eddmpython/dartlab-data huggingface dataset:
넥스틴 사업보고서 (2023.12)
사 업 보 고 서

(제 14 기)

사업연도 2023년 01월 01일 부터
2023년 12월 31일 까지

금융위원회
한국거래소 귀중 2024년 3월 20일

제출대상법인 유형 : 주권상장법인
면제사유발생 : 해당사항 없음

회 사 명 : 주식회사 넥스틴
대 표 이 사 : 박 태 훈
본 점 소 재 지 : 경기도 화성시 동탄산단9길 23-12
(전 화) 031-629-2300
(홈페이지) http://www.nextinsol.com
작 성 책 임 자 : (직 책) 전무이사 (성 명) 장 재 기
(전 화) 031-629-2300
1. 회사의 개요

가.연결대상 종속회사 개황(연결재무제표를 작성하는 주권상장법인이 사업보고서, 분기ㆍ반기보고서를 제출하는 경우에 한함)(1) 연결대상 종속회사 현황(요약)

(단위 : 사)

구분	연결대상회사수	주요종속회사수

기초	증가	감소	기말

상장	-	-	-	-	-

비상장	2	2	2	2	2

합계	2	2	2	2	2

※상세 현황은 '상세표-1. 연결대상 종속회사 현황(상세)' 참조

(2) 연결대상회사의 변동내용

구 분	자회사	사 유

신규연결	-	-

-	-

연결제외	-	-

-	-

나. 중소기업 등 해당 여부

중소기업 해당 여부	해당

벤처기업 해당 여부	해당

중견기업 해당 여부	미해당

다. 회사의 주권상장(또는 등록ㆍ지정) 및 특례상장에 관한 사항

주권상장(또는 등록ㆍ지정)현황	주권상장(또는 등록ㆍ지정)일자	특례상장 유형

코스닥시장 상장	2020년 10월 08일	기술성장기업의 코스닥시장 상장

라. 회사의 법적ㆍ상업적 명칭당사의 명칭은 "주식회사 넥스틴"이며, 영문으로는 "NEXTIN, Inc."로 표기합니다. 마. 설립일자당사는 2010년 6월 23일 설립되었습니다. 바. 본사의 주소, 전화번호, 홈페이지 주소

구 분	내 용

주소	경기도 화성시 동탄산단9길 23-12

전화번호	031-629-2300

홈페이지 주소	http://www.nextinsol.com

사. 주요 사업의 내용 당사는 전공정(Front-end Process)반도체 소자의 회로 제작 공정에서 발생하는 미소 패턴 결함을 검출하는 웨이퍼 미소 패턴 결함 검사 장비를 제조 및 판매하는 전문기술기업입니다. 당사가 제조하는 검사장비는 미소 패턴 결함(Pattern Defect)과 이물(Particle)을 광학 이미 지 비교방식으로 검출하는 장비로서 반도체 소자 제조 기업의 단위 공정 기술 개발에 기여하 는 장비입니다. 즉, 검출된 미소 패턴 결함(Pattern defect)과 이물(particle)의 통계적 자료 를 제공하여 반도체 소자의 생산을 위한 단위 공정 장비의 건강 상태 모니터링 데이터를 제 공하여 후속 공정 진행 조건의 보정을 가능하게 하여 반도체 소자의 양산 수율 확보에 필수 적인 장비입니다. 당사는 세계에서 유일하게 2차원 이미징 기술에 기반한 장비를 개발하였으며, 당사의 제품 은 최대 검출 감도는 30nm, 최대 검사 속도는 300mm 웨이퍼 기준으로 시간 당 40매로 세계 최고의 기술력을 가진 KLA사 장비와 동등한 성능을 가지고 있으며, 2020년을 기점으로, 국내 및 해외 메모리 소자 업체와 비메모리 소자 업체 등 다양한 판매처 를 확보하여 점진적인 매출의 안정성과 성장을 확보해 나가고 있습니다. 보다 자세한 사의 사업과 관련한 사항은 "Ⅱ. 사업의 내용"을 참고하시기 바랍니다. 아. 계열회사의 총수, 주요 계열회사의 명칭 및 상장여부 "IX. 계열회사 등에 관한 사항"을 참고하시기 바랍니다.

