Pompa vakum

Sebuah Pompa Vakum dibuat pertama kali oleh orang yang bernama Guericke, pada tahun 1654. Itu adalah pompa minyak mentah dengan persendian tetap kedap udara dengan perendaman air. Dibuat oleh Robert Hooke, segera setelah Boyle menghasilkan pompa piston yang jauh lebih baik. Sekitar waktu yang sama Accademia del Cimento menggunakan ruang vakum di kepala barometer merkuri yang membesar untuk melakukan eksperimen: ini dapat dianggap sebagai pompa merkuri satu langkah. Pompa pada pola Boyle dibuat oleh Hyygens, Papin dan Senguerd. Pada tahun 1682 Boyle menggambarkan sebuah pompa dua silinder, di mana tekanan atmosfer pada satu piston melakukan sebagian besar pekerjaan yang dibutuhkan untuk mengangkat yang lain. Pompa yang lebih baik dari jenis ini dibuat oleh Haukesbee sekitar tahun 1705 dan ini pada dasarnya merupakan pola pompa vakum silinder sampai akhir abad kesembilan belas, pada saat itu Fleuss memperkenalkan pompa oli silinder. Untuk memproduksi vacua tinggi untuk penelitian klasik tentang pelepasan gas, pompa tipe Geissler dan Toepler, berdasarkan pengulangan eksperimental Torricelli yang terus menerus, digunakan, yang sangat lambat dalam tindakan. Sebuah era baru dimulai pada tahun 1905, ketika Kaufmann memperkenalkan pompa merkuri yang terus berputar, yang hampir segera digantikan oleh pompa merkuri rotari Gaede yang lebih cepat. Pompa depan tipe kotak, prototipnya adalah pompa air pada abad keenam belas dan ketujuhbelas, dibawa oleh Gaede dan yang lainnya. Pada tahun 1912 Gaede menemukan sebuah pompa berdasarkan prinsip fundamental yang baru, bahwa permukaan yang bergerak dengan cepat sejajar dengan sendirinya menyeretnya dengan molekul gas. Pompa molekuler yang disebut ini menghasilkan tekanan yang sangat rendah. Langkah inventif terakhir juga dibuat oleh Gaede, ketika pada tahun 1915 ia menggunakan pembawa molekul gas dengan segumpal uap merkuri untuk menghasilkan vakum tinggi. Pompa aliran uap, minyak dan merkuri ini, telah dikembangkan dalam skala besar beberapa tahun terakhir.