最初エリザベス・バセットと結婚したが1643年に死別、1645年に後に哲学者・作家として著名になるマーガレット・ルーカスと再婚した。最初の妻エリザベスとの間に10人の子を儲けたが、息子はヘンリー（1630年頃 - 1691年）1人しか残らなかった。2番目の妻マーガレットとの間に子はいない。娘のうちジェーン（1621年 - 1669年）はニューヘイブン子爵チャールズ・チェインと、エリザベス（1627年頃 - 1663年）はブリッジウォーター伯爵ジョン・エジャートンと、フランセス（1641年以前 - 1678年）はボリングブルック伯爵オリバー・シンジョンと結婚している。またジェーンとエリザベスは戯曲『かくれた空想』（TheConcealed Fancies）の著者である。
ノッティンガムシャーのジェントリであるサー・チャールズ・キャヴェンディッシュとキャサリン・オグル夫妻の子に生まれ、母方からオグル男爵を継承していた。またデヴォンシャー伯爵ウィリアム・キャヴェンディッシュは伯父に当たる。ケンブリッジ大学を卒業、ジェームズ1世・チャールズ1世父子と親しくなりステュアート朝に接近、1628年にニューカッスル＝アポン＝タイン伯に叙され、1638年にはチャールズ皇太子（後のチャールズ2世）の家庭教師に任じられた。豊富な資金力で王家を支え、1639年の主教戦争で自費で兵を集めチャールズ1世に協力、上院の王党派に属し1642年から第一次イングランド内戦が始まると自領から農民数千人を王党派兵士として派遣している。北部で軍団を率いて議会派の討伐に当たり、1643年6月30日のアドウォルトン・ムーアの戦いでヨークシャーの有力者であるファーディナンド・フェアファクス卿と息子のトーマス・フェアファクスに勝利、一時はラルフ・ホプトン、チャールズ1世の軍勢と共にロンドン進撃を窺うまでになった。だがロンドン進撃は拒否、代わりにフェアファクス父子が籠るハルに迫ったが逃げられた上、転進したリンカンシャーで父子の救援に来た東部連合軍司令官マンチェスター伯エドワード・モンタギューと部下の鉄騎隊隊長オリバー・クロムウェルが待ち構え、10月11日のウィンスビーの戦いで敗れてリンカンシャーとヨークシャーを議会派に確保され窮地に陥った。同年、侯爵に昇叙。1644年になるとスコットランド国民盟約（盟約派）から議会派援軍として派遣されたリーヴン伯アレクサンダー・レスリーおよび甥のデビッド・レスリーと合流したフェアファクス軍にヨークを包囲されるが、カンバーランド公ルパートの救援で議会軍は包囲を解除、窮地を脱した。続いて強硬論を主張するルパートに押し切られマーストン・ムーアの戦いでフェアファクス父子・東部連合軍・スコットランド軍が勢揃いした議会軍と激突したが、クロムウェルの活躍で国王軍は大敗、ルパートはランカシャーへ逃れ、ニューカッスル侯は大陸へ亡命した。亡命中は王党派へ財政援助を行い、1660年の王政復古でチャールズ2世と共にイングランドへ帰国した。1665年に公爵へ昇叙されると引退、ジョン・ドライデンとトマス・ホッブズなど文化人のパトロンとなり、自らも詩作など趣味に没頭する余生を送った。1676年に84歳で死去、息子のヘンリー・キャヴェンディッシュが爵位を継承した。ベン・ジョンソンをはじめとする文人のパトロンであり、自らも劇作家として活動するなど、教養人であった。
マリア・テレジアの結婚について、オイゲン公はバイエルンとの縁組を勧め、また在ベルリンのオーストリア大使ゼッケンドルフやカール6世の侍従長バルテンシュタインらはプロイセン王太子フリードリヒ（後のフリードリヒ2世（大王））との縁組を推薦した。なお、オイゲン公もフリードリヒを推薦したとの説もある。しかし、ロートリンゲン（ロレーヌ）家は第二次ウィーン包囲においてオスマン帝国を敗走せしめた英雄カール5世（シャルル5世）の末裔であり、ハプスブルク家にとっても深い縁があったことから、カール5世の孫との縁組が決定される。ロートリンゲン（ロレーヌ）公レオポルトの3人の息子は1723年からウィーン宮廷へ留学し、長男クレメンスが婚約者候補となったが、同年に病没する。そこで次男フランツ・シュテファン（愛称:フランツル）が婚約者候補となり、またカール6世もフランツのことを大変気に入り、好待遇を受けるようになった。マリア・テレジアは6歳の時に15歳のフランツと出会い、憧憬はやがて愛情へ変わり、その様子は「夜は彼のことを夢見、昼は女官たちに彼のことを話している」とイギリス大使が記している。1736年2月12日、アウグスティーナ教会で2人は婚礼を挙げた。この時、マリア・テレジアのドレスの裾を持ったのは、慣例に反して教育係であったシャルロッテ・フックス伯爵夫人（フルネームはカロリーネ・フォン・フックス＝モラールト）であった。当時の王族としては奇蹟にも近い恋愛結婚であった。結婚に際しフランツは、フランス王ルイ15世の理解を得るため、領地ロートリンゲン（ロレーヌ）公国をフランスへ割譲しなければならず、代わりにトスカーナ大公の地位を得た。カール6世は、オイゲン公の「王女には紙切れよりも強力な軍隊と財源を残すべし」という進言を尻目に、『プラグマーティシェ・ザンクチオン』（国事詔書、Pragmatische Sanktion）を出して国内および各国に、彼女のオーストリア・ボヘミア（ベーメン）・モラヴィア（メーレン）・ハンガリーなど、ハプスブルク家世襲領の相続を認めさせた。また、女子が皇帝になることはできなかったため、帝位には娘婿フランツ・シュテファンが就くこととした。しかしカール6世はそれでもなお男児（孫）の誕生を夢見ており、彼女に政治家としての教育は施さなかった。このため、マリア・テレジアの幼少期の公式記録は、ほとんど残されていない。このような政治的事情の一方、マリア・テレジアとフランツ・シュテファンの仲はすこぶる円満であるが、結婚後4年のうちに連続して3人の大公女が誕生したため、反オーストリア側諸国の煽動もありフランツが批判を受ける。1737年、フランツはトスカーナ大公となり、1739年1月に夫妻はトスカーナを訪問する。フランツは同地の財政を立て直し、以後オーストリアの財政基盤となった。