CMOS MEMS Mikrostrukturforschung Elektronik und Nanotechnologie wachsen im Zuge der Miniaturisierung von Bauelementen zu einem großen interdisziplinären Forschungsgebiet zusammen. Die neue Reihe Advanced Micro and Nano Systems widmet sich Technologien Bauelementen und Systemen aus der Mikro und der Nanowelt mit Beiträgen renommierter Spitzenforscher. In diesem Band finden Sie ausführliche Angaben zu Sensoren und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) auf CMOS Basis von materialtechnischen Aspekten über designspezifische Informationen bis zu Gesichtpunkten der Montage und Verpackung