2.3.2022
PL
Dziennik Urzędowy Unii Europejskiej
2.
specjalnie zaprojektowane urządzenia do osiągania nierówności powierzchni czynnej przetworzonej płytki o wartości dwa sigma nie większej niż 2 mikrometry, całkowitego wskazanego odczytu (TIR);
Uwaga: Pozycja X.B.I.001.b.1.k nie obejmuje kontrolą urządzeń do jednostronnego docierania i polerowania do wykańczania powierzchni płytek.
l.
urządzenia łączące, które obejmują wspólne pojedyncze lub złożone komory próżniowe specjalnie zaprojektowane w celu umożliwienia integracji wszelkich urządzeń objętych kontrolą według pozycji X.B.I.001 w kompletny system;
m.
urządzenia ze „sterowaniem zaprogramowanym w pamięci” wykorzystujące „lasery” do naprawy lub przycinania „monolitycznych układów scalonych”, posiadające jedną z niżej wymienionych cech: 1.
dokładność pozycjonowania mniejsza niż ±1 mikrometr; lub
2.
rozmiar plamki (szerokość szczeliny) poniżej 3 mikrometrów;
Uwaga techniczna: Do celów pozycji X.B.I.001.b.1 ‘rozpylanie jonowe’ jest procesem powlekania, w którym naładowane dodatnio jony są przyspieszane przez pole elektryczne w kierunku powierzchni docelowej (materiał powłokowy).
Energia kinetyczna padających jonów jest wystarczająca do wyrwania atomów z powierzchni materiału powłokowego i osadzenia ich na powierzchni podłoża.
(Uwaga: Rozpylanie jonowe za pomocą triody, magnetronowe i reakcyjne, które jest wykorzystywane do zwiększania przyczepności powłoki i wydajności osadzania jest zwykłą modyfikacją procesu).
L 67/27