Praktische Plasmaoberflächentechnik : Leitfaden für Studium und Anwendung ; mit 32 Tabellen Grundlagen des Plasmas Generierung technischer Gasentladungen Verfahren der plasmagestützten Oberflächentechnik (Oberflächen und Randschichtmodifikation Beschichtungen abtragende Verfahren) Plasma und Schichtanalytik