後藤充夫ともに真円度や円筒度の計測手法に取り組み、フーリエ級数を用いて測定器の誤差と形状の誤差を分離することに成功した。円筒度に関する論文は1975年に精機学会の第9回青木記念論文賞を受賞し、「精度分離可能な真円度測定器」は東京精密から製品化された。この手法は「マルチステップ法」と呼ばれ、JIS7451「真円度測定機」の中で規格化されている。精度の基準となる回転精度検査用標準器の真円度を検査・校正する真円度校正器にも、この技術は用いられている。なお、この手法は厳密には誤差を分離できていないという課題があったが、産業技術総合研究所で改良が進められた。東京大学では光学の研究室に在籍、計量研究所は光波干渉技術を強みとしていた。今井秀孝とともに薄板をマイクロメータ計測の検証にモアレ縞を利用し、微小球面の形状測定ではニュートンリングを応用した。後者の測定では、半径1mmの微小半球面（凸型）に対しレプリカ（凹型）を作成し、透過型顕微干渉法を用いてニュートンリングからデミングの最小二乗法で球面の曲率半径や断面の真円度を高精度に求めた。また、レーザー干渉計で材料の線膨張係数や縦弾性係数を導出する研究にも取り組んだ。クボタは農機のみならず秤など計測機器を開発しており、久保田鉄工の時代から技術開発研究所を持っていた。同研究所は動的な質量計測などの技術を開発するとともに、計測自動制御学会の質量・力計測部会でも活動していた。飯塚はクボタの専務時代に研究開発本部を設立。研究開発本部長を務め、『クボタ技報』で計測制御特集が組まれた際には、計測技術の論文が多かった。後年組織はなくなったが、「在任中指導した社員たちが今も社内外で活躍しているので、それなりの役割は果たせた」と述懐している。
その後は日本計量振興協会の会長も退き、顧問に就任（2011年までは会長で、遅くとも2013年には顧問）。理事を務める日本計量史学会では、2014-2015年のメートル原器調査研究委員会で委員長を務める。2015年秋には瑞宝重光章を受章。同年12月には日本計量史学会と計測自動制御学会力学量計測部会の合同で祝賀会が催された。2016年3月には1時間半に及ぶ特別講演で、日本の計量技術や国際計測連合（IMEKO）の歴史を語った。2016年に今井秀孝らが2021年IMEKO世界大会の日本招致を勝ち取った際には関係者と喜びを共にするとともに、招致の経緯を寄稿した。2017年（85歳）には、日本のメートル原器の歴史についても講演し、この年以降も日本計量振興協会 顧問、日本計量史学会 理事、計測自動制御学会力学量計測部会 顧問、日本工学アカデミー 顧問、三豊科学技術振興協会 理事、光科学技術研究振興財団 評議員などを務めていた。
1986年、工業技術院の院長に着任。基礎研究の重要性を強調し、新しいNEDOの発足（「新エネルギー・産業技術総合開発機構」への改組）や新規事業導入（研究基盤整備事業、研究開発事業、国際研究協力事業）を推進。「脳機能の解明のための基礎研究」や「生体機能のための分子論的アプローチのための基礎研究」を支援する国際ヒューマン・フロンティア・サイエンス・プログラム機構の設立を推進した。1989年に工業技術院を退官し、機械振興協会の副会長に着任。同年8月から1991年5月まで、同協会の技術研究所長も務めた。その後クボタの常務取締役、専務取締役、副社長を歴任。クボタでは技術開発本部を組織し、同本部長を務めた。この間、文部省学術用語集「計測工学編」における増補改訂のための調査研究にも関与し、計測自動制御学会では1992年度に会長を務めた。1995年度から4年間、国際ヒューマン・フロンティア・サイエンス・プログラム機構の会長を担当し、日本工業標準調査会では副委員長に就任。1996年から1999年には中華民国（台湾）の行政院科学技術部で国外顧問も務めた。さらに、国際度量衡委員会では日本人初の副委員長に選出され、1999年の委員会では世界計量記念日を提案した。また、日本初開催であった2000年のIMEKO世界大会において大会委員長を務めている。2000年、クボタ副社長を退き、顧問に就任。その後は日本計量振興協会で会長を務めており（少なくとも2003年から）、計量士の教育や計量・トレーサビリティの普及・教育を推進する事業を展開した。また、経済産業省が11月1日の計量記念日に実施する行事において、計量記念日組織委員長を務めていた。田中耕一が特別講演を務めた2003年の「計量標準100周年記念講演会・記念式典」では「計量の一世紀を振り返って」と題して招待講演を務めている。
ベッケンバウアーは3度の結婚歴があり5人の子供がいる。ギムナジウムを卒業後、保険会社に就職をしたベッケンバウアーは17歳の時に当時交際していた保険会社の同僚の女性との間に子供が生まれたが、この女性とは暫くして別れ、2人の間に生まれた子供は後にベッケンバウアーが引き取って育てることになった。ベッケンバウアーは当時、西ドイツユース代表に選ばれていたが「ユース代表選手に子供がいる」ということが前代未聞だとしてドイツ・サッカー連盟や教育者の間で論議の的となった。当時、ユース代表の監督だったデットマール・クラマーは、ベッケンバウアーを擁護するために奔走し、クラマーがベッケンバウアーの教育係となることで、周囲を納得させ批判を抑える形となった。1966年、最初の妻と結婚し2人の息子が生まれた。そのうちの一人のシュテファンは元サッカー選手で1990年代まで現役を続けていたが大成することはなかった。引退後は指導者に転じバイエルン・ミュンヘンの下部組織のコーチを務めていたが、脳腫瘍を患い長い闘病生活の末に2015年7月31日に46歳で死去した。1977年1月、収入の一部をスイスの銀行に預金していたことが所得隠しであったとして問題となり、税務署の家宅捜査を受けることになった。この問題は西ドイツの連邦議会でも取り上げられ、またこの騒動に単を発しマスコミからは連日のようにゴシップ報道、パッシング報道が行われるようになると、同年5月こうした騒動を避けるように北米リーグのニューヨーク・コスモスへ移籍した。妻とはこの一連の騒動がきっかけとなって別居生活に入り1990年1月に離婚した。1982年にオーストリア・チロル州に移住すると、1990年4月にドイツサッカー連盟に勤務していた女性と2度目の結婚し1990年代前半にはオーストリア国籍を取得したが、2004年11月に離婚した。2006年6月23日にバイエルン・ミュンヘンで秘書をしていた21歳年下の女性と結婚した。ベッケンバウアーにとっては、これが3度目の結婚となった。彼女との間には既に2児をもうけていたが、地元ドイツでのFIFAワールドカップの開催期間中であるにもかかわらず大急ぎで結婚式を挙げた。結婚式当時、女性は40歳でありベッケンバウアーは61歳であった。