21064と21064Aには当初、標準チップセットが存在しなかった。DECでは特製のASICを各コンピュータシステムで使っていた。このことはサードパーティがAlphaを採用した場合の開発コストを押し上げる要因となっていたため、DECは標準チップセット DECchip 21070 (Apecs) をOEM向けに開発した。21070には2つのモデル DECchip 21071 と DECchip 21072 がある。21071はワークステーション、21072はハイエンド・ワークステーションとローエンド・サーバをターゲットとしている。両者の違いはメモリサブシステムで、21071のメモリバスは64ビットで最大2GBまでのパリティ付きメモリをサポートし、21072は128ビットバスで最大4GBまでのECC付きメモリをサポートしている。チップセットは3種類のチップで構成される。二次キャッシュおよびメモリコントローラの COMANCHE、データバス・スライスの DECADE、PCIコントローラの EPIC である。DECADEはデータバスの32ビット幅部分を実装したもので、21071ではそれを2個、21072では4個使用する。EPICは32ビットPCIバスと64/128ビットのシステムバスとのインタフェースを提供する。21070は1994年1月10日にサンプル出荷を開始した。5,000個注文時の単価は、21071は90ドル、21072は120ドルである。21070を採用した例としては、Carrera Computers のワークステーション Pantera がある。DECではAlphaStationやシングルプロセッサのAlphaServerの一部機種で採用した。
Alpha 21068A は 21066Aから派生した組み込みシステムに特化した製品で、当初 DECchip 21068A と呼ばれていた。動作周波数は100MHzである。
Alpha 21068 は 21066 から派生した組み込みシステムに特化した製品で、当初 DECchip 21068 と呼ばれていた。21066と全く同一だが、動作周波数を下げて消費電力とコストを低減している。サンプル出荷は1993年9月10日から、量産出荷は1994年初めごろからである。66MHzで駆動し、消費電力は最大で9Wである。当初5,000個注文で単価221ドルとされていた。1994年6月6日、16%値下げして186ドルとすることを発表し、1994年7月3日から実際に値下げした。DECでは、OEM向けマザーボード AXPpci 33、ワンボードマイコンの AXPvme 64 と 64LC で採用した。
Alpha 21066A（コード名 LCA45）は、21064Aの低価格版である。1994年11月14日に発表され、同日から100MHz版と233MHz版のサンプル出荷を開始した。量産出荷は1995年3月からである。発表時、5,000個注文での単価は175ドル（100MHz版）と360ドル（233MHz）だった。後に266MHz版が追加された。三菱電機がセカンドソースとなり、M36066A を生産した。1994年11月に100MHz版と233MHz版の生産を発表している。発表時、サンプル出荷は1994年12月、量産サンプル出荷は1995年7月、量産出荷は1995年9月と予定されていた。233MHz版は1,000個注文で単価490ドルとされていた。21064Aをベースとしているが、一次キャッシュはそれよりも小さい。パワーマネジメント機能を備えており、ソフトウェアから動作周波数を変更できる。DECは21066を使っていた各種製品で21066Aを採用した。DEC以外では、Tadpole Technology がノートパソコン ALPHAbook 1 に233MHz版を採用した。総トランジスタ数は180万個で、寸法は 14.8mm × 14.8mm、面積は 161.32 mm² である。DECの第5世代CMOSプロセスである CMOS-5 で製造され、0.5μmルールで3層配線となっていた。三菱電機の M36066A も 0.5μm ルール、3層配線で製造された。
0歳の頃から乳児モデルとして活動。1987年、10歳の時に日本初演の『レ・ミゼラブル』で少年革命家ガブローシュを演じ舞台デビュー。なお、同作では16年後の2003年に初演の時から念願だったマリウス役を務めている。1993年、16歳の時に連続ドラマ『ひとつ屋根の下』（フジテレビ）で車椅子の少年・文也を演じ一般に名前が浸透する。1995年、『さんかくはぁと』（テレビ朝日）で連続ドラマ初主演。1996年、『花より男子』のテレビアニメシリーズおよび劇場版アニメに声優として出演。花沢類役をつとめる。1997年、『IMAGINE』でCDデビュー。1998年、21歳の時にブロードウェー・ミュージカル『RENT』の日本初演でマークを演じたことが、役者観が変わるほどの大きな転機となり海外にも目を向けるようになる。パックンに英語を習い、23歳の時に3か月間ニューヨークで暮らす。2004年、NHK大河ドラマ『新選組!』に出演。局長近藤勇を支え続ける土方歳三を演じ、人気を博す。2000年の三谷幸喜脚本・演出のオケピ!出演時には、三谷に土方役に見初められての抜擢だった。視聴者からの多くの要望により、2006年には大河ドラマとして初の続編スペシャルドラマ『新選組!! 土方歳三 最期の一日』が「NHK正月時代劇」として制作され、再び土方歳三役として主演を務めた。さらに2015年には連続テレビ小説『あさが来た』で9年ぶりに土方歳三を演じている。これはNHKからの熱烈な要請を受けたためであり、大河ドラマと朝の連続テレビ小説で同一人物が同じ役を演じるのは極めて異例のことであった。2005年、『第56回NHK紅白歌合戦』の白組司会に抜擢された。2006年、DonDokoDonの山口智充がMCをつとめる日本テレビ・水曜深夜番組『MusiG』（2006年4月 - 2007年9月）にレギュラー出演、「今週の丸投げ」コーナーで毎回出されるお題に基づき、山口と即興でギターセッションをしながら曲を作っている。また、山口、佐野元春と「The Whey-hey-hey Brothers」として、1枚のシングルを発売した。2010年、Team YAMAMOTO presents ロックミュージカル『GODSPELL ゴッドスペル』で初めて演出を手掛け、また自ら主演を務める。