Mikroteknologi
Mikroteknologi adalah teknologi dengan ciri mendekati ukuran
skala satu mikrometer.
Pada tahun 1960, para ilmuwan mencari tahu bagaimana cara menyusun sejumlah besar transistor dalam satu buah "chip". Chip ini kemudian dapat dibuat dalam sirkuit mikroelektronik yang secara dramatis dapat meningkatkan performa, fungsi, kemampuan, dan juga mengurangi biaya serta
meningkatkan volume produksi. Teknologi ini banyak memicu pengembangan dalam revolusi informasi.
Yang terbaru, ilmuwan telah mengetahui bahwa tidak hanya alat
elektronik, namun juga alat mekanis, bisa diminiaturisasi dan
diberi tanda fabrikasi, memberikan harapan kepada dunia mekanika
seperti yang telah diberikan teknologi sirkuit terintegrasi kepada
dunia elektronik. Sementara elektronik menyediakan 'otak' untuk produk
dan sistem terbaru, alat mikromekanik dapat menyediakan sensor dan
aktuator -- mata dan telinga, tangan dan kaki.
Saat ini, alat mikromekanik yang ada komponen kunci berbagai inovasi
produk seperti airbag, ink-jet printer, pemantau tekanan darah,
dan sebagainya. Terlihat bahwa alat mikromekanik akan mudah menyebar
sama seperti elektronik.
Sistem mikro elektromekanikal atau MEMS ("Micro Electro Mechanical System"), pertama kali disebut pada tahun 1980 untuk menjelaskan
sistem mekanikal terbaru dan canggih pada chip, seperti motor
mikroelektrik, resonator, roda gigi, dan sebagainya. Saat ini, istilah
MEMS digunakan untuk merujuk pada alat mokroskopik dengan fungsi
mekanikal yang bisa diproduksi secara massal (seperti contoh, susunan
roda gigi mikroskopik yang dipasang pada mikrochip dikatakan
sebagai MEMS, namun generator laser mini tidak). Di Eropa,
istilah MST (Micro System tehnology) lebih sering digunakan, dan di
Jepang MEMS disebut dengan ""micromachine"". Perbedaan
istilah-istilah tersebut sangatlah kecil.
Meski proses MEMS umumnya diklasifikasikan ke beberapa kategori,
seperti permesinan, sesungguhnya terdapat ribuan proses MEMS yang
berbeda. Beberapa melakukan proses geometri sederhana, sementara
yang lainnya melakukan proses geometri 3-D yang rumit dengan banyak
perubahannya. Sebuah perusahaan pembuat akselerometer untuk
airbag akan membutuhkan desain dan proses yang sangat berbeda
dibandingkan dengan pembuatan akseleromter untuk navigasi internal.
Perubahan dari akselerometer ke alat inersial lainnya seperti giroskop
membutuhkan perubahan dalam desain dan proses yang lebih rumit lagi,
juga fasilitas perakitan dan tim rekayasanya.
Teknologi MEMS telah menghasilkan sesuatu yang menakjubkan terkait
fungsinya yang luas dalam bidang aplikasi yang cukup penting ketika
bahkan MEMS tidak bisa menunjukkan performa dan kemampuan standar.
Namun, pada zaman ketika segalanya harus berukuran lebih kecil, lebih
cepat, dan lebih murah, MEMS menyediakan solusi yang mendesak. MEMS
telah memiliki dampak yang cukup mendalam pada aplikasi tertentu
seperti sensor otomotif dan printer inkjet. Industri MEMS yang
sedang berkembang adalah pasar bernilai miliaran dolar. Diperkirakan
akan tumbuh dengan cepat dan akan menjadi industri utama pada abad ke 21.
Mikroteknologi kadang-kadang dirakit menggunakan fotolitografi.
Gelombang cahaya difokuskan melalui suatu pelindung menuju ke
permukaan. Gelombang cahaya akan memadatkan lapisan kimia. Bagian
dari lapisan yang lembut dan tidak terekspos akan terbasuh, lalu
asam akan membentuk bagian yang tidak terlindungi.
Mikroteknologi yang paling terkenal dan sukses adalah sirkuit
terintegrasi. Benda ini juga telah digunakan untuk membuat permesinan mikro.
Benda-benda di bawah ini telah dibuat dengan pada skala 1 mikrometer
menggunakan fotolitografi: