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[EX Q]: Wafer haben Werte von bis zu 150.000 EUR pro Charge.
[EX A]: Wafers have values of up to 150,000 euros per batch.

[EX Q]: Das Außenteil (9) umgibt dabei das Innenteil (8) radial außenliegend.
[EX A]: The radial outer surface of the inner portion is surrounded by the outer portion.

[EX Q]: Die Beobachtungspunkte werden unter Angabe der Programmstellen tabellarisch in einer Datenbank (11, 12) des Beobachtungs­werkzeugs gespeichert.
[EX A]:
The monitoring points are stored in a database (11, 12) of the monitoring tool in table form specifying the program points.