Innovative Reaktoren und In situ Analytik für ultradünne Nano Schutzschichten Teilvorhaben Hochskalierung der Prozesse : Abschlussbericht zum BMBF Verbundvorhaben ; Laufzeit des Vorhabens: 01.03.2000 28.02.2003 Diamond like carbon (DLC) hard disk plasma enhanced chemical vapor depositions (PECVD) oxygen plasma cleaning