin lien quan đen cau truc tu va cho phep nghien cuu cac tinh chat tu vi mo cua vat lieu. Che đo ghi anh nay đa phat trien thanh hai kieu:

- Kinh hien vi Lorentz.
- Toan anh đien tu
Uu điem cua TEM la cho phep ghi anh voi đo phan giai cao va co đo nhay cao voi su thay đoi cau truc nen cac che đo ghi anh tu tinh cung la cac cong cu manh trong cac nghien cuu ve vi tu.


Xu ly mau va cac phep phan tich trong TEM = Nhieu xa đien tu =
Nhieu xa đien tu la mot phep phan tich manh cua TEM. Khi đien tu truyen qua mau vat, cac lop tinh the trong vat ran đong vai tro nhu cac cach tu nhieu xa va tao ra hien tuong nhieu xa tren tinh the. Đay la mot phep phan tich cau truc tinh the rat manh.

Xem bai chi tiet: Nhieu xa đien tu


= Cac phep phan tich tia X =
Nguyen ly cua cac phep phan tich tia X la dua tren hien tuong chum đien tu co nang luong cao tuong tac voi cac lop đien tu ben trong cua vat ran dan đen viec phat ra cac tia X đac trung lien quan đen thanh phan hoa hoc cua chat ran. Do đo, cac phep phan tich nay rat huu ich đe xac đinh thanh phan hoa hoc cua chat ran. Co mot so phep phan tich nhu:

- Pho tan sac nang luong tia X (Energy Dispersive Spectroscopy - EDS, hay EDX)
- Pho huynh quang tia X (X-ray Luminescent Spectroscopy)
-...


= Phan tich nang luong đien tu =
Cac phep phan tich nay lien quan đen viec chum đien tu sau khi tuong tac voi mau truyen qua se bi ton hao nang luong (Pho ton hao nang luong đien tu - Electron Energy Loss Spectroscopy, EELS), hoac phat ra cac đien tu thu cap (Pho Ausger) hoac bi tan xa nguoc. Cac pho nay cho phep nghien cuu phan bo cac nguyen to hoa hoc, cac lien ket hoa hoc hoac cac cau truc đien tu...


= Xu ly mau cho phep đo TEM =
Vi su dung che đo đien tu đam xuyen qua mau vat nen mau vat quan sat trong TEM luon phai đu mong. Xet tren nguyen tac, TEM bat đau ghi nhan đuoc anh voi cac mau co chieu day duoi 500 nm, tuy nhien, anh chi tro nen co chat luong tot khi mau mong duoi 150 nm. Vi the, viec xu ly (tao mau mong) cho phep đo TEM la cuc ky quan trong.

Phuong phap truyen thong
Phuong phap truyen thong la su dung he thong mai cat co hoc. Mau vat lieu đuoc cat ra thanh cac đia tron (co kich thuoc đu voi gia mau) va ban đau đuoc mai mong đen đo day duoi 10 μmm (cho phep anh sang kha kien truyen qua). Tiep đo, viec mai đen đo day thich hop đuoc thuc hien nho thiet bi mai bang chum ion, su dung cac ion khi hiem (đuoc gia toc voi nang luong duoi 10 kV) ban pha đen đo day thich hop. Cach thuc xu ly nay ton nhieu thoi gian va đoi hoi muc đo ti mi rat cao.
Su dung ky thuat chum ion hoi tu
Ky thuat chum ion hoi tu la thuc hien viec xu ly mau tren thiet bi cung ten. Nguoi ta dung mot chum ion (cua kim loai long, thuong la Ga), đuoc gia toc toi nang luong cao (co 30 - 50 kV) đuoc hoi tu thanh mot chum rat nho va đuoc đieu khien nho he thau kinh đien tu đe cat ra cac lat mong, han gan tren gia mau va mai mong đen muc đo đu mong. Cac cong viec đuoc tien hanh nho đieu khien bang may tinh va trong chan khong cao. Phep xu ly nay tien hanh rat nhanh va co the cho mau rat mong, nhung đoi khi mau bi nhiem ban tu cac ion Ga.
Xem bai chi tiet: Chum ion hoi tu


Cac loai kinh hien vi đien tu truyen qua hien đai = Kinh hien vi đien tu truyen qua truyen thong (Conventional TEM - CTEM) =
Kinh hien vi đien tu truyen qua truyen thong (thuong đuoc viet tat la CTEM, tu ten goi Conventional Transmission Electron Microscope) la kinh hien vi đien tu truyen qua thong thuong, su dung chum đien tu song song chieu xuyen qua mau vat. Vi chum đien tu la song song nen goc tan xa cua đien tu khi truyen qua mau la nho do đo cac phep phan tich bi han che.


