2.3.2022
SL
Uradni list Evropske unije
2.
oprema, posebej zasnovana za doseganje površinske hrapavosti aktivne površine obdelane rezine z vrednostjo 2 sigmi 2 mikrometra ali manj, popolnoma enoznačno odbiranje (TIR);
Opomba: Predmet nadzora v točki X.B.I.001.b.1.k ni oprema za enostransko lepanje in poliranje rezin.
l.
oprema za medsebojno povezovanje, ki vključuje eno ali več vakuumskih komor, posebej zasnovanih, da omogočajo integracijo katere koli opreme, ki je predmet nadzora točke X.B.I.001, v celovit sistem;
m.
oprema s ‚shranjenim programiranim krmiljenjem‘, ki uporablja ‚laserje‘ za popravilo ali obrezovanje ‚monolitnih integriranih vezij‘, ki imajo eno od naslednjih značilnosti: 1.
pozicijska natančnost manj kot 1 mikrometer, ali
2.
točke (širina reza), manjše kot 3 mikrometre.
Tehnična opomba: Za namene točke X.B.I.001.b.1, je ‚brizganje‘ postopek nanašanja prevleke na površino, pri katerem se pozitivno nabiti ioni pospešijo z elektronskim poljem v smeri substrata.
Kinetična energija ionov, ki se zaletijo v substrat, je tako velika, da se atomi na površini nanosnega materiala sprostijo in nanesejo na podlago.
(Opomba: Triodno, magnetronsko brizganje ali brizganje z uporabo radijskih frekvenc za zvišanje sprejemljivosti nanosa in hitrosti nanašanja sta običajni spremembi postopka.)
L 67/27