Quasistatische Torsionsspiegel auf Basis von AIN Festkörpergelenken Mikrospiegel gehören zu den bekanntesten Mikrosystemen überhaupt. Die erste Veröffentlichung über Mikrospiegel geschah durch Peterson (IBM) im Jahr 1980 und löste zahlreiche Forschungsaktivitäten aus die bis heute anhalten. Trotz all dieser Aktivitäten besteht der Bedarf an Mikrospiegeln die eine quasistatische Strahlablenkung mit hoher Dynamik über einen großen Winkelbereich von mehr als ±10° ermöglichen und dabei eine Spiegelplattengröße >Ø1 mm aufweisen die sich zur Ablenkung eines Messstrahls eignet. Diese Arbeit hat das Ziel einen Beitrag zur Entwicklung von quasistatischen Mikrospiegeln für messtechnische Zwecke zu liefern. Die vorgesehene Anwendung besteht in der Strahlablenkung für Freistrahlinterferometrie in einem optischen Mikrotrackersystem. Es werden Dünnschichttorsionsfedern mit einer Dicke zwischen 400 bis 600 nm erprobt. Aluminiumnitrid (AlN) wird auf Grund seiner nanokristallinen Struktur die zu hervorragenden mechanischen Eigenschaften führt in dieser Arbeit erstmals als Torsionsfedermaterial eingesetzt. Lebensdauer und Bruchfestigkeitsuntersuchungen bestätigen die Eignung von AlN als Torsionsfedermaterial. Es ist untersucht worden ob durch eine dreidimensionale Formgebung das Torsions zu Biegesteifigkeitsverhältnis erhöht werden kann. Die torsionsweichen Federn ermöglichen große quasistatische Auslenkungen bei Verwendung von einem elektrostatischen Plattenaktor. Bei kardanisch aufgehängten Spiegeln sind quasistatische Auslenkungen der Spiegelplatten in einem Bereich von 7 3° bis +9 3° und der Rahmen im Bereich von 10 9° bis +6 2° erreicht worden bevor es zur Instabilität (Pull In Effekt) kommt. Das Auslenken von Rahmen und Spiegelplatte führt zu einer Querbeeinflussung wodurch die mögliche Auslenkung reduziert wird. Die erreichten quasistatischen Spiegelauslenkungen von uniaxialen Mikrospiegeln betragen etwa ±12°. Die verwendeten Plattenaktoren ermöglichen einen kompakten Aufbau sind gut mit den Technologien der Mikrosystemtechnik herstellbar und haben eine hohe Dynamik. Die übliche hohe Nichtlinearität der Winkel Antriebsspannungs Kennlinie wird durch neuartige Ansteuerungsverfahren überwunden die eine nahezu lineare Kennlinie bei den uniaxialen Mikrospiegeln ermöglichen. Die Spiegelplatten weisen mit einem Reflexionsgrad von ca. 90% (lambda = 632 8 nm) und einem Krümmungsradius R >0 8 m für eine Plattendicke zwischen 55 bis 70 [my]m eine hohe optische Qualität auf.