Verbundprojekt: Präzise Materialbearbeitung mit Ultrakurzpuls Strahlquellen (PRIMUS) : Abschlussbericht für das Teilvorhaben Systemtechnik für das hochpräzise Bohren und Oberflächenabtragen mit ultrakurzen Laserpulsen ; Laufzeit: 01.01.2000 bis 30.06.2003 Laser femtonics ultrashort pulsed laser technology ablation drilling structuring system technology processing technology trepanning optic