자. 신용평가에 관한 사항 당사는 당기 보고서 제출일 현재 해당사항이 없습니다.
3. 자본금 변동사항

자본금 변동추이(단위 : 원, 주)

종류	구분	제14기당기말	13기(2022년말)	제12기(2021년말)

보통주	발행주식총수	10,278,332	9,956,674	9,682,380

액면금액	500	500	500

자본금	5,139,166,000	4,978,337,000	4,841,190,000

우선주	발행주식총수	-	-	-

액면금액	-	-	-

자본금	-	-	-

기타	발행주식총수	-	-	-

액면금액	-	-	-

자본금	-	-	-

합계	자본금	5,139,166,000	4,978,337,000	4,841,190,000
4. 주식의 총수 등

가. 주식의 총수 현황

(기준일 : 2023년 12월 31일 ) (단위 : 주)

구 분	주식의 종류	비고

보통주	우선주	합계

Ⅰ. 발행할 주식의 총수	50,000,000	-	50,000,000	종류주식의 한도는 3,000,000주

Ⅱ. 현재까지 발행한 주식의 총수	10,278,332	504,982	10,783,314	-

Ⅲ. 현재까지 감소한 주식의 총수	-	504,982	504,982	-

1. 감자	-	-	-	-

2. 이익소각	-	-	-	-

3. 상환주식의 상환	-	-	-	-

4. 기타	-	504,982	504,982	보통주 전환

Ⅳ. 발행주식의 총수 (Ⅱ-Ⅲ)	10,278,332	-	10,278,332	-

Ⅴ. 자기주식수	92,081	-	92,081	-

Ⅵ. 유통주식수 (Ⅳ-Ⅴ)	10,186,251	-	10,186,251	-

나. 자기주식 취득 및 처분 현황

(기준일 : 2023년 12월 31일 ) (단위 : 주)

취득방법	주식의 종류	기초수량	변동 수량	기말수량	비고

취득(+)	처분(-)	소각(-)

배당가능이익범위이내취득	직접취득	장내 직접 취득	보통주	92,081	-	-	-	92,081	-

우선주	-	-	-	-	-	-

장외직접 취득	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

공개매수	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

소계(a)	보통주	92,081	-	-	-	92,081	-

우선주	-	-	-	-	-	-

신탁계약에 의한취득	수탁자 보유물량	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

현물보유물량	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

소계(b)	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

기타 취득(c)	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

총 계(a+b+c)	보통주	92,081	-	-	-	92,081	-

우선주	-	-	-	-	-	-

다. 자기주식 직접 취득ㆍ처분 이행현황

(기준일 : 2023년 12월 31일 ) (단위 : 주, %)

구 분	취득(처분)예상기간	예정수량(A)	이행수량(B)	이행률(B/A)	결과보고일

시작일	종료일

직접 취득	2022년 07월 07일	2022년 10월 06일	92,081	92,081	100	2022년 10월 11일
5. 정관에 관한 사항

가. 정관 이력2023년 3월 28일 제13기 정기주주총회에서 정관 개정 안건이 가결, 개정되었습니다. 나. 정기주주총회 정관 안건 포함 여부2024년 3월 28일 개최예정인 제14기 정기주주총회에 정관 개정 안건이 포함되었습니다. 다. 정관 변경 이력

정관변경일	해당주총명	주요변경사항	변경이유

2024년 03월 28일	제14기 정기주총	- 주식 및 주권의 종류 일부 내용 삭제- 주주명부의 폐쇄 및 기준일 일부내용 삭제- 주식매수선택권 일부 내용 수정	- 전자증권법 도입에 따라 삭제 - 전자증권법 도입에 따라 삭제 - 일부 문구 수정

2023년 03월 28일	제13기 정기주총	- 사업목적 추가- 신주 동등배당- 이익배당 기준일 관련 변경	- 신규사업 등의 목적으로 사업목적 추가- 배당기준일 전 발행주식에 관한 동등배당- 배당기준일에 글로벌 스탠더드 유연성 부과

2022년 03월 29일	제12기 정기주총	-주식매수선택권 부여한도 변경-기존 이익배당 내용 수정 및 이사회 승인내역 추가-분기배당 내용 추가	- 주주환원정책 추가

