Table top system for angle resolved ligth scattering measurement Die Messung und Analyse von Streulicht hat in den vergangenen Jahren wesentlich an Einfluss gewonnen. Der Mangel an Messsystemen die sowohl flexibel als auch kompakt sind motivierte diese Arbeit zur Entwicklung eines winkelauflösenden Table Top Streulichtmesssystems mit dazugehörigen Auswertemethodiken.Das realisierte Table Top Goniometer weist kompakte Abmaße von <0 8x0 8x0 8 m 3 auf und ermöglicht die Messung von 3D Streulichtverteilungen bei Beleuchtungwellenlängen von 405 nm 532 nm und 640 nm. Mit erreichten Sensitivitäten die nur durch die Luftstreuung begrenzt sind wurde eine Dynamik von 14 Größenordnungen erzielt. Die kompakte Konstruktion wurde durch ein spezielles Achsdesign und über Faltung der Strahlengänge erreicht. Messunsicherheit und Instrumentesignatur wurden anhand von neu entwickelten Modellen und Simulationen analysiert. Darauf aufbauend erfolgten Optimierungen. Basierend auf dem Frequenzmultiplex Prinzip wurde ein Konzept zur Ermöglichung paralleler Streulichtmessungen mit hoher Sensitivität und Dynamik entwickelt. Hiermit lässt sich das gestreute Licht unterschiedlicher Beleuchtungswellenlängen und oder polarisationen in verschiedenen Messkanälen gleichzeitig detektieren. Es wurde eine streulichtbasierte Analysemethode anisotroper Oberflächen eingeführt die einen direkten Bezug zu optischen und rauheitsbeschreibenden Eigenschaften aufweist. Hiermit ließen sich erstmals Rauheitskomponenten unterschiedlicher Ursache bei ultrapräzisionsbearbeiteten diamantgedrehten Oberflächen als Funktion der Ortsfrequenz trennen. Der Einfluss von Anisotropie bei unterschiedlichen Beleuchtungswellenlängen wurde untersucht. Über Streulichtanalyse mit mehreren Beleuchtungswellenlängen wurde eine hochrobuste Rauheitscharakterisierung demonstriert. Hiermit ließen sich Kontaminationen auf beschichteten und unbeschichteten Substraten sowie Rauheitswachstum in Dünnschichtfilmen nachweisen. Es wurde gezeigt dass sich Diamantschliffe über die Auswertung von 3D Streulichtverteilungen charakterisieren lassen. Es können beispielsweise die Politurgüte einzelner Facetten sowie die optische Performance von Brillanten bewertet und klassifiziert werden.