Jabarkan Litografi EUV dari ASML Holding

ASML memproduksi mesin litografi ultraviolet ekstrim (Bahasa Inggris: extreme ultraviolet (EUV)) yang menghasilkan cahaya dengan panjang gelombang sebesar 13,3–13,7 nm. Sebuah laser berenergi tinggi difokuskan pada tetesan timah cair mikroskopis untuk memproduksi plasma, yang mengeluarkan cahaya ultraviolet ekstrim.

Pada tahun 2009, pusat riset IMEC di Belgia berhasil memproduksi sel memori SRAM CMOS 22 nm fungsional pertama di dunia dengan menggunakan sebuah purwarupa mesin litografi ultraviolet ekstrim. Mesin ultraviolet ekstrim (non-purwarupa) kemudian mulai dikirimkan ke para pembeli pada tahun 2011.