Jabarkan Sistem mikro elektromekanikal dari Mikroteknologi

Sistem mikro elektromekanikal atau MEMS (Micro Electro Mechanical System), pertama kali tercetus pada tahun 1980 untuk menjelaskan sistem mekanikal terbaru dan canggih pada chip, seperti motor mikroelektrik, resonator, roda gigi, dan sebagainya. Saat ini, istilah MEMS digunakan untuk merujuk pada alat mokroskopik dengan fungsi mekanikal yang bisa diproduksi secara massal (contoh, susunan roda gigi mikroskopik yang dipasang pada mikrochip dapat dikatakan sebagai MEMS, tetapi generator laser mini tidak). Di Eropa,istilah MST (Micro System tehnology) lebih sering digunakan, dan di Jepang MEMS disebut dengan micromachine.

Meski proses MEMS umumnya diklasifikasikan ke beberapa kategori, seperti permesinan, sesungguhnya terdapat ribuan proses MEMS yang berbeda. Beberapa melakukan proses geometri sederhana, sementara yang lainnya melakukan proses geometri 3-D yang rumit dengan banyak perubahannya. Sebuah perusahaan pembuat akselerometer untuk airbag akan membutuhkan desain dan proses yang sangat berbeda dibandingkan dengan pembuatan akseleromter untuk navigasi internal.

Perubahan dari akselerometer ke alat inersial lainnya seperti giroskop

membutuhkan perubahan dalam desain dan proses yang lebih rumit lagi, juga fasilitas perakitan dan tim rekayasanya.

Teknologi MEMS telah menghasilkan sesuatu yang menakjubkan terkait fungsinya yang luas dalam bidang aplikasi yang cukup penting ketika MEMS tidak bisa menunjukkan performa dan kemampuan standar, namun, pada zaman ketika segalanya harus berukuran lebih kecil, lebih cepat, dan lebih murah, MEMS menyediakan solusi yang mendesak. MEMS memiliki dampak yang cukup mendalam pada aplikasi tertentu seperti sensor otomotif dan printer inkjet. Industri MEMS yang sedang berkembang adalah pasar yang bernilai miliaran dolar. Diperkirakan akan tumbuh dengan cepat dan akan menjadi industri utama pada abad ke 21.Mikroteknologi terkadang dirakit menggunakan fotolitografi.

Gelombang cahaya difokuskan melalui suatu pelindung menuju ke permukaan, gelombang cahaya tadi akan memadatkan lapisan kimia. Bagian dari lapisan yang lembut dan tidak terekspos akan terbasuh, lalu asam akan membentuk bagian yang tidak terlindungi. Mikroteknologi yang paling terkenal dan sukses adalah sirkuit terintegrasi. Benda ini juga telah digunakan untuk membuat permesinan mikro.

Benda yang dibangun pada tingkat mikroskopik

Benda-benda di bawah ini telah dibuat dengan skala 1 mikrometer menggunakan fotolitografi: