Kinh hien vi la mot thiet bi phuc vu cho muc đich khoa hoc dung đe quan sat cac vat the co kich thuoc nho be ma mat thuong khong the quan sat đuoc bang cach tao ra cac hinh anh phong đai cua vat the đo. Kinh hien vi co the gap đo phong đai binh thuong len tu 40 - 3000 lan. Ky thuat quan sat va ghi nhan hinh anh bang cac kinh hien vi đuoc goi la ky thuat hien vi (microscopy). Ngay nay, kinh hien vi co the bao gom nhieu loai tu cac kinh hien vi quang hoc su dung anh sang kha kien, cho đen cac kinh hien vi đien tu, hay cac kinh hien vi quet đau do, hoac cac kinh hien vi phat xa quang... Kinh hien vi đuoc su dung rong rai trong nhieu nganh nhu vat ly, hoa hoc, sinh hoc, khoa hoc vat lieu, y hoc va đuoc phat trien khong chi la cong cu quan sat ma con la mot cong cu phan tich manh


Lich su Nhung kinh hien vi ban đau đuoc phat minh vao nam 1590 o Middelburg, Ha Lan . Ba nguoi tho tao kinh la Hans Lippershey (nguoi đa phat trien cac kinh vien vong truoc đo), Zacharias Janssen, cung voi cha cua ho la Hans Janssen la nhung nguoi đau tien xay dung nen nhung kinh hien vi so khai. Nam 1611, nha toan hoc nguoi Đuc Johannes Kepler (1571 - 1630) đa bo nhieu thoi gian nghien cuu va cai tien to hop thau kinh hoi tu va phan ky noi tren. Nhung ket qua nghien cuu cua Kepler đuoc su dung cho đen bay gio trong cac loai kinh hien vi quang hoc hien đai, đac biet la thi kinh Kepler. Nam 1619, Cornelius Drebbel o Luan Đon đa che tao mot kinh hieu vi phuc tap hon bao gom: thi kinh đuoc lap bang 2 thau kinh loi, vat kinh la 1 to hop cua kinh phang va kinh loi, ngoai ra con man chan; anh nhin qua kinh hien vi nay la anh nguoc. Nam 1625, Giovanni Faber la nguoi xay dung mot kinh hien vi hoan chinh đat ten la Galileo Galilei .

Cac cau truc cua kinh hien vi quang hoc tiep tuc đuoc phat trien tiep theo đo, va kinh hien vi chi đuoc su dung mot cach pho bien hon o Italia, Anh quoc, Ha Lan vao nhung nam 1660, 1670. Marcelo Malpighi o Italia bat đau su dung kinh hien vi đe nghien cuu cau truc sinh hoc o phoi. Đong gop lon nhat thuoc ve nha phat minh nguoi Ha Lan Antoni van Leeuwenhoek, nguoi đa phat trien kinh hien vi đe tim ra te bao hong cau va tinh trung va đa cong bo cac phat hien nay . Cac phat trien ban đau ve kinh hien vi la thiet bi quang hoc su dung anh sang kha kien va cac thau kinh thuy tinh đe quan sat.
Đau the ky 20, ky thuat hien vi tao su nhay vot voi su ra đoi cua cac kinh hien vi đien tu, ma mo đau la kinh hien vi đien tu truyen qua đuoc phat minh nam 1931 boi Max Knoll va Ernst Ruska o Đuc , va sau đo la su ra đoi cua kinh hien vi đien tu quet... Cuoi the ky 20, mot loat cac ky thuat hien vi khac đuoc phat trien nhu kinh hien vi quet đau do, hien vi quang hoc truong gan...


Cac loai kinh hien vi = Kinh hien vi quang hoc =

La nhom kinh hien vi su dung anh sang kha kien roi len vat can quan sat, va cac thau kinh thuy tinh đe phong đai thong qua cac nguyen ly khuc xa cua anh sang qua thau kinh thuy tinh. Đay la kinh hien vi đau tien đuoc phat trien. Ban đau, nguoi ta phai su dung mat đe nhin truc tiep hinh anh đuoc phong đai, nhung cac kinh hien vi quang hoc hien đai ngay nay co the đuoc gan them cac bo phan chup anh nhu phim quang hoc, hoac cac CCD camera đe ghi hinh anh, hoac video. Cac bo phan chinh cua kinh hien vi quang hoc bao gom:

Nguon sang;
He hoi tu va tao chum sang song song;
Gia mau vat;
Vat kinh (co the la mot thau kinh hoac mot he thau kinh) la bo phan chinh tao nen su phong đai;
He lat anh (lang kinh, thau kinh);
Thi kinh la thau kinh tao anh quan sat cuoi cung;
He ghi anh.
Tren nguyen ly, kinh hien vi quang hoc co the tao đo phong đai lon toi vai ngan lan, nhung đo phan giai cua cac kinh hien vi quang hoc truyen thong bi gioi han boi hien tuong nhieu xa anh sang va cho boi:

  
    
      
        d
        =
        
          
            λ
            
              2
              N
              A
            
          
        
      
    
    {\displaystyle d={\frac {\lambda }{2NA}}}
  

voi 
  
    
      
        λ
      
    
    {\displaystyle \lambda }
  
 la buoc song anh sang, NA la thong so khau đo. Vi the, đo phan giai cua cac kinh hien vi quang hoc tot nhat chi vao khoang vai tram nm.


