2.3.2022
CS
Úřední věstník Evropské unie
2.
zařízení speciálně konstruovaná pro dosažení drsnosti aktivního povrchu zpracované destičky s hodnotou 2 sigma nejvýše 2 mikrometry, metoda T.I.R. (rozdíl mezi maximální a minimální naměřenou hodnotou);
Poznámka: Položka X.B.I.001.b.1.k nezahrnuje jednostranná lapovací a lešticí zařízení pro konečnou povrchovou úpravu destiček.
l.
propojovací zařízení, která zahrnují společné jednoduché nebo vícečetné vakuové komory speciálně konstruované tak, aby umožňovaly integraci jakéhokoliv zařízení zahrnutého do položky X.B.I.001 do úplného systému;
m.
zařízení „řízená uloženým programem“, která používají „lasery“ pro opravy nebo úpravy „monolitických integrovaných obvodů“, s některou z těchto vlastností: 1.
přesností nastavení polohy menší než ± 1 mikrometr nebo
2.
stopou paprsku (šířkou řezu) menší než 3 mikrometry.
Technická poznámka: Pro účely položky X.B.I.001.b.1 se ‚naprašováním‘ rozumí proces vytvoření povlaku, při němž se v elektrickém poli urychlují kladně nabité ionty směrem k povrchu terče (povlakový materiál).
Kinetická energie dopadajících iontů je dostatečná k tomu, aby způsobila uvolnění atomů z povrchu terče a jejich uložení na substrát.
(Poznámka: běžnou modifikací tohoto procesu je triodové, magnetronové nebo vysokofrekvenční naprašování za účelem zvýšení přilnavosti povlaku a rychlosti nanášení.)
L 67/27