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[Q]: Während einer zweiten Zeitspanne (40) wird die Anreicherung unterbunden.
[A]: The enrichment process is stopped during a second period of time (40).


[Q]: Die Siliziumnitridschicht (4) kann dabei selbst als Substrat dienen.
[A]: The silicon nitride layer itself (4) can serve as the substrate.


[Q]: Die dem Mikrofaservliesstoff abgewandte Oberfläche der Polyurethanschaumschicht wurde durch Spalten erzeugt.
[A]:
The microporous fleece is averted from the surface of the polyurethane layer through splits or cracks.