バッファード オキサイド エッチ液
バッファード・オキサイド・エッチ（Buffered_oxide_etch、BOE）は、バッファードHF（Hydrogen Fluoride）またはBHF（Buffered Hydrogen Fluoride）とも呼ばれ、微細加工に用いられる湿式エッチング液である。
主に二酸化ケイ素（SiO2)や窒化ケイ素（Si3N4）の薄膜をエッチングする際に使用される。