Au-Ag ince filmlerinin üretilmesi ve bazı XRF parametrelerinin incelenmesi
Production of Au-Ag thin films and investigation of XRF parameters
Yazar: ALATTİN AKYAZI
Danışman: PROF. DR. ÖMER SÖĞÜT
Kahramanmaraş Sütçü İmam Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Fizik Ana Bilim Dalı
Derece: Yüksek Lisans, 2018
Konu: Fizik ve Fizik Mühendisliği = Physics and Physics Engineering
Dizin: Spektroskopi = Spectroscopy ; Spektrum = Spectrum ; Spektrum analizi = Spectrum analysis ; X ışını = X ray ; X ışını flüoresan analizi = X ray fluorence analysis ; X ışını fotoelektron spektroskopisi = X ray photoelectron spectroscopy ; X ışını spektrometresi = X ray spectrometer ; X ışını spektroskopisi = X ray spectroscopy

Özet:
Bu araştırmada, termal buharlaştırma yöntemi ile çeşitli konsantrasyonlarda Au-Ag ince filmleri üretildi. Üretilen ince filmlerin atomik yüzde konsantrasyonları ve yüzey morfolojik yapıları EDX-SEM sistemi ile, yapısal özellikleri XRD sistemi ile ve elektronik özellikleri (X-ışını yayımlama ihtimalleri) XRF tekniği ile incelendi. XRF sisteminde, numuneleri uyarmak için 50 mCi şiddetinde 59.5 keV enerjili fotonlar yayınlayan bir 241Am radyoizotop kaynağı kullanıldı. Numunelerden yayınlanan karakteristik KX- ve LX-ışınlarını saymak için bir LEGe katıhal dedektörü kullanıldı. XRD spektrumlarından, Au katkılı Ag ince film numunelerinin kristal yapılarının temel olarak Fm3m uzay grubu ile kübik geometride olduğu tespit edildi. Ag' nin Kβ/Kα X-ışını şiddet oranları, (Ag-Au) ince filmlerinde gümüş konsantrasyonunun artması ile artmıştır. Benzer olarak Au'nun Lβ/Lα X-ışını şiddet oranları ince film numunelerinde altın konsantrasyonunun artması ile artmıştır. İnce film numunelerinde ölçülen Kβ/Kα ve Lβ/Lα X-ışını şiddet oranları literatürdeki diğer araştırmacılarının değerleri ile karşılaştırıldı. SEM sisteminde yüzey morfolojisi analizlerinden (Ag-Au) ince filmlerinin homojen olarak kristalize olduğu görüldü.


Anahtar Kelimeler: XRD, ince film, XRF, EDX, SEM, X-ışını

Abstract:
In this study, Au-Ag thin films were produced at various concentrations by thermal evaporation method.The atomic percentages and morphological structures of the produced thin films were examined in the EDX-SEM system, the structural properties were investigated in the XRD system and the electronic properties were investigated (X-ray emission possibilities) by XRF technique.In the XRF system, a 241Am radioisotope source was used to emit 59.5 keV energized photons at 50 mCi intensity to excite the thin film samples. A LEGe solid state detector was used to count the characteristic KX- and LX-rays emitted from the specimens. From the XRD spectra, it was determined that the crystal structures of Au-doped Ag thin film samples were mainly in the cubic geometry with Fm3m space group.The Kβ/Kα X-ray intensity ratios of Ag in thin film samples have been increased by increasing the silver concentration in (Ag-Au) thin films.Similarly, the Lβ/Lα X-ray intensity ratios of Au were increased by increasing the gold concentration in the thin film samples.The Kβ/Kα and Lβ/Lα X-ray intensity ratios measured in thin film samples were compared with the results of those of the other researchers in the literature. In the SEM system, the surface morphology analysis of (Ag-Au) thin film samples revealed that the thin films were homogeneously crystallized.


Key words: X-ray, XRD, XRF, EDX, SEM, thin film