2021년 03월 19일	제11기 정기주총	-감사는 주총에서 선임 및 해임한다는 내용으로 변경
-감사의 선임시 전자적 방법으로 의결권 행사할 수 있도록 한 경우 결의방법 추가.
-감사의 해임요건 추가	상법 변경에 따른 해당정관변경
주총결의요건의 완화에 관한 내용 반영
감사 해임 관련 문구 추가

2020년 03월 27일	제10기 정기주총	-주식매수선택권 관련 추가
-전자증권제도 도입관련 추가 및 변경	전자증권 도입과 주식매수선택권 도입에 따른 변경사항 반영

2019년 03월 25일	제9기 정기주총	-액면분할에 따른 발행주식총수 변경 및 주당금액 변경
-기명식 보통주 명 변경
-신주인수권 관련 내용 변경 및 추가
-주식매수선택권 관련 변경 및 추가
-명의개서 대리인 선임 및 업무규정 추가
-주주명부의 폐쇄 및 기준일 변경 및 추가
-자기주식 소각 관련 추가
-전환사채발행 관련 내용 구체화
-주총 소집통지 및 공고 내용추가
-이사회 관련사항 변경 및 추가	액면분할 일정에 따른 해당내역 변경
상법상 무기명식 주식제도 폐지에 따른 변경
코스닥 상장을 고려하여 관련문구 변경 및 추가
부여방식의 명확화 및 기타사항 반영
명의개서대리인 선임관련 표준정관 반영권고,
주주명부 등의 비치 및 업무규정 명확화
폐쇄기간의 명확화
자기주식 소각 관련 내용신설
목적과 대상을 구체화
상법변경에 따른 해당사항 반영

라. 사업목적 현황

구 분	사업목적	사업영위 여부

1	반도체 제품 검사업	영위

2	반도체 임가공 서비스 및 제조업	영위

3	반도체 생산설비 제조 판매 및 수출입업	영위

4	반도체 검사장비 제조 판매 및 수출입업	영위

5	반도체장비의 도소매, 중개 및 위탁판매업	영위

6	장비부품 도, 소매업	영위

7	반도체제품의 도소매, 중개 및 위탁 판매업	미영위

8	소프트웨어 개발, 제작, 생산, 유통 및 서비스업	미영위

9	컴퓨터 및 통신기기를 이용한 정보통신 서비스업	미영위

10	전자상거래, 인터넷쇼핑몰 및 관련 유통업	미영위

11	영상처리시스템의 제조 및 판매업	미영위

12	물류배송센터 운영업, 창고업, 주차장업	미영위

13	부동산 매매, 관리 및 임대업	영위

14	정보처리 시스템 및 정보 서비스업	미영위

15	사업 및 무형 재산권 중개업	미영위

16	통신판매 및 점포판매를 통한 종합 도, 소매업	미영위

17	디스플레이 검사장비 제조 판매 및 수출입업	미영위

18	전시기획 및 홍보업	미영위

19	그림전시 및 판매업	미영위

20	갤러리 운영업	미영위

21	미술품 판매업	미영위

22	갤러리 관련 일체의 사업	미영위

23	각호에 관련된 무역업	영위

24	기타 각호에 부합되는 사업 일체	영위

1. 사업목적 변경 내용

구분	변경일	사업목적

변경 전	변경 후

추가	2023년 03월 28일	-	전시기획 및 홍보업그림전시 및 판매업갤러리 운영업미술품 판매업갤러리 관련 일체의 사업

2. 변경 사유

당사는 2023년 3월 28일에 열린 제13기 정기주주총회에서 향후 신사업 준비 목적으로 특별결의 사항으로 주총 안건을 진행하여 정관 상 사업목적을 위와 같이 추가하였습니다. 해당 추가된 사업은 당사가 기존 영위 중인 사업에 미치는 영향은 없습니다.

마. 정관상 사업목적 추가 현황표

구 분	사업목적	추가일자

추가	전시기획 및 홍보업	2023년 03월 28일

추가	그림전시 및 판매업	2023년 03월 28일

추가	갤러리 운영업	2023년 03월 28일

추가	미술품 판매업	2023년 03월 28일

추가	갤러리 관련 일체의 사업	2023년 03월 28일

1. 그 사업 분야(업종, 제품 및 서비스의 내용 등) 및 진출 목적- 당사가 새롭게 사업목적으로 추가한 영역은 온오프라인 아트산업과 관련된 Fine Art Market Place Platform 으로 키우고자 추가하였습니다.

