Verbundprojekt MIMOS Mikrosysteme in CMOS Technologie : Abschlussbericht zum Teilvorhaben: Intelligentes Drucksensorsystem in CMOS Technologie mit BESOI Substraten ; Berichtszeitraum: 1.8.1996 31.1.2000 Pressuresensor micomechanics microsystem BESOI CMOS integration monocrystallin membrane silicon piezoresistive resistor