엘에이티 사업보고서 (2025.12)
6. 주요계약 및 연구개발활동

1. 경영상의 주요 계약 등 사업보고서 제출일 현재 회사의 재무상태에 중요한 영향을 미치는 비경상적인 중요계약은 없습니다.

2. 연구개발활동가. 연구 개발 활동의 개요

당사는 융복합 첨단 장비 분야의 공정 장비, 제품 이송 장치 및 검사 장치를 생산하고 있습니다. 반도체 산업의 고 직접화와 미세화를 달성하기 위해 기존 장비를 대체할 수 있는 고정밀, 고생산성의 장치에 관한 연구개발을 진행하고 있습니다. 또한, 저비용 고효율의 장치 제작을 위한 연구 아이템 발굴 및 합리적 연구개발 계획에 의한 개발을 하고 있습니다.

나. 연구개발 담당조직(1) 연구개발 조직 개요

당사는 연구개발 조직인 기술연구소를 운영하고 있으며, 연구소장, 개발팀 및 공정팀으로 구성되어 있습니다. 개발팀은 연구과제 기획 및 특허 전략 분석, 공정 개발 관련 연구를 담당하고 있으며, 공정팀은 신소재 및 차세대 부품에 적합한 공정기술 개발과 핵심공정 설계, 제작 시스템의 특성 분석 및 공정 표준화를 주요 업무로 하고 있습니다.

[ 연구개발 조직 구성 ]

연구소	팀	주요 업무

기술연구소
(연구소장)	개발팀	연구과제 기획 및 특허 전략 분석

공정팀	공정기술개발 및 공정표준화 연구

(2) 연구개발 인력 현황

공시 서류 작성기준일 현재 당사는 연구소장을 포함하여 총 11명의 연구인력을 보유하고 있으며, 박사 1명, 석사 8명, 학사 2명으로 구성되어 있습니다.

첨단 장비 및 공정 분야와 관련된 연구를 수행할 수 있는 전문 지식 인력들로 구성이 되어 있습니다. 연구소장을 필두로 개발팀은 박사 1명과 석사 2명으로 연구개발 전반 및 개발 과제 수행 및 관리 등의 업무를 분담하고 있으며, 공정팀은 석사 5명과 학사 2명으로 공학과 이학에 관련된 종사자들로 구성되어 있습니다.

[ 연구개발 인력 현황 ]

구분	인 원

박사	석사	학사(기타)	합계

기술연구소	1	8	2	11

합계	1	8	2	11

다. 연구개발비용(단위 : 원)

구 분	2025년도
(제12기)	2024년도
(제11기)	2023년도
(제10기)

자산처리	원재료비	-	-	-

인건비	-	-	-

감가상각비	-	-	-

위탁용역비	-	-	-

기타 경비	-	-	-

소 계	-	-	-

비용
처리	제조원가	-	-	-

판관비	786,121,416	826,153,061	644,175,251

합 계
(매출액 대비 비율)	786,121,416(2.7%)	826,153,061(2.0%)	644,175,251(6.9%)

라. 연구개발실적

(1) 연구개발 진행 현황 및 향후 계획

공시서류 작성기준일 현재 당사가 연구개발 진행 중인 장비(장치)의 현황은 다음과 같습니다.

[ 연구개발 진행 총괄표 ]

