Jabarkan trisiloksanes dari Trimer

Dimethylsilanediol mengalami dehidrasi lalu akan menjadi trimer dari Me 2 SiO dan juga polydimethylsiloxane. Reaksi tersebut menggambarkan persaingan antara trimerisasi dengan polimerisasi. Polimer dan trimer secara formal berasal dari hipotetis sila-keton' :

Me 2 Si = O,

meskipun spesies tersebut memang bukanlah perantara.