코셈 사업보고서 (2023.12)
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요계약 등(1) 기술이전 계약(Lisense-in)

계약당사자	기술이전 대상 기술	계약일자	계약기간	계약금액

한국표준과학
연구원	입자 복합특성 측정기술	2014.09.26	2014.10.01. ~ 2024.09.30	1) 기본기술료: 5천만원
2) 경상기술료: 이전대상 기술적용 부품 매출액의 3%를 10년간 지급

성균관대학교
산학협력단	반도체공정 입자 감지
및 분석장치 기술	2014.10.31	2014.10.27 ~ 2024.10.26	1) 정액기술료: 2억원

한국표준과학
연구원	융합현미경용 이온총	2016.06.20	2016.06.20. ~ 2026.06.19	1) 기본기술료: 5천만원
2) 경상기술료: 기술적용 제품 매출액의 2%를 10년간 지급

한국표준과학
연구원	하전입자빔 프로브 형성
시스템에서의 빔 주사
방법 기술	2018.10.18	2018.10.18. ~ 2028.10.17	1) 기본기술료: 1천만원
2) 경상기술료: 기술적용 제품 매출액의 1.5%를 10년간 지급

서울대학교
산학협력단	이온소스	2020.08.26	2020.08.26. ~ 2025.10.31	1) 기본기술료: 2천만원
2) 경상기술료: 계약제품 매출액의 1%를 생산개시일로부터 계약기간 동안 지급. 단, 경상기술료 최저실시료를 5백만원으로하며, 연도별 경상기술료가 최저실시료 이하인 경우에는 최저실시료를 당해연도 경상기술료로 간주.

한국기초과학
지원연구원	대기 비개방형 시료대	2022.02.09	2022.02.09. ~ 2027.02.08	1) 정액기술료: 1천1백만원

한국기초과학
지원연구원	전자빔과 조사광학계
평가 장치 및 기술	2022.08.01	2022.08.01. ~ 2027.07.31	1) 정액기술료: 3천3백만원

한국기초과학지원연구원	이차전지 충방전 실시간 SEM 분석기술	2023.12.28	2023.12.28. ~ 2033.12.27.	1)정액기술료: 3천3백만원

나. 연구개발 활동(1) 연구개발 조직

보고서 작성기준일 현재 당사의 기술연구소 인력은 총 17명으로 대부분의 인력이 유사업종 또는 관련 업종에서의 기술개발을 경험한 연구원들을 중심으로 구성되어 있습니다.당사의 보고서작성기준일 현재 조직 구성은 아래와 같습니다.

구 분	인원구성	주요업무

기술연구소	연구책임자	연구소장 : 1명	- 연구개발 총괄

연구1팀	임원 : 1명
선임연구원 : 1명
주임연구원 : 1명	- 하드웨어 개발
- 펌웨어 개발

연구2팀	책임연구원 : 2명	- 기구개발 및 설계

연구3팀	수석연구원 : 1명
책임연구원 : 1명
전임연구원 : 1명	- 소프트웨어 개발

연구지원팀	수석연구원 : 2명	- 소프트웨어 개발
- 연구기획 관리
- 연구지원 관리

선행기술연구소	임원 : 1명
수석연구원 : 1명
책임연구원 : 1명
선임연구원 : 2명
주임연구원 : 1명	- 회로설계 및 시뮬레이션
- 전자기 렌즈 설계
- 소프트웨어 개발
- 시스템 및 펌웨어 개발

(2) 연구개발인력 구성보고서 작성기준일 현재 기술연구소에 속해 있는 임직원 중 박사학위 소지자는 1명, 석사 학위 소지자는 10명이며, 학사 소지자는 6명으로 구성되어 있습니다.

학력	박사	석사	학사	기타	합계

인원수	1	10	6	-	17

(3) 연구개발비용(단위 : 백만원)

과 목	2021년도	2022년도	2023년도	비 고

연구개발비용 계	1,453	1,542	1,903	-

(정부보조금)	-	-	-	-

연구개발비 / 매출액 비율
[연구개발비용계÷당기매출액×100]	15.31%	12.31%	13.86%	-

(4) 주요 연구개발 인력 현황

직위	성명	담당업무	주요경력	주요연구실적

부사장	김용주	연구개발
총괄	- 한국과학기술원 전기 및 전자공학 박사 수료(05.02)
- 코셈 CTO(21.11~현재)
- 코셈 영업본부장 겸직(21.05~현재)
- 코셈 기술연구소장(전무)(12.04∼현재)
- 코셈 제조부장(11.02∼12.04)
- 로그시스 이사(05.04∼08.01)	- SEM 시스템 연구
- CP 시스템 연구
- BSE 센서개발
- STEM 센서개발
- 연구논문: 5건
- 특허: 21건
- 국책과제: 5건

