hakansabunis/tr-academic-research-agent-index huggingface dataset:
Yenilenebilir enerji teknolojilerinin enerji sistemine entegrasyonu ve ilgili destekleme mekanizmalarının değerlendirilmesi
Integration of renewable energy technologies to the energy system and evaluation of related support mechanisms
Yazar: İBRAHİM ERDEN
Danışman: DOÇ. DR. MÜMİN KÜÇÜK
Ege Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Güneş Enerjisi Ana Bilim Dalı / Enerji Teknolojisi Bilim Dalı
Derece: Doktora, 2024
Konu: Enerji = Energy
Dizin: Elektrik piyasası = Electric market ; Elektrik şebekesi = Elektrical grid ; Enerji piyasası = Energy market ; Güneş enerjisi = Solar energy ; Mali teşvik sistemi = Fiscal suppart system ; Rüzgar enerjisi = Wind energy ; Vergi teşvikleri = Tax incentives ; Yatırım teşvikleri = Investment incentives ; Yenilenebilir enerji = Renewable energy

Özet:
Bu tezde, Türkiye elektrik piyasasında yenilenebilir enerji teknolojilerinin enerji sistemine entegrasyonu incelenmiştir. Çalışmada, bu entegrasyon süreçleri stratejik, yasal, teknik ve ticari yaklaşımlar kullanılarak değerlendirilmiştir. Çeşitli ülkelerde kullanılan destek mekanizmaları karşılaştırmalı olarak analiz edilmiş ve yenilenebilir enerji projeleri üzerindeki etkileri değerlendirilmiştir. 
Çalışma, yenilenebilir enerji projelerinin entegrasyonunda kullanılan çeşitli teşvik modelleri ve finansman mekanizmalarını incelemektedir. Vaka çalışmaları aracılığıyla, başta rüzgâr enerjisi projeleri olmak üzere yenilenebilir enerji projelerinin teknik ve ticari başarı faktörleri incelenmektedir.
Çalışmanın bulguları, Türkiye'de yenilenebilir enerji projelerinin entegrasyonunda kullanılan teşvik modellerinin enerji güvenliği ve sürdürülebilir kalkınma hedeflerine ulaşılmasına önemli ölçüde katkıda bulunduğunu göstermektedir. Ayrıca, küresel enerji stratejileriyle karşılaştırıldığında, Türkiye'nin teşvik düzenlemelerinin yenilenebilir enerji yatırımlarını teşvik etme kapasitesinin olduğu fakat mutlaka iyileştirilmesi gerektiği sonucuna varılmıştır.

Abstract:
In this dissertation, the integration of renewable energy technologies into the energy system in the Turkish electricity market is investigated. In the study, these integration processes are evaluated using strategic, legal, technical, and commercial approaches. The support mechanisms used in various countries are analysed comparatively, and their effects on renewable energy projects are evaluated. 
The study investigates various incentive models and financing mechanisms used in the integration of renewable energy projects. Through case studies, the technical and commercial success factors of renewable energy projects, particularly wind energy projects, are examined.
The study's findings show that the incentive models used to integrate renewable energy projects in Turkey contribute significantly to meeting energy security and sustainable development goals. It is also concluded that, when compared to global energy strategies, Türkiye's incentive arrangements have a capacity to encourage renewable energy investments but needs to be improved.
Vitrin tasarımının hazır giyim ürünlerini satın alma davranışlarına etkisi
The effects of store window design on clothing buying behavior
Yazar: BUSE COŞKUN UZA
Danışman: DOÇ. DR. SEHER KANAT
Ege Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Tekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı / Tekstil Mühendisliği Bilim Dalı
Derece: Yüksek Lisans, 2024
Konu: Tekstil ve Tekstil Mühendisliği = Textile and Textile Engineering