2.시장의 주요 특성ㆍ규모 및 성장성- 현재 당사가 진행하고자 하는 신규사업은 최근 아트 작품들의 디지털 IP 화 와 더불어 소유권, 인증관련 산업 등 다양한 형태로 발전되어 가고 있습니다. 최근 10년동안 온오프라인 아트마켓 매출이 상당히 상승하고 있으며, NFT, 미디어 및 엔터테인먼트 분야 시장이 해당 매출을 이끌어나가고 있습니다.

3.신규사업과 관련된 투자 및 예상 자금소요액(총 소요액, 연도별 소요액), 투자자금 조달원천, 예상투자회수기간 등- 당사는 사업을 준비 및 시작하는 초기라 현재 시점에서 예상자금액 등을 기재하기에 는 어렵습니다. 당사는21년부터 당사가 추진하고자 하는 사업과 유관사업을 영위하고 있는 ㈜아트토큰에 투자 하였습니다.

4.사업 추진현황(조직 및 인력구성 현황, 연구개발활동 내역, 제품 및 서비스 개발 진척도 및 상용화 여부, 매출 발생여부 등)

- 신사업 관련 담당부서, 담당자, 투자진행상황 등을 점진적으로 계획해 진행할 예정입니다.5. 기존 사업과의 연관성 및 주요 위험

- 기존 사업과의 연관성 및 주요위험 사항은 현재로서는 없습니다.

6. 향후 추진계획 / 미추진 사유

- 현재 당사의 주력사업인 반도체 시장상황이 시시각각 변화하고 있어 이에 따라 추후 시장 정세에 따라 점진적으로 계획을 세울 예정입니다.
1. 사업의 개요

반도체 전(前)공정 패턴 결함 검사 장비는 웨이퍼 표면에 형성된 전기 회로의 이미지를 촬상하고 반복되는 동일한 이미지를 서로 비교하여 차이점을 찾아내는 장비입니다. 웨이퍼 표면에 형성된 전기회로의 촬상 이미지를 얻는 방법에 따라 전자선 검사 장비(E-beam Inspection System)와 광학 검사 장비(Optical Inspection System)로 나누어집니다.

전자선 검사 장비는 이미지를 촬상하기 위한 광원(Illumination Source)으로 2차 주사 전자 (Secondary Electron Scanning)를 사용하여 매우 높은 배율로 확대된 이미지를 촬상할 수 있는 장점이 있어 매우 작은 미소 결함(7nm)까지 검출할 수 있는 장점이 있으나 전자선을 사용하기 위해서 매우 낮은 압력의 초고진공 상태에서 이미지 촬상을 진행하여야하기 때문에 검사 속도가 매우 느린 단점이 있으며 이에 따라 주로 연구용 목적으로 사용됩니다.

당사가 제조하고 있는 광학 검사 장비는 대기압 하에서 이미지 촬상을 진행하기 때문에 검사 속도가 전자선 검사 장비에 비하여 매우 빠른 장점이 있으며, 사용하는 광원의 파장에 따라 극자외선 (Deep UV, 266nm) 장비, 자외선(UV, 355nm) 장비, 가시광선(Visible, 400nm ~ 600nm) 장비로 나누어집니다. 또는 반사광(Reflected Beam)을 이용하여 이미지를 촬상하는 Bright-field 장비와 산란광(Scattered Beam)을 이용하여 이미지를 촬상하는 Dark-field 장비로 구분하기도 합니다. 활용하는 목적(Application)에 따라 나노미터급(Nanometer Scale) 결함을 검출하는 장비(Inspection System)와 마이크로미터급(Micrometer Scale) 결함을 검출하는 장비(Vision System 또는 Macro Inspection System)로 구분하기도 합니다.

이러한 광학 검사 장비는 이미지를 촬영하는 방법에 따라 반사광을 이용하는 Bright-field 검사 장비와 산란광을 이용하는 Dark-field 검사 장비로 구분됩니다.

