삼영에스앤씨 반기보고서 (2021.06)
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요 계약

당사는 보고서 제출일 현재 해당사항이 없습니다. 나. 연구개발 활동에 관한 사항

1. 연구개발 조직 보고서 작성기준일 현재 당사의 연구개발인력 구성은 아래와 같습니다. (1) 연구개발 조직 개요

당사는 연구개발을 전담하는 부서를 운영하고 있으며, 해당 부문은 신규 제품 개발에 필요한 핵심소재, 센서 형상설계 및 관련 어플리케이션 개발을 담당합니다.

연구기획팀은 신규사업 및 국책과제 기획 업무와 개발구매 및 행정업무를 담당하고 있습니다. 기구설계팀은 제품 디자인과 기구 설계업무를 수행합니다. 소프트웨어팀은 센서개발에 필요한 펌웨어/소프트웨어 개발을 담당하고 있으며, 하드웨어팀은 신호처리회로 및 디지털회로 개발을 수행합니다. 선행연구팀은 센서 소재와 공정 및 어플리케이션 개발을 담당하고 있습니다.(2) 연구개발인력 구성

(단위 : 명)

학력	박사	석사	학사	기타

인원수	1	6	13	4

2. 기술 경쟁력

(1) 연구개발 실적보고서 제출일 기준으로 수행이 완료 혹은 진행중인 국책과제는 다음과 같습니다.

연구과제명	주관부서	연구기간	정부출연금
(백만원)	관련제품	비고

자동차향 실내 부유 초미세먼지 감지센서모듈개발 및 Calibration 시스템 개발	산업통상자원부	‘15.11~'18.08	703	미세먼지센서	과제 완료 자동차용미세먼지센서 (LDSM) 상품화 완료

MEMS기반의 소형 저전력 PM2.5센서기술개발
국제공동연구개발사업	산업통상자원부	‘17.09~'21.02	1,500	미세먼지센서	과제 진행중 미세먼지센서(PSM) 상품화 완료

스마트환경 가전 공장 오피스에 적용하기 위한 초소형 환경센서모듈 기술개발	산업통상자원부	‘19.04~’20.12	632	복합환경센서
센서 노드	과제 진행중 공기질통합센서노드 상품화 진행 중

친환경 전기차의 효율적인 전력관리 및 편의ㆍ안전운행을 지원하는 습도센서 개발	중소기업벤처부	‘20.09~’22.09	600	온습도센서	과제 진행중

또한 보고서 제출일 기준으로 수행이 완료 혹은 진행중인 회사 내부 과제는 다음과 같습니다.

연구과제	안정성/응답성 개선 정전용량형 폴리머 소재 합성 및 상용소자 적용

연구기간	2016. 02 ~ 2017. 12

연구결과	무수화물 단량체의 관능기 중 수분의 흡/탈착 속도에 영향을 줄 수 있는 관능기를 가진 단량체를 선정하여 고분자를 합성함으로써 구조적으로 열악한 수분 응답특성을 개선시켜 장시간 고습 환경에 노출되어도 특성 드리프트를 최소화 할 수 있는 고분자를 개발.

기대효과	습도센서의 신뢰성 향상, 빠른 응답성 및 고온고습 장기방치 안정성

상품화	당사 HumiChip?에 적용

연구과제	고객맞춤형 calibration 방법론 개발 및 HumiChip? 제품 적용

연구기간	2017. 01 ~ 2017. 12

연구결과	센서 교정 영역에 습공기 공급 압력 및 속도 최적화 및 교정 대상인 센서를 고속으로 원하는 온도에 도달하도록 챔버를 개발하여 당사의 양산 교정 설비, ACIS( Auto Calibration Inline System)에 교정 방법론 적용

기대효과	냉장고 혹은 자동차용에 필요한 고습영역 정확도 혹은 반도체 공정라인에서 필요한 저습영역 정확도 요구에 따라 고객맞춤형 센서 Calibration 가능

상품화	당사 AICS 양산 설비에 적용하여 HumiChip? 제품 생산

연구과제	상전이(phase transition) 모델을 이용한 결로예지센서 교정기술

연구기간	2017. 06 ~ 2019. 12

연구결과	결로예지센서의 마스터 특성을 도체-부도체 전기 전도도 percolation 모델로 정의, 마스터 특성 중 프로세스나 물질 의존적인 특성 항목(감습 물질 농도, 팽윤 정도)을 고정함으로써 센서의 고습, 전체구간의 저항을 80 %RH이하의 저습구간의 3 point 측정을 통해 추정할 수 있는 방법을 개발. 캡처02_3.jpg .

