活動記録｜科学技術振興機構「グローバルサイエンスキャンパス」科学先取りグローバルキャンパス岡山

｢先取りグローバル発展コース｣【インターンシップ】

## 「工学部研究室インタ－ンシップ」

[開催日]　　2016/10/23(日)
[講師]　　　山下　善文
[場所]　　　岡山大学工学部3号館
[目的]
◇太陽電池用多結晶シリコン中のニッケル不純物の検出とその特性を調べる研究の一端を体験する。
[内容]
・インターンシップ全体の説明
・ニッケル不純物を検出するDLTS(Deep Level Transient Spectroscopy)測定実験で用いる試料
(ショットキ－ダイオ－ド)の作製
（熱処理により多結晶シリコンにニッケルを浸透させ、真空蒸着法によりチタン膜を付けショッ
トキー電極を作製。放電溶接法により金ガリウム合金線を付け、オーム性電極とした。各自1個の
試料を作製。）
[講師コメント]
・顕微鏡を見ながら行う作業があるなど、熟練を要する細かい手作業があり、作製したショット
キ－ダイオ－ドの出来の良し悪しを確認するところが残ったが、試料作製という当日の目標は達成できた。
受講生は、自ら作業に取り組み、また、真空装置や半導体の特性などについての疑問を質問するなど、積極的な姿勢で
取り組んでいた。
[開催日]　　2016/10/30(日)
[講師]　　　山下　善文
[場所]　　　岡山大学工学部3号館
[内容]
・今日の実験の内容と予定に関する説明。
・前回作製したショットキーダイオード試料3個の電流電圧特性を測定し、すべて良好な整流特性を持つことを確認した。
そのうちの1個の試料についてDLTS測定を行った。しかしニッケルの信号が検出されなかったため、予め準備していた試料を用いてDLTS測定を行うこととし、ニッケルの信号検出、逆バイアス電圧印加熱処理による信号の
消滅、セロバイアス熱処理による信号の回復現象を調べる実験を行った。
消滅現象については、処理温度を変えて信号の消滅度合いが違うことを確認した。実験結果は、専用ソフトを用いてグラフ化した。
[講師コメント]
・前回作製した試料は目的であったニッケルの信号が検出されなかったことは残念であったが、これは通常の研究時にもよくあることなので、
予め信号が出ることを確認しておいた試料を用いた。測定中(約20分）は、時々計測器のレンジを変える程度でほぼ自動測定なので
、試料のセットから測定条件の入力・測定開始までをTAの指示で受講生自身にやってもらい興味を持てるようにするとともに、測定中の
待ち時間に研究室内の他の実験装置の説明などをした。また実験結果を専用ソフトでグラフ化してもらったが、初めてのソフトでもすぐに使い慣れ、
高校の情報教育がしっかりしていることを感じた。