Jabarkan Elektronik dari Silikon nitrida

Silikon nitrida sering digunakan sebagai isolator dan penghalang kimiawi di bidang manufaktur sirkuit terpadu, untuk mengisolasi secara elektrik struktur yang berbeda atau sebagai masker etsa dalam permesinan mikro curah. Sebagai lapisan pasivasi, silikon nitrida lebih unggul daripada silikon dioksida, karena ia lebih baik secara signifikan sebagai penghalang difusi terhadap molekul air dan ion natrium, dua sumber utama korosi dan ketidakstabilan dalam mikroekektronika. Ia juga digunakan sebagai dielektrik antara lapisan polisilikon pada kapasitor dalam chip analog.

Silikon nitrida yang diendapkan oleh LPCVD mengandung hidrogen hingga 8%. Ia juga menunjukkan kuat tarik, yang dapat memecahkan film yang lebih tebal dari 200 nm. Namun, ia memiliki resistivitas dan kekuatan dielektrik yang lebih tinggi daripada kebanyakan isolator yang biasa digunakan dalam mikrofabrikasi (masing-masing 10 Ω·cm dan 10 MV/cm).

Tidak hanya silikon nitrida, tapi juga berbagai senyawa terner dari silikon, nitrogen dan hidrogen (SiNH) digunakan untuk lapisan isolasi. Mereka adalah plasma yang diendapkan dengan menggunakan reaksi berikut:

2SiH4_{(g)}{} + N2_{(g)} -> 2SiNH_{(s)}{} + 3H2_{(g)}

SiH4_{(g)}{} + NH3_{(g)} -> SiNH_{(s)}{} + 3H2_{(g)}

Film-film SiNH ini memiliki kuat tarik yang jauh lebih sedikit, namun sifat listrik yang lebih buruk (resistivitas 10 sampai 10 Ω·cm, dan kekuatan dielektrik 1 sampai 5 MV/cm).

Silikon nitrida juga digunakan dalam proses xerografi sebagai salah satu lapisan drum foto. Silikon nitrida juga digunakan sebagai sumber pengapian untuk peralatan gas rumah tangga. Karena sifat elastisnya yang baik, silikon nitrida, bersama dengan silikon dan silikon oksida, adalah bahan yang paling populer untuk kantilever — unsur penginderaan pada mikroskop gaya atom.