寛永19年（1642年）、直家に嗣子が無く没したため丹波国園部藩主小出吉親の2男直次を直重の女婿として迎え、直家の嗣子として幕府に願い出た。しかし当時は末期養子が認められなかったため、伊予国にあった所領は没収されて天領となり、遺領相続という形で直次に播磨国加東郡内1万石を与えられた。3代末礼は駿河加番を延宝6年（1678年）・元禄3年（1690年）の2度務め、元禄5年（1692年）には大番頭となり、元禄16年（1703年）には5代将軍徳川綱吉の御側衆となった。5代末栄の代に藩財政が悪化し、質素倹約を主とした財政再建を行い藩中興の祖となった。9代末延の天保4年（1833年）には大規模な百姓一揆である「加古川筋一揆」が起こった。天保7年（1836年）には大国隆正を招聘し藩校「帰正館」を開校した。末延の嫡子で10代藩主となった末彦は生涯独身を通したため、丹波国綾部藩主九鬼隆都の5男を養子に迎え11代藩主末徳とした。末徳のもとで幕末を迎え、最後の藩主となる。累代の墓所は縁類の黒田氏と同じ東京都渋谷区、祥雲寺にある。歴代藩主のうち、第3代から9代の藩主は駿河加番となっている（7代末昭のみ早世のため在番なし）。
寛永13年（1636年）、伊勢国神戸藩主一柳直盛に伊予国西条藩6万8000石が与えられた。直盛の次男直家がこのとき播磨国加東郡内で5000石を分与された。ところが同年、直盛が任地に赴く途中大坂で没すると伊予国におけるその遺領は男子3人によって分割されることになった。西条藩3万石は長男直重が継ぎ、三男は直頼は伊予国小松藩1万石を分与されている。直家には伊予国宇摩郡・周敷郡内の2万3000石を分与され、既に播磨に領していた5000石とあわせて都合2万8000石の領主となった。直家は当初伊予国宇摩郡河上に居所（川之江陣屋）を構えて川之江藩を立藩、播磨国加東郡の領地を分領とし王子村敷地に代官所を設置して管轄した。寛永14年（1637年）、直家は播磨国加東郡の代官所を陣屋とし、藩主以下家臣が川之江から移住した。ここに実質的に小野藩の成立をみた。
小野藩（おのはん）は、播磨国加東郡を領した藩。藩庁は王子村敷地（現在の兵庫県小野市）の小野陣屋にある。外様大名の一柳家が、江戸時代初期から廃藩置県まで治めた。
1966年（昭和41年）大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻修士課程修了後、日本電信電話公社（現・NTT）に入社する。1989年（平成元年）11月、日本電信電話ソフトウェア研究所長となり、1991年（平成3年）3月、工学博士（大阪大学）。のち、NTTデータ通信取締役開発本部長、同社常務取締役技術開発本部長を経て、1997年（平成9年）6月、NTTソフトウェア代表取締役社長となった。2003年（平成15年）6月、同社取締役相談役。同年、高知工科大学工学部情報システム工学科教授。2004年（平成16年）独立行政法人情報処理推進機構ソフトウェア・エンジニアリング・センター所長・経済産業省産業構造審議会臨時委員、2008年（平成20年）日本学術会議連携会員、2009年（平成21年）学校法人専門学校HAL東京校長、2010年（平成22年）テリロジー監査役就任。2018年（平成30年）6月5日、アドバンスト・ビジネス創造協会「RPA＋働き方改革コンソーシアム」の幹事長に就任した。2019年（平成31年）学校法人日本教育財団HAL名古屋校長就任。
如意元年（692年）、元慶は彼が謀反を謀ったという来俊臣の讒言にあって殺害され、その子の献は崖州へ流刑に処された。長安3年（703年）、献は呼び還されると、かさねて右驍衛大将軍を授かり、父の興昔亡可汗を襲名し、安撫招慰十姓大使に充てられた。献の本国（西突厥）では、次第に默啜と烏質勒の侵略を受けていたため、献は敢えて本国へ帰国しようとはしなかった。しばらくして、唐は献を磧西節度使に抜擢した。十姓部落（西突厥）の都擔（とたん）が反乱を起こすと、献はこれを攻撃して斬り、その首級を宮廷へ送った。さらに献は碎葉（スーヤーブ）以西の帳落三万を中国に内屬させたため、朝廷は璽書を下してこれを喜んだ。葛邏禄（カルルク），胡禄屋，鼠尼施の三姓はすでに中国に内屬していだが、これらが默啜の侵掠をうけたので、献を定遠道大総管とし、北庭都護の湯嘉恵らと前後応じてこれにあたらせた。ここにおいて突騎施（テュルギシュ）はこの辺境での争いを密かに利用したため、献は軍隊の増援を乞い、自身は入朝したいと願い出たが、玄宗は許さなかった。玄宗は詔で左武衛中郎将の王恵に節を持たせ、献を安んじいたわらせる一方で、突騎施都督で車鼻施啜の蘇禄を順国公にしようとした。しかしながら、突騎施はすでに撥換と大石城を包囲し、さらに四鎮を占領しようとしていた。ちょうど湯嘉恵が安西副大都護に拝せられ、すぐさま三姓葛邏禄（ウチュ・カルルク）の兵を献と共にこれを撃った。玄宗は王恵に詔し、これらと力を合わせて経略させようとしたが、宰相の宋璟と蘇頲が「突騎施が叛き、葛邏禄がそれを攻撃していますが、これは夷狄どもが自ら互いに滅ぼしあっているのであって、朝廷から出たことではありません。彼らのうちで強大な方が傷つき、弱小な方が滅びるならば、わが国にとって好都合であります。王恵が赴いて慰撫しようとしている時にあたって、軍隊によって干渉すべきではありません。」と言ったため、中止となった。献は結局、突騎施の娑葛が強気で他人の言に耳をかさず、これをおさえきれないので、中国に帰還した。開元中（713年 - 741年）、かさねて右金吾大将軍に遷ったが、長安で死去した。