기대효과	센서 정확도 향상 및 생산 시 시간 효율적인 특성 확인 및 교정이 가능하므로 자동차 공조, 콜드 체인 등 수분 응축 방지를 통한 에너지 절감 솔루션에 광범위하게 적용 가능 센서 고정밀성 향상

상품화	결로예지센서와 스위치 회로를 결합한 모듈형태로 신규 어플리케이션 제공 예정

연구과제	초미세먼지 탐지를 위한 LED 기반 광학정렬구조 개발

연구기간	2017. 01 ~ 2018. 12

연구결과	광학정렬 설계기술 개발을 통해 0.3㎛ 크기 입자까지 측정이 가능하도록 LED 광원을 사용하는 산란광 집광 광학구조를 개발 캡처03_2.jpg .

기대효과	먼지센서 전용 기반 광학구조체 개발을 통해 다양한 어플리케이션에 최적화된 폼팩터 적용 확대

상품화	당사 미세먼지센서, PSM 개발하여 공기청정기 등에 적용

연구과제	광학챔버 내 먼지 누적 방지를 위한 유로 구조 개발

연구기간	2019. 01 ~ 2020. 06

연구결과	먼지에 의한 광학부의 오염을 방지하기 위해 발광부와 수광부가 공기의 흐름에 영향을 받지 않도록 공간 설계를 최적화하고, 먼지의 정체를 피하기 위해 광학 초점 부근에서 유량이 가속 및 감속될 수 있도록 유로 구조를 설계하고 이에 최적화된 유량을 설정함. (특허출원 중) 캡처04_2.jpg .

기대효과	다양한 환경에서 높은 신뢰성 및 정확도를 구현할 수 있음. 따라서 공장, 농장, 자동차 등의 산업분야에 적용 확대.

상품화	공기질 통합센서 노드에 적용하여 제품화 예정. 성남도시개발공사(SDC)와 다중이용시설 내 통합공기질 측정 시범사업 중.

연구과제	먼지센서 전용 미소신호처리 알고리즘 내장 ASIC 개발

연구기간	2017. 04 ~ 2020. 08

연구결과	미소 광학신호 처리회로, 광학소자 제어회로, 디지털 신호처리회로 및 통신 기능까지 단일 칩에 설계 집적한 ASIC을 개발 캡처05_2.jpg .

기대효과	개별 소자를 사용한 회로들을 단일 칩화 함으로써 센서의 가격 및 성능 차별화 가능. 산란 현상을 이용하는 다양한 어플리케이션에 고신뢰성의 솔루션을 제공할 수 있음.

상품화	20년 4분기 양산 일정으로 당사 먼지센서 라인업에 적용 예정.

연구과제	초미세먼지 정밀 측정 및 교정 알고리즘 기술

연구기간	2017. 04 ~ 2020. 08

연구결과	에어로졸 관련 선진기술업체(PALAS, 독일)와 공동개발 진행하여, 당사 미세먼지센서에 최적화된 측정 및 교정 알고리즘을 개발

기대효과	스마트 공장 등 산업분야에서 고정밀 측정 솔루션을 제공

상품화	당사 공기질 통합센서 노드에 적용하여 상품화 진행 중

(2) 연구개발 계획

보고서 제출일 현재 진행 중이거나 진행 계획이 있는 연구개발 과제들은 다음과 같습니다.

연구과제	Pt(백금) 온도센서를 적용한 고성능 칩형 온습도 센서 개발

연구기관	㈜삼영에스앤씨 기술연구소

기대효과	- MEMS 공정기술과 PT(백금) 소재를 이용한 고정밀 온도 측정용 cell을 개발
- 박막형 PT 온도셀과 기존 습도셀을 적용한 고성능 칩형 온습도센서 개발
- 극한 환경(-40~125℃)에서 전구간 ±0.2℃의 높은 온도 정밀도와 빠른 응답성 구현으로
콜드 체인 및 친환경 자동차 공조분야 등 에너지 절감 어플리케이션 적용

소요자금	5천만원

재원조달방법	당사 연구개발비

연구과제	세라믹 신소재를 적용한 고성능 습도센서 개발

연구기관	㈜삼영에스앤씨 기술연구소

기대효과	- 내열, 내화학성이 뛰어난 습도감응 신소재 개발 (해외 파트너사 협력)
- 소자 양산 기술 노하우를 결합한 고성능 습도센서 신규 개발
- 기존 저항식 센서의 취약점인 내열, 내화학성을 획기적으로 보완
- 우주항공, 군사, 특수 산업 어플리케이션 적용

소요자금	2억원

재원조달방법	당사 연구개발비

연구과제	결로 예지 센서 개발

연구기관	㈜삼영에스앤씨 기술연구소

기대효과	- 기보유한 결로예지 기술을 활용한 신규 센서 소재 및 소자 개발
- 인쇄전자기술을 접목하여 다양한 폼팩터의 센서를 개발
- 자동차 환경 등 극한 환경조건(온도, 내화학성 등)에 최적화된 소재 개발
- 자동차 및 산업용 시장에서 필요한 에너지 절감 어플리케이션에 적용

소요자금	2억원

재원조달방법	국책과제 정부지원금 및 당사 연구개발비

연구과제	공기질 통합센서 노드 개발

연구기관	㈜삼영에스앤씨 기술연구소

기대효과	- 기보유한 온습도 및 미세먼지 측정기술을 통합하여 복합센서모듈 개발
- 통합공기질지수(AQI)를 제공하는 센서 디바이스 개발
- 네트워크 기능 탑재된 실시간 공기질 모니터링 서비스 제공
- 스마트 공장/농장/사무실 등 다양한 적용이 가능하도록 확장 가능한 디바이스 플랫폼 개발

소요자금	5억원

재원조달방법	국책과제 정부지원금 및 당사 연구개발비

연구과제	고성능 온습도 트랜스미터 개발

연구기관	㈜삼영에스앤씨 기술연구소

기대효과	- 기보유한 칩형 온습도센서와 상대습도센서 및 박막형 온도센서를 이용한 고성능 트랜스미터 및 센서 프로브 개발
- 해외 파트너사와 기술협력을 통한 고성능 냉각거울방식 노점측정용 트랜스미터 개발
- 산업용(콜드체인, 대형 공조설비 및 반도체 공정 등의 정밀환경제어용) 적용

소요자금	5억원

재원조달방법	국책과제 정부지원금 및 당사 연구개발비

(3) 보유 기술의 경쟁력

보유기술	전기 저항식 상대 습도센서용 소재 합성 기술 및 제품화

개발경과	개발자	정태욱, 이도현, 오제영

개발정도	제품 적용	개발기간	2000년 ~ 현재

- 전기 저항식 상대습도 센서 소재 및 소자 설계 기술 노하우 축적
- 2004년 고 내구성의 전기 저항식 상대습도 센서 신규 감습 소재 개발
- 2007년 산업용 전기 저항식 상대습도 센서 제품 출시 (내수 특성 강화, 고온 고습 신뢰성)
- 현재 NASA-Roscid와 신규 세라믹 소재 저항식 상대습도 센서 소재 연구 진행중

기술수준	- 20년 이상 상대습도센서 제품 개발 경험 보유
- 전기 저항식 상대습도 센서 중 유일한 내수성 검증 및 고온 고습 신뢰성 확보
- 프리미엄 가전(LG 가습기, Electrolux 냉장고, 삼성 에어컨 등) 적용

