Bildung von Seltenerdzirkonaten und Mangan stabilisiertem Zirkondioxid auf YSZ Einkristallen transmission electron microscopy (TEM); X ray diffraction (XRD); atomic force microscopy (AFM); solid state reaction; rare earth zirconates; yttria stabilized zirconia (YSZ); manganese stabilized zirconia; thin films; epitaxial growth. Transmissionselektronenmikroskopie (TEM); Röntgendiffaktometrie (XRD); Rasterkraftmikroskopie (AFM); Festkörperreaktion; Seltenerdzirkonate; Yttrium stabilisiertes Zirkondioxid (YSZ); Mangan stabilisiertes Zirkondioxid; Dünne Schichten; Epitaxie In dieser Arbeit wurden im ersten Teil Seltenerdzirkonate durch Festkörperreaktion von verschiedenen Seltenerdmetalloxiden (RE2O3 mit RE = La Pr Nd Sm Gd Ho) mit einkristallinem Yttrium stabilisiertem Zirkondioxid (YSZ) hergestellt und anschließend mittels Rasterkraftmikroskopie (AFM) Röntgendiffraktometrie (XRD) und Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) untersucht. Es wurden sowohl Reaktionen zwischen einem Seltenerdmetalloxid Dampf und dem YSZ Einkristall (Gas Fest Reaktion) als auch Reaktionen zwischen einer dünnen Seltenerdmetalloxidschicht und dem YSZ Einkristall (Fest Fest Reaktion) untersucht. Weiterhin wurde der Einfluß der Grenzfläche durch Benutzung unterschiedlicher Substratorientierungen untersucht. Im zweiten Teil der Arbeit wurden dünne Schichten aus epitaktischem Manganstabilisiertem Zirkondioxid auf YSZ Einkristallen durch zwei unterschiedliche Methoden hergestellt und mittels XRD und TEM untersucht.