instruction:
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question:
Durch die Erfindung wird bei geringem Arbeitskraeftebedarf eine hohe Kontinuitaet im Produktionsablauf und eine hohe Arbeitsproduktivitaet erreicht.
answer:
The invention achieves a high degree of continuity in the production process and a high level of labor productivity with low labor requirements.


question:
Erfindungsgeraäß.
answer:
Erfindungsgeraäß.


question:
Eine Projektionsoptik (8) für die Mikrolithografie dient zur Abbildung eines Objektfeldes (5) in einer Objektebene (6) in ein Bildfeld in einer Bildebene (10).
answer:

A projection optic (8) for microlithography is used for imaging an object field (5) in an object plane (6) in an image field in an image plane (10).