Zur Absorption gepulster ArF Laserstrahlung in hochtransparenten optischen Materialien Die vorliegende Arbeit beschreibt Experimente und Modellrechnungen zur Absorption gepulster ArF Laserstrahlung in synthetischem Quarzglas (Typ III) und CaF2. Die direkte Messung der Volumenabsorption erfolgt mit nur einer Probe durch die absolut kalibrierbare LID Methode (LID laser induced deflection). Ein Vergleich zwischen beiden untersuchten Materialien zeigt: Während im CaF2 Verunreinigungen (z.B. Natrium) das Absorptions verhalten bestimmen wird dieses in synthetischem Quarzglas durch intrinsische Defekte (E ́ ODC SiH) bewirkt.