Elektronik kart üretim alanları için temiz oda tasarım parametrelerinin incelenmesi
Examination of clean room design parameters for electronic card production areas
Yazar: SERHAT BALABAN
Danışman: DOÇ. DR. AYHAN ONAT
Marmara Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı / Makine Mühendisliği Bilim Dalı
Derece: Yüksek Lisans, 2020
Konu: Makine Mühendisliği = Mechanical Engineering

Özet:
Temiz oda tasarımının genellikle hastanelerdeki ameliyathane veya yoğun bakım üniteleri için yapıldığı düşünülür fakat elektronik kart üretim alanlarında, elektronik proses alanlarında, ilaç üretim alanları veya kimyasal üretim alanları gibi daha birçok alanda temiz oda tasarımı ve uygulamalarına ihtiyaç duyulmaktadır. Günümüzde temiz odalara ilişkin standartlar ve sınıflar mevcut olup tasarım kriterleri buna bağlı kontrol edilmektedir. Teorik çalışmalar haricinde bir ortamda kirletici maddelerin oluşumu engellenemez fakat mahale belirli miktarda taze hava verilmesi, mahalden kirli havanın egzoz edilmesi ya da yeniden filtrelenmesi ile istenilen hava şartları sağlanabilir. Temiz odalarda özellikle sıcaklık ve nemin kontrolü amaçlanmaktadır. Elektronik kart üretim alanlarında öncelikle statik elektrik oluşumunu engellemek için belirli bir nem oranı sağlanmalıdır. Üretilen ürünlerin özel şartları dışında bu mahalde çalışan insanların terleme ve benzeri yollarla kirletici oluşturmamaları önemlidir. Genel olarak temiz odalarda canlı ve cansız kirleticiler, sıcaklık, nem değeri, hava akış yönleri ve basınç değerleri kontrol altında tutulmalıdır. Bu çalışmada, öncelikle temiz oda terminolojisi ve tasarım kriterleri hakkında genel bilgi verilmiş, ardından elektronik proseslerin gerçekleştirileceği laboratuvar ortamı servis bölgesi iklimlendirme sistem tasarımında izlenecek yöntem tanıtıldıktan sonra, temiz oda klima santrali tasarımı yapılmıştır. 
Elektronik proseslerin gerçekleştirildiği ortamlar için temiz oda havalandırma sistemi oldukça iyi tasarlanmalıdır. Bu nedenle, tez çalışması sırasında havalandırma sistemi tasarım şeması hazırlanmış, şema hazırlanırken mahale yapılacak dağıtıma göre teorik bir kanal güzergahı, hava debisi, ısı kayıp kazanç tablosu belirlenmiştir. Tasarım şemasının tamamlanmasının ardından kanal basıncı, üfleme sıcaklığına bağlı ısıtma soğutma yükü, üfleme ve emiş hava debisi gibi parametreler göz önünde bulundurularak klima santralinde bulunan tüm donanımların seçimleri yapılmıştır. Uygulamada klima santraline bağlı mahalden ortamdaki partikül sayısı, sıcaklık ve nem değerleri alınarak çalışma tamamlanmıştır.

Abstract:
Clean room design is generally thought to be made for operating theaters or intensive care units in hospitals but there is a need for clean room design and applications in electronic card production areas, electronic process areas, pharmaceutical production areas or chemical production areas. Today there are standards and classes for clean rooms and design criteria are controlled accordingly. Apart from theoretical studies, the formation of pollutants in an environment cannot be prevented, but the desired air conditions can be achieved by supplying a certain amount of fresh air to the room, exhausting or re-filtering the polluted air from the room. In clean rooms, especially temperature and humidity control is aimed. In the electronic board production areas, a certain humidity should be provided to prevent the formation of static electricity firstly. Apart from the special conditions of the products produced, it is important that people who are working in this area do not form pollutants through perspiration and the like. In general, animate/inanimate pollutants, temperature, humidity, air flow direction and pressure should be kept under control in clean rooms. In this study, firstly, general information about clean room terminology and design criteria are given. Then, after introducing the method to be followed in the design of the laboratory environment air conditioning system where electronic processes service zone will be performed, clean room air handling unit design made.
Clean room ventilation system should be designed very well for electronic processes. Therefore, a ventilation system design scheme prepared during the thesis study, a theoretical channel route, airflow rate and heat loss gain table determined according to the distribution of the air to be made in the room. Following the completion of the design scheme, all equipment in the air handling unit has selected by taking into account the parameters such as duct pressure, heating and cooling load depending on the blowing temperature, blowing flow, and suction airflow. In practice, the thesis study completed by taking the number of particles, temperature, and humidity values from the environment connected to the air handling unit.