Modellierung von Transportprozessen neutraler und ionisierter Spezies in mikro und nanostrukturierenden Ätzprozessen Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Ausbreitung von elektrisch neutralen und geladenen Teilchenspezies in Plasmaätzreaktoren unter Prozessbedingungen. Bis heute sind nur Simulationen in der Lage detaillierte Erkenntnisse über den Speziestransport in Mikrostrukturen zu erlangen. Deshalb ist das Ziel dieser Arbeit die Entwicklung von Simulationsmodellen mit denen die Ausbreitung der Spezies im Innern von Mikrostrukturen effizient und genau berechnet werden kann. Im ersten Teil der Arbeit werden die physikalischen Eigenschaften die Erzeugung des Plasmas und der Transport von Spezies bei sehr niedrigem Druck im Reaktor betrachtet. Zur virtuellen Untersuchung der Vorgänge im Reaktor werden Möglichkeiten der Simulation von Stoff und Energieflüssen sowie der Stand der Technik auf dem Gebiet der Plasma und Topografiesimulation umrissen. Die Vor und Nachteile verschiedener Simulationstechniken werden analysiert und die besonderen Anforderungen an eine integrierte Plasma Topografiesimulation diskutiert. Der Hauptteil der Arbeit ist ein vollkommen neuer Ansatz zur Modellierung der Ausbreitung von Spezies der seine Analogie in der Ausbreitung von Strahlung in virtuellen Szenen hat. Darin wird ein allgemeines Transportmodell entwickelt welches die Ausbreitung von Reaktanden in Mikrostrukturen und die zeitliche Evolution von Profilen beschreibt. Durch Spezialisierungen des Transportmodells werden im Anschluss detaillierte Modelle für geladene und ungeladene Reaktanten hergeleitet. Das aus der Computergrafik bekannte Radiosity Verfahren wird für die effiziente Berechnung des Transports von neutralen Reaktanden adaptiert und eine gänzlich neue Iterationsmethode zur Berechnung von Ionenflüssen entwickelt. Der abschließende Teil befasst sich mit der Implementierung der Modelle in einer integrierten Plasma Topografie Simulation und vergleicht die Simulationsergebnisse mit den durchgeführten Experimenten. Die Verifikation und Kalibrierung von Simulationsmodellen wird mithilfe von Ätz und Depositionsexperimenten an verschiedenen Reaktoren im Anschluss erläutert. Die Arbeit schließt mit einem Überblick der gewonnenen Erkenntnisse und verweist auf zukünftige Perspektiven und Herausforderungen für eine integrierte Plasmaätzsimulation.