Jabarkan . dari Reflektivitas sinar-X

Dengan kondisi RN+1 = 0 dan T1 = 1 untuk sistem antarmuka-N (yaitu tidak ada kembali dari dalam substrat semi-tak-hingga dan amplitudo gelombang datang), semua Xj dapat dihitung berturut-turut. Kekasaran dapat juga diperhitungkan dengan penambahan faktor

dengan  adalah simpangan baku (aka kekasaran).

Ketebalan film dan sudut kritis dapat pula diperkirakan dengan kecocokan linier dari kuadrat sudut datang puncak  dalam rad2 vs kuadrat jumlah puncak  sebagai berikut: