恋愛ものでは元来のキャラクターである二枚目でダンディな男性を演じ、夫婦ものでは悩み多きコミカルな夫、55歳を過ぎてからは頑固で涙もろい父親役など、幅広い役柄で主演し、テレビドラマ界での主演スターとしての地位を築いた。1990年年末時代劇スペシャル『勝海舟』（1990年、NTV） に主演するも、急病のため前半部と終盤のみの出演となり、代役は弟・亮となった。1993年映画『子連れ狼 その小さき手に』に出演し、1979年の日本の黒幕以来のスクリーン復帰を果たし、情感たっぷりにアクションよりも、親子愛にテーマを置いた拝一刃を演じた。また同映画の写真を使用した自身初の写真集が発売された。1994年から放送の刑事ドラマ『古畑任三郎』役では、和製刑事コロンボとも言える新境地を開き、10年以上にわたって演じる当たり役となった 。古畑任三郎役で、ザテレビジョン主催のテレビアカデミー賞第1回主演男優賞を受賞したが、辞退していた。その後、『古畑任三郎』第2シーズンと『さよなら、小津先生』の小津南兵役でも同賞を受賞した。2007年、中山プロデューサーから3年越しのラブコールを受け、映画『ラストラブ』に出演、14年ぶりの映画出演となった。2009年『そうか、もう君はいないのか』で第49回モンテカルロ・テレビ祭 最優秀男優賞を受賞、「信じられません。私が参加いたしましたこの作品が東京を遠く離れたモンテカルロの地で皆様方のご高覧を拝しただけでも大変光栄なことでございますのに、このような賞を頂けるなんて･･･。実は私事ではありますが、この数年俳優業の難解さと私自身の能力の間で大変悩んでおりました。したがってこのような賞をいただけることが私には全く信じられないことなのです。この度のこの栄えある賞が私のそう長くはない俳優人生においておおいなるエネルギーになってくれることを祈っている次第です」と受賞の喜びを語った。2017年、1998年のスペシャル版以来となる『眠狂四郎』に出演。1972～73年の連続ドラマ、そして2017年を含め、5本のスペシャルで演じた。他の作品のオファーも有ったが、『眠狂四郎』への出演を選んだ。田村は『眠狂四郎 The Final』について、「狂四郎というのは自分の出生に大変なコンプレックスを持っている男なんですけど、今回少しだけ明るい光が入ってくるような部分もあります」と述べた。円月殺法のシーンだけで3日をかけて撮影され、「『眠狂四郎』は大事な作品です」とも語った。しかし完成前に『The Final』の試写を見た田村は、これではダメだと痛感しオンエアを見る気にもならなかったと2018年4月発売の写真週刊誌『FRIDAY』の取材に語っている。これが俳優業からの引退を示唆するかの様なコメントだったことから、一部のマスコミで引退宣言などと報道された。しかし田村とは『くれない族の反乱』以来の付き合いで、旧知の中である八木康夫が、伴一彦らとの対談で田村について「確かにやり切ったとは感じている様だが、報道の内容は正確なものではなく、田村自身は一言も引退とは言っていない、また今後絶対に何かに出演しないと言っている訳でも無い。今の田村と何か新しい作品をやりたい。」と話している。
1983年スペシャル時代劇版『乾いて候』が好評であったため、1984年連続版『乾いて候』が製作され、田村三兄弟が共演して話題となった。また同年『うちの子にかぎって…』（TBS系列）に出演し、それまでのイメージを完全に覆す三枚目の役、田村にとってターニングポイントとなった。ちょっと頼りない優柔不断で生徒に振り回される小学校の先生役が見事にはまり大ヒット。続けて『子供が見てるでしょ!』『パパはニュースキャスター』『パパは年中苦労する』など数々のコメディドラマに主演した。以降はトレンディドラマやホームコメディに多く出演し成功をおさめている。1988年には田村がとても気に入っているという『ニューヨーク恋物語』に出演、同じ役を長く演じるのを嫌う田村としては珍しく、田村の願いで、2005年にはスペシャル版が製作された。
2005年1月10日には、平均視聴率13.7%を記録（当時の最高）、瞬間最高視聴率も16%台だった（ビデオリサーチ・関西地区調べ）。陣内と藤原紀香が結婚（その後、陣内と紀香は2007年4月に結婚するも、2009年3月に離婚）するという情報が一斉に流れた直後の2006年11月16日の放送では、陣内のコメントを聞こうと、平均視聴率が10.1%と、通常の倍近くになり、オープニングにおける瞬間最高視聴率は12.8%となった。婚約会見が行われた翌日の2006年12月27日の放送では、冒頭から40分間陣内と紀香とのアツアツのエピソードが披露され平均視聴率が13.1%になった。瞬間最高視聴率は16.9%。最高視聴率は2007年1月4日の14.6%。番組の好調を受けてytvは放送時間枠の拡大を検討していたが、2007年5月7日から『なるトモ!』自体の放送時間はそのままに、その直前に『もうスグ!なるトモ!』なるプレ前座番組を9:36 - 9:55に設けた。このため「スッキリ!!」は9:36で飛び降りになった。しかし、2008年3月28日をもって『もうスグ!なるトモ!』は終了し、3月31日からは再び『スッキリ!!』を9:55まで放送しフルネットとなった。2007年4月4日から西日本放送でも放送されるようになった（編成上の都合により月曜・火曜の放送はない）。1年半ぶりの新規ネット局である。2008年8月19日放送のオープニングで、陣内が9月いっぱいで降板することを発表。その後、2008年9月23日放送を以って降板した。陣内降板後の9月29日放送分からは後任の司会者を加えずになるみの単独司会という体制となった。番組タイトルの「トモ」の部分についても、共演者をなるみの「ともだち」として捉える形に変えた。2009年3月27日を以って放送終了。読売テレビではこの時間帯の自社製作を取り止めた（一方、夕方のローカルニュース枠が拡大され『かんさい情報ネットten!』を開始。本番組から三浦と虎谷がこちらに移る）。4月以降は同時期に10:25まで拡大された前座番組『スッキリ!!』の第2部（9:30 - 10:25）と日本テレビが同時期に開始した『おもいっきりDON!1025』（10:25 - 11:25）をネット受けすることとしたが、後者については低視聴率のため、2009年5月28日でネットを打ち切り、2009年6月以降は再放送やテレビショッピングを放送している（月 - 木。金曜日は本番組直後の通販番組等をこの時間帯に集約させる。なお、陣内は『おもいッきりDON!』で水曜コメンテーターを務めていた）。本番組のネット局では広島テレビと西日本放送は本番組ネット受け以前のような各局独自編成（後者では『スッキリ!!・第2部』に限ってはネット受け）に戻ったが、中京テレビとくまもと県民テレビでは金曜日も含めて『スッキリ!!・第2部』と『おもいッきりDON!1025』を完全ネットする形を取った。中京テレビは本番組終了後、それに代わる番組として読売テレビで土曜日の午前中に放送されているハイヒール司会の情報番組『あさパラ!』のネット受けを開始した。