Özet:
Mağaza atmosferinden ön plana çıkan unsurlardan birisi olan mağaza vitrini markaların tüketicilerle temas ettikleri ilk noktadır. Görselliği yüksek olan ve dikkat çekici bir şekilde tasarlanmış bir mağaza vitrini tüketicileri kendisine ve dolayısıyla mağazaya çekmekte ve tüketicilerin ilgili mağazadan alışveriş yapmasına neden olmaktadır. 
Bu bağlamda, bu tez, vitrin tasarımının hazır giyim ürünlerini satın alma davranışlarına etkisini analiz etmeyi amaçlamaktadır. Araştırmanın amacı doğrultusunda, Türkiye'nin üç büyük ilinde (İstanbul, Ankara ve İzmir) yaşayan 18 yaş ve üzerindeki tüketicilere yönelik bir anket çalışması gerçekleştirilmiştir.  Saha araştırması ile elde edilen veriler istatistiki olarak analiz edilerek elde edilen bulgular ışığında hazır giyim ürünleri üreten işletmelere önerilerde bulunulmuştur.  Araştırma kapsamında elde edilen verilere göre tüketiciler hazır giyim ürünlerini satın alırlarken fiyat bilgilerinin verildiği, aydınlık ve teması/hikayesi olan vitrin tasarımlarından daha fazla etkilenmektedirler. Ayrıca vitrinlerdeki renk kullanımından etkilenmekte ve vitrin tasarımının hazır giyim mağazalarına girmelerinde ve ürün seçimlerinde etkili olduğunu belirtmektedirler.

Abstract:
Store window, which is one of the prominent store atmosphere factors, is the first point where consumers and brands interact with each other. A store window, which is attractively designed and possesses a high visual quality, attracts the consumers to the store and causes them to shop from this store. 
In this context, this thesis aims to analyze the effects of store window design on clothing buying behavior. In accordance with this aim, a survey is conducted to consumers, whose ages are 18 and over and who live in three biggest cities of Türkiye (İstanbul, Ankara and İzmir). The data, which are obtained from field research, are analyzed statistically and suggestions are made to clothing enterprises, on the basis of the findings. According to the obtained results within the scope of research; consumers are more affected from clothing store window designs, which have bright designs, in which price informations are given and which possess a theme or tell a story. Besides, they are affected from color use within the clothing store window design and they indicate that store window design is effective on their entrance to clothing stores and on their clothing product selections.
Türkiye ve Avrupa'da konut proje geliştirme ve yatırımlarının teknik parametrelerle incelemesi
Investigation of residential project development and investment in Turkey and Europe based on technical parameters
Yazar: EMRE ALTUNTAŞ
Danışman: DOÇ. DR. EBRU ERİŞ
Ege Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / İnşaat Mühendisliği Ana Bilim Dalı / İnşaat Mühendisliği Bilim Dalı
Derece: Yüksek Lisans, 2024
Konu: İnşaat Mühendisliği = Civil Engineering

Özet:
Bu çalışmada; Avrupa'da yapımı ve kullanımı çok yaygın olan ve "Family House" olarak tanımlanan yapıların proje kriterleri, yapım yöntemleri, ruhsatlandırma gibi temel parametreler açısından incelenmesi ve maliyet analizinin yapılması hedeflenmiştir. 
Bu incelemenin, akademik literatürde anlamlı bir yer alabilmesi için iki örnek proje üzerinde çalışılmıştır. Türkiye'den özellikle orta Avrupa'ya yatırım ve taahhüt maksadıyla girişim hedefinde olan Türk mühendislik ve taahhüt firmalarına fikir vermesi maksadıyla benzer yapıların Türkiye'de meri standartlar ile teşkil edilmesi ile Avrupa'da Eurocode ve AB standartları çerçevesinde teşkil edilmesi tüm anlamlı parametreler açısından mukayese edilmiştir.
Mukayese konusu örnek proje alanı Avrupa'da Çek Cumhuriyeti'nin başkenti Prag ve Türkiye'de İstanbul'da seçilmiştir. Benzer mimari niteliklerde bir projenin tasarım yapım süreçleri incelenmiştir. Bu iki farklı noktada tasarım ve yapım süreçlerinde öncelikler, karşılaşılan zorluklar ve çözüm esneklikleri örneklerle analiz edilmiştir.
Ruhsat aşamasından başlayarak tasarım kriterleri, standartlar, malzeme ve iş gücü kaynakları, yapım metotları, ruhsat ve inşaat süreçleri karşılaştırmalı olarak ele alınmış, maliyet mukayesesine yer verilmiştir.

