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Die Siliziumnitridschicht (4) kann dabei selbst als Substrat dienen.
The silicon nitride layer itself (4) can serve as the substrate.

Aus der Differenz der Temperaturen (X) wird die Menge des kondensierten Destillats (10) bestimmt und es wird eine Destillationsmengenregelung durchgeführt.
The volume of the condensed distillate (10) is determined from the difference in temperatures (X), and a distillation volume control is performed.

Die Erfindung findet in der Bodenbearbeitung Anwendung.

The invention finds application in soil cultivation.