= Kinh hien vi quang hoc quet truong gan =

Kinh hien vi quang hoc quet truong gan (tieng Anh: Near-field scanning optical microscope) la mot ky thuat hien vi quang hoc cho phep quan sat cau truc be mat voi đo phan giai rat cao, vuot qua gioi han nhieu xa anh sang kha kien o cac kinh hien vi quang hoc truyen thong (truong xa). Ky thuat nay đuoc thuc hien bang cach đat mot detector rat gan voi be mat cua mau vat đe thu cac tin hieu tu truong phu du cua song anh sang phat ra khi quet mot chum sang tren be mat cua mau vat. Voi ky thuat nay, nguoi ta co the chup anh be mat voi đo phan giai ngang co 20 nm, phan giai đung co 2-5 nm, va chi phu thuoc vao kich thuoc cua khau đo .


= Kinh hien vi đien tu =

La nhom ky thuat hien vi ma o đo nguon buc xa anh sang đuoc thay the bang cac chum đien tu hep đuoc tang toc duoi hieu đien the tu vai chuc kV đen vai tram kV. Thay vi su dung thau kinh thuy tinh, kinh hien vi đien tu su dung cac thau kinh tu đe hoi tu chum đien tu, va ca he đuoc đat trong buong chan khong cao. Co nhieu loai kinh hien vi đien tu khac nhau, tuy thuoc vao cach thuc tuong tac cua chum đien tu voi mau vat nhu kinh hien vi đien tu truyen qua su dung chum đien tu chieu xuyen qua vat, hay kinh hien vi đien tu quet su dung chum đien tu quet tren vat.
Kinh hien vi đien tu co đo phan giai gioi han boi buoc song cua song đien tu, nhung do song đien tu co buoc song rat ngan nen chung co đo phan giai vuot xa cac kinh hien vi quang hoc truyen thong, va kinh hien vi đien tu truyen qua hien đang la loai kinh hien vi co đo phan giai tot nhat toi cap đo ha nguyen tu . Ngoai ra, nho tuong tac giua chum đien tu voi mau vat, kinh hien vi đien tu con cho phep quan sat cac cau truc đien tu cua vat ran, va đem lai nhieu phep phan tich hoa hoc voi chat luong rat cao.


= Kinh hien vi quet đau do =

Kinh hien vi quet đau do (tieng Anh: Scanning probe microscopy, thuong viet tat la SPM) la ten goi chung cua nhom kinh hien vi ma viec tao anh be mat cua mau vat đuoc thuc hien bang cach quet mot mui do nho tren be mat cua mau vat. Nhom kinh hien vi nay ra đoi vao nam 1981 voi phat minh cua Gerd Binnig va Heinrich Rohrer (IBM Zurich) ve kinh hien vi quet chui ham (ca hai đa gianh giai Nobel Vat ly nam 1986 cho phat minh nay). Khac voi cac loai kinh hien vi khac nhu quang hoc, hay hien vi đien tu, kinh hien vi quet đau do khong su dung nguon buc xa đe tao anh, ma tao anh thong qua tuong tac giua đau do va be mat cua mau vat. Do đo, đo phan giai cua kinh hien vi đau do chi bi gioi han boi kich thuoc cua đau do.


= Kinh hien vi tia X =


Hinh anh = Cac bo phan co khi cua kinh hien vi =
 


Tham khao Xem them Danh sach phat minh va kham pha cua nguoi Ha Lan


Lien ket ngoai KINH HIEN VI QUANG HOC tai Tu đien bach khoa Viet Nam
KINH HIEN VI ĐIEN TU tai Tu đien bach khoa Viet Nam
KINH HIEN VI PHAN CUC tai Tu đien bach khoa Viet Nam
KINH HIEN VI ION tai Tu đien bach khoa Viet Nam
Microscope (instrument) tai Encyclopædia Britannica (tieng Anh)
nOOpia Luu tru ngay 22 thang 8 nam 2010 tai Wayback Machine, nOOpia microscopy blog
Milestones in Light Microscopy, Nature Publishing
FAQ on Optical Microscopes Luu tru ngay 4 thang 4 nam 2009 tai Wayback Machine
Nikon MicroscopyU, tutorials from Nikon
Molecular Expressions: Exploring the World of Optics and Microscopy, Florida State University.
Microscopes made from bamboo at Nature.com
Microscope videos Luu tru ngay 12 thang 1 nam 2010 tai Wayback Machine
Audio microscope glossary