感光性の物質を塗布した基板をパターン露光し、現像して不要な部分を除去することで、フレキソ版、平版、水なし平版などの印刷版原版を作成することができる。版面を編集するコンピュータと露光装置を接続し、直接印刷版原版を作成することを、コンピューター・トゥ・プレート(computer to plate、CTP)という。また、平版印刷版の作成に用いられる、あらかじめ感光性物質を塗布したアルミ板を、PS版(pre-sensitised plate)という。写真や絵など原稿から、あるいは電子媒体からの製版工程が容易であるためPS版は広く普及している。
ウェハー上に別の金属や酸化物などを付けたい場合は、真空蒸着やスパッタリング、CVDなどの手法によって成膜する。最後に溶剤などでレジストを除去する際に、レジスト上に成膜された材料も同時に除去される（リフトオフという）ため、ウェハー上に好みのパターンを追加することができる。
ウェハーに単に凹凸を付けたい場合、あるいは元々ウェハー上にパターンが作成されていた場合などは、エッチングによって不要な部分を除去する。ドライエッチングとウェットエッチングが存在する。レジストの残っている部分はエッチングによって除去されないため、残したいパターンがウェハー上に形成される。最後に溶剤などによってレジストを完全に除去する。
レジストで描かれたパターンを利用して、目的とする回路などを作成する。ウェハーに用いたものによって工程が異なり、不要な部分を除去したい場合はエッチングを、必要な回路を追加したい場合は成膜・リフトオフの工程となる。
露光したウェハーを現像液に浸し、余分な部分のレジストを除去する。この過程ではじめて回路図のパターンがウェハー上に現れる。現像液はレジストを溶解する薬液が使用される。用いられる薬液には、レジストを溶解する有機溶剤の場合と、有機または無機アルカリの場合がある。現在の半導体用フォトリソグラフィでは、有機アルカリである水酸化テトラメチルアンモニウム (TMAH: tetra-methyl-ammonium-hydroxyde）の2.38 wt%水溶液が主流となっている。これは、水酸化カリウム(KOH)などの無機アルカリでは金属イオンの工程への混入を避けられないためである。リンス液（主に超純水）で数回すすぎ、不要部分を完全に除去する。
レジストに光を照射して反応させる。このとき、回路図の形状を描いたマスクを用い、光を照射する部分を制御することで必要な形状をレジスト上に描く。露光装置はかつてはマスクとウェハーを密着させ露光する等倍露光であったが、要求されるパターンが微細になるとともにマスクの作成が困難になってきたため、近年では実寸よりも大きく作成したマスクパターンをステッパーと呼ばれる装置を用いてウェハー上を移動させながら縮小投影露光する手法に変わってきた。パターンが微細化するほど短波長の光源が必要であり、現在は高圧水銀灯のg線（波長 436nm）、i線（波長 365nm）、KrFエキシマレーザー（波長 248nm）、ArFエキシマレーザー（波長 193nm）などが主流で、次世代の光源としてEUV光(波長 13.5nm:EUVリソグラフィ)が開発段階にある。またX線を光源に用いたり、電子線で直接レジスト上に描画する方法（電子線リソグラフィ）も存在する。
シリコンウェハー上に、レジストと呼ばれる液体を、スピンコーターや吹きつけによって塗布する。レジストは光によって反応する化学物質を溶媒に溶かしたもので、感光した部分が溶解する「ポジ型」と、感光した部分が残る「ネガ型」がある。パターンの微細化にはポジ型が有利とされ、現在ではポジ型が主流である。また、KrFなどのエキシマレーザーを用いた露光の場合、露光強度が弱いため、化学増幅型フォトレジストが使用される。
半導体素子の製造においてフォトリソグラフィは次のように行われる。シリコン、ヒ化ガリウム等の半導体ウェハー上にフォトレジストと呼ばれる感光性有機物質を塗布し、ステッパーと呼ばれる露光装置を用いて、レチクルと呼ばれるフォトマスクに描かれた素子・回路のパターンを焼き付ける。以下、工程をさらに詳しく説明する。
2007年1月12日、『コミック・ガンボ』（デジマ）創刊号より、有名人のエピソードを紹介する人物評伝4コマ漫画『人間噂八百』を連載してデビュー。同誌が同年12月11日発行の第48号を最後に休刊するまで、1号も休まず掲載された（全46話）。これは同誌連載陣の中で唯一である。2008年5月23日、休刊により未発表となった5話分を含めた全51話を収録し、単行本『人間噂八百』全1巻（産経新聞出版）を刊行。
1992年、4月20日に初騎乗となる名古屋競馬場で行われた第8競走では、ブルーレッズに騎乗し5着だった。4月23日に名古屋競馬場で行われた第5競走をラフェスタで優勝し、4戦目で初勝利を挙げる。1996年、4月10日に中央競馬初騎乗となったテレビ愛知オープンでは、名古屋所属のレッドアゲインに騎乗し、13番人気で15着だった。2002年、9月30日に地方競馬通算500勝達成。2003年、5月25日に行われた東海ステークスをゴールドプルーフに騎乗して制し、中央競馬（JRA）初勝利及びJRA重賞初勝利を挙げた。2007年、5月1日に地方通算1000勝達成。同年9月23日から11月30日までマカオに海外遠征した。同年9月30日にマカオでの初騎乗。同年11月2日にマカオでの初勝利をあげた。2009年7月10日第7回名古屋競馬6日目第10競走第13回名港盃をカモンネイチャで優勝（12頭立て4番人気）し、地方競馬通算1200勝達成。