集塵装置
集塵装置（しゅうじんそうち、）は、大気汚染の防止や有価物の回収を目的として、排気中の煤や粉塵などの粒子を気体から分離する装置である。クリーンルーム中での異物除去にも使用され、集塵機と称することもある。