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Example Input: Die Erfindung ist vor allem bei Flüssigkeitszählern anwendbar.
Example Output: The invention can be used above all in fluid counters.

Example Input: Die Siliziumnitridschicht (4) kann dabei selbst als Substrat dienen.
Example Output: The silicon nitride layer itself (4) can serve as the substrate.

Example Input: Ziel der Erfindung liegt in der Entwicklung eines Verfahrens zur Herstellung eines kostenguenstigen glaskeramischen Werkstoffes mit guten dielektrischen Eigenschaften.
Example Output:
The aim of the invention is the development of a method for producing a cost-effective glass-ceramic material with good dielectric properties.