워트 사업보고서 (2023.12)
2. 주요 제품 및 서비스

가. 주요제품에 대한 매출 현황(단위 : 백만원)

제품명	2023년도	2022년도	2021년도

매출액	비율	매출액	비율	매출액	비율

제품	THC	6,376	49.64%	13,706	60.02%	14,594	54.68%

FFU	3,086	24.02%	6,570	28.77%	8,790	32.93%

TCU	1,270	9.88%	564	2.47%	530	1.98%

기타	1,185	9.23%	714	3.13%	1,229	4.61%

소 계	11,917	92.77%	21,555	94.39%	25,143	94.20%

상품	514	4.00%	977	4.28%	1,338	5.01%

기타	415	3.23%	303	1.33%	210	0.79%

합 계	12,846	100.00%	22,835	100.00%	26,691	100.00%

나. 주요 제품 설명

(1) THC(Temperature Control System; 초정밀 온습도 제어장비)

THC 장비는 반도체 포토공정의 트랙장비와 연결되어 웨이퍼에 PR용액 도포 공정과 노광 후 현상공정에서 분사되는 에어(기체)를 초정밀한 온습도 제어를 통해 일정한 온도와 습도로 공급하여 제조환경을 유지할 수 있도록 하는 장치입니다. THC 장비는 기본적으로 초정밀 온습도제어(온도; ±0.05℃, 습도; ±0.5%)기능과 부가적으로 클린룸 내에서 발생되는 미량가스(Chemical Gas)를 제거하는 케미컬 필터가 장착되어 있으며, 트랙장비 내의 일정온도 유지가 필요한 기구부(PR노즐, 로봇암, Baker)에 항온수를 공급하는 기능을 갖추고 있습니다.

제품	특 징

emb0000488c4bf1.jpg THC장비	1) 폐열을 이용한 절전형 초정밀 온도제어 기술 보유(SV±0.03℃) - 기존 설비 대비 에너지 절감효과 20%
- 특허 제10-1846457호
2) Heatless 초정밀 항온수 및 항온 공급기술 보유
- 특허 제10-1265750호
3) 콤팩트(Compact)한 설계기술 보유
- Clean Room에서의 장비 Footprint(점유면적)는 생산원가와 직결.
4) 정밀 항습을 위한 가습부 설계 기술 보유 (SV±0.2%)
5) PLC 기반의 초정밀 제어(온도, 습도, 냉동시스템)기술
6) 고객 요구사양에 부합하는 시스템 설계기술 보유

(2) TCU(Temperature Control Unit)

TCU 장비는 디스플레이 공정에 적용되는 온도제어 시스템으로 당사의 주력제품인 THC장비에서 습도제어 기능이 없는 제품입니다. 현재 Display Panel을 생산하는 방식은 크게 기존의 진공증착 기술과 차세대 기술인 잉크젯 프린팅(Inkjet Printing) 기술이 있습니다. 진공증착 공정기술은 유기발광 다이오드의 원재료인 유기화합물을 공중으로 뿌려 기판에 증착하는 방식이며, 잉크젯 프린팅 공정기술은 유기화합물을 기판위에 회로를 직접 인쇄하는 방식입니다.

(출처 : 워트(주))

진공증착공정은 진공 챔버 등 많은 부대설비가 필요하고 공정도 복잡하기 때문에 공간의 제약이 많고 재료의 사용량이 많아 제품의 원가 상승을 가져오게 됩니다. 잉크젯 프린팅 공정기술은 이에 비해 공정이 간단하고 재료 사용량이 적어 제품의 원가를 획기적으로 절감할 수 있고 공정시간도 대폭 단축할 수 있기 때문에 차세대 공정기술로 각광을 받고 있습니다. 당사는 OLED용 잉크젯 프린팅 설비를 국산화한 세메스와 개발초기부터 참여하여 해당 설비에 적용되는 TCU 장비를 개발하여 양산을 하고있습니다.

