一般的に使用されるプラスチックは、真空中に入れると組織中に含有する成分や水分などが真空中に多く放出されるため、真空環境に入れることは適さない。しかし、最近は高性能の工業用プラスチックであるエンジニアプラスチックが多く開発されており、それらは放出ガスなども非常に少ないため真空中に多く使用される例が増えてきた。真空中で使用される代表的なエンジニアプラスチックはPEEKである。PEEKは耐熱温度が高く機械加工が容易で機械的性質が優れるなど扱いやすく放出ガスが少ないなどの真空に適した特性を持っている。
真空チャンバ全体の密封のためチャンバとの接続部や真空バルブのシール材として多く用いられる。真空中に使用されるゴムには天然ゴムと合成ゴムがあり、ネオプレンゴム、ニトリルゴム、シリコンゴム、フッ素ゴムといった合成ゴムが真空用途に広く用いられている。合成ゴムは耐高温性、ガス透過性の小さい物が多く、耐油性、耐酸、耐アルカリ性も天然ゴムに比べて優れている。代表的な材料がデュポン社の開発したバイトンであり、真空用のゴムガスケットシールでは多く用いられる。また、より高温で使用するために開発された材料も多くあり、代表的な材料はデュポン社のカルレッツがある。
真空グリースは真空装置のゴムガスケット面の真空中の気密保持、駆動機構（ベアリングやガイド）真空中での潤滑、真空バルブのコックの摩擦面の潤滑のために使用されてきた。近年では硬さ（粘度）が夏冬であまり変化せず、高低温ともに使用可能で、室温で蒸気圧が低い、広範囲に利用できる性能を持っているためシリコングリースが広く使われている。最近ではより蒸気圧の低いフッ素系オイルなどが開発されておりグリースとしての性能も向上している物が開発されてきている。ただし、真空グリースは潤滑性に劣るため駆動部に使用される場合は通常のグリースに比べて駆動部の仕様条件（加重や周速条件など）を大きく制限される。また、真空グリースは高性能であっても水分を取り込みやすく、その結果装置全体への放出ガスへの増加につながる例もあるため使用する量は十分管理する必要がある。
真空ポンプ用油は油回転ポンプ、ブースター、エジェクター、油拡散ポンプなどに使用されており、それぞれ適した油を使用する必要がある。基本的にはポンプメーカーの推奨の油が存在する。要求される性質は蒸気圧が低いこと、大気圧あるいはそれに近い圧力下で加熱したときに酸化し難いこと、揮発成分を含まないこと、化学的に不活性であること、適度の粘度があること、ポンプ作用を効果的にするために分子量が大きいこと、金属表面などに固体となって付着しないことなどがある。
タンタルは比較的高温でゲッター作用があり、また高温強度が優れているため直熱フィラメントのスプリングにも使用されている。また、加工性が良く放出ガスが少ないほか、高温ガス抜きしたものはガス吸着性が強い。水素中で熱処理すると脆い水素化合物を生成するので必ず真空処理を行う必要がある。
チタンは軽く強く、腐食しない。耐熱性も良好である。特に真空用途には化学的に活性度が高く、ガスと反応しやすいという性質を利用して、チタンゲッタポンプのゲッター材料、活性合金法によるセラミック電子管などに使用される。ガスとは活発に反応し、酸素、窒素、水素と反応して化合物を作る。また、真空用構造材としてもチタン合金が使用される。
モリブデンは融点がタングステンより低いものの2880℃付近と高い。また化学的特性が似ているが、柔らかく加工性がいいため、電子管の陽極材料や真空炉の遮蔽版、反射板、高温部の支持材料などに使用される。
タングステンは融点が3640℃と金属中で最高の融点を持ち、高温引張強さが大きい、また、放出ガスが極めて少ないため、電子管をはじめ、各種電球のフィラメント等真空部品として広く使用されている。また、白金族に次ぐ密度と防錆性をもつなどの特徴がある。またTaやMoの添加によって純タングステンより電気抵抗は増加し、強度と伸展性が増加するのでしばしば電子管のヒーターに使用される。
水銀は水銀拡散ポンプ、水銀整流器、マクラウド真空計など昔から真空装置用部品として使用されてきた。化学的には貴金属に近く、空気、酸素に常温で酸化せずに350℃近くで初めて酸化が始まる。水銀は室温でも少しずつ蒸発し、これを吸引すると人体に害があるためパラフィン油などで表面を覆い、水銀の蒸発を抑えることが必要である。
電子図書館には、旧来の図書館と違い、インターネットでどこからでもいつでもアクセスできるという利点を生かして、日本では「青空文庫」、アメリカでは「プロジェクト・グーテンベルク」、その他各言語に対応したウィキペディアの姉妹サイトである「ウィキソース」のように、著作権が消滅したり、著者が著作権を放棄した文学作品やエッセイなどを収録、無料公開している所がある。収録のための活動は、青空文庫及びウィキソースの場合はボランティアの手による。無料で公開している所と、有料（会員制）の所がある。また、大学、研究者などが、研究のために、著作権の問題は無いものの、容易にアクセスすることのできない貴重な文献や資料を、専門家の注釈などを加えて単独で公開しているようなケースもある。こうした単独での公開サイトのリンク集をインターネット上につくり、それをインターネット上の日本文学のweb図書館というかたちで公開する場合もある。大学や研究所など学術機関においては、説明責任や社会的要請の変化に伴い機関内で生産された論文・紀要を電子化して公開したり、市民対象の公開講義をインターネット上で公開しているものも増加している。現在では「機関リポジトリ」上に構築されていることが多く、電子図書館という名称でないこともある。日本の大学で初期に構築された電子図書館の例として長尾真らによる実験モデル「アリアドネ」(1994年)が挙げられる。日本初の実用型は奈良先端科学技術大学院大学で砂原秀樹らが1996年に構築したものとされる。有料ライブラリーとしては、世界最大のオンライン・ライブラリーと銘打ったQuestiaのような有料サイトも出現している。最新とはいかなくても、著作権がまだ消滅していない学術書が無数に収録されている。