Jabarkan dengan: dari Reflektivitas sinar-X

,  adalah panjang gelombang sinar-X (biasanya puncak K-alfa tembaga pada 0,154056 nm),

adalah kedalaman kerapatan antara bahan, dan

Di bawah sudut kritis  (diturnkan dari hukum Snellius), radiasi sinar datang akan 100% dipantulkan, . Untuk , . Biasanya seseorang dapat menggunakan rumus ini untuk membandingkan model terparameterisasi dari profil kerapatan rata-rata dalam arah-z dengan reflektifitas sinar-X yang diukur dan kemudian memvariasikan parameter sampai profil teoritis cocok dengan pengukuran.

Untuk film dengan banyak lapisan, reflektifitas sinar-X dapat menunjukkan osilasi dengan Q (sudut/panjang gelombang), analog dengan efek Fabry-Pérot, di sini disebut . Periode osilasi ini dapat digunakan untuk menyimpulkan ketebalan lapisan, kekasaran antar lapisan, kerapatan elektron beserta kekontrasannya, dan indeks bias kompleks (yang bergantung pada nomor atom dan faktor bentuk atom), misalnya menggunakan formalisme matriks Abeles atau formalisme Parratt rekursif sebagai berikut:

dengan Xj adalah rasio amplitodo yang dipantulkan terhadap yang diteruskan antara lapisan j dan j+1, dj adalah ketebalan lapisan j, dan rj,j+1 adalah koefisien Fresnel untuk lapisan j dan j+1

dengan kj,z adalah komponen z dari bilangan gelombang. Untuk pemantulan spekular di mana sudut datang sama dengan sudut pantulan, Q yang digunakan sebelumnya adalah dua kali kz karena: