Gezielte Mikro und Nanointegration von DNA und DNA Superstrukturen in mikrostrukturierte Chiplayouts In dieser Arbeit wurden Techniken zur gezielten Integration von DNA Molekülen vorgestellt und optimiert. Dies ermöglicht eine Nutzung der DNA als Gerüst Molekül für Nanometer skalige elektrische Bauelemente. Dazu ist eine anschließende metallische Funktionalisierung nötig. Die DNA basierte Nano Konstruktion (bottomup) erfolgte dabei mittels self assembly. Sie erlaubt eine präzise gesteuerte (guided) Integration der DNA in vorhandene top down Mikrostrukturen sowie deren anschließende Funktionalisierung (biomolekular). Der Einsatz von assemblierten DNA Superstrukturen (G Wires) als biomolekularer Baustein konnte zusätzlich zu langen DNA Molekülen gezeigt werden. Durch die präzise korrelative Charakterisierung der integrierten Strukturen während und nach den Integrationsschritten konnte die Optimierung und Etablierung bis hin zur Integration von DNA Einzelmolekülen mittels Dielektrophorese erzielt werden. Die Integration von Lambda DNA wurde vom Schichtsilikat Glimmer auf Glas und Siliziumsubstrate übertragen. Auf unstrukturierten Substraten erfolgte die Streckung durch die Methode des eintrocknenden Tropfens. Dabei haben unterschiedliche Oberflächeneigenschaften einen Einfluss auf das Streckungsverhalten der DNAMoleküle. Weitere entscheidende Faktoren sind die Tropfengröße und die DNAKonzentration. Das Optimum liegt bei einer DNA Konzentration von 6 ng mL und einem Tropfenvolumen von 0 5 L. Auf mikrostrukturierten Substraten hängt die Effizienz der Elektrodenüberbrückung mit DNA Strängen entscheidend von der DNA Konzentration sowie der Vorzugsrichtung während des Eintrocknens ab. Einzelmolekül Brücken können bei niedrigen DNA Konzentrationen realisiert werden.