Abstract:
In this study; it is aimed to examine and cost analyze the structures defined as "Family House", which are widely built and used in Europe, in terms of basic parameters such as project criteria, construction methods, licensing and cost. 
In order for these analyses and evaluations to have a meaningful place in the academic literature, two sample projects were studied. In order to give an idea to the Turkish engineering and contracting firms from Turkey, which aim to venture into central Europe for investment and contracting purposes, the construction of similar structures in Turkey with the current standards and the construction of similar structures in Europe within the framework of Eurocode and EU standards have been compared in terms of all meaningful parameters.
The sample project area subject to comparison was selected in Prague, the capital of the Czech Republic in Europe and Istanbul in Turkey. The design and construction processes of a project with similar architectural qualities were analyzed. Sensitivity priorities, difficulties encountered and solution flexibilities in the design and construction processes in these two different locations were analyzed with examples.
Starting from the license stage, design criteria, standards, material and labor resources, construction methods, license and construction processes are discussed comparatively and cost comparisons are included.
Yetişkinlerin iyi oluş düzeylerinin yordanmasında pozitif şemaların rolü: Şema terapi modeli çerçevesinde bir inceleme
The role of positive schemas in predicting adults' level of well-being: An investigation within the framework of schema therapy model
Yazar: AFRA SU YORTAN
Danışman: DOÇ. DR. BURCU PAMUKÇU KARASU
Ege Üniversitesi / Eğitim Bilimleri Enstitüsü / Eğitim Bilimleri Ana Bilim Dalı
Derece: Yüksek Lisans, 2024
Konu: Eğitim ve Öğretim = Education and Training ; Psikoloji = Psychology
Dizin: PERMA modeli = PERMA model ; Pozitif şemalar = Positive schemas

Özet:
Bu araştırmanın amacı yetişkinlerin PERMA Modeli'ne göre çok boyutlu iyi oluşunu yordamada sahip oldukları pozitif şema alanlarının rolünü incelemektir. Bu kapsamda değerlilik, iyimserlik, güven, başarı ve öz-yetkinlik pozitif şema alanlarının PERMA Modeli'ne göre çok boyutlu iyi oluşu (olumlu duygular, bağlanma, olumlu ilişkiler, anlam, başarı) yordama gücü incelenmiştir. Yapılan araştırmanın modeli ilişkisel araştırma modeli olup, araştırmanın katılımcıları kolay ulaşılabilir örnekleme yöntemi ile belirlenmiştir. Araştırma kapsamında 25-40 yaş aralığında 293 kadın ve 107 erkek olmak üzere toplam 400 katılımcıdan veri toplanmıştır. Araştırmanın verileri Kişisel Bilgi Formu, PERMA Ölçeği ve Pozitif Şemalar Ölçeği aracılığıyla elde edilmiştir. Verilerin analizinde çoklu regresyon analizi kullanılmıştır. Yapılan analizler sonucunda, PERMA Modeli'ne göre çoklu iyi oluşun pozitif şemalar tarafından %60.2 oranında açıklandığı görülmektedir. Sonuçlar incelendiğinde, yetişkinlerde PERMA Modeli'ne göre çok boyutlu iyi oluşun; başarı, iyimserlik ve değerlilik pozitif şema alt boyutları tarafından pozitif yönde anlamlı düzeyde yordandığı; öz-yetkinlik ve güven pozitif şema alt boyutlarının ise çok boyutlu iyi oluşu yordamada anlamlı bir yordayıcı olmadığı sonucuna ulaşılmıştır.

Abstract:
The purpose of this study is to examine the role of positive schema domains on predicting adults' well-being according to the PERMA Model. In this context, the predictive power of positive schema domains such as worthiness, optimism, trust, success, and self-efficacy to predict well-being (positive emotions, engagement, positive relationships, meaning, achievement) based on the PERMA Model was examined. The model of the study is correlational research model, and the participants of the study were determined by convenience sampling method. Data were collected from a total of 400 participants, including 293 women and 107 men between the ages of 25-40. Data were obtained through a Personal Information Form, PERMA Scale, and Positive Schemas Scale. Multiple regression analysis was used to analyze the data. The results showed that the positive schemas explained 60.2% of the multidimensional well-being according to the PERMA Model. The results indicated that multidimensional well-being in adults, according to the PERMA Model, was positively and significantly predicted by the positive schema sub-dimensions of success, optimism, and worthiness. However, the sub-dimensions of self-efficacy and trust were not predictors of multidimensional well-being.
Çeşitli graflarda bazı baskınlık türlerinin incelenmesi üzerine
On examination of some domination types in various graphs
Yazar: BÜŞRANUR KAYTAZ
Danışman: DOÇ. DR. AYŞEGÜL ÇAKSU GÜLER
Ege Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Matematik Ana Bilim Dalı / Matematik Bilim Dalı
Derece: Yüksek Lisans, 2024
Konu: Matematik = Mathematics
Dizin: Baskınlık = Dominance ; Bulanık kümeler = Fuzzy sets ; Graf teori = Graf theory

