Einzelquellen CVD Verfahren für die Abscheidung von Perovskit Oxidschichten auf Flächen und komplizierten Formen : Forschungsbericht Abschlußbericht ; August 1996 Juli 1998 CVD MOCVD single source CVD aerosol CVD perovskite HTSC ferroelektric electrode material CMR YBCO PZT Ba TiO 3 manganite