경쟁력	- 전기 저항식 상대습도센서 분야에 있어 국내에서 독보적인 기술과 양산 능력을 갖추고 있음
- 자체 설계 기술과 연구 인프라를 통한 지속적인 센서 연구

보유기술	정전 용량식 상대 습도센서용 소재 합성 기술

개발경과	개발자	이종진, 정태욱, 문승일, 이도현

개발정도	제품 적용	개발기간	2015년 ~ 현재

- 상용 폴리이미드가 아닌 습도센서에 최적화된 감습 소재 합성 기술
- 2016년 경상대학교와의 산학 협력을 통해 고 내구성의 정전 용량식 습도센서 감습 소재 개발
및 양산화
- 영하 온도에서의 습도 감지 성능 검증 및 고온 고습 내구성 확보
- 현재 라디오존데용 고속 응답성의 정전 용량식 습도센서 신규 감습 소재 개발 (진행중)

기술수준	- 20년 이상 상대습도센서 제품 개발 경험 보유
- 글로벌 기업과의 ODM 및 자동차 application 적용으로 신뢰성 검증
- 전세계 센서 업체 중 일부만 보유하고 있는 센서 감습소재 원천기술 보유

경쟁력	- 정전 용량식 상대습도센서 분야에 있어 국내 유일의 설계 기술과 양산 능력을 갖추고 있음
- 원천 기술을 기반으로 한 센서 소재 기술 보유 및 공인 시험 검증 (수명, 신뢰성)

보유기술	결로 예지센서용 소재 합성 기술 및 제품화

개발경과	개발자	정태욱, 이도현, 이종진, 오제영

개발정도	제품 적용	개발기간	2000년 ~ 현재

- 결로 예지 센서 소재 및 소자 설계 기술 노하우 축적
- 2000년 전도성 카본 블랙을 이용한 결로 예지 센서 감습 소재 개발
- 다양한 폼펙터의 센서 제품 개발과 고객 특화형 특성 구현
- 현재 유연기판을 이용한 신규 폼펙터와 자동차에 적용하기 위한 신규 감습 소재 개발 및 다중
주파수를 이용한 측정 알고리즘 설계로 센서 정밀도 개선에 대한 연구 진행중

기술수준	- NASA, B+B SmartWorx, Shimadzu 등에서 결로 제어용으로 적용
- HVAC 시스템에서의 결로 방지용 센서 적용을 통한 내구성 검증

경쟁력	- 현재 결로 예지센서는 전세계에서 2개 업체에서만 양산이 가능한 제품임
- 친환경 자동차, 콜드체인 등 에너지 효율 관리 분야 진출을 통한 경쟁력 우위

보유기술	반도체 공정을 이용한 상대습도 센서 소자의 제조 기술

개발경과	개발자	문승일, 김용혁, 이종진

개발정도	제품 적용	개발기간	2004년 ~ 현재

- 보유 MEMS Fab.과 공정 장비를 활용한 습도센서용 소자 기술 개발
- 2004년 정전 용량식 상대습도센서 소자(C330) 개발 및 2006년 Honeywell ODM 및 양산
- 2008년 칩형 온습도센서용 습도센 서 소자 개발
- 2011년 센서 고성능 구현 및 내구성 개선을 위한 센서 구조 설계 및 박막 형성 기술
- 2020년 박막형 온도센서와 결합한 습도센서 소자 개발 진행중

기술수준	- 16년 이상 정전 용량식 상대습도센서 제품 개발 경험 보유
- 적층형 용량형 센서의 습도 반응성 개선을 위한 다공성 표면화 기술은 자사가 보유하고 있는
독보적 기술임
- 글로벌 기업과의 ODM 및 자동차 application 적용으로 신뢰성 검증

경쟁력	- 다공성 표면 제조 기술을 통해 습도센서에 최적화된 빠른 응답성과 단차 개선 공정 설계를
통한 센서 내구성 개선으로 경쟁 우위
- 자동차 규격의 공인 신뢰성 시험 (AEC-Q100) 검증

보유기술	정밀 측정을 통한 고정밀 특성 구현 및 고객 맞춤형 교정기술 (Customized calibration)

