International Technology Roadmap for Semiconductors

International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) adalah seperangkat dokumen yang dikoordinasikan dan diselenggarakan oleh Semiconductor Research Corporation dan dihasilkan oleh sekelompok ahli di industri semikonduktor. Para ahli ini merupakan perwakilan dari organisasi sponsor, termasuk Asosiasi Industri Semikonduktor Taiwan, Korea Selatan, Amerika Serikat, Eropa, Jepang, dan Tiongkok. Mulai tahun 2017, ITRS tidak lagi diperbarui. Penerusnya adalah International Roadmap for Devices and Systems. Dokumen tersebut memuat penafian: "ITRS dirancang dan dimaksudkan untuk penilaian teknologi saja dan tanpa memperhatikan pertimbangan komersial apa pun yang berkaitan dengan produk atau peralatan individual". Dokumen-dokumen tersebut mewakili pendapat terbaik mengenai arah penelitian dan jangka waktu hingga sekitar 15 tahun ke depan untuk bidang teknologi berikut: Driver/desain sistem
Peralatan uji & uji
Proses ujung depan
Integrasi proses, perangkat dan struktur
Frekuensi radio dan teknologi analog/sinyal campuran
Sistem mikroelektromekanis (MEMS)
Fotolitografi
interkoneksi IC
Integrasi pabrik
Perakitan & pengemasan
Lingkungan, keselamatan & kesehatan
Peningkatan hasil
Metrologi
Pemodelan & simulasi
Perangkat penelitian yang sedang berkembang
Bahan penelitian yang muncul