Entwicklung und Charakterisierung von siliziumbasierten mikrotechnischen Komponenten für miniaturisierte DNA Analysen Die Verbindung der Mikroelektronik mit der Biotechnologie vollzieht sich derzeit kaum so rasant und auf einer so breiten Ebene wie bei den Biochips. Die Mikrosystemtechnik nimmt hierbei eine Schlüsselrolle ein und ermöglicht die Schaffung von Schnittstellen zwischen elektronisch verarbeitbaren und molekularen Informationen. Diese Arbeit liefert einen Beitrag zur Entwicklung von neuartigen miniaturisierten Systemen für den Einsatz innerhalb einer komplexen mehrstufigen DNA Analysekette wobei die Amplifizierung von DNA über den enzymatisch gesteuerten Prozeß der Polymerasekettenreaktion sowie eine sich anschließende elektrische Echtzeitdetektion von Hybridisierungsreaktionen der einzelsträngigen Proben DNA an festphasengebundenen Oligonukleotiden im Blickfeld stehen. Unter Benutzung siliziumbasierter Herstellungstechnologien wurden sowohl eine Mikroreaktionskammer als auch ein Sensorelement realisiert und untersucht