상무
이사	홍재완	시스템
개발
책임자	- 서울대학교 고체물리학 박사(99.02)
- 코셈 선행기술연구소장(22.07~현재)
- 임펙엔터프라이즈 연구소장(22.01~22.06)
- 나노포커스 대표이사(05.05~19.11)
- 시엔아이(現나노포커스)대표이사(02.12~05.04)
- 서울대 VK21물리연구단 Post-Doc(01.09~02.08)
- 파크시스템 선임연구원(97.08~01.08)	- 나노코리아 2007 산업기술상 수상
- 국책과제 4건
- 과제 기획위원 1건
- 과제 자문위원 1건
- 특허 21건

상무보	오상원	하드웨어,
FW 개발 책임자	- 경북대학교 전자공학 석사(00.02)
- 코셈 연구 1팀장(14.07∼현재)
- SMEC 책임연구원(10.12∼14.06)
- 유니텍 수석연구원(09.03∼10.11)
- 네스랩 책임연구원(05.02∼09.02)	- SEM HW 개발
- SEM 제어로직개발
- 스캔로직 개발
- CP 펌웨어 개발

수석
연구원	권영철	시스템개발 책임자	- 경북대학교 전기전자공학 학사(98.08)
- 코셈 연구위원(23.07~현재)
- 로보티즈 마스터(22.09~23.05)
- 코셈 제2연구소장(상무이사)(18.06∼22.08)
- 삼성전자 수석연구원(03.05∼18.05)
- 메디슨 선임연구원(98.06∼03.04)	- SEM 시스템 개발
- 저잡음 회로개발
- EM30N 제품개발
- EM30K 개발
- 국책과제: 1건

수석
연구원	이원호	소프트웨어 개발	- 호서대학교 제어계측공학과 학사(00.02)
- 코셈 수석연구원(23.06~현재)
- 인터엠 이사(07.07~22.12)
- 우주통신 부장(04.11~07.06)
- 폴스타 선임연구원(00.04~04.10)	- EDS SW 개발
- EDS FW 개발
- EDS 측정알고리즘 개발

수석
연구원	이정복	소프트웨어 개발	- 한밭대학교 정보통신공학과 학사(03.02)
- 코셈 연구 3팀장(22.02~현재)
- 비엠테크 수석연구원(20.02~22.01)
- 하기소닉 책임연구원(16.11~18.10)
- 파인텔레콤 책임연구원(12.11~16.10)
- 휴메이트 책임연구원(08.01~12.04)	- MFC를 이용한 응용 프로그램 개발
- Mysql을 이용한 DB서버 구축
- SEM S/W 개발,
- CP S/W 개발,
- S/W 업무 총괄

수석
연구원	김영곤	소프트웨어 개발	- 전북대학교 정보통신학 석사(04.02)
- 코셈 책임연구원(13.05∼현재)
- 아이엠테크놀로지 선임연구원(12.01∼13.04)
- 디엔씨엔지니어링 선임연구원(11.02∼11.09)
- 광전자정밀 선임연구원(04.02∼11.01)	- NS2.0 개발
- Panorama 1.0 개발
- Pstamp 알고리즘
- AI 알고리즘 개발
- 특허 1건

책임
연구원	최희원	소프트웨어 개발	- 강원대학교 전기전자공학 학사(10.02)
- 코셈 책임연구원(22.11~현재)
- 인터엠 선임연구원(16.12~22.10)
- 티노스 선임연구원(16.02~16.12)
- 인터엠 대리(10.11~15.10)	- Auto gun-align 기능 개발
- Auto stigma correction 기능 개발
- Auto focus 기능 개발

책임
연구원	김득현	기구개발
책임자	- 조선대학교 기계공학 석사(11.02)
- 코셈 책임연구원(12.02∼현재)	- 쿨스테이지 개발
- 게이트밸브 개발
- CP-8000 개발
- PBMS/PCDS 개발
- 특허: 4건

책임
연구원	유호균	소프트웨어 개발	- 충남대학교 컴퓨터공학 석사수료(17.02)
- 코셈 책임연구원(19.07∼현재)
- 올제텍 선임연구원(10.10∼19.02)
- 테크니콤 품질담당(10.07∼10.09)	- NS4.1 개발
- Panorama 2.0 개발
- CP GUI 개발
- MPO 개발

