圧電応答力顕微鏡
圧電応答力顕微鏡（あつでんおうとうりょくけんびきょう、Piezoresponse Force Microscopy : PFM）は走査型プローブ顕微鏡の一種。圧電応答顕微鏡（あつでんおうとうけんびきょう）、ピエゾ応答力顕微鏡（―おうとうりょくけんびきょう）ともいう。