구분	품목	연구시작일	현재 진행단계	비고

시제품화	상품화

공정장비	Sputter	Conformal Coating Sputter	2020년	시제품 제작 완료	완료

ICP-CVD	고온 Heater Module	2021년	컨셉 및 시제품 제작 완료	완료

ICP-RIE	Non-contact Cooling Module	2021년	컨셉 및 시제품 제작 완료	완료

Chamber	8G 대면적 기판 열처리 장치	2021년	컨셉 및 시제품 제작 완료	완료

Sputter	Mask Sputter	2021년	컨셉 및 시제품 제작 완료	완료

Cathode	대면적 Cathode Module	2022년	컨셉 및 시제품 제작 완료	완료

Sputter	Turn Table Module	2022년	컨셉 및 시제품 제작 완료	완료

ICP-RIE	Antenna Module	2022년	컨셉 및 시제품 제작 완료	완료

ALD	대면적 ALD 장치	2023년	특허 공개 및 등록 완료	완료

Chamber	8G 대면적 기판처리 장치	2023년	컨셉 및 시제품 제작 완료	완료

연료전지	쿼드스택 제조시스템	2024년	양산 검증 중	완료

검사장비	연료전지 셀 및 핵심부품	SOFC 셀 검사장비	2024년	시제품 제작 완료 및 양산 검증 중	2026년예정

SOFC 분리판 검사장비	2024년	시제품 제작 완료 및 양산 검증 중	2026년예정

PEMFC MEA 검사장비	2024년	시제품 제작 완료 및 양산 검증 중	2026년예정

부품	Valve	Gate/Slot Valve	2021년	시제품 제작 완료	완료

제품이송장치	다관절 진공로봇	2020년	양산 적용 중	완료

불순물 농도 시스템	불순물 농도 측정 시스템	2023년	시제품 제작 완료 및수요기업 평가 준비 중	2026년예정

(가) 품목 : 대면적 Sputtering Cathode

구분	공정 장비

제품의 특성	Conformal Coating용 Sputter와 Mask Sputter로 대면적 기판과 6.5G 이상의 기판을 증착하기 위한 대면적 Cathode를 개발 완료함
고품질의 금속 박막과 절연막을 형성할 수 있음.

진행경과	시제품 개발, 장비 적용, 시운전, 공정 평가를 통하여 Sputter 설비에 적용하여 납품하고 있음.

향후계획	대면적 Cathode의 지적재산권을 확보 중에 있음.

시장규모	SEMI에 따르면 2024년 1053억 달러, 2025년 1240억 달러로 증가될 것으로 전망되며, 생산능력 확대, 신규 팹, 전공정과 후공정 부문 투자가 장비 성장을 견인할 것으로 예상됨.

(나) 품목 : Turn Table Module

구분	공정 장비

제품의 특성	공정 장비에서 복수 개의 기판을 동시 증착 및 균일한 박막을 형성하기 위한 기판 모듈임.
공정 장비에서 Process Chamber 하부에 위치하여 여러 개의 기판을 적재하여 동시 증착하고 균일한 박막을 형성하기 위해 Turn Table을 개발 완료함

진행경과	컨셉 및 시제품을 제작하여 R 목적용 장비에 적용하고 있음.

향후계획	가격 경쟁력과 성능 검증이 완료되면 대면적 공정 장비에서 양산 장비로 적용 예정임.

시장규모	SEMI에 따르면 2024년 1053억 달러, 2025년 1240억 달러로 증가될 것으로 전망되며, 생산능력 확대, 신규 팹, 전공정과 후공정 부문 투자가 장비 성장을 견인할 것으로 예상됨.

(다) 품목 : Antenna Module

구분	공정 장비

제품의 특성	식각 장치에서 Antenna 모듈의 연결 상태를 조정하여 RF 매칭과 플라즈마의 밀도 제어를 통해 균일한 식각특성을 제공하는 장치임.

진행경과	컨셉 및 시제품을 제작하여 대면적 ICP-RIE 장비에 적용하고 있음.

향후계획	대면적 ICP-RIE에서 평가 중에 있음.

시장규모	SEMI에 따르면 2024년 1053억 달러, 2025년 1240억 달러로 증가될 것으로 전망되며, 생산능력 확대, 신규 팹, 전공정과 후공정 부문 투자가 장비 성장을 견인할 것으로 예상됨.

(라) 품목 : 대면적 ALD

구분	공정 장비

제품의 특성	원자층 증착 장비에서 대면적 기판과 여러 개의 기판을 동시에 증착할 수 있는 대면적 기판용 ALD 장치임.

