Erforschung neuer homogener atmosphärischer Plasmen und ausgewählter Anwendungen Akronym: ATMOSPLASMA Teilprojekt: Untersuchung des Existenzbereiches homogener Barrierenentladungen : Abschlussbericht ; BMBF Verbundvorhaben ; Laufzeit des Vorhabens Berichtszeitraum: 1.6.1999 30.11.2002 Dielectric barrier discharge (DBD) homogeneous atmospheric pressure discharge plasma parameters plasma processing thin film deposition plasma polymerization thin films coating of aluminium sheet metal corrosion protection He hexamethyldisiloxane