Jabarkan Punar (etching) dari Galium arsenida

Pemunaran basah GaAs secara industri menggunakan agen pengoksidasi seperti hidrogen peroksida atau air bromin  dan strategi yang sama telah dijelaskan dalam paten yang berkaitan dengan pemrosesan komponen sisa yang mengandung GaAs di mana  dikomplekskan dengan asam hidroksamat ("HA"), misalnya:

GaAs +  + kompleks "HA" → "GaA" +  + 4

Reaksi ini menghasilkan asam arsenik.