진행경과	컨셉 도출, 특허 공개 및 등록 결정을 완료함.

향후계획	지적재산권 확보 및 시제품 제작을 통하여 설비 검증 예정임.

시장규모	SEMI에 따르면 2024년 1053억 달러, 2025년 1240억 달러로 증가될 것으로 전망되며, 생산능력 확대, 신규 팹, 전공정과 후공정 부문 투자가 장비 성장을 견인할 것으로 예상됨.

(마) 품목 : 8G 대면적 기판처리 장치

구분	공정 장비

제품의 특성	대면적 유리 기판 상에 증착되어 있는 박막의 결정화 및 Activation 열처리 공정의 생산성을 향상시키는 장치임.

진행경과	양산으로 Demo 평가 진행 중에 있음.

향후계획	열처리 공정을 통한 챔버 내부의 케이블 손상을 방지하고 유지보수가 용이하도록 개선 예정임.

시장규모	OLED 시장 규모는 2025년 510억 달러(약 61조 원)로 성장할 것으로 예측됨. 디스플레이 업체들의 총 기판 면적은 2023년에는 68.5백만 제곱미터로, 4년 뒤에는 2배가 많아질 전망이며, 대형 OLED 라인의 기판 면적이 전체 기판 면적에서 42%를 점유할 것으로 예상됨.

(바) 품목 : Transfer Robot

구분	제품이송장치

제품의 특성	공정 장비에서 웨이퍼를 고진공 환경과 저 진동으로 이송하는 장치임.
반도체 및 디스플레이 장비에 특화된 설계를 통해 내구성과 안정성을 확보하고 주요 부품 국산화를 통해 원가 절감을 할 수 있도록 개발 완료함.

진행경과	클러스터 시스템으로 적용하여 내구성 및 안정성 확보 중임.

향후계획	성능 검증이 완료되면 양산 장비에 적용 예정임.

시장규모	SEMI에 따르면 2024년 1053억 달러, 2025년 1240억 달러로 증가될 것으로 전망되며, 생산능력 확대, 신규 팹, 전공정과 후공정 부문 투자가 장비 성장을 견인할 것으로 예상됨.

(사) 품목 : 불순물 농도 측정 시스템

구분	공정장비

제품의 특성	챔버 및 고진공 펌프 내부의 수분 및 산소 농도를 측정하는 시스템임.
반도체 및 디스플레이 공정 중의 내부의 불순물 농도를 실시간 측정하여 소자의 오염여부를 확인하고 주요 부품 국산화를 통해 원가 절감을 할 수 있도록 개발을 하고 있음.

진행경과	수분 및 산소 농도를 측정하는 통합 모듈 컨셉이 도출되어 시제품을 제작하였으며, 수요기업 평가 준비 중 임.

향후계획	성능 검증이 완료되면 양산 장비에 적용 예정임.

시장규모	SEMI에 따르면 2024년 1053억 달러, 2025년 1240억 달러로 증가될 것으로 전망되며, 생산능력 확대, 신규 팹, 전공정과 후공정 부문 투자가 장비 성장을 견인할 것으로 예상됨.

(아) 품목 : 8.6GH 대면적 물류 이송 시스템

구분	제품이송장치

제품의 특성	대면적 유리기판을 진동, 스크래치, 손상 없이 진공 및 대기에서 이송하는 장치임. 디스플레이 장비에 특화된 설계를 통해 안정성과 내구성, 생산성을 확보하고 주요 부품 국산화를 통해 원가 절감을 할 수 있도록 개발 중에 있음.

진행경과	8.6GH 물류 이송 시스템에 적용하여 내구성 및 안정성 확보 중임.

향후계획	성능 검증이 완료되면 양산 장비에 적용 예정임.

