低速電子線回折
低速電子線回折（ていそくでんしせんかいせつ、、）は電子回折法の一種であり、電子を試料に照射し、それが回折される様子を観察することで、固体の表面構造を解析する技術である。利用される電子のエネルギーが低い（20 - 200 eV）点で、同じ原理を用いた分析法である反射高速電子線回折（）（数 - 100 keV）と区別される。