Jabarkan Litografi Imersi dari ASML Holding

Hingga tahun 2011, sistem kelas atas buatan ASML, yakni TWINSCAN NXT:1950i, digunakan untuk memproduksi chip dengan ketebalan hanya 32 nanometer (dan ditargetkan kedepannya hanya setebal 22 nm), dengan kapasitas produksi hingga 200 wafer per jam, dengan menggunakan lensa imersi air dan laser fluorida argon yang memproduksi cahaya dengan panjang gelombang sebesar 193 nm. Hingga tahun 2011, sebuah mesin litografi rata-rata dijual dengan harga 27 juta euro.