= Kinh hien vi đien tu truyen qua quet (Scanning TEM - STEM) =
Kinh hien vi đien tu truyen qua quet la mot loai kinh hien vi đien tu truyen qua nhung khac voi CTEM la chum đien tu truyen qua mau la mot chum đien tu đuoc hoi tu thanh mot chum hep va đuoc quet tren mau. Nho viec đieu khien khau đo va thau kinh hoi tu, chum đien tu co the hoi tu thanh mot chum tia co kich thuoc rat hep (cac STEM manh hien nay co the cho kich thuoc toi duoi 1 nm) do đo cho phep ghi anh voi đo phan giai rat cao. Hon nua, vi chum đien tu la hoi tu, nen goc tan xa cua đien tu sau khi truyen qua mau se rat lon va tao ra nhieu phep phan tich manh, vi du nhu phep ghi anh truong toi voi goc lech vanh khuyen lon (High-annular dark-field imaging - HADF), kha nang phan tich phan bo cac nguyen to voi đo phan giai cuc cao nho phep phan tich pho ton hao nang luong đien tu (EELS) thuc hien đong thoi voi qua trinh ghi anh. Hon nua, anh đo phan giai cao truc tiep lien quan đen nguyen tu khoi cua cac nguyen to, do đo rat huu ich cho viec phan tich su phan bo cua cac nguyen to hoa hoc. (xem bai chi tiet Kinh hien vi đien tu truyen qua quet)
STEM lan đau đuoc xay dung nam 1938 boi Manfred von Ardenne cua cong ty Siemens (Berlin, Đuc) chi sau mot thoi gian TEM xuat hien, nhung hau nhu khong the phat trien do viec kho khan trong viec hoi tu chum đien tu co tinh đon sac kem vao điem nho. Tuy nhien, phai đen nam 1970 STEM moi thuc su phat trien nho viec tao ra chum đien tu co đo đon sac cao nho sung phat xa truong (FEG). Cho đen hien nay, STEM la cong cu manh đe ghi anh voi đo phan giai toi cap nguyen tu. Trong nhung nghien cuu phat trien STEM hien nay, muc tieu loai tru quang sai (do tinh khong hoan toan đon sac cua chum đien tu) đang la van đe cap bach đe đat đuoc cac STEM co đo phan giai cuc lon. Nhieu du an xay dung cac STEM manh đang đuoc phat trien dua tren muc tieu nay va nguoi ta đang xay dung nhung STEM co kha nang phan giai cao, goi la SuperSTEM.


= Kinh hien vi đien tu truyen qua moi truong (ETEM) =
Xem bai chi tiet Kinh hien vi đien tu truyen qua moi truong


= Toan anh đien tu =
Xem bai chi tiet: Toan anh đien tu
La mot thiet bi nghien cuu cau truc đien tu cua vat ran dua tren cau truc cua kinh hien vi đien tu truyen qua. Toan anh đien tu dua tren viec ghi lai anh toan ky cua chum đien tu truyen qua vat đuoc giao thoa voi chum đien tu mau, đua đen cac thong tin ve cau truc tu voi đo phan giai khong gian rat cao.


Uu điem va han che cua TEM Du đuoc phat trien tu rat lau, nhung đen thoi điem hien tai, TEM van la mot cong cu nghien cuu manh va hien đai trong nghien cuu ve cau truc vat ran, đuoc su dung rong rai trong vat ly chat ran, khoa hoc vat lieu, cong nghe nano, hoa hoc, sinh hoc, y hoc... va van đang trong qua trinh phat trien voi nhieu tinh nang va đo manh moi.

Điem manh cua TEM
- Co the tao ra anh cau truc vat ran voi đo tuong phan, đo phan giai (ke ca khong gian va thoi gian) rat cao đong thoi de dang thong dich cac thong tin ve cau truc. Khac voi dong kinh hien vi quet đau do, TEM cho anh that cua cau truc ben trong vat ran nen đem lai nhieu thong tin hon, đong thoi rat de dang tao ra cac hinh anh nay o đo phan giai toi cap đo nguyen tu.
- Đi kem voi cac hinh anh chat luong cao la nhieu phep phan tich rat huu ich đem lai nhieu thong tin cho nghien cuu vat lieu.
Điem yeu cua TEM
- Đat tien: TEM co nhieu tinh nang manh va la thiet bi rat hien đai do đo gia thanh cua no rat cao, đong thoi đoi hoi cac đieu kien lam viec cao vi du chan khong sieu cao, su on đinh ve đien va nhieu phu kien đi kem.
- Đoi hoi nhieu phep xu ly mau phuc tap can phai pha huy mau (đieu nay khong thich hop voi nhieu tieu ban sinh hoc).
- Viec đieu khien TEM rat phuc tap va đoi hoi nhieu buoc thuc hien chinh xac cao.


Xem them Kinh hien vi
Kinh hien vi đien tu
Kinh hien vi đien tu quet
Nhieu xa đien tu


Tham khao Lien ket ngoai Khoa Đia chat, Truong Đai hoc Khoa hoc Tu nhien[1]
The National Center for Electron Microscopy, Berkeley California USA Luu tru ngay 21 thang 8 nam 2014 tai Wayback Machine
The National Center for Macromolecular Imaging, Houston Texas USA
The National Resource for Automated Molecular Microscopy, La Jolla California USA Luu tru ngay 9 thang 3 nam 2011 tai Wayback Machine
Manufacturer of TEM's (FEI Company)
Delong Group
Tutorial courses in Transmission Electron Microscopy
Cambridge University Teaching and Learning Package on TEM Luu tru ngay 17 thang 5 nam 2016 tai Portuguese Web Archive
SuperSTEM project (UK) Luu tru ngay 9 thang 5 nam 2007 tai Wayback Machine