AESでは試料表面の汚染を防ぐため、10⁻¹⁰ Torr以下の超高真空が必要となる。試料導入部における大気排気にはターボ分子ポンプが用いられる。分析室を超高真空に維持するためにはイオンポンプやチタンサブリメーションポンプが用いられる。
一般的なAESの励起源としては、数～20 keV程度に加速された電子線が用いられる。入射した電子線は固体の数μmの深さまで侵入する。電解放出型の電子銃により、直径が10 nm程度まで絞られた電子線が一般的に用いられる。さらに細く絞った電子線を用いて試料面内をスキャンすると、固体表面における空間的な分布を得ることができ、走査型オージェ電子分光（scanning Auger microscopy, SAM）と呼ばれる。XPSの付属装置としてオージェ電子検出器が搭載されている場合は、励起源はXPSと同様に軟X線となる。
原子の内殻電子をX線や電子ビームで放出させると、励起状態イオンが生成するが、励起状態イオンは(1)特性X線を放出する、(2)内殻軌道に外殻電子が遷移し、そのエネルギーをもって他の外殻電子が放出され、多重イオン化する、のいずれかの過程で脱励起する。(2)の過程はオージェ過程と呼ばれ、ピエール・オージェが1925年に発見した。放出されるオージェ電子の運動エネルギーは、内殻電子と2個の外殻電子の束縛エネルギーから算出され、これら束縛エネルギーは原子毎に固有なことから、3電子過程を行い得ない水素、ヘリウム以外の元素を検出分析することができる。
日本神話においては、『古事記』や『日本書紀』本文には登場せず、『日本書紀』の一書（第十）に一度だけ出てくるのみである。【原文】　及其与妹相闘於泉平坂也、伊奘諾尊曰、始為族悲、及思哀者、是吾之怯矣。　時泉守道者白云、有言矣。曰、吾与汝已生国矣。奈何更求生乎。吾則当留此国、不可共去。　是時、菊理媛神亦有白事。伊奘諾尊聞而善之。乃散去矣。【解釈文】　その妻（＝伊弉冉尊）と泉平坂（よもつひらさか）で相争うとき、伊奘諾尊が言われるのに、「私が始め悲しみ慕ったのは、私が弱かったからだ」と。　このとき泉守道者（よもつちもりびと）が申し上げていうのに、「伊弉冉尊からのお言葉があります。『私はあなたと、すでに国を生みました。なぜにこの上、生むことを求めるのでしょうか。私はこの国に留まりますので、ご一緒には還れません』とおっしゃっております」と。　このとき菊理媛神が、申し上げられることがあった。伊奘諾尊はこれをお聞きになり、ほめられた。そして、その場を去られた。神産みで伊弉冉尊（いざなみ）に逢いに黄泉を訪問した伊奘諾尊（いざなぎ）は、伊弉冉尊の変わり果てた姿を見て逃げ出した。しかし泉津平坂（黄泉比良坂）で追いつかれ、伊弉冉尊と口論になる。そこに泉守道者が現れ、伊弉冉尊の言葉を取継いで「一緒に帰ることはできない」と言った。つづいてあらわれた菊理媛神が何かを言うと、伊奘諾尊はそれ（泉守道者と菊理媛神が申し上げた事）を褒め、帰って行った、とある。菊理媛神が何を言ったかは書かれておらず、また、出自なども書かれていない。この説話から、菊理媛神は伊奘諾尊と伊弉冉尊を仲直りさせたとして、縁結びの神とされている。夜見国で伊弉冉尊に仕える女神とも、伊奘諾尊と伊弉冉尊の娘、イザナミが「故、還らむと欲ふを、且く黄泉神と相論はむ」（古事記）と言及した黄泉神（よもつかみ）（イザナミ以前の黄泉津大神）、伊弉冉尊の荒魂（あらみたま）もしくは和魂（にぎみたま）、あるいは伊弉冉尊（イザナミ）の別名という説もある。いずれにせよ菊理媛神（泉守道者）は、伊奘諾尊および伊弉冉尊と深い関係を持つ。また、死者（伊弉冉尊）と生者（伊奘諾尊）の間を取り持ったことからシャーマン（巫女）の女神ではないかとも言われている。ケガレを払う神格ともされる。神名の「ククリ」は「括り」の意で、伊奘諾尊と伊弉冉尊の仲を取り持ったことからの神名と考えられる。菊花の古名を久々（くく）としたことから「括る」に菊の漢字をあてたとも、また菊花の形状からという説もある。菊の古い発音から「ココロ」をあてて「ココロヒメ」とする説もある。他に、糸を紡ぐ（括る）ことに関係があるとする説、「潜（くく）り/潜（くぐ）る」の意で水神であるとする説、「聞き入れる」が転じたものとする説などがある。白山神社（石川県鳳珠郡能都町柳田村）では、『久久理姫命（久々利姫命）』と表記している。なお、神代文字で記されているとされる『秀真伝』には、菊理媛神が、天照大御神の伯母であるとともにその養育係であり、また万事をくくる（まとめる）神だと記されている。