Entwicklung einer optischen Messmethode zur Analyse lateraler Mikrostrukturoberflächen Ein neuartiges optisches Messverfahren wird vorgestellt das für die Rauhigkeitsanalyse von vertikalen Mikrostrukturbereichen geeignet ist. Die senkrechten Oberflächen werden mit einem konvergenten Laserstrahl beleuchtet und die reflektierten objektiven Specklestrukturen über dem Einfallsstrahl in einem möglichst breiten Raumteil erfasst. Da die Ortsfrequenz des Specklemusters im ungekehrten Verhältnis zum Durchmesser des jeweiligen Einfallsstrahls steht können das primäre Messsignal und die sekundären Störreflexionen mit Hilfe eines angepassten räumlichen Bandpass Filters getrennt werden. Die Rauhigkeitsparameter der Strukturwände lassen sich aus den aufgestellten Speckle Kontrast Kreuz und Auto Korrelationsmodellen ableiten. Die experimental ermittelten Kennlinien der Speckle Kontrast Methode verfolgen die theoretische Beziehung und ihre Anwendungsbereiche lassen sich bis zu Rq=0.2..0.25 æm erweitern. Neben den konventionellen angularen und spektralen Kreuz Korrelationstechniken wird ein neuartiges Ortskorrelationsverfahren vorgeschlagen wobei der optische Rauheitsparameter durch geringfügige Verschiebung der Probe errechnet wird. Es wird nachgewiesen dass die verwendeten Winkeldifferenzen oder Probenverschiebungen einen Einfluss auf die Kennliniengradienten ausüben. Dadurch können der Messbereich und die Genauigkeit der Vermessung verändert werden und der Messprozess lässt sich zu vordefinierten Bedingungen anpassen. Die vertikalen Oberflächen von Mikrostrukturen sind in einem Bereich von Rq=0..0 5 æm mit einer Genauigkeit von r=±8 10 nm zu analysieren. Zur Untersuchung der Messunsicherheit wird eine wahrscheinlichkeitstheoretische Methode abgeleitet wobei zur Berechnung der Konfidenzradien sowohl die systematischen als auch die zufälligen Fehler berücksichtigt werden. Auf Basis der Kirchhoffschen Beugungstheorie wird ein Simulationsmodell entwickelt mit dem die Funktionen von Speckle Vermessungen für beliebige Beleuchtungen Materialeigenschaften und geometrischen Anordnungen modelliert werden können. Dadurch besteht die Möglichkeit praktisch nicht erfassbare Effekte und die technische Realisierbarkeit jeglicher Speckle Auswertung zu untersuchen.