2.3.2022
EL
Επίσημη Εφημερίδα της Ευρωπαϊκής Ένωσης
2.
ειδικά σχεδιασμένος εξοπλισμός για την επίτευξη επιφανειακής τραχύτητας της ενεργού επιφάνειας κατεργασμένου δισκίου με τιμή δύο-σ 2 μικρομέτρων ή λιγότερο, ολική ένδειξη δείκτη (TIR)·
Σημείωση:Στο σημείο X.B.I.001.β.1.ια δεν υπάγεται ο εξοπλισμός μονόπλευρης λείανσης και στίλβωσης για το φινίρισμα επιφανειών δισκίων.
ιβ.
εξοπλισμός διασύνδεσης που περιλαμβάνει κοινούς ενιαίους ή πολλαπλούς θαλάμους κενού ειδικά σχεδιασμένους ώστε να επιτρέπουν την ενσωμάτωση σε ένα πλήρες σύστημα οποιουδήποτε εξοπλισμού που υπάγεται στο σημείο X.B.I.001·
ιγ.
εξοπλισμός «ελεγχόμενος από αποθηκευμένο πρόγραμμα» που χρησιμοποιεί «λέιζερ» για την επισκευή ή την περίκοψη «μονολιθικών ολοκληρωμένων κυκλωμάτων» με οποιοδήποτε από τα ακόλουθα χαρακτηριστικά: 1.
ακρίβεια τοποθέτησης μικρότερη από ± 1 μικρόμετρο· ή
2.
μέγεθος κηλίδας (πλάτος αρμού κοπής) μικρότερο από 3 μικρόμετρα.
Τεχνική σημείωση: Για τους σκοπούς του σημείου X.B.I.001.β.1, ως «ιοντοβολή» νοείται η τεχνική επίχρισης με επίστρωση στην οποία θετικά φορτισμένα ιόντα επιταχύνονται από ηλεκτρικό πεδίο και κατευθύνονται στην επιφάνεια ενός στόχου (επιχριστικό υλικό).
Η κινητική ενέργεια των προσπιπτόντων ιόντων αρκεί για να προκαλέσει την ελευθέρωση των επιφανειακών ατόμων του στόχου και την εναπόθεσή τους στο υπόστρωμα.
(Σημείωση: Η ιοντοβολή με τρίοδο, μάγνητρο ή ραδιοσυχνότητες με σκοπό την αύξηση της πρόσφυσης της επίχρισης και του ρυθμού εναπόθεσης αποτελούν συνήθεις τροποποιήσεις της διεργασίας.).
L 67/27