Anorganische Precursor zur Abscheidung und Strukturierung von Gold In dieser Arbeit werden Synthesen und Charakterisierungen neuer komplexer Nitrate der Edelmetalle Gold und Palladium vorgestellt. Die Verbindungen werden durch Oxidation von elementarem Gold oder Palladium mit Distickstoffpentoxid dargestellt. Die strukturelle Charakterisierung der Verbindungen erfolgt mit Hilfe von Röntgenstrukturanalyse. Anschließend werden die Verbindungen durch DTA TG Messungen untersucht. Dabei wird ein besonderer Schwerpunkt auf die Eigenschaften der Verbindungen und ihr mögliches Precursorpotential gelegt. Durch einen speziell entwickelten Prozess werden die Precursor in einem elektronenstrahlgestützten Depositionsverfahren zersetzt und auf Silicium Wafern strukturiert abgeschieden. Die geschriebenen Metallstrukturen sind kontaminationsfrei und enthalten weder Kohlenstoff noch Chlorid. <dt.> This thesis deals with the synthesis and characterisation of new complex nitrates of the precious metals gold and palladium. The compounds were prepared by oxidation of elemental gold or palladium with dinitrogenpentoxide. Sturctural characterisation was carried out by means of x ray diffraction. Furthermore the thermal behaviour of the compounds was investigated by DTA TG measurements. The work focuses mainly on the properties of the compounds and their potential as precursor materials. The nitrates are good candidates to function as precursors for the deposition and structuring of elemental gold by electron beam assisted decomposition. The obtained structures are completely free of highly undesired contaminations like carbon or chlorine. <engl.>