제 품	당사 주요기술

emb0000488c4bf7.jpg TCU장비	1) 고압 고풍량 에어 공급기술 보유
2) 정밀 고압의 항온에어 공급기술 보유
3) 밀폐 챔버 설계 기술 보유
4) 고객 요구사양에 부합하는 시스템 설계기술 보유

디스플레이 공정은 기판인 글래스(Glass)의 이동뿐만 아니라, 글래스 위에 회로를 인쇄하는 공정 또한 기판을 부상시킨 상태에서 진행됩니다. 당사의 TCU 제품은 디스플레이의 회로 인쇄 공정에서 글래스를 부상시키기 위한 유체(공기, 질소)를 일정온도와 압력으로 잉크젯 공정의 스테이지에 공급하는 역할을 수행합니다. 이때 유체는 글래스에 직접적으로 접촉되므로 파티클이 없어야 하며 공급되는 유체의 온도 및 공급압력에 대한 정밀제어가 필수입니다.

당사의 TCU 장비는 일정한 유속으로 공기를 밀어내는 역할을 하는 링블로워와 냉각기를 밀폐 챔버에 설치하여 압축된 유체의 온도를 공정에서 요구하는 조건까지 냉각 제어하여 스테이지에 분사합니다.

(3) FFU(Fan Filter Unit) 유닛

FFU는 Clean Room 및 반도체, 디스플레이용 공정 장비 등에 적용되며 미세먼지(Particle)를 관리하는 목적으로 사용되는 고성능 필터와, Fan, 제어기로 구성되어 있습니다. 당사의 FFU 제품은 반도체 및 디스플레이 공정장비에 주로 적용됩니다. 공정장비에 적용되는 FFU는 제조사마다 사양이 상이하고 각 장비별 내부 설계 또한 상이하므로 설비의 사양에 맞는 Fan의 크기와 기류의 속도, 유체의 균일성(풍속의 차이)를 고려한 맞춤형 FFU 시스템을 제작하는 것이 중요합니다.

제 품	주요사양

emb000055ec5243_1.jpg FFU유닛	1) 다양한(슬림형, 차압제어형 등) FFU 설계, 제작 기술보유
2) 조명 및 차압모니터링이 장착된 FFU
(오작동이 날 경우를 대비하여 압력을 지속적으로 측정)
3) 고객 맟춤형 FFU 통합시스템 UI 구성
4) 고객 요구사양에 부합하는 시스템 설계기술 보유

(4) 기타(Ultra Vacuum Cleaner, 초정밀 항온습 Chamber)

① UVC(Ultra Vacuum Cleaner)

UVC는 반도체 또는 디스플레이의 클린룸에서 OHT나 카세트에 탑재되어 사용되는 고청정도의 집진기입니다. 반도체 및 디스플레이 라인은 상시 고청도를 유지하도록 설계되어 있지만, 수많은 작업자와 반도체 장비로 인해 불가피하게 파티클이 발생합니다. 특히 라인내에서 웨이퍼나 글라스를 운반하는 OHT(Overhead Hoist Transport)장비 또는 카세트의 이동시 장비의 롤러와 선로(rail)의 마찰에 의해 다량의 분진이 발생되는데 당사의 UVC장비는 선로상의 분진을 제거하는 용도로 사용됩니다.

제 품	주요기술

emb000055ec524c.jpg OHT 장비	1) CLASS 10이상의 고청정도
2) BLDC 진공모터를 이용한 고흡입력

(출처 : 삼성전자, 워트)

② 초정밀 항온습 Chamber

초정밀 측정 검사기기 또한 정밀하고 정확한 검사를 위해 검사기가 설치된 주변의 정밀한 온습도의 제어가 필요합니다. 따라서 고가의 초정밀 장비는 별도의 초정밀 항온습 챔버내에서 구동이 되어야합니다. 당사는 이러한 환경조건을 만족하는 초정밀 항온습 챔버 등을 고객의 요구사양에 맞게 개발하여 납품을 진행하고 있습니다.

제 품	당사 주요기술

1) 항온항습기(SV ±0.05℃)+ FFU 시스템(CLASS 1)으로 구성
2) 고객 요구사양에 부합하는 시스템 설계기술 보유

다. 가격변동추이당사제품의 경우 고객사별로 요구되는 품목 및 동일 품목내에서도 다양한 요구 사양차이에 따른 가격 편차가 크기 때문에 제품당 가격을 단순 산정하기 어렵습니다. 또한 사양에 따른 구체적인 가격 변동 사항은 영업적으로 보호되어야 할 필요가 있으므로 제품별 단가를 기재하지 않았습니다.