Kalibriernormal zur Ermittlung der Tastspitzenform für Raster Kraft Mikroskope und Profilometer : Mikroschäfte für die Charakterisierung der Tastspitzenform von Rasterkraftsonden ; Abschlussbericht für das F&E Förderprojekt 13N7732[!] ; Laufzeit: 01.01.2000 31.03.2002 AFM calibration artefact metrology tip characterisation silicon etching electron optical characterisation