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[EX Q]: Die hochvakuumseitige Pumpeinheit (14) kann beispielsweise als Turbomolekularpumpe und die der Seite mit hohem Druck zugewandte Pumpeinheit (18) als Seitenkanalpumpe ausgebildet sein.
[EX A]: The molecular pump stages are arranged one behind the other axially and are connected by common connection channels (34), for a parallel supply.

[EX Q]: Diese Vor­gehensweise wird taktweise wiederholt.
[EX A]: This procedure is repeated at regular intervals.

[EX Q]: Aufgabe der Erfindung ist es, den Wirkungsgrad zu verbessern.
[EX A]:
An independent claim is included for method for operating reversible heat pump device.