개발경과	개발자	오제영, 정태욱, 최용진, 이종진, 이창민

개발정도	제품 적용	개발기간	2010년 ~ 현재

- 자사 습도센서의 고정밀 특성 구현을 위한 calibration algorithm 연구
- 2010년 칩형 온습도센서 온도 보상 algorithm 설계 및 검증
- 2012년 ROIC 업체와 협력을 통한 IC 내부 온도센서 구조 설계 및 온습도 교정 algorithm 설계
- 2015년 응답성 개선을 위한 센서 신호 처리 algorithm 설계
- 2017년 고객 맞춤형 특성 구현을 위한 습도센서 소자 analog 신호 처리 기술 규격화

기술수준	- 정밀한 온습도 측정을 위해 표준실 조직을 구성하여, 세계 최고 기술의 고정밀 온습도 발생기와
계측기를 보유
- 이를 기반으로 고정밀 센서 특성 구현을 위한 교정 algorithm 및 고객 맞춤형 교정
- 2021년 ISO17025 KOLAS 온습도 공인 교정 기관 등록 예정

경쟁력	- 특정 구간에서의 정밀도 조정 및 특성 패턴 변화 가능
- 특정 환경에서 최적화된 특성 구현으로 높은 부가가치와 후발 경쟁사의 진입을 방지

보유기술	칩형 온습도센서(HumiChip?) 양산을 위한 설비에서의 고속 온습도 환경 구현 기술

개발경과	개발자	오제영, 정태욱, 박상준

개발정도	양산 적용	개발기간	2014년 ~ 2017년

- 실 환경에서의 칩형 온습도센서의 고속 양산을 위한 온도 및 습도 제어 기술
- 2014년 선도기술 보유업체와 협력하여 세계 최고 수준의 고정밀 대용량 Dew point 습공기
발생기 제작
- 이를 기반으로 2015년 칩형 온습도센서 고속 자동화 양산 설비인 ACIS 1호기 제작 및 가동
- 2017년 ACIS 2호기 제작 및 가동

기술수준	- 고정밀 Dew point 습공기 발생기와 자동 양산 시스템의 연계 및 습공기의 온도 제어를 통한
정확한 상대 습도 산출 (±0.1℃ DP 정확도)
- 정밀 Heating 기술을 적용하여 밀폐되지 않은 환경에서 빠르고 정확하며 안정한 온습도 환경
구현으로 고정밀 칩형 온습도센서의 고속 양산

경쟁력	- 여러 포인트의 실 환경 calibration을 통해 고객이 원하는 다양한 구간에서의 정밀도 및
센서 특성 구현이 가능함 (범용 경쟁 업체와의 차별성)
- 다른 고정밀 센서 제조업체와 달리 고속 calibration을 통해 다량의 고정밀 제품 양산 가능

보유기술	먼지센서 광학구조 설계 기술

개발경과	개발자	김도훈, 황현철, 이명용, 김동주

개발정도	제품 적용	개발기간	2017. 01 ~ 2018. 12

- 2000년 초반부터 현재까지 먼지센서 전문 기술 및 광학챔버 설계 노하우 축적
- 2016년 이후 PM2.5에 대한 시장요구 급증에 따른 초미세먼지 측정기술 개발
- LED 기반 광학 정렬 설계를 통해 0.3미크론까지 측정가능한 산란 광학계 개발
- 기준 광학챔버 구조체 개발을 통해 다양한 어플리케이션 가능한 폼팩터 최적화 개발

기술수준	- 20년 수준의 먼지센서 제품 개발 경험 보유
- 에어 가전(공기청정기, 에어컨 등) 및 자동차용 공기청정기 적용으로 신뢰성 검증
- 필립스, 캐리어, JAC(중국 자동차사) 납품을 통해 양산성 및 품질관리 능력 확보
- 미 FDA 산하 AQ-SPEC에서 실시한 2달간 대기질 측정평가에서 우수한 정확도 확인

