translate English to French: ∙cm−2. Transmission electron microscopy, Rutherford backscattering, and channeling were used to study the morphology and distribution of the damage while the B and F content and their depth distributions were determined by nuclear reaction analysis and secondary-ion mass spectrometry.
∙cm−2. On a utilisé la microscopie électronique par transmission, la rétrodiffusion Rutherford et l'effet de canalisation pour examiner la morphologie et la distribution du dommage; pour déterminer le contenu et la distribution en profondeur de B et de F, on a utilisé l'analyse par réaction nucléaire et la spectrométrie de masse des ions secondaires.