Abschlußbericht MIKROMAK : Optisches 3D Inspektionssystem zur ortsaufgelösten Materialkennwertermittlung an strukturierten Mikrokomponenten Teilprojekt: Grundlegende Untersuchungen zur ortsaufgelösten Erfassung von Materialparametern an Mikrokomponenten ; Berichtszeitraum: 01.10.1995 31.12.1999 Digital holography holographic interferometry shape measurement displacement analysis material properties microcomponents