Konzeption und konstruktive Gestaltung der Messkreise von Nanomessmaschinen Nanomessmaschinen dienen zur nanometergenauen Messung von geometrischen Gestaltparametern. Sie sind in verschiedenen Bereichen der Nanotechnologie und Nanoelektronik einsetzbar. Oftmals sind die Messbereiche auf einige Mikrometer bis Millimeter begrenzt jedoch verlangen neue Anwendungen Nanomessmaschinen mit immer größeren Messbereichen und immer kleineren Messunsicherheiten. Ein wichtiger Bestandteil bei deren Entwicklung ist die Konzeption und konstruktive Gestaltung der Messkreiselemente und insbesondere des Messrahmens. Dafür werden dem Entwickler von Nanomessmaschinen eine Vorgehensweise und Richtlinien zur Verfügung gestellt. Mit Hilfe einer Messkreisstruktur und eines vektoriellen Messkreismodells können Abweichungen der Messkreiselemente analysiert werden. Um diese klein zu halten werden verschiedene Maßnahmen bei der Konzeption und konstruktiven Gestaltung diskutiert. Anhand eines Messrahmens für eine Nanomessmaschine mit kartesisch horizontaler Messanordnung wird der konstruktive Entwicklungsprozess gezeigt. Ausgehend von einer universell nutzbaren Kombinationstabelle werden Prinzipvarianten erarbeitet. Anschließend erfolgen eine Variantenauswahl und die Umsetzung der gewählten Variante. Eine theoretische Untersuchung des Fehlerverhaltens mit Hilfe des erarbeiteten messkreisbezogenen vektoriellen Modells bestätigt die Tauglichkeit der Lösung. Mit der kartesisch tetraederförmigen Messanordnung ist es möglich das Konstruktionsprinzip der Symmetrie auch für den Messrahmen konsequent einzuhalten. Dies ermöglicht die passive Kompensation von Abweichungen. Zunächst werden die Grundlagen zur Abschätzung der Messunsicherheit der Interferometer mit Hilfe einer Koordinatentransformation geschaffen und angewendet. Anschließend erfolgt der Entwurf eines Messrahmens mit kartesisch tetraederförmiger Messanordnung. Im Ergebnis entsteht ein Dreibein Messrahmen dessen Fehlerverhalten untersucht wird. Den Abschluss bildet eine Gegenüberstellung der kartesisch horizontalen und der kartesisch tetraedrischen Messanordnung für planare und dreidimensionale Messobjekte hinsichtlich funktioneller metrologischer und konstruktiver Kriterien. Daraufhin werden allgemeine Schlussfolgerungen für die Auswahl der optimalen Messanordnung gezogen.