책임
연구원	하민수	기구설계	- 충남대학교 기계설계공학 석사(14.02)
- 코셈 선임연구원(14.02∼현재)	- CX-SELPA 스캔모듈 양산화개발
- CX-SELPA Stage 개발
- 특허: 2건

( 5) 연구개발 실적[연구과제 수행 현황]

연구과제명	지원기관	연구기간	연구결과 및 기대효과	상품화
내용

Normal SEM 기술상용화 개발	KRISS	2007.06~ 2008.05	- Normal SEM 상용화 기술 국산화
- 성능과 가성비를 기반으로 국내 판매
- 국산화를 통한 수입대체	CX-100

Normal SEM업그레이드 기술 개발	자체	2009.06~ 2010.10	- Normal SEM 기술 업그레이드 개발
- 자동 스테이지,
- 성능과 가성비를 기반으로 국내 판매
- 국산화를 통한 수입대체
- 고성능 전자원을 적용을 통한 국내외 시장 확대	CX-200TA/TM

Tabletop SEM상용화 기술 개발	자체	2009.05~ 2012.07	- Tabletop SEM 상용화 기술 국산화
- 1단 CL을 적용한 10만배 이미지 구현
- 사용자 편의성 NS4.0 GUI 구현
- 국산화를 통한 수입대체	EM-30

고분해능 TabletopSEM 기술 개발	자체	2014.08~ 2015.08	- Tabletop SEM 상용화 기술 국산화
- 2단 CL을 적용한 15만배 이미지 구현
- 중국을 중심한 해외 시장 개척	EM-30P

고성능 TabletopSEM 기술	자체	2018.08~ 2019.05	- 자동화 SE, BSE 이미지 구현 기술
- 자동 Brightness/ Contrast 기술
- 유럽과 미국을 중심한 해외 시장 개척	EM-30N

고성능 NormalSEM 기술	자체	2015.08~ 2018.07	- EM-30N 기술을 적용한 고성능 Normal SEM 기술
- 60x60mm 대면적 스테이지 구조 개발
- 유럽과 미국을 중심한 해외 시장 개척	CX-200P

CeB6 TabletopSEM 기술	자체	2018.03~ 2018.10	- CeB6 소스 전자총 구현 기술
- 이온펌프를 적용하여 CeB6를 위한 ~10-7torr 진공배기 기술
- 전자총 정렬을 위한 Raster 기술 개발	EM-30C

대면적 미세입자분석 기술	Oxford	2018.11~ 2020.09	- EDS/SEM 제어를 위한 MPO 개발
- 대면적 스테이지 제어기술 개발
- 실시간 진공제어기술 개발
- 장시간 안정적인 분석을 위한 시스템 얼라인 기술 개발
- SELPA 국산화 제품출시- 국산화를 통한 수입대체
- OIL 분야로의 기술확대	SELPA

이온밀러 상용화기술 개발	NNFC
KRISS	2017.08~ 2019.07	- 이온밀러 국산화 기술 개발
- 500um/h 성능을 가지는 소형 이온건 기술
- CP 국산화 제품출시
- 국산화를 통한 수입대체	CP-8000

고성능 이온밀러기술 개발	서울대	2019.11~ 2020.12	- 700um/h 성능을 가지는 소형 이온건 기술
- 40배 이상의 배율을 가지는 고해상도 CCD 모듈 개발
- Easy 시편조절을 위한 원터치 스마트 시료대 개발
- 성능과 가성비를 통한 해외 시장개척 및 확대	CP-8000+

차세대 TabletopSEM 기술 개발	자체	2020.01~ 2022.12	- 고속스캔(>13fps)을 위한 스캔기술 개발
- 신규 프레임 및 스테이지 디자인
- X, Y, Z축 자동화 스테이지 기술
- 4분할 이미지 구현을 위한 GUI
- 다중 사용자 기능/ 저장 이미지의 재측정 기능	EM-40

이온밀러 결합전자현미경 기술	NNFC	2015.08 ~	- 이온밀러와 전자현미경 통합 시스템 기술
- 시료 이동을 위한 고정구조 기술
- CP-SEM용 통합 GUI 개발
- 이차전지 등의 산소에 민감한 분야 진출	CP-SEM

