Entwicklung von Frequenz Offset Stabilisierungsverfahren für Dioden und Gaslaser Im ersten Teil der vorliegenden Dissertation wird die Entwicklung einer neuartigen fasergekoppelten Zweifrequenz Laserlichtquelle behandelt. Die Besonderheit dieser Heterodyn Laserlichtquelle besteht in der Frequenzkopplung zweier He Ne Laser nach dem Frequenz Offset Verfahren. Die Frequenzkopplung wird mit einem analogen Phasen Frequenzregelkreis (PLL Regelkreis) sowie mit einem digitalen Frequenzregelkreis aufgebaut. Zur Charakterisierung beider Regelstrukturen werden die Stabilität und die spektrale Zusammensetzung der Differenzfrequenz herangezogen. Der elektrischen Störempfindlichkeit der Laserröhren der Lasernetzteile sowie der Frequenzregelungen wird dabei besondere Beachtung geschenkt. Als Ergebnis wird ein einzigartiges Lasersystem präsentiert das als Lichtquelle für Präzisions Heterodyn Interferometer geeignet ist. Die Laserlichtquelle weist eine Standardabweichung der Differenzfrequenz von unter 20 Hz und eine Linienbreite von unter 3 kHz auf. Sie besitzt ausreichend optische Leistung am Faserausgang für die Speisung von mehrachsigen Heterodyn Interferometern. Die Differenzfrequenz der frequenzgekoppelten He Ne Laser ist zwischen 1 MHz und 20 MHz einstellbar. Im zweiten Teil dieser Arbeit steht die Entwicklung von frequenzstabilen leistungsstarken Laserdiodenlichtquellen für die Homodyn Interferometrie im Vordergrund. Es wird ein Überblick über die neuesten verfügbaren Laserdiodentechnologien gegeben. Die vielversprechenden Varianten der gitterstabilisierten Laserdioden mit externem Resonator (ECDL) sowie der Laserdioden mit integriertem Stabilisierungsgitter (DBR) werden messtechnisch untersucht und frequenzstabilisiert. Um die geforderten Frequenzstabilitäten für interferometrische Längenmessungen zu erreichen wird die Lichtfrequenz der Laserdioden nach dem Frequenz Offset Verfahren an die Frequenzen eines stabilisierten He Ne Lasers gekoppelt. Dafür kommen verschiedene PLL Regelkreise zum Einsatz welche mathematisch modelliert und optimiert werden. Anschließend werden die PLL stabilisierten Diodenlaser experimentell aufgebaut und charakterisiert. Der frequenzgekoppelte DBR Laser weist eine Standardabweichung der Differenzfrequenz von unter 0 5 Hz und eine Linienbreite von ca. 3 MHz auf. Anhand dieser Parameter wird die Leistungsfähigkeit der verschiedenen Diodenlaser evaluiert und verglichen. Alle aufgebauten Diodenlaser wurden mit einer Faserkopplung versehen um fasergekoppelte Homodyn Interferometer zu speisen.