Nhieu xa đien tu la hien tuong song đien tu nhieu xa tren cac mang tinh the chat ran, thuong đuoc dung đe nghien cuu cau truc chat ran bang cach dung mot chum đien tu co đong nang cao chieu qua mang tinh the chat ran, tu đo phan tich cac van giao thoa đe xac đinh cau truc vat ran.
Tinh the chat ran co tinh chat tuan hoan, vi the no đong vai tro nhu cac cach tu nhieu xa. Neu nhu cac mat tinh the co khoang cach lien tiep la d thi goc nhieu xa se cho cuc đai nhieu xa tuan theo cong thuc Bragg:

  
    
      
        2
        d
        s
        i
        n
        θ
        =
        n
        λ
      
    
    {\displaystyle 2dsin\theta =n\lambda }
  

voi 
  
    
      
        λ
      
    
    {\displaystyle \lambda }
  
 la buoc song, 
  
    
      
        θ
      
    
    {\displaystyle \theta }
  
 la goc nhieu xa, n la so nguyen (n = 0, 1, 2...) cung la bac giao thoa.
Hien tuong nay đuoc ung dung dua tren luong tinh song hat cua vat chat. Khi mot chum đien tu co xung luong p, se tuong ung voi mot song co buoc song cho boi cong thuc theo ly thuyet de Broglie:

  
    
      
        λ
        =
        
          
            h
            p
          
        
      
    
    {\displaystyle \lambda ={\frac {h}{p}}}
  

voi h la hang so Planck.
Dua vao quan he giua đong nang E cua đien tu va the gia toc V, ta co the xac đinh buoc song 
  
    
      
        λ
      
    
    {\displaystyle \lambda }
  
 quan he voi the tang toc theo cong thuc (chua tinh đen hieu ung tuong đoi tinh):

  
    
      
        λ
        =
        
          
            h
            p
          
        
        =
        
          
            h
            
              2
              
                m
                
                  0
                
              
              .
              e
              .
              V
            
          
        
      
    
    {\displaystyle \lambda ={\frac {h}{p}}={\frac {h}{\sqrt {2m_{0}.e.V}}}}
  

voi the tang toc V co 200 kV tro len, hieu ung tuong đoi tinh tro thanh đang ke, va buoc song cho boi cong thuc tong quat:

  
    
      
        λ
        =
        λ
        =
        
          
            h
            p
          
        
        =
        
          
            h
            
              2
              
                m
                
                  0
                
              
              .
              e
              .
              V
            
          
        
        .
        
          
            1
            
              1
              +
              
                
                  
                    e
                    V
                  
                  
                    2.
                    
                      m
                      
                        0
                      
                    
                    .
                    
                      c
                      
                        2
                      
                    
                  
                
              
            
          
        
      
    
    {\displaystyle \lambda =\lambda ={\frac {h}{p}}={\frac {h}{\sqrt {2m_{0}.e.V}}}.{\frac {1}{\sqrt {1+{\frac {eV}{2.m_{0}.c^{2}}}}}}}
  

Ve mat ban chat, nhieu xa đien tu cung gan tuong tu nhu nhieu xa tia X hay nhieu xa neutron. Co đieu, nhieu xa đien tu thuong đuoc dung trong cac kinh hien vi đien tu nhu kinh hien vi đien tu truyen qua TEM, kinh hien vi đien tu quet SEM (su dung nhieu xa đien tu tan xa nguoc - back scattering electron diffraction)...


Lich su Nhieu xa đien tu bat đau tu nam 1926 voi ly thuyet song cua Louis de Broglie, va ba nam sau đo hai thi nghiem đoc lap ve nhieu xa đien tu đuoc tien hanh đong thoi khang đinh ly thuyet nay: George Paget Thomson (Đai hoc Anberdeen tai Scotland) phat hien cac van giao thoa cua chum đien tu khi chieu qua mang mong kim loai va Clinton Josseph Davisson va Lester Halbert Germer (Phong Thi nghiem Bell tai My) phat hien hien tuong nhieu xa đien tu tren cac tinh the niken. Davisson va Thomson đeu cung nhan giai Nobel nam 1937 cho phat hien nay.


