Fully integrated transducer platform with cavity optomechanical readout Forschung und Entwicklung von Wandlern basierend auf kavität optomechanischen Elementen ist ein Forschungsgebiet von hohem Interesse. Sie kombiniert hohe Bandbreiten und Empfindlichkeit nahe dem Standardquantumlimit mit Kompaktheit Robustheit kleinen Abmessungen und dem Potential für eine wirtschaftliche Massenproduktion systemimmanent bei mikroelektromechanischen Systemen. Vollintegrierte Wandler erlauben demnach Bewegungsmessungen bis hin zum fundamentalen Quantenlimit. In dieser Arbeit werden Design Herstellung und Charakterisierung eines vollintegrierten und glasfasergekoppelten Wandlers in einer Machbarkeitsstudie dargestellt. Das System kombiniert hohe Verschiebungsauflösungen 0.14 40 fm·Hz^( 1 2) optomechanische Detektion mit hoher Bandbreite und eine eingebaute thermische und elektrostatische Anregung. Die Herstellung erfolgt in einem doppelseitigen mikro und nanotechnischen Fertigungsverfahren auf Waferbasis in einer Kombination aus einem Elektronenstrahllithographieschritt sechs Projektionslithographieschritten und drei Kontaktlithographie Schritten. Die Siliziumnitrid Sonden können mittels eines elektrischen Signals angelegt an den integrierten thermischen oder elektrostatischen Aktuator angeregt werden. Sie sind optisch über das evanecente Feld mit einer optischen Kavität hoher Güte (10^5 2 x 10^6) gekoppelt. Die Bewegung der Sonde wird detektiert über eine Veränderung der Resonanzfrequenz der Kavität. Die eingebauten Aktuatoren ermöglichen die Einstellung des Abstandes zwischen Sonde und optischer Kavität welche die Einstellung der Sensitivität ermöglicht. Eine Seite der Sonde steht über die Kante des Siliziumchips um die Kopplung mit einer Vielzahl von Proben und physikalischen Systemen zu erlauben. Die modulare Bauweise des Wandlers schafft die Grundlage zur Parallelisierung der Sonden für die gleichzeitige Messung mehrerer Kräfte oder physikalischer Eigenschaften. Die Parallelisierung wird in dieser Arbeit am Beispiel eines 2x1 Array gezeigt welche mit geringem Aufwand auf größere Arrayarchitekturen angepasst werden kann. Zur Demonstration der Funktion von Einzelsonden und Sondenarrays wird die Sondenanwendung in der Rasterkraftmikroskopie präsentiert. Des Weiteren wird die Flexibilität der Wandlerbauweise an der Herstellung von Membrane und Beschleunigungswandlern belegt. Das Verhalten aller hergestellten Wandler wird hinsichtlich der Bewegungsempfindlichkeit Frequenzstabilität und Einstellbarkeit der Auslesung analysiert.