Beschleunigungssensor nach dem Ferraris Prinzip FERRARIS Teilprojekt: Mikrosystemtechnische Grundlagenbearbeitung zur Dimensionierung des Ferrarissensors : Abschlußbericht zum Verbundvorhaben ; Laufzeit: 01.06.1996 bis 29.02.2000 Ferraris sensor relative acceleration control quality direct drive micro system technology silicon technology flex multilayer coil