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Question: Danach wird die Oberfläche des Sensors so behandelt, daß sie planparallel zur Unterfläche des Substrates verläuft.

Answer: The surface of the sensor is subsequently processed so that it is parallel to the underside of the substrate.


Question: Die beiden wichtigsten Ringnachrichten sind hierbei eine Verbraucheranmeldung und eine Zustandsmeldung mit Statusinformation fiber die angemeldeten Verbraucher.

Answer: The two most important ring messages are a consumer logon and a status message comprising the status information on the logged-on consumers.


Question: Die Peripheralstufe (10) erzeugt im Vergleich zur Seitenkanalstufe (9) über den Umfang des Laufrades (4) den gleichen Druck bei geringerem Volumenstrom.

Answer:
Said peripheral stage (10) produces the same pressure at lower volume flow across the periphery of the rotor (4) as compared to a side channel stage (8).