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PROBLEM: Zusätzlich ist zumindest ein an eine Steuereinheit (11) angeschlossener Sensor (10) vorgesehen.

SOLUTION: Also, at least one sensor (10) which is connected to a control unit (11) is provided.

PROBLEM: Eine Zwischenschichtdielektrikum (ILD)-Schicht wird gebildet.

SOLUTION: An interlayer dielectric (ILD) layer is formed.

PROBLEM: Die

SOLUTION:
The