2.3.2022
FR
Journal officiel de l’Union européenn
2.
Équipements spécialement conçus pour obtenir une rugosité de surface de la surface active d'une plaquette traitée avec une valeur 2 sigma égale ou inférieure à 2 micromètres, unité de mesure inertielle (TIR);
Note: L'alinéa X.B.I.001.b.1.k ne vise pas les équipements d'affûtage et de polissage à face unique pour la finition de surface des plaquettes.
l.
Équipements d'interconnexion comprenant des caissons sous vide communs uniques ou multiples spécialement conçus pour permettre l'intégration de tout équipement visé au paragraphe X.B.I.001 dans un système complet;
m.
Équipements à "commande par programme enregistré" utilisant des "lasers" pour la réparation ou le détourage de "circuits intégrés monolithiques", présentant l'une des caractéristiques suivantes: 1.
Précision de positionnement inférieure à ± 1 micromètre; ou
2.
Dimension du spot (largeur de l'empreinte) inférieure à 3 micromètres.
Note technique: Aux fins de l'alinéa X.B.I.001.b.1, on entend par"pulvérisation cathodique": procédé de revêtement par recouvrement, par lequel des ions positifs sont accélérés par un champ électrique et projetés sur la surface d'une cible (matériau de revêtement).
L'énergie cinétique dégagée par le choc des ions est suffisante pour que des atomes de la surface de la cible soient libérés et se déposent sur le substrat.
(remarque: Les pulvérisations par triode, magnétron ou à haute fréquence permettant d'augmenter l'adhérence du revêtement et la vitesse de dépôt constituent des variantes ordinaires du procédé.).
L 67/27