Silikon tetrafluorida

Silikon tetrafluorida atau tetrafluorosilana adalah senyawa kimia dengan rumus SiF4. Molekul tetrahedral ini dikenal karena hanya dapat ditemui dalam bentuk cair pada suhu yang sangat terbatas (titik didihnya hanya 4 °C di atas titik leburnya). Senyawa ini pertama kali disintesiskan oleh John Davy pada tahun 1812.