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Die hochvakuumseitige Pumpeinheit (14) kann beispielsweise als Turbomolekularpumpe und die der Seite mit hohem Druck zugewandte Pumpeinheit (18) als Seitenkanalpumpe ausgebildet sein.
The molecular pump stages are arranged one behind the other axially and are connected by common connection channels (34), for a parallel supply.

Des Weiteren betrifft die Erfindung ein entsprechendes Verfahren.
The invention also relates to a corresponding method.

102 m Pa/s aufweist, wobei die Viskosität bei einer Schergeschwindigkeit von 30.000 .

102 m Pa/s, whereby the viscosity is determined at a shear speed of 30.000 ?