Jabarkan Mikroskop Elektron dari Mikroskop

Pada awal abad ke-20, alternatif lain untuk mikroskop cahaya dikembangkan dengan signifikan. Alternatif ini menggunakan instrumen yang memanfaatkan berkas elektron (sebagai pengganti cahaya) untuk menghasilkan gambar. Fisikawan Jerman, Ernst Ruska, bekerja dengan insinyur listrik Max Knoll, mengembangkan mikroskop elektron prototipe pertama pada tahun 1931, mikroskop elektron transmisi (bahasa Inggris: Transmission Electron Microscope (TEM)). Mikroskop elektron transmisi bekerja dengan prinsip yang mirip dengan mikroskop optik tetapi menggunakan elektron sebagai pengganti cahaya dan elektromagnet sebagai pengganti lensa kaca. Penggunaan elektron, alih-alih cahaya, memungkinkan resolusi yang jauh lebih tinggi.

Pengembangan mikroskop elektron transmisi dengan cepat diikuti pada tahun 1935 oleh pengembangan mikroskop elektron pemindaian (bahasa Inggris: Scanning Electron Microscope (SEM)) oleh Max Knoll. Meskipun TEM digunakan untuk penelitian sebelum Perang Dunia II, dan menjadi populer setelahnya, SEM tidak tersedia secara komersial hingga tahun 1965.

Mikroskop elektron transmisi menjadi populer setelah Perang Dunia Kedua. Ernst Ruska, yang pada saat itu bekerja di Siemens, mengembangkan mikroskop elektron transmisi komersial pertama dan, pada 1950-an, konferensi ilmiah besar mengenai mikroskop elektron mulai diadakan. Pada tahun 1965, mikroskop elektron pemindaian komersial pertama dikembangkan oleh Profesor Sir Charles Oatley dan mahasiswa pascasarjananya Gary Stewart, dan dipasarkan oleh Cambridge Instrument Company sebagai "Stereoscan".