茂里町車庫火災で多数の車両を喪失したことによる車両不足を補うため、1921年（大正10年）から翌1922年（大正11年）にかけて40 - 61の22両が製造された。台車・機器は20形と同様、米国から輸入した新製品で、台車はブリル21E、電動機・制御器はウェスティングハウス製であった。車体は11形以降と同じく茂里町工場で製造された。車体形状は従来のオープンデッキに代わり、出入台のデッキをなくし側面出入口に引き戸を設けた密閉型車体となった。原爆投下で45・46・49・50・51・53・57・58の8両が焼失し、残った14両は1955年（昭和30年）から1965年（昭和40年）にかけて全車廃車された。原爆で焼失した8両のうち45・49・51・53・57の5両は1947年（昭和22年）から1949年（昭和24年）にかけて蛍茶屋工場で製造された新製車体に載せ替え復旧されたが、1959年（昭和34年）から1967年（昭和42年）にかけて全車廃車された。
大正中期に進められた路線延長に備え、1919年（大正8年）から1921年（大正10年）にかけて20 - 39の20両が製造された。台車・機器は三井物産を通じて米国から輸入した新製品で、台車はブリル21E、電動機・制御器はGE製である。車体は茂里町工場で製造しており、1形に比べ全長が約500mm短縮され、運転台の床が一段低くなった。幕板の明かり取り窓は製造時期により1形同様の長方形のもの、長円形のもの、省略されたものに分かれる。21・25・29・36は製造後間もなく茂里町車庫火災で焼失した。1924年（大正13年）に22→21、38→25、39→36と改番した。25は1944年（昭和19年）に大橋車庫火災で、21・24・32・33は原爆投下でそれぞれ焼失した。戦後に残った11両のうち、26は1951年（昭和26年）に新製車体に載せ替えられ、残る10両は1954年（昭和29年）に新製された300形と交代し全車廃車となった。原爆投下で被災した4両は1947年（昭和22年）から1949年（昭和24年）にかけて蛍茶屋工場および三菱重工業長崎造船所で製造された新製車体に載せ替え復旧されたが、21は1956年（昭和31年）に42の車体と振り替えられ、のち1959年（昭和34年）に西鉄福岡市内線から譲り受けた160形・170形に代替され4両とも廃車となった。車体更新された26は1968年（昭和43年）に廃車となった。
1917年（大正6年）に13 - 19の7両が製造された。台車・機器は富士水力電気（現・伊豆箱根鉄道）から譲り受け、車体は茂里町工場で製造した。11形同様、全車両が茂里町車庫火災で焼失し廃車となった。
千馬町 - 石橋間の開業に合わせて2両製造された。1916年（大正5年）の千馬町 - 大浦海岸通間開業前に11が、翌1917年（大正6年）の石橋までの延長を前に12が製造された。もとは1916年に京都市にあった丹羽電気用品製作所を通じて購入した電車である。車体は茂里町工場で製造した。1921年（大正10年）の茂里町車庫火災で2両とも焼失し廃車となった。
チリ車は国産戦車としては多数の新機軸を搭載した、試作戦車としても特に実験的要素の強いものであった。それらは75mmの最大装甲厚、対戦車戦闘を強く意識した口径75mmの長砲身高初速砲、重量級の砲兵装及び砲塔を駆動させる電動式砲塔旋回装置、砲塔バスケット、35tの重量を緩衝し制御しうる足回り、40km/hで走行させるための大出力液冷ガソリンエンジン、重量級の砲弾を人力によらず装填するための半自動装填装置、などである。こうした装備の開発と搭載は、従来の主力中戦車であった九七式中戦車 チハ（チハ車）と比較し、技術的により高い水準を要求されるものであった。全体的な構造としては、本車は車体後方に機関室、車体中央部に砲塔および戦闘室を設け、車体前方には操縦室、副砲および変速操向機を収容する設計が行われている。大戦中期から後期の時期に、車体前面に副砲を装備する設計は世界的にも異色であった。足回りは全幅600mmの広軌履帯を装備し、片側8個の転輪を装備、これらを蔓巻バネにより懸架して走行時の衝撃等を緩衝している。装甲は全溶接式で組み立てられた。避弾経始の取り入れは設計要項に盛り込まれたが積極的な実現は行われておらず、各装甲面は垂直に近い角度で設計構成されている。多面的な構成の少ない、直線的で一枚板の多い外形は全て溶接で組み立てられた。武装には、砲塔に半自動装填装置付の試製七糎半戦車砲（長）I型（56口径75mm、初速850m/s）、車体前面左に一式三十七粍戦車砲（46口径37mm、初速780m/s）と双連の九七式車載重機関銃（7.7mm、副砲同軸機関銃）、砲塔左側面に九七式車載重機関銃を備えている。こうした兵装の選定には、75mm級戦車砲の発射速度、装填手の持続的な装填能力の懸念（搭載予定の主砲弾は、総重量が約11kg前後、砲弾全長は約90cm前後あった）から半自動装填装置が装備され、また37mm副砲の搭載が行われたと推測される。