Daftar Bupati Salatiga

Berikut merupakan daftar Bupati Salatiga, sebelum masa kemerdekaan. Raden Ario Sosrowidjojo.
Raden Ngabehi Purbodiwijo
Kanjeng Raden Tumenggung Suryokusumo
Raden Tumenggung Prawirokusumo
Raden Adipati Surodiningrat I
Raden Adipati Surodiningrat II
Raden Adipati Cokrodipuro – dipindah tugaskan sebagai Bupati Semarang Salatiga diganti statusnya menjadi "kepatihan" berdasarkan Staatsblad No.35/ 1895 tertanggal 13 Februari 1895.