2.3.2022
ES
Diario Oficial de la Unión Europe
2.
Equipos diseñados especialmente para conseguir una rugosidad de la superficie activa de una oblea transformada con un valor de dos sigmas igual o inferior a 2 micrómetros, lectura de indicador total
Nota: El subartículo X.B.I.001.b.1.k no somete a control los equipos de lapeado y pulido de una sola cara para el acabado de superficies de obleas.
l.
Equipos de interconexión que incluyan cámaras de vacío únicas o múltiples comunes diseñadas especialmente para permitir la integración de cualquier equipo sometido a control por el artículo X.B.I.001 en un sistema completo
m.
Equipos “controlados por programa almacenado” que utilicen “láseres” para la reparación o el recorte de “circuitos integrados monolíticos” que tengan cualquiera de las características siguientes: 1.
Exactitud de posicionamiento inferior a ± 1 micrómetro o
2.
Tamaño del impacto (anchura de la entalladura) inferior a 3 micrómetros
Nota técnica: A los efectos del subartículo X.B.I.001.b.1, la “deposición catódica” es un proceso de revestimiento por recubrimiento en el que un campo eléctrico acelera iones con carga positiva hacia la superficie de un blanco (material de revestimiento).
La energía cinética desprendida por el choque de los iones es suficiente para que se liberen átomos de la superficie del blanco y se depositen sobre el sustrato.
(Nota: La deposición por triodo, magnetrón o radiofrecuencia para aumentar la adherencia del revestimiento y la velocidad del depósito son modificaciones normales del proceso).
L 67/27