instruction:
In this task, you are to Translate German text to English
question:
Die Siliziumnitridschicht (4) kann dabei selbst als Substrat dienen.
answer:
The silicon nitride layer itself (4) can serve as the substrate.


question:
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das thermische Regime so zu realisieren, das der Grundwerkstoff gleichzeitig gezielte Eigenschaftsverbesserungen erfaehrt.
answer:
The invention has for its object to realize the thermal regime so that the base material simultaneously undergoes targeted property improvements.


question:
Es werden 5 bis 25 Gew.T.
answer:

There are 5 to 25 Gew.T.