2.3.2022
RO
Jurnalul Oficial al Uniunii Europen
2.
Echipamente special concepute pentru obținerea unei rugozități a suprafeței active a plachetei prelucrate cu o valoare 2 sigma de 2 micrometri sau mai mică (citirea totală indicată - TIR);
Notă: X.B.I.001.b.1.k nu supune controlului echipamentele de lepuire și lustruire pe o singură parte pentru finisarea suprafețelor plachetelor.
(l)
Echipamente de interconectare care includ camere comune de vid unice sau multiple, special concepute pentru a permite integrarea unui echipament controlat în temeiul poziției X.B.I.001 într-un sistem complet;
(m)
Echipamente «controlate de un program stocat» care utilizează «lasere» pentru repararea sau curățarea «circuitelor integrate monolitice», având una din următoarele caracteristici: 1.
Precizie de poziționare mai fină de ± 1 micrometru; sau
2.
Dimensiunea spotului (lățimea fantei) mai mică de 3 micrometri.
Notă tehnică: În sensul poziției X.B.I.001.b.1, «pulverizarea» este un procedeu de acoperire în straturi suprapuse, în care ionii încărcați pozitiv sunt accelerați de un câmp electric către suprafața unei ținte (materialul de acoperire).
Energia cinetică a ionilor care lovesc ținta este suficientă pentru a determina eliberarea atomilor de la suprafața țintei și depunerea acestora pe substrat.
(Notă: Pulverizarea cu trei electrozi, cu magnetron sau cu radiofrecvență pentru creșterea aderenței acoperirii și a ratei de depunere constituie modificări obișnuite ale procesului.)
L 67/27