시장규모	‘23년 세계 디스플레이시장은 1,181억불로 ’27년 1,356억불까지 성장을 전망함. 자동차ㆍ투명 등 융복합 디스플레이 시장의 확대로 전체 시장규모가 지속 성장예정임. 정부는 민ㆍ관이 함께 대응하여 기존에 없는 초격차 기술을 확보하고 ’27년까지 세계 1위 탈환을 비전으로 하는 ‘디스플레이 산업 혁신전략’을 발표함

(자) 품목 : 쿼드스택 제조 시스템

구분	공정장비

제품의 특성	고체산화물 연료전지의 스택제조용 장비로, 기존 대비 생산능력 2배 향상시킬 수 있는 고효율 제조장비.

진행경과	고객사 생산현장에서 23대를 설치하여 양산 테스트 진행 중임.

향후계획	장비 안정화 및 양산 검증 완료 예정

시장규모	국내 CHPS의 연료전지 시장에서 SOFC의 시장점유율을 50%로 예상하면, 2028년까지 누적 5.8조원, 연평균 1.45조 원의 시장이며, 전세계 SOFC 연료전지 시장은 예측 기간 동안 연평균 복합 성장률(CAGR) 26.6%로 성장해 2022년 19억 달러에서 2028년 77억 달러 및 2032년 200억 달러로 성장할 것으로 예상하고 있음.

(차) 품목 : 대면적 인라인 스퍼터

구분	공정장비

제품의 특성	대면적 TFE Mask 스퍼터링 시스템으로, OLED 패널 제조 공정 중 박막 봉지 공정에 필요한 Mask에 절연 박막을 증착시키기 위한 스퍼터링 공정 장비임.

진행경과	22년부터 8.6GH 대응 장비를 개발하여, 국내 및 중국으로 판매 중임.

향후계획	8.6G 대응 장비로 국내 및 중국 수출을 확대해 나갈 예정임.

시장규모	‘23년 세계 디스플레이시장은 1,181억 불로 ’27년 1,356억 불까지 성장을 전망함. 자동차ㆍ투명 등 융복합 디스플레이 시장의 확대로 전체 시장규모가 지속 성장예정임. 정부는 민ㆍ관이 함께 대응하여 기존에 없는 초격차 기술을 확보하고 ’27년까지 세계 1위 탈환을 비전으로 하는 ‘디스플레이 산업 혁신전략’을 발표함.

(카) 품목 : 페로브스카이트 태양전지 인라인 증착기

구분	공정장비

제품의 특성	페로브스카이트 태양전지 제조 공정 중, 버퍼층과 ETL을 연속으로 증착할 수 있는 인라인 증착기.

진행경과	2024년 선익시스템과 공동 개발을 통해 파일럿 장비를 H사 납품, 평가 완료함.

향후계획	파일럿 장비 검증 완료 후, 미국 내 솔라허브 태양광 공장으로 도입 전망.

시장규모	세계 태양광발전 시장은 2021년 14,040만 달러에서 연평균 성장률 8.71%로 성장하여 2027년에 23,177만 달러로 전망되며, 국내 태양광발전 시장은 2021년 16,640억 원에서 연평균 성장률 12.43%로 증가하여 2027년에 33,610억 원으로 확대될 전망임.

(타) 품목 : 연료전지 셀 및 핵심 부품 검사 장비

구분	검사장비

제품의 특성	연료전지인 SOFC와 PEMFC 제조 공정에서 제조품질 안정화를 위해 셀 및 핵심부품의 외관, 두께, 표면의 불량을 검출할 수 있는 검사 장비

진행경과	SOFC 셀/분리판용 검사장비와 PEMFC MEA용 검사장비의 컨셉을 도출하여 시제품 제작을 완료함.

향후계획	수요기업으로 양산평가를 진행하여 장비 검증 중임.

시장규모	국내 CHPS의 연료전지 시장에서 SOFC의 시장점유율을 50%로 예상하면, 2028년까지 누적 5.8조원, 연평균 1.45조 원의 시장이며, 전세계 SOFC 연료전지 시장은 예측 기간 동안 연평균 복합 성장률(CAGR) 26.6%로 성장해 2022년 19억 달러에서 2028년 77억 달러 및 2032년 200억 달러로 성장할 것으로 예상하고 있음.

