Entegre devre fabrikasyonu ve Türkiye'deki yeri
Integrated circuit fabrication and place of it in Turkey
Yazar: GÜNGÖR DURDU
Danışman: Y.DOÇ.DR. VATAN TUĞAL
Marmara Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Elektronik-Haberleşme Eğitimi Ana Bilim Dalı
Derece: Yüksek Lisans, 2000
Konu: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği = Electrical and Electronics Engineering
Dizin: Elektronik endüstrisi = Electronic industries ; Tümleşik devreler = Integrated circuits ; Yarı iletkenler = Semiconductors

Özet:
ÖZET Dünya elektronik sanayi pazarı; 90'h yılların başından bu yana ortalama %12'lik bir artış göstererek 1994 yılı itibariyle yaklaşık olarak 1.1 trilyon Dolara (ABD) ulaşmıştır. Bu gelişim ile dünyanın bir numaralı pazarı konumuna gelmiştir. Türkiye açısından bakıldığında ise tam bir elektronik endüstrisinden söz etmek mümkün değildir. Mikroelektronik alanındaki çalışmalar ise bazı özel şirketler ve üniversiteler ile sınırlı kalmaktadır. 1980'li yılların başından itibaren ağırlıklı olarak Silisyum tümdevre üretimine yönelen yan iletken pazarı 1994 yıhnda 100 milyar Doları (ABD) aşmış olup 2000'li yılların başında 200 milyar Dolara (ABD) ulaşması beklenmektedir. Yan iletken pazarının %85'ini oluşturan tümdevre (IC) payının yerd asrın başında %901ara ulaşması beklenmektedir. Tümdevre gelişiminin anahtan tümdevre teknik ve teknolojilerinin geliştirilmesidir. Tümdevre üretim tekniklerinin başında yan iletken malzemelerin hazırlanması gelir. Kristal yapılı pullar oluşturulduktan sonra monolitik devrelerde en çok kullanılan planar teknoloji teknikleri kullanılarak tümdevre fabrikasyonu gerçekleştirilir. 1. Bölümde temel tümdevre üretim teknikleri ve Örnek tümdevre elemanların üretilmesi, 2. Bölümde de tümdevre üretim teknolojileri ve Bilgisayarlı Üretim yapan fabrika yapısı, özellikleri ve otomasyonu anlatılmaktadır. Elektronik kontrol gün geçtikçe otomatücleşen ve netice olarak daha fâzla hassaslaşan ve kaliteli imalata yönelen endüstri kollarına tamamen girmiş, bütün bilim dallarında laboratuarlar, tıpta muayene, tedavi ve ameliyat odalan elektronik cihaz ve sistemlerle donatılmıştır. 3. Bölümde elektronik endüstrisinin dünyadaki ve Türkiye'deki durumu, 4. Bölümde de mikroelektronik endüstrisinin dünyadaki ve Türkiye'deki durumu irdelenmektedir. Üniversitenitı işlevi ise gerek sanayi gerekse üniversite için yetişmiş insan ve bilgi üretmektir. 5. Bölümde tümdevre fabrikasyonu konusunda Türkiye ve dünyadaki üniversite, Ar&Ge merkezleri ile özel kuruluşların çalışmalan, 6. Bölümde de tümdevre fabrikasyonun geleceği açıklanmaktadır. II

Abstract:
ABSTRACT World electronics industry market in the world increased to 1.1 trillion USD (1994) by 12% icrease yearly after 90s. By the performance of it, electronics market became the number one market in the world. In the aspect of Turkey, h is impossible to speak about an electronics industry. The studies about microelectronics are also limited by some private companies and universities. By the beginning of 1980s, semiconductor market has heavly manufactured Si Integrated Circuits (IC). Semiconductor market reached 100 billion USD by the year 1994 and it is expected to reach 200 billion USD by the beginning of 2000. Market share of IC in the semiconductor market is 85% and it is predicted to be 90% by the beginning of new century. The key of IC progress is advances of IC techniques and technologies. Semiconductor material preparation is the initial stage of the IC manufacturing techniques. After crystall wafer had formed, IC fabrication processes have performed using planar technology techniques, mostly used techniques in monolithic circuits. In Chapter 1, basic IC manufacturing techniques and IC component manufacturing are held. IC manufacturing technologies and Computer Integrated Manufacturing (CIM) used factory structure, properties and automation are described in Chapter 2. Microelectronics industry is the leading power of the electronics industry. Day by day, electronic control has entered all the industry branches which manufacture qualified products with sensitive automation lines. All the scientific laboratories and medical diagnosis, treatment, surgery rooms are equipped with electronic devices and systems. In Chapter 3, the position of electronics industry and Chapter 4, the position of microelectronics industry both in the world and in Turkey are described. The function of universities to educate qualified human and to produce information to both industry and universities. In Chapter 5, IC fabrication studies of universities, Research and Development Centers and private companies both in Turkey and in the world are discussed. Future of IC fabrication is also studied In Chapter 6. ni