Özet:
Bulanık graf kavramı ve onun genişletilmiş varyasyonları; karar verme, ağ oluşturma, en kısa yol ve benzeri gibi belirsizlikler de dahil olmak üzere birçok gerçek dünya sorununu ele almak için tasarlanmıştır. Bulanık graf teorisinde, belirsizliğin üyelik ve üye olmama değerlerindeki farklılıkların genelleştirilmesi, bu çalışmanın temelini oluşturmaktadır. Bulanık graf çeşitleri üzerinde baskınlık tanımı kullanılarak günlük hayat problemlerinin çözümünün kolaylaştırılmasına katkı sağlanmıştır.
Bu tezde bulanık graf, iki kutuplu bulanık graf, (2,1)-bulanık graf kavramlarının baskınlığı ele alınmıştır. Bulanık graflar ve bulanık graflarda baskınlık incelenmiştir. İki kutuplu bulanık graflar, iki kutuplu bulanık graflarda baskınlık ve uygulaması çalışılmıştır. Yeni bir kavram olan (2,1)-bulanık graflar, (2,1)-bulanık graflarda baskınlık tanımları yapılmış olup bu baskınlık üzerinde bir uygulama ele alınmıştır.

Abstract:
Fuzzy graph consept and its extended variations; designed to address many real-world problems, including uncertainties such as decision making, networking, shortest path, and so on. The generalization of fuzzy graph theory and the differences in membership and non-membership values of uncertainty forms the basis of this study. Additionally, by using the domination definition on fuzzy graph types, it has contributed to facilitating the solution of daily life problems.
The aim of this thesis is to present the domination of the concepts of fuzzy graph, bipolar fuzzy graph, (2,1)-fuzzy graph. In the first part, fuzzy graphs and domination in fuzzy graphs are examined. In the second part, bipolar fuzzy graphs, domination in  bipolar fuzzy graphs and its application are studied. In the last chapter, a new concept, (2,1)-fuzzy graphs and domination in (2,1)-fuzzy graphs are defined and an application on this domination is discussed.
Yüksek mertebeden ayrık kesirli lineer olmayan sınır değer problemlerin çözümlerinin varlığı üzerine
On the existence of solutions for higher order nonlinear discretefractional boundary value problems
Yazar: BUSE IŞIKSUNGUR
Danışman: PROF. DR. FATMA SERAP TOPAL
Ege Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Matematik Ana Bilim Dalı
Derece: Doktora, 2024
Konu: Matematik = Mathematics
Dizin: Fonksiyonel analiz = Functional analysis

Özet:
Giri³ ksm hariç, bu tez dört ksmdan olu³maktadr.
kinci ksmda, kesirli nabla analiz ile ilgili tanm, lemma ve teoremlerden
bahsedilmi³tir.
Üçüncü ksmda 0 < ξ < 1, A : C(N
b
a+2, R) −→ R, r : N
b
a+2 × R −→ R
olmak üzere
−∇ξ+1y(t) = Ay(t) + r(t, y(t)), t ∈ N
b
a+2
y(a + 1) = 0,
y(b) = θ∇y(η)
üç nokta snr de§er probleminin Green fonksiyonu elde edilmi³ ve bu üç
nokta snr de§er problemi için Banach ve Brouwer sabit nokta teoremleri
kullanlarak çözümlerin varl§ndan bahsedilmi³tir. Ayrca üçüncü bölümde
Ulam Hyers ve genelle³tirilmi³ Ulam Hyers kararll§ndan da bahsedilerek
problemin kararll§ üzerine bilgiler sunulmu³tur.
Dördüncü ksmda bir önceki bölümde bahsetti§imiz üç nokta snr de§er
problemnin daha özel hali olan genelle³tirilmi³ ayrk kesirli üç nokta snr de§er
problemini ala alaca§z.
Yani 0 ≤ ξ < 1, ψ2 + ζ
2 > 0 ve κ2 + θ
2 > 0, p : N
b
a+1 −→ (0,∞) ³ekilde
tanml olmak üzere
−∇ξ
a
(p∇y)(t) =f(t, y(t)), t ∈ N
b
a+2
ψy(a + 1) − ζ∇y(a + 1) =0,
κy(b) + θ∇y(η) =0,
viii
³eklinde tanml snr de§er problemini ele alaca§z.Bu problem p(t) = 1 ve
ψ = 1, ζ = 0 κ = −1 durumunda üçüncü bölümdeki probleme dönü³ür.
Ayn zamanda dördüncü bölümde sabit nokta teoremlerinin en önemlileri olan
Brouwer, Banach ve Schefer's sabit nokta teoremlerini çözümlerin varl§n
söylemek için kullanaca§z.
Ayrca bölümlerin hepsinde elde edilmi³ sonuçlar örneklerle desteklenmi³tir.
Be³imci ksmda ise bu tezle ilgili baz sonuçlardan bahsedilmi³tir.

