Tolong jelaskan mengenai Sejarah dari Proses 5 nm

Efek terowongan kuantum melalui gerbang lapisan oksida pada transistor 7 nm dan 5 nm menjadi semakin sulit untuk diatur menggunakan proses semikonduktor yang ada. Perangkat transistor tunggal di bawah 7 nm pertama kali ditunjukkan oleh para peneliti di awal tahun 2000-an. Pada tahun 2002, tim riset IBM yaitu Bruce Doris, Omer Dokumaci, Meikei Ieong dan Anda Mocuta membuat MOSFET silikon-on-insulator (SOI) berukuran 6 nanometer.

Pada tahun 2003, tim peneliti Jepang di NEC, dipimpin oleh Hitoshi Wakabayashi dan Shigeharu Yamagami, membuat MOSFET 5 nm pertama. Pada 2015, IMEC dan Cadence telah membuat chip uji 5 nm. Chip uji fabrikasi bukanlah perangkat yang berfungsi penuh melainkan untuk mengevaluasi pola lapisan interkoneksi. Pada tahun 2015, Intel melaporkan konsep FET kabel nano lateral (atau gate-all-around) untuk node 5 nm.

Pada tahun 2017, IBM mengungkapkan bahwa mereka telah membuat chip silikon 5 nm, menggunakan lembaran nano silikon dalam konfigurasi gate-all-around (GAAFET), pengembangan dari desain terdahulu FinFET. Transistor GAAFET yang digunakan memiliki 3 lembar nano yang ditumpuk, seperti halnya pada desian FinFET yang memiliki beberapa sirip fisik berdampingan yang secara elektrik dianggap satu unit. Chip IBM berukuran 50 mm2 dan memiliki 600 juta transistor per mm2, dengan total 30 miliar transistor (1667 nm 2 per transistor, jarak antar transistor 41 nm).