Jabarkan Elektronika dari Rutenium

Elektronika adalah penggunaan rutenium yang paling besar. Logam Ru sangat tidak volatil, yang menguntungkan dalam perangkat mikroelektronik. Ru dan oksida utamanya RuO2 memiliki resistivitas listrik yang sebanding. Tembaga dapat langsung dilapisi ke rutenium, aplikasi tertentu meliputi lapisan penghalang, gerbang transistor, dan interkoneksi. Film Ru dapat diendapkan melalui deposisi uap kimia menggunakan kompleks volatil seperti rutenium tetroksida dan senyawa organorutenium (sikloheksadiena)Ru(CO)3.