Plazma daldırma iyon implantasyonu ve biriktirmesi (PIII&D) ile elde edilen yüzeylerin incelenmesi
Investigation of obtained surfaces by plasma immersion ion implantation and deposition (PIII&D)
Yazar: BURCU TUNCA
Danışman: PROF. DR. SÜLEYMAN KARADENİZ
Dokuz Eylül Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı / Konstrüksiyon ve İmalat Bilim Dalı
Derece: Yüksek Lisans, 2015
Konu: Makine Mühendisliği = Mechanical Engineering

Özet:
Plazma daldırma iyon implantasyonu ve biriktirmesi (PIIID), metallerin mekanik ve kimyasal yüzey özelliklerini modifiye etmek için geliştirilmiş olup, malzemelerin yüzeye yakın bölgesine aşılanmış enerji yüklü iyonları kullanır. PIIID'da numune plazma ortamında, negatif yüksek gerilim darbelerine maruz bırakılır. Elektrik alanı boyunca iyonlar (çoğunlukla azot iyonları), ivmelendirilerek numune yüzeyine aşılanırlar. PIIID işleminin sağladığı en büyük avantaj, numunenin bütün yüzeylerinde (numune tutucu ile temas eden kısmı hariç) eş zamanlı olarak gerçekleşmesidir.
Yapılan bu çalışmada sahip olduğu özellikler nedeniyle son yıllarda pek çok alanda ve özellikle de protez malzemesi olması nedeniyle sağlık endüstrisinde yaygın olarak kullanılan ancak zayıf yüzey sertliği ve aşınma direncinden dolayı makine mühendisliğindeki kullanımları düşük olan Ti6Al4V alaşımının PIIID yöntemi ile azot plazması içerisinde işlem görmüş yüzey ve yüzey altı tabakaların atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ve X-ışını fotoelektron spektroskopisi (XPS) yapılmış, yüzeyde biriktirilen tabakaların elektrokimyasal korozyon direnci davranışları incelenmiştir.
XPS analizi sonucunda Tİ6Al4V alaşımının yüzeyinde işlem süresiyle ve biriktirme gerilimi doğru orantılı, olarak artan zirkonyum (Zr) tabakalarının oluştuğu tespit edilmiş bu tabakalar AFM analizleri ile de desteklenmiştir. Bu tabakaların elektrokimyasal korozyon direnci davranışları incelenmiştir.

Abstract:
Plasma immersion ion implantation and deposition that is developed in order to modify the mechanical and chemical surface properties of metals, use energetic particles (ions) which is implanted the near surface of materials. In PIIID, sample is immersed to plasma and exposed to negative high pulsed voltages. Ions (generally Nitrogen ions) are implanted to sample surface by accelerating ions through the electrical field. Most important advantage of PIIID is the simultaneously implantation at all sides of sample (except the surface of sample that is in contact with substrate holder).
Due to the excellent properties of titanium and its alloys nowadays they are used many industries and commonly used in medical industry especially being the prosthesis material. Ti6Al4V alloy hasn't common usage in mechanical engineering because of having weak surface hardeness and wear resistance. In this thesis, the atomic force microscope (AFM), X-Ray photoelectron spectroscopy (XPS) and electrochemical corrosion resistance of surface and sub-surface layers of Ti6Al4V alloy that are treated by PIII&D method in Nitrogen plasma, are done.
In consequence of the XPS analysis, it is determined that developing of zirconium layers which is increasing directly proportional with deposition voltage and process time at the surface of Ti6Al4V alloy. These layers are supported by AFM analysis. Electrochemical corrosion resistance behavior of this layer were examined.