森山雅昭助手（マイクロシステム融合研究開発センター... | プレスリリース・研究成果 | 東北大学 -TOHOKU UNIVERSITY-

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技術支援賞を受賞した森山雅昭助手

平成27年1月30日に東京ビッグサイトで開催された第13回ナノテクノロジー総合シンポジウム JAPAN NANO 2015において、森山雅昭助手（マイクロシステム融合研究開発センター）が全国で唯一、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。

本賞は、秀でた技術を有し、本事業への多大な貢献が認められた実施担当者に対して授与されるものです。本年度に創設され森山助手が初めての受賞者となりました。

受賞の対象となった技術は、MEMSなどの微小デバイスの製作に欠かすことのできない、「シリコン深掘りエッチング（Deep RIE）における超精密形状制御」であり、この3年間で学内外の600件以上の利用を支援しています。

文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム

ナノテクノロジーに関する最先端の研究設備とその活用ノウハウを有する機関が連携して設備の共用体制を構築し、産学官の多様な利用者による設備の共同利用を推進しています。本学では産学連携推進本部のもとにナノテク融合技術支援センターを設置し、微細構造解析、分子・物質合成、微細加工の3分野における利用を促進しています。

副賞の"ナノテクの匠"バッジ

シリコン深掘りエッチング（Deep RIE）加工の例

#### 問い合わせ先

事業に関すること
東北大学ナノテク融合技術支援センター
http://cints-tohoku.jp/
電話 022-217-6037
E-mail cintsoffice*rpip.tohoku.ac.jp（*を@に置き換えてく ださい）

技術に関すること
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/
電話 022-229-4113