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[Q]: einen mehrzelligen Puffertisch, zu verteilen.
[A]: a multiple-line buffer table.


[Q]: Wafer haben Werte von bis zu 150.000 EUR pro Charge.
[A]: Wafers have values of up to 150,000 euros per batch.


[Q]: Es stellt sich die Aufgabe, Planschverluste zu verringern bzw.
[A]:
A leakage oil chamber (9) is arranged between the pistons and the housing.