translate English to French: 31/ 00 Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor [3,5] 31/ 02 . by contacting with diffusion materials in the solid state [3] 31/ 04 . by contacting with diffusion materials in the liquid state [3] 31/ 06 . by contacting with diffusion material in the gaseous state (C 30 B 31/18 takes precedence) [3] 31/ 08 . . the diffusion materials being a compound of the elements to be diffused [3] 31/ 10 . . Reaction chambers; Selection of materials therefor [3] 31/ 12 . . Heating of the reaction chamber [3] 31/ 14 . . Substrate holders or susceptors [3] 31/ 16 . . Feed and outlet means for the gases; Modifying the flow of the gases [3] 31/ 18 . . Controlling or regulating (controlling or regulating in general G 05) [3] 31/ 20 . Doping by irradiation with electromagnetic waves or by particle radiation [3] 31/ 22 . . by ion-implantation [3]
31/ 00 Procédés de diffusion ou de dopage des monocristaux ou des matériaux polycristallins homogènes de structure déterminée; Appareillages à cet effet [3,5] 31/ 02 . par contact avec la substance de diffusion à l'état solide [3] 31/ 04 . par contact avec la substance de diffusion à l'état liquide [3] 31/ 06 . par contact avec la substance de diffusion à l'état gazeux (C 30 B 31/18 a priorité) [3] 31/ 08 . . la substance de diffusion étant un composé des éléments à diffuser [3] 31/ 10 . . Enceintes de réaction; Emploi d'un matériau spécifié à cet effet [3] 31/ 12 . . Chauffage de l'enceinte de réaction [3] 31/ 14 . . Porte-substrat ou supports [3] 31/ 16 . . Moyens d'introduction et d'évacuation des gaz; Modification du courant des gaz [3] 31/ 18 . . Commande ou régulation (commande ou régulation en général G 05) [3] 31/ 20 . Dopage par irradiation au moyen de radiations électromagnétiques ou par rayonnement corpusculaire [3] 31/ 22 . . par implantation d'ions [3]