2008年4月、州立銀行をめぐる不祥事の責任を取って辞任を表明したミルブラットは、後任にティリッヒを指名し、ティリッヒは5月にCDUのザクセン州代表、さらにザクセン州首相に選出された。就任直後の2008年6月にローマ教皇ベネディクト16世に拝謁し、東ドイツ訪問に招待した。2008年11月、ティリッヒが出版した自叙伝において、旧東ドイツ時代に体制側で果たした役割が過小に記述されているという批判が起きた。ザクセン州首相府は「デア・シュピーゲル」誌の取材に対して、ティリッヒの履歴書の供与を拒否した。2009年8月に行われた州議会選挙では、ティリッヒ率いるCDUが得票率40.2％、連立相手の自由民主党（FDP）が10％を得たため、再選を果たした。2014年8月の州議会選挙では第一党の座を守ったものの、連立相手のFDPが議席を失った。新たに州議会に進出したAfDとの連立を拒絶し、また緑の党には連立協議を拒絶されたため、社会民主党と連立して組閣した。2017年10月18日、年内で州首相を退任して後進に譲る意向を発表した。12月13日にミヒャエル・クレッチマーが後継の州首相に就任。
1989年にCDU地区代表委員に就任し、1990年には同党の全ドイツ（東ドイツ）地区代表委員に選出された。さらに1990年3月に最初で最後の自由選挙で人民議会議員に選出された。ドイツ再統一により人民議会が解散されると、1994年まで欧州議会オブザーバーを務めた。第4期欧州議会ではドイツ代表として選出され、財務委員会副委員長や欧州連合財務報告副委員長を務めた。また1992年から1999年まで同議会で欧州人民党執行部に属した。1999年、ザクセン州首相クルト・ビーデンコップフの内閣に連邦・欧州案件担当大臣として招聘された。2002年にはビーデンコップフ内閣の後任に選出されたゲオルク・ミルブラット内閣に州首相長官として入閣し、2004年からはザクセン州環境・農業大臣に転じた。在任中は2002年のエルベ川大洪水を受けてのエルベ川治水事業に取り組んだ。2004年にはザクセン州議会議員に初当選した。2007年、ザクセン州立銀行の経営危機問題で辞任したホルスト・メッツの後任としてザクセン州財務相に転じ、ミルブラットの側近としてザクセン州立銀行をめぐる交渉に従事した。2007年12月にザクセン州立銀行は州議会の承認を得ないままバーデン＝ヴュルテンベルク州立銀行に売却されたが、のちの2009年8月にザクセン州憲法裁判所にこの売却は憲法違反との判決を受けた。
ドイツ民主共和国（東ドイツ）のドレスデン県ノイフェルデル（ソルブ語ではノヴァ・ヴィェスカ）に、カトリック教徒のソルブ人の家庭に生まれる。父親はドイツ社会主義統一党（SED）党員で地域指導者を務め、ソルブ人団体で活動していた。ソルブ人高校で学んで1977年にアビトゥーアに合格後、国境警備隊で兵役義務を済ませた。その後ドレスデン工科大学で学び、工学の学位を得た。1984年からカメンツの電機企業で技師として働き始める。1987年10月から1989年5月まで、カメンツ郡委員会に勤務し、1989年5月からは郡委員長代行を務め。通商・配給を担当する。1989年から1995年までは中規模企業を経営していた。1987年、自己の希望によりSEDの衛星政党である東ドイツのキリスト教民主同盟（CDU）に入党。1987年1月から1989年3月まで、バーベルスベルクにあるSEDの幹部養成学校である国家・法学アカデミーで学ぶ。のちにティリッヒ自身はこの学校を「数多くあったマルクス・レーニン主義講座の一つに過ぎない」と説明し、その思想を必ずしも支持していたわけではなかったと述べている。ティリッヒにはシュタージ（国家保安省）から接触があったが、いずれも断ったという。
構体主要部分を鋼板とした半鋼製構造で、前面は非貫通構造の3枚窓設計とし、車体長11,400mmの車体に片側2箇所1,000mm幅の片開客用扉を備える。モハ101形・クハ1111形については、クハ1114・1115を除く全車とも両側妻面に運転台を有する両運転台構造で竣功し、運転台は片隅型開放構造で、運転台左側にのみ乗務員扉を設けており、前照灯は当初前面中央窓下の腰板部に設置された。車体塗装は当時の西武における標準塗装であった、腰板部を茶色、窓下ウィンドウシルより上を黄色とした2色塗りである。初期に落成したモハ101 - 103（いずれも初代）はいずれも種車の台枠を流用して車体を新製し、流用した台枠の形状の都合から車体裾部に段差が生じている点が特徴である。同3両は多摩湖線萩山検車区において関東車輌電気の出張工事により製造され、第一陣として1949年（昭和24年）に落成したモハ102は側面見付が他車とは異なり、側窓2枚おきに太い窓間柱が設けられ、窓配置はdD12221D1（d：乗務員扉、D：客用扉）であった。翌1950年（昭和25年）3月に落成したモハ101・103は窓間柱太さが均一となり、窓配置はdD8D1と変化した。1950年（昭和25年）10月に落成したモハ104（初代）以降は全車とも所沢車両工場で製造された。同車以降においては車体を台枠より新製し、車体裾部が一直線形状となったほか、台枠厚さも異なる。また、dD8D1の窓配置はモハ101・103（いずれも初代）と同一ながら、妻面および隅柱部の丸みが増し、幕板寸法・前面窓寸法を始めとして各部寸法も変更され、全体的に洗練された外観となった。また、クハ1114（初代）・1115は当初より国分寺寄り妻面にのみ運転台を有する片運転台仕様で落成し、萩山寄り車端部には乗務員扉が設置されていないことが特徴であった。窓配置はdD8D1（反対側は1D8D1）である。車内は全車ともロングシート構造で、客用扉は手動式、室内灯は白熱灯仕様であった。