ラザフォード後方散乱分光
ラザフォード後方散乱分光（ラザフォードこうほうさんらんぶんこう、、RBS)とは、物質に高速のイオンを照射し、後方散乱したイオンのエネルギーと個数を測定することで元素分析をする表面分析手法。