由利郡滝沢（現・由利本荘市前郷字滝沢館）付近を中心に勢力があった武士団。先祖は由利氏と称する。家伝によると大中臣良平が源義家に従い由利半郡を賜ったのが始まりとされているが、清和源氏頼光流とする系図もあり、安倍氏説、中原氏説も存在するなど不明な点が多い。源頼朝により本領を安堵された由利維平の子の維久が和田合戦に連座し所領を没収されて以後、子孫が土着し滝沢氏と称したとされているが詳細は不明である。1343年（康永2年）9月には南朝に組みした由利兵庫介の名が史料に見える。1430年（永享2年）に政久の代に至り滝沢を領し名字としたとも伝えられている。終始矢島氏と敵対し、仁賀保氏と組んだ。豊臣秀吉により約2,200石の所領を安堵されたと推定されているが、関ヶ原後には最上氏に仕え 10,000石を与えられた。この間の経緯について、本来の惣領家に対し最上義光に仕えた分家筋の人物が家を簒奪したのではないかという見解がある。最上氏改易後は六郷氏に仕え本荘藩家老となり幕末に至った。後世、由利公正が子孫を称している。
由利郡石沢（現・由利本荘市館）付近を中心に勢力があった武士団。仁賀保氏と同様に先祖は大井氏と称した。豊臣秀吉により由利衆として398石の所領を安堵された。関ヶ原後には最上氏に仕えた。
由利郡鮎川（現・由利本荘市東鮎川）付近を中心に勢力があった武士団。仁賀保氏と同様に先祖は大井氏と称した。主に矢島氏や大宝寺氏と通交した。奥州仕置時の由利衆の中には名が見えない。子孫は最上氏に仕えたが、最上義光により改易されたとも伝えられている。
由利郡玉米（現・由利本荘市東由利館合）付近を中心に勢力があった武士団。仁賀保氏と同様に先祖は大井氏と称し、玉前氏とも到米氏とも表記した。奥州仕置時の由利衆の中には名が見えない。六郷氏に仕え幕末に至った。直系子孫は由利本荘市矢島に存続。
この町の地域で最も古い考古学的出土品の一つが、ラ＝テーヌ時代初期のケルト人の環状土塁施設の遺構である。この施設は紀元前450年頃に建設され、紀元前3世紀におそらくゲルマン人が定住し始めたために放棄あるいは破壊された。この街の最も古い集落はマンデルン (Mandeln) である。この集落は800年頃のロルシュ文書に Mauuentelina として初めて記録されている。しかしこの集落は、中世には一時廃村となるほど衰退した。エーヴァースバッハ、リッタースハウゼン、ランゲンバッハの集落はおそらくフランク人による征服の時代（5世紀から7世紀）に建設された。エーヴァースバッハの文献記録は1302年8月3日、リッタースハウゼンのそれは1344年になされている。ランゲンバッハは15世紀に廃村となるほど衰退し、その土地はリッタースハウゼンが管理した。カロリング朝時代、ディーツヘルツェの谷はハイガーガウの最も東の入り口であった。ハイガーガウはおそらくラーンガウの下位地区であった。ハイガーガウはコンラート家の終焉により宮中伯に移譲された。このガウはレーエンとしてモルスベルク家に与えられた。モルスベルク家は、ディーツヘルツタールに下級貴族のビッケン家を封じた。ケルンからライプツィヒへ、アンゲルブルクを越える交易路（ブラバント街道とも呼ばれる）沿いに位置していたため、エーバースバッハは中心的な集落に発展した。ビッケン家はここに城砦（あるいは防衛施設を持つ館）を築いた。1303年に初めてツェント裁判に関する記録が遺されている。教会区は1048年にハイガー教会区から分離され、その教会守護権はやはりビッケン家のものとされた。13世紀から進出してきたナッサウ伯は、ハイガーガウやヘルボルナー・マルク地方で勢力を強めていった。ナッサウ伯とヘッセン方伯との間でデルンバッハ・フェーデが起こると、ビッケン家はヘッセン側に味方した。ナッサウ伯はディル川沿いを占領した。ビッケン家は1486年、最終的にディーツヘルツタールの裁判権をナッサウ伯に移譲した。ナッサウとヘッセンとの国境紛争は継続し、18世紀半ばにやっと解決した。ナッサウ＝ディレンブルクへの移行後、製鉄業が盛んとなり、人口増加が起こった。マンデルンは1489年に再興され、シュタインブリュッケンとノイヒュッテンの集落が新たに建設された。ナッサウ＝ディレンブルク家の断絶により、1720年にディーツヘルツタールはナッサウ＝バイルシュタイン家の所有となった。1725年にアムト・エーバーバッハはアムト・トリンゲンシュタインの地域が編入され拡大された。しかし1739年にはナッサウ＝バイルシュタイン家も断絶し、ナッサウ＝ディーツ家（オラニエ＝ナッサウ家）がその所領を相続した。1769年にベルゲバースバッハ完全に焼失したが、その後復興された。1806年から1813年までこの集落はベルク大公国に属した。ここではジーク県ディルブルク郡の一部であった。ライプツィヒの戦いでナポレオン・ボナパルトが敗北した後、オラニエ＝ナッサウ家の高権が回復された。オラニエ＝ナッサウ家は、そのルクセンブルクの所領と、すでにウィーン会議でプロイセン王国領となっていたヴェスターヴァルトおよびディル川沿いの所領とを交換した。プロイセン王国は同じ日に、ナッサウ公国側と同じ面積の領域を割譲した。1816年7月1日にアムト・エーバーバッハが廃止され、アムト・ディルブルクに統合された。ノイヒュッテおよびシュトラーセバールバッハの両集落は1818年に合併した。シュタインブリュック集落は1823年に独自の村域を獲得し、エーバースバッハの一部として編入されるまでこれを保持した。ナッサウ公国が併合され、この集落は1866年から再びプロイセン王国領となった。ここではヘッセン＝ナッサウ州ヴィースバーデン行政管区に属した。1866年のプロイセンの郡および州に関する政令によってナッサウのアムト制は廃止され、この集落はディル郡に属すこととなった。1945年にこの集落はアメリカ管理地区に組み込まれ、ヘッセン州の一部となり、ヴィースバーデン行政管区に属した。1968年にこの行政管区が廃止されたことによりダルムシュタット行政管区の一部となったが、1981年にギーセン行政管区に移管された。1977年に新たに創設されたラーン＝ディル郡の一部となった。1960年代に、日本の石橋町とシュタインブリュックとの間の姉妹自治体協定が結ばれた。「シュタインブリュック」(ドイツ語: brücken) は日本語の「石橋」を意味する。これはドイツと日本との最初の姉妹自治体協定であった。ドイツおよび日本の自治体再編によって現在この姉妹自治体協定はディーツヘルツタールと下野市との間の協定となっている。