Abstract:
In the second chapter, rstly denitions and theorems related nabla
fractional calculus are involved.
In the third chapter, we will consider three point boundary value problem
−∇ξ+1y(t) = Ay(t) + r(t, y(t)), t ∈ N
b
a+2
y(a + 1) = 0,
y(b) = θ∇y(η)
0 < ξ < 1, A : C(N
b
a+2, R) −→ R, r : N
b
a+2 × R −→ R, by using the Brouwer
xed point theorem and the Banach xed point theorem. Furthermore, we
have established the stability of this problem in the sense of Hyers and Ulam.
Examples are given which illustrate the eectiveness of the theoretical results.
In the fourth chapter, using xed point theorems, we will obtain the
existence results for the following fractional boundary value problem
−∇ξ
a
(p∇y)(t) =f(t, y(t)), t ∈ N
b
a+2
ψy(a + 1) − ζ∇y(a + 1) =0,
κy(b) + θ∇y(η) =0,
where 0 ≤ ξ < 1, ψ2 + ζ
2 > 0 and κ2 + θ
2 > 0 such that p : N
b
a+1 −→ (0,∞)
y are dened on Na+1. Establishing the Green's function associated with the
above boundary value problem, we will give the sucient conditions to ensure
the existence of solutions for this problem.
In addition, the results obtained in all sections are supported with examples.
In the fth chapter, some results related to this thesis are mentioned.
İnmeli hastalarda sağlık okuryazarlığı ve ilaç uyumu arasındaki ilişkinin incelenmesi
Examining the relationship between health literacy and medication compliance in stroke patients
Yazar: İSMAİL ESKİN
Danışman: DOÇ. DR. RENGİNAR ÖZTÜRK DÖNMEZ
Ege Üniversitesi / Sağlık Bilimleri Enstitüsü / Halk Sağlığı Hemşireliği Ana Bilim Dalı
Derece: Yüksek Lisans, 2024
Konu: Hemşirelik = Nursing

Özet:
Özet
İnmeli Hastalarda Sağlık Okuryazarlığı ve İlaç Uyumu Arasındaki İlişkinin İncelenmesi

Bu tez çalışmasında, inmeli hastalarda sağlık okuryazarlığı ve ilaç uyumu arasındaki ilişkinin incelenmesi amaçlanmıştır. Tanımlayıcı ilişkisel tasarımda olan çalışma, "Ege Üniversitesi Tıp Fakültesi Hastanesi Nöroloji Polikliniği''nde 30 Nisan-15 Temmuz 2024 tarihleri arasında yürütülmüştür. Örneklem büyüklüğü evreni bilinen örneklem formülü ile hesaplanmış ve araştırma örneklemi 120 inmeli hastadan oluşmuştur. Araştırmada veriler, Birey Tanıtıcı Formu, Sağlık Okuryazarlık Ölçeği (SOYÖ) ve İlaç Uyumunu Bildirim Ölçeği (İUBÖ) ile toplanmıştır. Hastaların SOYÖ toplam puan ortalaması 99,24±19,68 ve İUBÖ toplam puan ortalaması 22,74±2,99'dur. Hastaların SOY düzeyiyle ilaç uyumu düzeyi arasında zayıf, pozitif yönde anlamlıdır (r=0.303, p= 0.000).Hastaların eğitim düzeyi, yaşadığı aile tipi, ilacın yan etkilerini bilme ve sağlık kontrolüne düzenli gitme değişkenleri SOYÖ toplam puanı üzerinde anlamlı farklılık oluşturmuştur.  Hastaların en uzun süre yaşadığı yer, ilaçları düzenli almama ve sağlık kontrolüne düzenli gitme değişkenleri İUBÖ toplam puanı üzerinde anlamlı farklılık oluşturmuştur.  

