Design und Herstellung eines planar integrierten Mikromassenspektrometers mit Micro Channel Plate Detektor Die genannte Arbeit beschreibt die Entwicklung eines Mikromassenspektrometers in Mikrosystemtechnik. Es werden alle Komponenten des Massenspektrometers planar auf einem 7 x 10 mm² großen Chip aus Glas und Silizium gefertigt. Diese Arbeit befasst sich im Schwerpunkt mit der Prozessentwicklung der für die Herstellung notwendigen Prozesse sowie mit dem Einsatz einer Mico Channel Plate (MCP) in einer selbstjustierenden Halterung die aus Silizium geätzt wird. This work describes the development of a micro mass spectrometer with the methods of microsystem technologies. All components of the mass spectrometer are combined in a planar design of a 7 x 10 mm² chip fabricated out of glass and silicon. This work focuses on the development of the MEMS fabrication and on the operation of a micro channel plate (MCP) in a self aligning fixture structured out of silicon.