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PROBLEM: Das untere Ende der Kammer wird durch einen gasdurchlässigen Rost (4) gebildet.

SOLUTION: The lower end of the chamber is formed by a gas-permeable grille (4).

PROBLEM: Eine Zwischenschichtdielektrikum (ILD)-Schicht wird gebildet.

SOLUTION: An interlayer dielectric (ILD) layer is formed.

PROBLEM: Der Erfindungsgegenstand ist am Ausfuehrungsbeispiel in der Zeichnung in Laengs-Halbschnitt dargestellt.

SOLUTION:
The subject invention is shown in the exemplary embodiment in the drawing in Laengs half-section.