Jabarkan Mikroskop Elektron Pemindaian (SEM) dari Mikroskop

Mikroskop elektron pemindaian ini bekerja dengan sinar elektron (bahasa Inggris: electron beam) yang dihasilkan secara termionik dari sumber elektron (bahasa Inggris: electron gun), biasanya menggunakan katoda dilengkapi dengan filamen tungsten. Sinar elektron, dengan energi antara 0.2 keV hingga 40 keV, difokuskan melalui dua lensa kondensor sehingga membentuk spot dengan diameter antara 0.4 nm hingga 5 nm. Sinar yang melewati lensa kondensor kemudian diteruskan melalui scanning coils atau pasangan piring deflektor pada kolom elektron, pada bagian akhir lensa (lensa objektif). Deflektor tersebut mengarahkan sinar pada sumbu x dan y, untuk memindai sebuah area pada permukaan sampel. Selanjutnya sinar tersebut diteruskan pada spesimen yang diatur miring pada pencekamnya (sample holder). Interaksi antara sumber elektron dengan sampel menghasilkan elektron sekunder (secondary electron), diemisikan oleh atom-atom yang tereksitasi oleh sinar elektron, dan dideteksi menggunakan detektor elektron sekunder (Everhart-Thornley detektor). Berdasarkan posisi dan intensitas elektron sekunder yang terdeteksi, gambar atau projeksi sampel yang sedang dipelajari dapat ditampilkan pada layar monitor.