대기압 전자현미경기술 개발	KIST
전북대	2015.07~	- SiNx 박막 적용 진공격리 기술
- He Gas 인가를 위한 시료구조 기술
에 대한 영업비밀유지 계약위반 민사소송고성능 스테이지 제어 기술
- 바이오 및 대면적 시료(디스플레이, 반도체, PCB 등) 분야 적용	Air-SEM

인공지능 전자현미경 기술	KAIST	2019.06 ~	- 딥러닝을 이용한 자동초점 기술
- 인공지능을 통한 전자현미경 자동화 운영 기술
- 교육용 현미경 구현의 핵심 기술	AI-SEM

(6) 정부과제 수행실적(단위: 백만원)

연구과제명	주관부서	연구기간	정부출연금	관련제품	비고

분해능 성능 향상을 위한
고성능 신틸레이터 개발	연구개발
특구진흥재단	2008.11.03.~ 2009.10.30	40	CX-100	수행완료

초고진공환경하에서 방전을 방지하는최적제어회로를 활용한 고압장치개발	중소기업청	2008.12.08.~ 2009.11.30	70	CX-100	수행완료

나노전자공구 현미경 개발	중소기업청	2009.05.01.~ 2011.04.30	485	EM 시리즈	수행완료

후방산란전자 감지기를 내장한 생체시료 관찰용차등진공 주사전자현미경 개발	연구개발
특구진흥재단	2010.12.23.~ 2012.12.22	1,000	CX-200TA	수행완료

에너지분산 분광기 통합
주사전자현미경 개발	지식경제부	2011.11.01.~ 2014.01.31	600	EM-AX
시리즈	수행완료

반도체 패키징장비의 실시간 자동 본딩헤드수평계측 시스템개발	중소기업청	2012.12.01.~ 2015.02.28	440	P-STAMP	수행완료

진공공정 중 발생하는 나노입자의 분포(5nm),형상(20nm) 및 성분(133eV)의 통합
실시간 분석시스템 상용화	산업통상
자원부	2014.09.01.~ 2016.08.31	940	PCDS	수행완료

텅스텐 필라멘트형 20nm급
소형 STEM 시스템 상용화	중소기업청	2015.06.01.~ 2017.05.30	350	STEM	수행완료

대기중에서 작동하는
고분해능 대기압
주사전자현미경(Air-SEM) 개발	산업통상
자원부	2015.07.01.~ 2018.06.30	1,200	Air-SEM	수행완료

고속 단면시편 제작장치 통합형전자현미경 시스템 개발	미래부/산자부	2015.09.01.~ 2018.08.31	1,260	CP-8000,
CX-200P
CP-SEM	수행완료

자동입자분석기능을 탑재한
전자현미경 개발	연구개발
특구진흥재단	2018.10.01.~ 2019.09.30	200	CX-SELPA	수행완료

인공지능 전자현미경(AI-SEM)개발	산업통상
자원부	2019.06.01.~ 2020.05.31	210	AI-SEM	수행완료

가속전압 8kV에서 500um/hr 이상의 식각률을 가지며 플랫 밀링이 가능한 단면시편 제작장치 상용화 개발	중소벤처
기업부	2019.11.06.~ 2020.12.31	300	CP-8000P	수행완료

Conical Lens를 적용한소형전자현미경 개발	대전테크노파크	2021.06.01
~ 2021.12.30	160	EM-40	수행완료

공동음극형 고전류 소형집속 이온건을 적용한 고속(1mm급) 나노식각 및 단면가공 장비 상용화 개발	중소벤처
기업부	2020.08.01.~ 2022.07.31	300	CP-8000K	수행완료

SEM 분석 프로토콜 및 미세입자 분석 시스템 개발	과학기술
정보통신부	2021.04.01~ 2023.12.31	210	CX-200K	진행중

대기차단 시료이송장치 및 in-situSEM 상용기술 개발	과학기술
정보통신부	2021.04.01
~ 2023.12.31	330	CP-10K	진행중

원자현미경과 전자현미경/대기압전자현미경을 결합한 장비 개발	산업통상자원부	2021.12.01
~ 2024.11.30	150	TT-AirSEM	진행중

실시간 모드를 지원하는SEM-EDS 통합 SCAN 모듈 개발	대전테크노파크	2023.07.01.
~ 2024.06.30.	100	EDS	진행중

(7) 연구개발 계획

연구과제명	개발 기간	연구기관	개발내역	기대효과	재원
조달방법

소요자금
(백만원)

