Flexible Desktop Factory zum Prüfen und Montieren von Mikrosystemen Die gesamtwirtschaftliche Bedeutung von Mikrosystemen ist nach wie vor ungebrochen. Auch in Zukunft werden sie in vielen Bereichen des Lebens eine große Rolle spielen. Die Anforderungen sind dabei sehr vielschichtig sodass vor allem eine hohe Funktionsdichte und die Diversifikation von Mikrosystemen zukünftig dominante Einflussfaktoren sein werden. Zudem werden die Produktionszahlen aufgrund der vielfältigen Einsatzmöglichkeiten steigen und die Miniaturisierung wird weiter zunehmen. Ein Ansatz dieser Entwicklung gerecht zu werden ist es Mikrosysteme hybrid zu integrieren. Für hybride Mikrosysteme ist jedoch eine geeignete Prüf und Montagetechnik zwingend erforderlich. Eine Analyse des Standes von Wissenschaft und Technik ergab dass derzeit vor allem Insellösungen den Markt auf diesem Gebiet dominieren. Ganzheitliche Geräte speziell für Mikrosysteme existieren nicht. Vor diesem Hintergrund wurde in der vorliegenden Arbeit eine flexible Desktop Factory für das Prüfen und Montieren von Mikrosystemen entwickelt. Die wesentlichen Ziele dabei waren zum einen die derzeit vorherrschenden hohen Prüf und Montagekosten zu senken und zum anderen den Automatisierungsgrad in der Mikroproduktion zu steigern. Die Systementwicklung wurde dafür wie folgt gegliedert. In einem ersten Schritt wurden wichtige Anforderungen für die Desktop Factory identifiziert und das Gesamtsystem in Subsysteme unterteilt. Zudem wurde mit dem Mikrosynchronmotor ein hybrides Mikrosystem als Demonstrator definiert. Zu den Subsystemen zählen u. a. das Positioniersystem die Maschinensteuerung das Bildverarbeitungssystem das Werkzeugwechselsystem mit Prüf und Montagewerkzeugen und die Software. Anschließend wurden die Subsysteme ausgelegt und auf einer schwingungsgedämpften Plattform zu einem Gesamtsystem zusammengesetzt. Um die Verwendung mit unterschiedlichen Mikrosystemen Materialien und Oberflächen zu gewährleisten lag der Fokus auf größtmöglicher Flexibilität und Kompatibilität. Ferner wurde mit verschiedenen Untersuchungen die Funktionsweise der Desktop Factory hinsichtlich der formulierten Anforderungen überprüft. Dazu zählten u. a. das Messen geometrischer Größen die Identifikation von Merkmalen die Durchführung von Zuverlässigkeitsuntersuchungen und die Bestimmung von Fertigungstoleranzen. Abschließend wurde anhand des Demonstrators eine komplette Prozesskette aus Prüf und Montageprozessen präsentiert. Wesentlich hierbei war: das Finden von Passpaarungen die Montage von Rotoren auf Statoren und eine abschließende Funktionsprüfung. Im Ergebnis konnte die Funktionalität der Desktop Factory nachgewiesen werden.