(2) 연구개발 완료 실적

공시서류 작성 기준일 현재 개발이 완료된 장치의 현황은 다음과 같습니다.

[ 연구개발 완료 실적 ]

구분	품목	개발
완료일	현재현황	비고

공정장비	Cathode	Cathode	2021년	Sputter 장비에 Cathode를 적용하여 납품하고 있음

Sputter	Conformal CoatingSputter	2022년	Metal 증착용으로 Conformal Coating Sputter를 납품하고 있음

ICP-CVD	고온 Heater Module	2022년	대면적 ICP-CVD 장비에 고온Heater Module을 적용하여 납품하고 있음

ICP-RIE	Non-contactCooling Module	2022년	ICP-RIE 장비에 Non-contact Cooling module을 적용하여 납품하고 있음

Chamber	8G 대면적 기판열처리 장치	2022년	박막의 결정화 및 activation 용으로 납품함

Sputter	Mask Sputter	2022년	OLED Metal Mask의 절연막 증착용으로 납품하고 있음

연료전지	쿼드스택 제조시스템	2024년	고체산화물 연료전지 시스템 제조 업체 납품, 양산테스트 진행 중

태양전지제조 장비	스크린 프린터	마스크 프린터	2021년	고속 인쇄용 Metal Mask용 마스크 프린터 시제품 제작완료. 상품화는 되지 않았음

스크린 프린터	스크린 프린터	2023년	고속 웨이퍼 이송시스템과 금속 프린터 유닛이 포함된 태양전지 전극 인쇄용 장치. 상품화는 되지 않았음

증착기	페로브스카이트 인라인 증착기	2024년	페로브스카이트 태양전지의 버퍼,ETL을 연속 증착할 수 있는 인라인 파일럿 장비 개발, 국내 H사 평가 중

제품이송장치
(물류)	Loader	Loader	2021년	제품 이송 장치에 Loader Un-loader를 Upgrade하여 납품하고 있음

Conveyor	Conveyor	2021년	제품 이송 장치에 Conveyor를 Upgrade하여 납품하고 있음

2차전지	Selector	2024년	2차전지 셀의 불량을 선별하는 장비로, 국내 L사에 납품함

부품	Valve	Gate/Slot Valve	2022년	R 목적용 장비에 적용하여 납품하고 있음

제품이송장치	다관절 진공로봇	2020년	R 목적용 장비에 적용하여 납품하고 있음

산소/수분 통합 모듈	산소/수분 통합 모듈	2025년	고체산화물 연료전지 시스템 제조 업체 납품, 양산테스트 진행 중

(3) 기타 연구개발 실적[ 국가연구개발 실적 ]

No.	프로그램명
(시행부처/기관)	과 제 명	총개발기간
(시작-종료일)	총사업비
(백만원)	비고

1	산업통상자원부
/
한국에너지
기술평가원	셀 모듈 일체형 단결정 실리콘 멤브레인 태양전지 개발	2016.06.01
-
2019.05.31	2,835	수행완료

2	산업통상자원부
/
한국에너지
기술평가원	c-Si 태양전지용 고속 인쇄 전극 공정에 의한 7,000wph급 제조 능력을 갖는 고생산성 프린터 개발	2018.10.01
-
2021.09.30	1,965	수행 완료

3	산업통상자원부
/
한국에너지
기술평가원	고효율 터널산화막을 이용한 패시베이션 전극형 셀과 모듈 개발	2020.05.01.
-
2021.12.31	11,362	중단

4	산업통상자원부
/
한국산업기술기획평가원	공정내 불순물 농도를 실시간 분석 가능한 일체형 저전력 고성능 극저온 고진공 배기장치 개발	2023.04.01.
-
2026.03.31	4,320	수행 중
(참여)

5	산업통상자원부
/
한국에너지
기술평가원	실시간 품질관리를 위한 SOFC와 PEMFC의 셀 및 핵심부품의 딥러닝 기반 제조품질 안정화 기술개발	2024.04.01.
-
2026.03.31	3,600	수행 중
(주관)

3. 지적재산권

가. 제품/서비스 등의 상표 관리 정책 현황

당사는 다양하고 풍부한 경험을 가진 전문 기술 인력을 지속적으로 채용하고 축적된 노하우를 바탕으로 하여 기술, 품질, 가격 경쟁력을 확보해 가고 있습니다.

