3.5 nm が、beyond 5 nmの最初のノードの名前である。2018年、IMECとケイデンスは3nmテストチップをテープアウトした。サムスンも2021年に3nmのFETを作るために全周ゲート技術を使う計画を発表した。ムーアの法則を超えたスケーリングでチップを製造する有用または重要だと考えられている有力技術として、光渦レーザー、MOSFET-BJTデュアルモードトランジスタ、3次元集積回路、マイクロフルイディック冷却、PCMOS、真空チャネルトランジスタ、テラヘルツ光、極端紫外線リソグラフィ、カーボンナノチューブ電界効果型トランジスタ、シリコンフォトニクス、グラフェン、フォスフォレン、有機半導体、ガリウムヒ素、インジウムガリウムヒ素、ナノリソグラフィ、再構成可能なカオス理論に基づくマイクロチップがある。
インテルは具体的な計画を明らかにしていなかったが、2009年のロードマップではおよそ2020年までにエンドユーザーへの発売を計画していた。2017年初め、サムスンは修正されたロードマップの一環として2020年までに4nmノードの製造を発表した。2018年1月26日、TSMCは2020年までに新しいファブ18で5nmの製造を発表した。2018年10月、TSMCは次の年の4月に5nmデバイスのリスク生産を始める計画を明らかにした。
単一トランジスタ7nmデバイスは2000年代初めに研究者によって最初に作製された。2002年、IBMが6nmトランジスタを作製した。2003年、NECは5nmトランジスタを作製した。2015年、IMECとケイデンスは、5nmテストチップを作製した。作製されたテストチップは十分に機能的なデバイスではないが、配線層のパターニングを評価できるものであった。2015年、インテルは5nmノードのためのラテラル・ナノワイヤ（または全周ゲート）FETのコンセプトを描いた。2017年、IBMは通常のFinFETデザインではなく全周ゲート構造（GAAFET）でのシリコンナノシートを用いて、5nmシリコンチップを作製したことを明らかにした。
かつて一部の専門家から5nmノードはムーアの法則の終わりと考えられていた 。7nm以下のトランジスタは、ゲート酸化物層でトンネル効果が起こる 。開発コストのため5nmが市場に出回るには、ムーアの法則による2年よりも長くかかると予測されている。当初は、7nmを超えた小さなスケールでチップを作るには大きな技術的進歩が必要だと言われていた 。特に、5nmは全周ゲート(gate-all-around)アーキテクチャなどFinFETの後を継ぐものを呼び込むと考えられている。
北海道札幌市出身。弘前大学独文科中退後、1979年文学座付属演劇研究所に入所。1984年座員となる。『ハムレット』『沢氏の二人娘』『ハイキング』『ウェスト・サイド・ワルツ』などに出演。文学座在籍中に石川耕士と若手グループちかまつ芝居を作り、劇団外でも公演する。また、1987年に『会社の人事』（T2スタジオ）で初演出。1988年、文学座を退座。1989年ちかまつ芝居を発展的に解散し、演劇集団MODEを創立する。以降、演出に専念し、役者の創意と工夫を取り入れたユニークな芝居づくりで評判を集める。初期はチェーホフ作品を新解釈で現代に甦らせた『逃げ去る恋』、『ぼくの伯父さん』、ソーントン・ワイルダーの『わが町』を昭和30年代の北海道に置き換えた『わたしが子どもだったころ』、テネシー・ウィリアムズの『ガラスの動物園』を翻案した『きみのともだち』などが高く評価された。1996年〜1998年、北海道演劇財団常任演出家。1997年〜2001年、世田谷パブリックシアター、アソシエイトディレクター。上記以外の代表作に『魚の祭（柳美里作）』『ぼくのイソップものがたり』『孤独な惑星』『プラトーノフ』『ガリレオの生涯』『アメリカ』『城』『変身』『審判』などがある。 現在は演出活動の傍ら、近畿大学芸術学科の教授として若手の指導にも当たっている。
高校時代からキックボクシングに興味を抱き、大学入学後、空手を稽古し始める。1970年には10日間の山篭り修行をおこなう。同年の第2回オープントーナメント全日本空手道選手権大会に白帯でエントリーした。2回戦で西田幸夫と対戦するが判定負け。1971年の第3回全日本選手権に出場し、富樫は1,2回戦を勝利し3回戦まで進出したと自著で記してるが、2回戦で対戦した佐藤勝昭は富樫の前額部に跳び膝蹴りをヒットさせて大差の判定で富樫に勝利したと述べており、矛盾が生じた。しかし、同選手権のプログラムに掲載されたトーナメント表では3回戦に両者が対戦と記されている。1973年の6月から9月中旬まで奥多摩で100日間の山篭りを行い、空手の稽古に励んだ。極真空手三段として出場した同年の第5回全日本選手権では岸信行を破り、ベスト4進出をかけて佐藤俊和と対戦し惜敗したが、5位に入賞した。無門会総本部－旧デザインサイトによれば、他流派参加者による上位入賞は大会史上初の快挙であったという。この時の富樫を梶原一騎原作の劇画『空手バカ一代』で取り上げ、第5回全日本選手権に出場した様が描かれている。しかし試合結果以外は創作された内容となっている。同年12月、武道空手道研究会『日本空手道無門会』を発足し代表に就任した。「受即攻」と呼ばれる、無門会独自の技を開発している。実弟・富樫宣弘は1985年まで無門会に所属し、練馬支部長を務めていたが脱退。同時期に脱退した有志と独自に「梁山泊空手道連盟」を創設し、活動している。