경쟁력	- 먼지센서 분야에 있어 국내에서 독보적인 기술 경쟁력 및 양산 능력을 갖추고 있음
- 자체 설계 기술 및 실장 어플리케이션 경험으로 높은 고객 신뢰도 보유

보유기술	광산란형 먼지센서 교정 기술

개발경과	개발자	이종진, 김도훈, 백여진

개발정도	제품 양산 적용	개발기간	2015. 01 ~ 현재

- 종래의 먼지센서는 챔버에 먼지를 투입하여 교정을 수행하므로써 생산 공정비용이 높음
- 본 교정기술 개발을 통해 실제 먼지 투입 없는 먼지센서 교정 기술 개발
- 2016년부터 동사 미세먼지 센서 전 모델에 본 교정기술 적용 출시

기술수준	- 먼지센서의 교정에 필요한 광학 특성과 실제 먼지측정 특성간 함수관계를 알고리즘으로 구현
- 생산 공정 중 먼지투입없이 ln-line 교정 및 양품 선별 방법을 개발

경쟁력	- 먼지 투입이 필요없으므로 챔버 및 먼지발생 설비 등 투자 비용 측면에서 경쟁 우위
- 마스터 샘플 기준으로 교정 레시피 조정 가능하므로 고객 맞춤형 제품으로 경쟁 우위
- 먼지 투입 방식 대비 교정 속도가 빨라 양산 능력 측면에서 경쟁 우위

보유기술	미세먼지센서의 고습 환경 및 먼지오염 방지기술

개발경과	개발자	황현철, 이상훈, 김도훈

개발정도	신제품 적용	개발기간	2020. 01 ~ 현재

- 먼지에 의한 광학 구조내 오염 방지를 위해 발광/수광부가 유체 흐름에 영향을 받지 않도록 공간 설계를 최적화 개발
- 유체의 유속 감소로 인한 정체 시 발생하는 누적을 최소화하기 위한 유량 및 구조 최적화

기술수준	- 공기역학적 전산모사를 통해 설계, 개발, 시험 및 검증 전 과정을 구축하여 개발
- 자동차 먼지오염 시험 규격에 준하는 내구 시험기술 보유
- 상기 오염시험을 통해 먼지오염 내구성 검증 및 설계 개선 진행
- 지자체(성남도시개발공사 등) 관내 다중이용시설 내 통합공기질 측정 시범사업 진행 중

경쟁력	- 다양한 환경에서 높은 신뢰성 및 정확도를 가진 먼지센서 제공
- 통합 공기질 모니터 등에 적용하여 스마트 어플리케이션 등 산업분야에 적용 시 경쟁 우위

보유기술	미소 광학신호 처리를 위한 전용 ASIC 개발기술

개발경과	개발자	이종진, 김풍철, 문정수, 김동주, 김도훈

개발정도	제품 적용 에정	개발기간	2017. 09 ~ 현재

- 10년 이상 축적된 먼지센서 기술을 집약하여 동사 제품 전용 및 광산란 어플리케이션에 특화된 ASIC을 개발
- 미소 광산란 신호처리회로, 광학소자 제어회로, 디지털 통신회로 등을 단일 칩화 개발

기술수준	- 국내 최초로 TIA회로기반 고해상도 신호 증폭이 가능한 먼지센서 전용 ASIC 개발
- 개별 회로 집적화를 통해 센서 소형화
- 자동차, 산업용 등 고신뢰성 어플리케이션 적용 가능

경쟁력	- 신호처리 및 제어회로를 단일 칩화 함으로써 센서 가격 경쟁력 확보
- 광산란 현상을 이용하는 다양한 어플리케이션에 고신뢰성 솔루션을 제공할 수 있음

3. 연구개발비용 당사의 최근 연구개발비용은 다음과 같습니다

(단위 : 백만원)

과 목	2019년
(제20기)	2020년
(제21기)	2021년 상반기
(제22기)

연구개발비용 계	1,981	2,290	912

(정부보조금)	-500	-658	-190

연구개발비 / 매출액 비율[연구개발비용계÷당기매출액×100]	14%	17%	14%