특히 다수의 우수한 설계, 공정 및 개발 엔지니어를 확보하고 육성하는 데 꾸준히 노력하고 있으며, 고객의 요구사항에 유연하게 대응할 수 있는 맞춤형 다품종 생산체계를 구축해 나가고 있습니다. 고객에게 특화된 장비를 개발, 생산하여 LAT 브랜드를 추진하고 있습니다.

나. 사업관련 특허권 등의 주요 지적재산권

공시서류 작성 기준일 당사가 보유하고 있는 특허권은 다음과 같습니다.

모두 사업과 관련된 특허들로 출원 중에 있으며, 이를 토대로 공정 장비, 제품이송장치, 검사 장치 등에 적용 중에 있거나 시제품 제작 중에 있습니다.

발명의 명칭	출원일	등록일	내용	상용화	비고

유기발광소자용 접착층 부착 장치 및 방법	2010.09.30	2012.12.21	OLED 소자의 상부 기판용 접착층 부착 장치 및 방법에 관한 것으로, 접착 필름을 연속적으로 상부 기판에 부착하여 작업 효율을 증대하고 생산 속도를 향상시키는 기술	자동차용 Dash 합착기

플라즈마 식각장치	2019.08.26	2020.10.19	플라즈마 식각장치에 관한 것으로, 플라즈마 밀도에 따라 내부 안테나만 가변 시켜 플라즈마의 밀도를 균일하게 조절할 수 있는 기술	ICP-RIE, ICP-CVD	등록
완료

듀얼 스테이지 유닛 및 이를 포함하는 웨이퍼 로딩장치, 그리고 이를 이용한 웨이퍼 로딩 방법	2019.12.27	2021.05.13	태양전지용 스크린 프린터의 이송 장치에 관한 것으로, 전극 인쇄 속도를 향상시키기 위해 이송속도를 향상시키는 기술	-	등록
완료

가스정제용 트레이 및 이를 포함하는 가스정제장치	2020.07.28	2022.05.10	누설기류 최소화로 정제효율을 높여 미정제 가스 발생율을 낮출 수 있는 가스 정제용 트레이를 제공하는 기술	-	등록
완료

스퍼터 전극체	2020.02.19	2021.06.04	스퍼터 Cathode에 관한 것으로, 냉각 능력 향상 및 원재료 절감을 해소	Sputter	등록
완료

인쇄품질을 개선할 수 있는 스크린 프린팅 모듈	2020.12.17	2021.07.05	태양전지 제조 공정 중 스크린 프린팅의 품질을 향상시킬 수 있도록 하는 새로운 형태의 스퀴지 모듈	-	등록
완료

웨이퍼를 이송하기 위한 컨베이어 모듈 및 이를 포함하는 웨이퍼 이송 시스템	2021.01.15	2022.08.26	웨이퍼형 태양전지의 생산 효율을 극대화할 수 있는 웨이퍼 이송시스템의 최적화를 위한 기술	-	등록
완료

유체 조절 밸브	2021.03.10	2023.04.18	(주)바론테크와 공동출원으로일반적인 진공용 앵글형 밸브의 90도 꺾인 형태로 인한 유체(기체)의 유동저항을 발생시키는 단점을 개선/보완한 직관형 밸브 기술	공정장비	등록
완료

