Spektrometri massa ion sekunder

Spektrometri massa ion sekunder (SIMS) adalah teknik yang digunakan untuk menganalisis komposisi permukaan padat dan lapisan tipis dengan memercikkan permukaan suatu spesimen dengan berkas ion primer terfokus dan mengumpulkan serta menganalisis ion sekunder yang dikeluarkan. Rasio massa/muatan ion sekunder ini diukur dengan spektrometer massa untuk menentukan komposisi unsur, isotop, atau molekul permukaan hingga kedalaman 1 hingga 2 nm. Karena adanya variasi yang besar dalam probabilitas ionisasi di antara unsur-unsur yang terpercik dari bahan yang berbeda, perbandingan terhadap standar yang dikalibrasi dengan baik diperlukan untuk mencapai hasil kuantitatif yang akurat. SIMS merupakan teknik analisis permukaan yang paling sensitif, dengan batas deteksi unsur mulai dari bagian per juta hingga bagian per miliar.