Jabarkan Produksi dari Triklorosilana

Triklorosilana diproduksi dari reaksi silikon dengan asam klorida pada suhu 300 °C. Hidrogen juga dihasilkan dalam prosesnya.

Si  +  3 HCl   →   HCl3Si  +  H2

Produk sampingan utama dalam reaksi ini adalah silikon tetraklorida (rumus kimia SiCl4), heksaklorodisilana (Si2Cl6), dan diklorosilana (H2SiCl2). Triklorosilana dapat dipisahkan lewat proses distilasi.

Triklorosilana juga dapat dihasilkan dari silikon tetraklorida:

Si  +  3 SiCl4 +  2 H2  →   4 HSiCl3