Bright-field 검사 장비는 주로 극자외선(DUV)을 광원으로 사용하며, 반사광을 이용하여 촬상 하기 때문에 촬상된 이미지의 해상도가 매우 높아 매우 작은 크기의 미소 결함(~ 15nm) 까지도 검출이 가능합니다. 하지만 이를 위하여 높은 배율의 고해상도 이미지를 촬상하여야 하기 때문에 검사 속도가 상대적으로 느리고 장비 가격이 매우 높은 단점이 있습니다. 주로 사진 공정이나 식각 공정에서 발생하는 패턴 결함을 검출하는 목적으로 사용합니다.

Dark-field 검사 장비는 주로 자외선(UV)을 광원으로 사용하며, 산란광을 이용하여 촬상하기 때문에 검사 속도가 상대적으로 빠르고 장비 가격이 낮은 장점이 있으나 산란광으로 획득한 이미지의 해상도 한계 때문에 검출 가능한 결함의 크기가 상대적으로 다소 큰(~ 30nm) 단점이 있습니다.

당사의 장비는 Bright-field 검사와 Dark-field 검사를 위한 광학 구성을 한 장비 내에서 구현하여 Bright-field 검사와 Dark-field 검사를 선택할 수 있는 복합 구성 장비(Combo-system)입니다. 사용 목적에 따라 광경로를 Bright-field 또는 Dark-field 로 선택이 가능하여 최대의 검사 감도를 제공하는 모드(Bright-field Mode or Dark-field Mode)를 선택하여 검사를 진행할 수 있는 장점이 있습니다.
2. 주요 제품 및 서비스

가. 주요매출 현황(단위: 백만원)

품 목	생산 (판매) 개시일	매출액 (비율)	제품 설명

2023년당기	2022년	2021년	2020년

제품	AEGIS-DP	2016.09	-	34,061(33.7%)	32,612(57%)	46,124(100%)	검사모드: Dark-field, Bright-field
Laser: 355nm pulsed laser
Detector: 12ea x 4M CMOS
Image Process Engine: 60GFLOPS

AEGIS-II	2021.06	54,354(72.0%)	66,549(65.8%)	20,578(36%)	-	검사모드: Dark-field, Bright-field
Laser: 355nm DPSS laser
Detector: 4ea x 12M CMOS
(4M CMOS 대비 25% Quantum Efficiency 증가
광학계: 간결화된 새로운 광학계
Image Process Engine: 99GFLOPS

AEGIS-III	2023.09	21,023(27.80%)	-	검사모드: Dark-field, Bright-field
Laser: 355nm DPSS laser
Detector: 4ea x 12M CMOSDeveloped AlgorithmAdvanced Image Process Engine: 1.47 TtFLOPS

IRIS	-	-	-	-	-	검사모드: Bright-field
Laser: 600~900nm pulsed laser
Detector: 12ea x 4M CMOS
Image Process Engine: 25GFLOPS

기타	-	117(0.2%)	480(0.5%)	-	-	-

나. 주요 제품 등의 가격변동추이(1) 연도별 매출 금액

(단위: 백만원)

사업연도	2023년 당기
(제14기)	2022년
(제13기)	2021년
(제12기)	2020년
(제11기)

품 목

AEGIS I	내수	-	6,881	14,295	28,795

수출	-	27,180	7,338	-

AEGIS II	내수	9,857	29,911	13,240	-

수출	44,497	36,638	53,190	46,124

AEGIS III	내수	-	-	-	-

수출	21,023	-	-	-

기타	내수	117	480	-	-

수출	-	-	-	-

합계	75,494	101,090	53,190	46,124

(2) 단가

당사의 제품단가는 각 거래선별로 Spec, 사후지원 등의 차이로 인해 각각의 제품종류 및 특성에 따라 단가를 책정하고 있으며, 가격 경쟁 및 정보 유출의 우려가 있어 기재를 생략합니다.
4. 매출 및 수주상황

가. 매출개요

(단위: 백만원)

판매방법 및 판매경로	구분	판매방법	판매경로

직접생산 후 판매	직접판매(100%)

