1990年（平成2年）9月に最終増備車として7次車・第35編成（東急車輛製造製）が投入された。制御装置は既に更新車に採用されていた素子にGTOサイリスタを使用したものに、冷房化による重量増を考慮して主電動機は155kW出力に増強した。DCコンバータは170kW出力に拡大し、M2車に搭載していたMGを廃止した。外観では、従来はアルミ形材に焼付塗装していたラインカラーをフィルム式に、方向幕は緑地から紺色ローマ字入りに変更された。車内は化粧板は光沢のあるものに変更となったほか、枕木方向の化粧板がレール方向のものと同じアイボリー系の色調に変更されている。運転台には故障をモニタリングするユニバーサル表示器が設置された。さらに新製当初より車内案内表示器・車外スピーカー・ドアチャイム・自動放送装置を設置した。これは同時期に竣工した8000系の第10編成・前年度竣工した7000系の第33・34編成と同仕様である。側面の社紋の位置が他編成と異なる。
1988年（昭和63年）に落成した6次車の第33・34編成は6000系で初めて冷房装置が搭載された。出力は48.9kW (42,000kcal/h) で、装置キセが角型、電源としてDC-DCコンバータ (130kW) を編成で2台設置した。仕様は5次車とほぼ同じだが、化粧板は若干淡い色調に変更、床材が2色のツートンとなり、ドア窓は外側からの支持となった。また従来は車内妻面壁に設置していた消火器を収納キセに収めるように変更した。このほか運転台表示灯のLED化、耐雪ブレーキ取り付け（耐雪ブレーキ自体は1985年（昭和60年）内に全車両に施工されていた）が行われ、6100形に搭載されていたパンタグラフを廃止した。近畿車輛で製造された。
1984年（昭和59年）から1985年（昭和60年）には5次車の第29 - 32編成が落成した。4社で製造。これ以後の車両は千代田線の輸送力増強用である。屋根曲線を変更し、車内の天井高さを45mm高くした。客室は配色が変更され、袖仕切と枕木方向の化粧板をマルメットグリーンと呼ばれる緑色系に、それ以外はアイボリー系の色調に変更した。客用ドアは窓が若干拡大されたものとなった。座席モケットはグリーン系に変更し、同時期に落成した銀座線用01系量産車と同じエコーラインの区分柄を採用した。さらに前面展望を考慮して、乗務員室仕切の窓は拡大されている。細かな点では放送装置の自動音量調整機能を4次車の両先頭車のみから各車への設置となり、尾灯や車側灯がLED化された（このLED化は在来車も全車両施工）。誘導無線アンテナはそれまで両先頭車に分散配置されていたが、このグループから8号車である6800形に集中配置された。空気圧縮機は01系で採用された低騒音形のC-2000LA形に変更した。1次量産車 - 4次量産車では基礎ブレーキが両抱き式踏面ブレーキの台車を採用していたが、これ以降の製造次車では片押し式踏面ブレーキに変更した台車（FS-523形）を採用している。
1978年（昭和53年）の代々木上原延長・小田急線乗り入れ開始に際して、3次車として第20・21編成が製造された。当初より小田急線乗り入れ機器（列車無線装置・OM-ATS設置など）や側面方向幕、通過標識灯、前面ガラスにデフロスタ、保安ブレーキなど装備して落成した。乗務員室側面扉は高さの低いものに変更され、一部の車両に連結面貫通扉を増設した。制御装置はサイリスタを1,300V規格から2,500V規格の大容量品に変更、台車は一部改良が加えられている。製造は川崎重工と日本車輌製造である。乗り入れ機器などの装備は1978年（昭和54年）までに1次量産車・2次量産車にも追設された。なお、通過標識灯は1998年（平成10年）4月に小田急で使用が停止されたため、後年全車撤去されている。このうち6920号車と6911号車においては、1977年（昭和52年）より、強制風冷式に代わって試験的にフロン沸騰冷却式チョッパ装置の試験を実施した。この結果が良好であったため、半蔵門線用の8000系で正式な採用に至った。なお、このチョッパ装置は制御装置更新時まで残されていた。
1888年（明治21年）の伊予鉄道開業にて、三津浜港から松山市内への旅客輸送の便が図られるようになったが、それでもなお道後温泉までは別の手段で出向く必要があった。また、折から軽便鉄道敷設が流行しだした時代でもあり、伊佐庭如矢などの道後関連有力者によって、主として道後温泉への温泉浴客を輸送する目的で、1893年（明治26年）道後鉄道が設立された。その後1894年（明治27年）に鉄道免許状が下付され、1895年（明治28年）、一番町－道後間ならびに道後－三津口間を762mm軌間で開業した。その後は乗客は順調だったものの、営業成績は芳しくなかったようで、主立った株主が大阪資本になった後、1896年（明治29年）第七十九銀行頭取の古畑寅造が社長に就任した。その後古畑は南予鉄道の社長にも就任したのち、伊予鉄道の当時の監査役であった井上要の音頭により、伊予鉄道と道後鉄道・南予鉄道の3社が合併することとなった。結果として道後鉄道は、1900年（明治33年）に開業からわずか5年で伊予鉄道に吸収合併された。その後、松山電気軌道との競争・合併を経て、現在では伊予鉄道城北線・城南線の一部区間を構成している。なお、合併後に線路が移設された区間も多く、かつての道後鉄道の路線をそのままたどっているのは一部の区間となっている。