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PROBLEM: Die Erfindung betrifft weiterhin eine Elektromotoreinrichtung (1).

SOLUTION: The invention furthermore relates to an electrical motor apparatus (1).

PROBLEM: Die Siliziumnitridschicht (4) kann dabei selbst als Substrat dienen.

SOLUTION: The silicon nitride layer itself (4) can serve as the substrate.

PROBLEM: Der erste Federschenkel (5) bildet den Federungsabschnitt (8).

SOLUTION:
The first spring limb (5) forms the resilient section (8).