구분	품목	매출액	매출원가	원가율	매출비중

2023년당기	제품 (AEGIS-I)	-	-	0%	0.0%

제품 (AEGIS-II)	54,354	14,900	27%	61.8%

제품 (AEGIS-III)	21,023	4,602	22%	23.9%

기타	117	297	254%	0.1%

용역	12,436	5,810	47%	14%

기타	-	-	0%	0%

소계	87,930	25,609	29%	100%

2022년	제품 (AEGIS-I)	34,061	10,226	30%	29.6%

제품 (AEGIS-II)	66,549	22,016	33%	57.9%

용역	12,757	4,029	32%	11%

기타	1,575	549	40%	3.4%

소계	114,942	36,820	32%	102%

2021년	제품 (AEGIS-I)	32,612	13,008	40%	57%

제품 (AEGIS-II)	20,578	7,093	34%	36%

용역	3,918	2,013	51%	7%

기타	-	-	-	-

소계	57,108	22,114	39%	100%

2020년	제품 (AEGIS)	46,124	18,142	39%	93%

용역	3,321	1,541	46%	7%

기타	-	-	-	-

소계	49,445	19,683	40%	100%

2019년	제품 (AEGIS)	8,293	4,359	53%	88%

용역	677	778	115%	7%

기타	424	-	-	5%

소계	9,394	5,136	55%	100%

나. 매출실적(단위: 천USD, 백만원)

매출유형	품 목	2023년 당기
(제14기)	2022년
(제13기)	2021년
(제12기)	2020년
(제11기)

금액	금액	금액	금액

제품매출	수출	65,520	63,818	27,535	28,795

내수	9,974	37,272	25,655	17,329

소계	75,494	101,090	53,190	46,124

용역매출	수출	8,916	6,154	1,576	1,345

내수	3,520	6,603	2,342	1,975

소계	12,436	12,757	3,918	3,320

기타매출	수출	-	1,095	-	-

내수	-	-	-	-

소계	-	1,095	-	-

합계	수출	74,436	71,067	29,111	30,140

내수	13,494	43,875	27,997	19,304

합계	87,930	114,942	57,108	49,445

다. 수출 현황(단위: 백만원)

매출유형	품 목	2023년 당기
(제14기)	2022년
(제13기)	2021년
(제12기)	2020년
(제11기)

수출국	수출액	수출국	수출액	수출국	수출액	수출국	수출액

제품	AEGIS I	중국	-	중국	27,180	중국	14,295	중국	28,795

AEGIS II	중국	44,497	중국	36,638	중국	13,240	-	-

AEGIS III	중국	21,023	-	-	-	-	-	-

용역	Setup, Repair비용, wafer검사 등	중국	8,908	중국	6,154	중국	1,576	중국	1,345

기타	8	-	-	-	-

기타	유상수리 및
Commission등	중국	-	중국	1,095	이스라엘	이스라엘	-

-	-	-	-	-	-	-

합계	-	74,436	-	71,067	-	29,111	-	30,140

라. 주요 매출처 등 현황(단위: 백만원)

매출유형	품 목	시장구분	2023년당기
(제14기)	2022년
(제13기)	2021년
(제12기)	2020년
(제11기)

제품	AEGIS I	국내	-	6,881	18,317	17,329

해외	-	27,180	14,295	28,795

AEGIS II	국내	9,857	29,911	7,338	-

해외	44,497	36,638	13,240	-

AEGIS III	국내	-	-	-	-

해외	21,023	-	-	-

기타	국내	117	480	-	-

제품 소계	75,494	101,090	53,190	46,124

용역	Repair비용, wafer검사 등	국내	3,520	6,603	2,342	1,975

해외	8,916	6,154	1,576	1,345

용역 소계	12,436	12,757	3,918	3,320

기타	유상수리 및 Commission등	국내	-	-	-	-

해외	-	1,095	-	-

기타 소계	-	1,095	-	-

합계	87,930	114,942	57,108	49,445

마. 수주현황

당사는 고객사부터 주문을 받아 제품을 생산하여 판매를 하는 공급업체이기 때문에 최종 반도체 제조업체의 제품생산계획, 공정설비계획 및 집행 등에 따라 당사 제품 주문이 결정됩니다. 2023년 당기 당사의 수주 현황은 다음과 같습니다.

(단위 : 백만원)

품목	전기말 수주잔고	당기 수주총액	당기 납품액	당기말 수주잔고

Wafer InspectionSystem	60,010	78,588	79,844	58,755