Anahtar Kelimeler: İnme, sağlık okuryazarlığı, ilaç uyumu, hemşirelik

Abstract:
Abstract

Examining the Relationship Between Health Literacy and Medication Compliance in Stroke Patients

This thesis study aimed to examine the relationship between health literacy and medication compliance in stroke patients. The study, which had a descriptive correlational design, was conducted at the "Ege University Faculty of Medicine Hospital Neurology Polyclinic" between 30 April and 15 July 2024. The sample size universe was calculated with the known sampling formula and the research sample consisted of 120 stroke patients. In the study, data were collected with the Individual Identifier Form, Health Literacy Scale (HSRS) and Medication Compliance Reporting Scale (DUBÖ). The patients' mean SOAS total score is 99.24±19.68 and the IUBS total score mean is 22.74±2.99. There is a weak, positive significant difference between the patients' SES level and medication compliance level (r = 0.303, p = 0.000). The variables of the patients' education level, the type of family they live in, knowing the side effects of the medication and regular health check-ups created a significant difference on the total score of the SES.  The variables of where the patients lived for the longest time, not taking medications regularly, and going to health check-ups regularly created a significant difference on the IUBS total score.


Keywords: Stroke, health literacy, medication adherence notification, nursing
Mikro aygıt üretimi için iyon demetli aşındırmanın özelliklerinin incelenmesi
Investigation of ion beam etching for micro device fabrication
Yazar: DİLARA AYGÜN
Danışman: DOÇ. DR. İLBEYİ AVCI
Ege Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Fizik Ana Bilim Dalı / Genel Fizik Bilim Dalı
Derece: Yüksek Lisans, 2024
Konu: Fizik ve Fizik Mühendisliği = Physics and Physics Engineering

Özet:
Bu tez çalışmasında, mikroaygıt üretimi için ince film kaplaması, fotolitografi ve iyon demetli aşındırma işlemleri (IBE) yapılmış ve elde edilen aygıtların aşındırma morfolojisi AFM ile incelenmiştir. Yapılan aşındırma çalışmaları hem direkt olarak cam altlıklara, hem de bu altlıklar üzerine kaplanmış olan ITO ince filmlere uygulanmıştır. Kalınlığı optimize edildikten sonra 200 nm kalınlığında ITO (indiyum kalay oksit) ince filmler RF magnetron püskürtme ile kaplanmış ve bu filmler üzerinde 10-100 mikrometre aralığında değişen genişliklerde aygıt yapılarının desenlenebilmesi için standart UV fotolitografi işlemleri yapılmıştır. Hem cam hem de ince filmler üzerine aktarılan desenler Ar+ iyon demeti ile 90, 60 ve 45 derece açılarla aşındırılmış, böylece istenilen kenar eğimlerine sahip yapılar (özellikle de basamaklı yapılar) elde edilmiştir. Bu yapılar çok katmanlı aygıt üretimi için önemli olup, ince filmlerin katman bütünlüğü bozulmadan daha ince yapılabilmesi, üstün kontak özelliklerine sahip olması ve dolayısıyla daha performanslı aygıtlar elde edilebilmesini sağlayacak niteliktedir. Aygıt yapılarının ince filmler üzerine desenlenmesi esnasında kullanılan ıslak veya kuru aşındırma yöntemlerine etkili bir alternatif olarak IBE yönteminin kullanımı, proses detayları, parametreleri ve elde edilen yapının özellikleri bu tez kapsamında detaylı şekilde incelenmiştir.

Abstract:
In this thesis, thin film deposition, photolithography and ion beam etching (IBE) processes were performed for the fabrication of microdevices and the etching morphologies of obtained devices were investigated by AFM. The etching studies were applied both directly on glass substrates and on ITO thin films deposited on these substrates. With the optimized thickness properties, 200 nm thick ITO (indium tin oxide) thin films were deposited on glass substrates by RF magnetron sputtering and standard UV photolithography were performed to pattern various device structures (10-100 micrometer wide). The patterns transferred on both glass and thin film samples were etched with Ar+ ion beam at 90, 60 and 45 degree angles to obtain step-like structures with desired sidewalls. These structures are important for the fabrication of multilayer devices, enabling the deposition of thinner layers without sidewall coating problems, having superior contact properties with the underlayer and thus enabling the higher performances. The advantages of using the IBE method as an effective alternative to wet or reactive dry etching methods during the patterning of the devices, process details, parameters and properties of the obtained structures have been explained in detail througout the thesis.