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[Q]: 1 a
[A]: 1 a


[Q]: Die hochvakuumseitige Pumpeinheit (14) kann beispielsweise als Turbomolekularpumpe und die der Seite mit hohem Druck zugewandte Pumpeinheit (18) als Seitenkanalpumpe ausgebildet sein.
[A]: The molecular pump stages are arranged one behind the other axially and are connected by common connection channels (34), for a parallel supply.


[Q]: Durch die Neukonstruktion werden Grabungen weitestgehend vermieden.
[A]:
The system consists of modular parts (1), e.g.