SEM:
고성능 Normal SEM
(CX-200K)	2022.01~
2024.03	코셈	고성능의 고급 Normal SEM 개발	- Normal SEM 분야에서 기술적 선도
- Normal SEM 시장 지배력 강화	자체
조달

300

SEM:
대면적 Normal SEM
(CX-300)	2022.01~
2024.09	코셈	세계시장에서 경쟁할 수 있는 고성능의 Normal-SEM 개발	- Normal SEM 시장에서 경쟁할 수 있는 모델
- 시장이 큰 Normal SEM 시장에서의 경쟁력 확보	자체
조달

400

SEM:
고성능
Tabletop FESEM
(EMF)	2018.01~
2025.12	코셈
YPS(영국)	FE소스를 적용한 Tabletop SEM 개발	- Tabletop SEM 분야에서 확실한 기술우위
- Tabletop SEM 시장 지배력 강화	자체
조달

1,000

SEM:
고성능
Normal FESEM
(CXF)	2022.01~
2025.12	코셈
YPS(영국)	FE소스를 적용한 Normal SEM 개발	- Normal SEM 분야에서 확실한 기술 우위
- Normal SEM 시장 지배력 강화	자체
조달

800

융합SEM:
CP 결합
전자현미경
(CP-SEM)	2015.08~
2024.12	코셈
서울대학교
한국기초과학
지원연구원	(이차전지 등) 대기민감형 소재에 적용되는 CP를 통합한 전자현미경 개발	- 이차전지 산업의 발달에 따른 대기차단 분석장비 절실
- 유일한 수단인 FIB에 의한 분석의 한계
- FIB대체를 통한 수입대체에 따른 원 가절감 가능
- 가성비 높은 솔루션 제공을 통한 관련산업 경쟁력 강화
- 일본, 미국의 독점적 선진기술 대응 가능한 비개방 시료처리 기술의 국산화를 통해 독점 체제 제지	자체
조달

2,500

융합SEM:
대기압
전자현미경
(Air-SEM)	2015.07~
2025.12	코셈
한국표준과학
연구원
KIST
전북대학교	대기압에 위치한 시료를 측정할 수 있는 전자현미경 개발	- 바이오, 선진기술 대응 가능한 비개방 시료처리 기술의 국산화
- 일본, 미국 독점 체제 제지 및 글로벌 마켓 진출 가능	자체
조달

3,000

융합SEM:
인공지능
전자현미경
(AI-SEM)	2019.06~
2022.12	코셈
울산과학기술원
KAIST	딥러닝에 의한
인공지능으로
제어하는
전자현미경 개발	- 일반 산업분야 적용시 복잡한 SEM 운영방법이 문제로 작동
- 일본, 미국의 독점적 선진기술 대응 가능한 비개방 시료처리 기술의 국산화
- 일본, 미국 독점 체제 제지 및 글로벌 마켓 진출 가능	자체
조달

645

융합SEM:
산업용
전자현미경
(XM)	2023.01~
2026.12	코셈
NNFC	산업분야 적용을 위한 전자현미경 개발	- W 전자총 기반의 E-Litho 기술
- 대기압/인공지능 전자현미경 기술 적용
- 기술 확장을 통한 산업 분야에서의 경쟁력 확보	자체
조달

2,500

융합SEM:
광학현미경 대체 전자현미경
(COM-SEM)	2021.07~
2025.06	코셈	광학현미경 시장을 대체할 수 있는
전자현미경 개발	- 산업의 고도화로 인해 광학현미경의 한계로 인한 더 높은 배율의 분석 장비 수요 증대
- 광학현미경을 대체하면서 새롭게 증대되는 시장 선점
- 선진국의 독점적 기술의 국산화
- 선진국 독점 체제 제지 및 글로벌 시장 진출 가능	자체
조달

2,000

SEM 주변기기:
고성능 이온밀러
(CP-10K)	2021.07~
2024.06	코셈
서울대학교	세계최고 수준의
성능(시각률) 보유한이온밀러 개발	- 이온밀러 분야에서 기술적 우위확보
- 이온밀러 시장 지배력 걍화	자체
조달

500

SEM 주변기기:
성분 분석기
(EDS)	2022.01~
2024.06	코셈	Tabletop SEM용 EDS상용화 기술 개발	- 선진국의 독점적 기술의 국산화
- Tabletop SEM 적용을 통한 가격 경쟁력 확보
- Tabletop SEM 시장 경쟁력 강화
- 고속 미세입자 분석기술 적용	자체
조달

500