Nhieu xa đien tu lua chon vung Nhieu xa đien tu lua chon vung (Selected area diffraction - SAED) la mot phuong phap nhieu xa su dung trong kinh hien vi đien tu truyen qua, su dung mot chum đien tu song song chieu qua mot vung chat ran đuoc lua chon. Pho nhieu xa se la tap hop cac điem sang phan bo tren cac vong tron đong tam quanh tam la van nhieu xa bac 0 tao tren mat phang tieu cua vat kinh (hinh ve). Goi la nhieu xa lua chon vung boi nguoi dung co the de dang lua chon mot vung tren mau va chieu chum đien tu đi xuyen qua nho khau đo lua chon vung (selected area aperture).
Phuong phap nay rat de thuc hien trong kinh hien vi đien tu, nhung no co mot nhuoc điem la thuc hien tren mot vung dien tich kha rong (vi đe thuc hien tren mot vung hep thi kho tao chum đien tu song song) vi the neu muon phan tich cau truc tung hat tinh the nho thi kho thuc hien.
Voi pho SAED, ta co the chi ra tinh chat cua mau dua theo đac trung cua pho:

Neu pho la tap hop cac điem sang sac net thi mau la đon tinh the (trong vung lua chon)
Neu pho la cac đuong tron lien tuc thi mau la đa tinh the, su tang kich thuoc hat dan đen su sac net cua pho.
Neu pho la cac đuong tron nhoe, cuong đo yeu thi mau la vo đinh hinh


Nhieu xa chum đien tu hoi tu Nhieu xa chum đien tu hoi tu (Convergent beam electron diffraction - CBED) la phuong phap nhieu xa đien tu bang cach hoi tu mot chum đien tu hep chieu qua mau can phan tich, lan đau tien đuoc thuc hien boi Kossel va Mollenstedt vao nam 1939.
Voi phuong phap nay, chum đien tu đuoc hoi tu thanh mot điem rat hep va co the phan tich mot dien tich rat nho co the toi co vai chuc angstrom, hoac vai angstrom. Vi cac chum tia đuoc hoi tu nen se co nhieu chum tia tan xa theo cac phuong khac nhau. Phuong phap CBED rat manh cho viec phan tich tinh đoi xung tinh the, đinh huong tinh the cua chat ran, xac đinh nhom khong gian, thanh phan pha, va đo day mau... Đong thoi CBED cung rat manh cho viec phan tich tinh hoan hao cua tinh the. Tuy nhien, CBED kho thuc hien hon nhieu so voi SAED. Phuong phap CBED thuong chi co trong cac kinh hien vi đien tu truyen qua quet (Scanning TEM - STEM), tuc la dung chum đien tu hoi tu (hep) chieu xuyen va quet qua mau.


Nhieu xa đien tu nang luong thap Nhieu xa đien tu nang luong thap (Low energy electron diffraction - LEED) la phuong phap nhieu xa đien tu su dung cac chum đien tu co nang luong thap (tu 10 đen 600 V), chieu tan xa tren be mat mau, thuong dung đe phan tich cac tinh chat be mat cua chat ran. Phuong phap nay đuoc thuc hien lan đau tien vao nam 1929 boi Davisson va Germer tren cac đon tinh the Si.
Chum đien tu đuoc chieu tan xa tren be mat mau, do co nang luong thap nen chi tuong tac voi mot lop mong tai be mat cua mau, pho nhieu xa đuoc quan sat tren man hinh huynh quang đat phia sau va pho cung la cac đuong tron đong tam.


Nhieu xa đien tu nang luong cao Nhieu xa đien tu nang luong cao (High energy electron diffraction - HEED) la phuong phap nhieu xa đien tu su dung chum đien tu co nang luong tu 5 kV đen 100 kV, chieu tan xa tren be mat (bo tri giong nhu phuong phap LEED) va pho nhieu xa hien thi tren man hinh huynh quang đat phia sau (hinh ve). Đong thoi, goc chieu chum tia cung rat nho, chi co vai đo (5°). Phuong phap nay rat nhay voi cac tinh chat tinh the hoc o be mat mau. Pho nhieu xa thu đuoc la cac van giao thoa dang đuong thang tren man.
HEED va LEED thuong dung đe quan sat đong hoc tinh the trong cac thiet bi nhu epitaxy chum phan tu (Molecular beam epitaxy - MBE), cac thiet bi tao mang...


Xem them Nhieu xa
Kinh hien vi đien tu truyen qua
Kinh hien vi đien tu quet


Tham khao ^  Williams D.B., Carter C.B (1996). Transmission Electron Microscopy: A Textbook for Materials Science. Kluwer Academic / Plenum Publishers. ISBN 0-306-45324-X.
^  De Graef M. (2003). Introduction to Conventional Transmission Electron Microscopy. Cambridge University Press. ISBN 0-521-62995.


Lien ket ngoai Electron diffraction (with Java). Luu tru ngay 18 thang 4 nam 2009 tai Wayback Machine