Herstellung und Charakterisierung lateral mikrostrukturierter Monofilme auf Silicium und Glas Chipoberflächen für die Anwendung in Bio Chips In dieser Arbeit wurden durch die Kombination von oberflächenchemischen und mikrosystemtechnischen Methoden hydrophobe Monofilme auf Silicium und Glasoberflächen hergestellt und durch Erzeugung von hydrophilen OH Bindespots mikrostrukturiert. Für die Herstellung von Bio Chips wurden die OH Chemotope durch weitere oberflächenchemische Reaktionen zu monomolekularen Aminooberflächen für die Proteinanbindung und monomolekularen Oberflächen mit Ethylenglycol Linkern für die DNA Immobilisierung modifiziert. Neben der Charakterisierung der molekularen Monofilme durch das Benetzungsverhalten AFM und Rasterelektronenmikroskopie standen fluoreszenzmikroskopische Untersuchungen zur quantitativen Bestimmung von Bindegruppendichten und Biomolekülen im Vordergrund.Ein weiteres Ziel der Arbeit bestand in der Untersuchung der Adsorption von Fluoreszenzfarbstoffen an mikrostrukturierte monomolekulare Oberflächen.