챔버	2021.06.10	2023.04.24	(주)원익IPS와 공동출원으로, 반도체, 디스플레이 및 태양전지 제조 공정 중 열처리 공정을 챔버에서 수행할 수 있도록 분리 및 결합이 용이한 챔버를 제공하는 기술	대면적 챔버	등록
완료

커넥팅 박스	2021.06.10	2023.04.24	(주)원익IPS와 공동출원으로, 반도체, 디스플레이 및 태양전지 제조 공정 중 열처리 시스템 내에서 대기압 유지 및 고온의 환경으로부터 케이블을 보호할 수 있는 커넥팅 박스를 제공하는 기술	-	등록
완료

열처리 시스템	2021.06.10	2023.04.24	(주)원익IPS와 공동출원으로, 반도체, 디스플레이 및 태양전지 제조 공정 중 챔버와 커넥팅 박스를 포함한 열처리 시스템을 제공하는 기술	-	등록
완료

전자파 차폐를 위한 가공물에 대한 스퍼터링 가공 시스템	2021.07.02	2023.11.01	전자파 차폐 공정 중 플라즈마에 의해 발생된 열을 저하시켜 냉각 능력을 향상시키기 위한 가공 시스템	-	등록
완료

유체 조절 슬롯 밸브	2021.08.30	2023.04.18	밸브의 개방/폐쇄 동작시 급격한 유동 저항을 방지할 수 있고, 역압이 발생하여도 견고하게 지탱할 수 있는 유체 조절 슬롯 밸브를 제공	공정장비	등록
완료

체결장치	2021.08.30	2023.03.17	태양전지용 스크린 프린터의 Frameless Metal Mask를 체결하는 장치로, 탈부착이 용이하고 균일하게 체결하는 기술	-	등록
완료

챔버 및 이를 구비하는 기판 처리 장치	2021.12.22	2025.05.16	(주)원익IPS와 공동출원으로, 기판 처리를 위한 공간을 형성하는 챔버 및 이를 구비하는 기판처리 장치에 관한 것으로, 챔버 내부 유지보수가 용이한 장치를 제공	-	등록
완료

플라즈마 처리 시스템	2022.02.08	2024.03.08	플라즈마 처리 장치에서 제 2 유전체를 제공하여 유지보수가 용이하고, 가스를 챔버의 수평 또는 수직 방향으로 배출하는 플라즈마 처리 시스템을 제공	ICP-RIE, ICP-CVD	등록
완료

대면적 기판용 ALD 장치	2022.11.30	2025.05.15	대면적 기판과 여러 개의 기판을 동시에 증착할 수 있는 대면적 기판용 ALD 장치를 제공	ALD	등록
완료

기판처리장치	2022.12.16	2025.07.25	(주)원익IPS와 공동출원으로, 공정 챔버 내부에 배치되는 케이블들의 손상을 방지하고 유지보수가 용이한 기판처리장치를 제공	-	등록
완료

영상 촬영 프로그램	-	2024.11.22	고체산화물연료전지 및 PEMFC MEA 검사를 위한 영상촬영 프로그램	-	S/W
등록

플라즈마 처리 정치	2024.07.15	-	8.6G 대면적 기판의 플라즈마 처리와 장착 및 탈착이 용이한 안테나 전극을 제공하는 기술	TFE Mask 스퍼터	등록결정

샤프트 구동 장치	2024.07.15	-	8.6G 대면적 기판을 이송하거나 스캔 구동시 장시간 고온에서 열팽창 및 내구성 강화를 위한 샤프트 롤러 유닛을 제공하는 기술	TFE Mask 스퍼터	등록 결정

클램핑 시스템	2025.10.02	-	기판을 안정적으로 고정하고 이송 중 손상 방지를 위한 클램핑 시스템을 제공하는 기술	기판 핸들링	심사중

인덕션 히터를 포함하는 전자 빔 증착 장치	2026.02.23	-	기판 홀더에 와전류를 유도해 기판을 인덕션 방식으로 가열하는 전자 빔 증착 장치를 제공하는 기술	E-Beam Evaporator	심사중