Jabarkan Laser dari Xenon

Pada tahun 1962, sekelompok peneliti di Laboratorium Bell menemukan aksi laser pada xenon, dan kemudian menemukan bahwa penguatan laser dapat ditingkatkan dengan menambahkan helium ke media pelaseran. Laser eksimer pertama menggunakan dimer xenon (Xe2) yang diberi energi oleh seberkas elektron untuk menghasilkan emisi terstimulasi pada panjang gelombang ultraungu 176 nm.

Xenon klorida dan xenon fluorida juga telah digunakan dalam laser eksimer (atau, lebih tepatnya, eksipleks).