フッ化チオニル
フッ化チオニル（フッかチオニル、）は、化学式SOF2で表される無機化合物。電子基板の絶縁体である六フッ化硫黄の分解生成物である。分子構造は左右対称のピラミッド型で、分子間の距離は硫黄-酸素間が1.42Å、硫黄-フッ素間は1.58Å。結合角度は酸素-硫黄-フッ素が106.2°、フッ素-硫黄-フッ素が92.2°。塩化チオニルや臭化チオニルに似た構造を持つが、これらが常温で液体であるのに対し、フッ化チオニルは常温では気体である。SOCIFなど混合ハロゲン物も知られている。