Markov Analysen unebener Oberflächen This thesis describes the adaption and development of the Markov analysis method for the analysis of the topographies of rough surfaces. The Markov analysis characterizes and describes stochastic systems by means of a Fokker Planck equation for the evolution of conditional probability densities (pdf) in the scale variable. The method and its tools are thus extended to a class of measurement data which previously has been investigated to only little extend. The extension of the Markov analysis to the characterization of surface roughness enables new insights about the method its applications and limitations. <engl.> In dieser Arbeit wird die Methode der Markov Analyse für die Untersuchung und Charakterisierung von Oberflächen Topographien angepasst und weiterentwickelt. Die Markov Analyse dient zur Charakterisierung und Beschreibung stochastischer Systeme mithilfe einer Fokker Planck Gleichung für die Entwicklung bedingter Wahrscheinlichkeitsdichten (Pdf) in der Skalenvariablen. Die Methode und ihre Werkzeuge werden in dieser Arbeit auf einen Typ von Messdaten ausgedehnt der bisher nur ansatzweise untersucht war. Durch die Erweiterung der Markov Analyse auf die Charakterisierung von Oberflächen werden neue Erkenntnisse zu diesem Verfahren seinen Einsatzmöglichkeiten und Grenzen gewonnen. <dt.>