2022.3.2.
HU
Az Európai Unió Hivatalos Lapja
2.
Kifejezetten arra tervezett berendezések, hogy a feldolgozott szelet aktív felületén 2 mikrométer vagy annál kisebb kétszigmaértékű összes kijelzett értékkel (TIR) rendelkező felületi érdességet érjenek el;
Megjegyzés: Az X.B.I.001.b.1.k. pont nem vonja ellenőrzés alá a szeletek felületének kezelésére szolgáló egyoldalú tükrösítő- és fényezőberendezéseket.
l.
Összekapcsoló berendezések, amelyek olyan közös egyszeres vagy többszörös vákuumkamrákat tartalmaznak, amelyeket kifejezetten úgy terveztek, hogy lehetővé tegyék az X.B.I.001. pont által ellenőrzés alá vont berendezések teljes rendszerbe történő integrálását;
m.
“Tároltprogram-vezérlésű”, “monolit integrált áramkörök” javítására vagy megtisztítására szolgáló “lézereket” használó berendezések, amelyek rendelkeznek az alábbi jellemzők bármelyikével: 1.
A pozicionálási pontosság kisebb mint ±1 mikrométer; vagy
2.
A sugárpont mérete (rovátkaszélessége) kevesebb mint 3 mikrométer.
Műszaki megjegyzés: Az X.B.I.001.b.1. pont alkalmazásában a ‘porlasztás’ olyan rétegfelviteli folyamat, amelyben pozitív töltésű részecskéket gyorsítanak és mozgatnak elektromos térben a céltárgy (bevonóanyag) felszíne felé.
A becsapódó ionok kinetikus energiája elegendő ahhoz, hogy a céltárgy felületéből atomok váljanak ki, és az alaplemezen kiváljanak.
(Megjegyzés: A triód-, magnetron- vagy rádiófrekvenciás porlasztás a bevonat tapadásának és lerakódási sebességének növelése érdekében a folyamat szokásos módosítása.).
L 67/27