Jabarkan Sejarah dari Mikroskop pemindai elektron

Tidak diketahui secara persis siapa sebenarnya penemu mikroskop pemindai elektron ini. Penanggung jawab dari sejarah awal SEM telah diajukan oleh McMullan. Walau, publikasi pertama kali yang mendiskripsikan teori SEM dilakukan oleh fisikawan Jerman Dr. Max Knoll pada 1935, meskipun fisikawan Jerman lainnya Dr. Manfred von Ardenne mengklaim dirinya telah melakukan penelitian suatu fenomena yang kemudian disebut SEM hingga tahun 1937. Mungkin karena itu, tidak satu pun dari keduanya mendapatkan penghargaan nobel untuk penemuan itu.

Pada 1942 tiga orang ilmuwan Amerika yaitu Dr. Vladimir Kosma Zworykin, Dr. James Hillier, dan Dr. Snijder, benar-benar membangun sebuah metode mikroskop pemindai elektron (SEM) dengan resolusi hingga 50 nm atau magnifikasi 8.000 kali, diikuti dengan kelompok Cambridge pada tahun 1950-an dan awal tahun 1960-an Sebagai perbandingan SEM modern sekarang ini mempunyai resolusi hingga 1 nm atau pembesaran 400.000 kali. Mikroskop elektron dengan cara ini memfokuskan sinar elektron (electron beam) di permukaan objek dan mengambil gambarnya dengan mendeteksi elektron yang muncul dari permukaan objek.