AlGaN GaN Schichtsysteme für piezoelektrisch angeregte Resonatoren Auf Grund der gestiegenen Anforderungen für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) hinsichtlich Stabilität Miniaturisier und Integrierbarkeit steigt das Interesse an neuen Materialsystemen wie den Halbleitern großer Bandlücke. Die vorliegende Arbeit gliedert sich in zwei Schwerpunkte die für die Herstellung GaN basierter MEMS bewältigt werden mussten: zum Einen wurde das Wachstum auf selektiv zu GaN ätzbaren Substraten untersucht. In der vorliegenden Arbeit werden drei Substrate vorgestellt welche sowohl das epitaktische Wachstum von GaN als auch das Freistellen der Struktur erlauben. Dazu gehört die Verwendung von 4H SiC als Substrat welches sich kürzlich als isotrop ätzbar erwiesen hat. Als zweites wird das epitaktische GaN Wachstum auf nanokristallinen gesputterten AlN Opferschichten gezeigt welches die MEMS Herstellung auf Saphir ermöglicht. Im letzten Fall erfolgt das Wachstum auf Siliziumsubstraten mit Hilfe einer 3C SiC Zwischenschicht. Die piezoelektrischen Eigenschaften von (GaN )AlGaN GaN Heterostrukturen standen im zweiten Schwerpunkt im Fokus. Dabei dient die AlGaN Schicht und in einigen Fällen eine zusätzliche GaN Deckschicht als piezoelektrisch aktive Schicht. Das hochleitfähige 2D Elektronengas (2DEG) an der unteren AlGaN GaN Grenzfläche stellt dabei die zur Anregung benötige Rückelektrode zur Verfügung. Mit Hilfe der Elektroreflexion konnte die elektrische Feldverteilung in Abhängigkeit von der angelegten elektrischen Spannung bestimmt werden. In Kombination mit der Piezokraftmikroskopie bei welcher die spannungsabhängige Auslenkung der Schichten untersucht wurde konnte das piezoelektrische Modul d33 für Al0.31Ga0.69N zuverlässig mit 5 pm V bestimmt werden. Die Prozessierung der ersten GaN basierten MEMS wird schließlich auf allen drei zuvor eingeführten Substraten vorgestellt das Schwingungsverhalten für die piezoelektrische Anregung von Transversalschwingungen mit Hilfe von Vibrometermessungen sowie das rein elektrische Auslesen von Longitudinalschwingungen (ebenfalls für piezoelektrische Anregung) demonstriert.