2.3.2022.
HR
Službeni list Europske unije
2.
posebno oblikovana oprema za postizanje površinske hrapavosti aktivne površine obrađene pločice s vrijednošću dvije sigme od 2 mikrometra ili manje, ukupno očitanje indikatora (TIR);
Napomena: X.B.I.001.b.1.k. ne odnosi se na opremu za jednostrano pričvršćivanje i poliranje za završnu obradu površine poluvodičkih pločica.
l.
Oprema za međupovezivanje koja uključuje zajedničke jednostruke ili višestruke vakuumske komore posebno oblikovane kako bi se omogućila integracija bilo koje opreme na koju se odnosi X.B.I.001 u cjeloviti sustav;
m.
Oprema ‚upravljana pohranjenim programom’ koja upotrebljava „lasere” za popravak ili obrezivanje „monolitnih integriranih sklopova” koja ima bilo koju od sljedećih značajki: 1.
točnost pozicioniranja manja od ± 1 mikrometra; ili
2.
veličina točke (širina zasjeka) manja od 3 mikrometra.
Tehnička napomena: Za potrebe X.B.I.001.b.1.
‚taloženje raspršenih čestica’ postupak je završnog premazivanja u kojem se pozitivno nabijeni ioni ubrzavaju s pomoću električnog polja prema površini cilja (materijal za premazivanje).
Kinetička energija iona pri udaru dovoljna je da se oslobode atomi na ciljanoj površini i talože na podlogu.
(Napomena: triodno, magnetronsko ili radiofrekvencijsko taloženje raspršenih čestica radi povećanja adhezivnosti premaza i brzine taloženja uobičajene su izmjene postupka.).
L 67/27