Yarıiletken nem sensörlerinin geliştirilmesi
Deveplopment of semiconductor humidity sensors
Yazar: KAREN CANSU FERRUH
Danışman: PROF. DR. SÜLEYMAN ÖZÇELİK
Gazi Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Fizik Ana Bilim Dalı
Derece: Yüksek Lisans, 2021
Konu: Fizik ve Fizik Mühendisliği = Physics and Physics Engineering
Dizin: Altın film elektrot = Gold film electrode ; Gümüş elektrotlar = Silver electrodes ; Metal-yarı iletken sistemler = Metal-semiconductor systems ; Nem sensörleri = Humidity sensors

Özet:
Bu tez çalışmasında, esnek (kapton) ve esnek olmayan (Al2O3) alttaşlar üzerine titanyum dioksit (TiO2) ve kalay dioksit (SnO2) algılama katmanına sahip nem sensörleri geliştirildi. Temelde nem sensörleri alttaş, elektrot ve aktif/algılayıcı katman olmak üzere üç katmandan oluşur. Sensörlerin elektrotları iki farklı teknikle oluşturuldu: İlk olarak, vakumlu kaplama tekniklerinden eş-püskürtme ve ısıl buharlaştırma yöntemi ile 4 x 7 mm2 lik Al2O3 alttaşlar üzerine Altın (Au) ve Platin (Pt) kaplanarak vakumsuz ortamda lazer ablasyon ile iki farklı desene sahip elektrotlar oluşturuldu. İkinci olarak, vakumsuz kaplama tekniklerinden biri olan mürekkepli baskı (ink-jet) tekniği ile Gümüş (Ag) elektrotlar inkscape programı ile kapton alttaşlar üzerine işlendi. Al2O3 alttaşlar üzerine işlenen elektrotların üzerine püskürtme yöntemi ve vakumsuz kaplama tekniklerinden; daldırma, doktor bıçağı ve ultrasonik banyo kaplama tekniği ile aktif katman kaplandı. Kapton alttaş üzerine çizilen elektrotlar üzerine de daldırma tekniği ile algılayıcı katman oluşturuldu. Böylece, algılama katmanı ve elektrot tasarımı bakımından farklılıkları olan on bir adet nem sensörü geliştirildi. Geliştirilen algılama katmanlarının yapısal ve optik karakterleri belirlendi. Geliştirilen nem sensörlerinin çıktı parametreleri farklı nem ortamında ∆R=(R(%70)-R(%40))nem  direnç değişimi baz alınarak değerlendirildi. Dirençteki değişimin artması nem sensöründeki hassasiyetin artması olarak yorumlandı. Eş-püskürtme tekniği ile üretilen sensörde 3715kΩ direnç farkı olduğu görüldü. Vakumsuz kaplama tekniklerinden ink-jet baskı tekniği ile üretilen esnek nem sensörlerinin direnç farkı TiO2 için 3800kΩ ve SnO2 için 4500kΩ olarak belirlendi. Bu durum SnO2 malzemesinin neme daha duyarlı olduğu şeklinde yorumlandı. Al2O3 alttaş üzerine TiO2 karışımı kullanılarak daldırma tekniği ile üretilen sensörün üretilen tüm sensörler içerisinde en yüksek direnç farkına sahip olduğu görüldü. Doktor bıçağı yöntemleriyle TiO2 kaplanan nem  sensörü 1379kΩ'luk direnç farkı gösterirken ultrasonik banyoda kaplanan nem sensörü 120kΩ direnç farkı gösterdi. Vakumsuz kaplama yöntemlerinin kullanımının nem sensörlerinin üretim maliyetlerini düşürdüğü ve nem sensörü üretimi için avataj sağlayabileceği değerlendirildi.

Abstract:
In this thesis, humidity sensors with a focus of titanium dioxide (TiO2) and tin dioxide (SnO2) were developed on flexible (kapton) and unflexible (Al2O3) substrates. Basically, humidity sensors consist of three layers: substrate, electrode and active / sensing layer. The electrodes of the sensors were created with two different techniques: First, two different patterned electrodes were formed by coating Gold (Au) and Platinum (Pt) on 4 x 7 mm2 Al2O3 substrates with vacuum coating techniques, co-spraying and thermal evaporation. Secondly, one of the non-vacuum coating techniques, ink-jet and Silver (Ag) electrodes were processed on kapton substrates with the inkscape program. Spraying method and non-vacuum coating techniques on electrodes processed on Al2O3 substrates; The active layer was dip-coating, doctor blade and ultrasonic bath coating. A sensor was created by immersion on the electrodes drawn on the Kapton substrate. Thus, a humidity sensor was developed with differences in terms of sensing layer and electrode design. The perceived query and optical characters were determined. The base result of the humidity resistance change of ∆R=(R(%70)-R(%40))humidity resistance was evaluated in several different humidity sensing of the developed humidity sensors. The increase in the change in resistance was interpreted as an increase in the sensitivity to the humidity sensor. A 3715kΩ resistance difference was observed in the sensor produced by co-spraying. The difference in resistance between ink-jet printing and flexible humidity sensors, which is one of the non-vacuum coating techniques, was determined as 3800kΩ for TiO2 and 4500kΩ for SnO2. This situation was interpreted as SnO2 material is more sensitive to humidity. Transmitting TiO2 onto the Al2O3 substrate was found to have the highest resistance difference of all sensors of the sensor surrounded by immersion. While the humidity sensor coated with TiO2 with doctor blade methods showed a resistance difference of 1379kΩ, the humidity sensor coated in the ultrasonic bath showed a resistance difference of 120kΩ. It was evaluated that the use of non-vacuum coating methods reduces the production costs of humidity sensors and can provide an advantage for humidity sensor production.