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Q: Die Schichten (4, 5, 7) sind vorzugsweise heteroepitaktisch aufgewachsen.

A: The layers (4, 5, 7) are preferably heteroepitaxially grown.
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Q: für Teller (23).

A: for plates (23).
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Q: Es sind aber grundsätzlich auch andere Anwendungen möglich.

A:
However, in principle, other uses are also possible.
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