In this task, you are to Translate German text to English

Formeln (1) bis (3)
Formulas (1) to (3)

Die Siliziumnitridschicht (4) kann dabei selbst als Substrat dienen.
The silicon nitride layer itself (4) can serve as the substrate.

Der Drallkoerper kann auch in der Funktion eines Gehaeusemantels ausgebildet sein und damit ein weiterer kleiner Drallkoerper, kopfseitig wieder mit einem Kopfstueck arretiert, angeordnet sein.

The swirl body can also be designed in the function of a housing shell and thus a further small swirl body, head side again arrested with a Kopfstueck arranged.