레이크머티리얼즈 반기보고서 (2021.06)
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 주요계약 경상적인 영업활동 외 중요한 매출 , 생산시설 임대차계약, 기술도입계약, 경영관리계약, 라이센싱 등 주요한 경영상의 주요계약은 해당사항 없습니다. 나. 지적재산권 등

번호	구분	내용	권리자	등록일	출원국

1	특허권	충전 플레이트를 구비하는 유기금속 화합물 공급장치	㈜레이크머티리얼즈	2014.10.16	한국

2	특허권	유기금속 화합물 공급 장치	㈜레이크머티리얼즈	2014.12.08	한국

3	특허권	기화기용 소스물질 공급장치	㈜레이크머티리얼즈	2015.10.01	한국

4	특허권	전구체 기화기	㈜레이크머티리얼즈	2016.01.28	한국

5	특허권	유기금속 화합물 공급장치	㈜레이크머티리얼즈	2017.01.05	한국

6	특허권	반도체 제조공정용 소스물질의 계량 공급장치	㈜레이크머티리얼즈	2017.01.05	한국

7	특허권	방향족 전구체를 이용한 탄소박막 및 이의 제조 방법	㈜레이크머티리얼즈	2017.01.12	한국

8	특허권	유기발광소자 제보방법	㈜레이크머티리얼즈	2017.04.13	한국

9	특허권	브러쉬 구조를 가지는 고분자 화합물의 제조방법	롯데케미칼 주식회사
㈜레이크머티리얼즈	2017.12.14	한국

10	특허권	브러쉬 구조를 가지는 고분자 화합물의 제조방법	롯데케미칼 주식회사
㈜레이크머티리얼즈	2018.01.10	한국

11	특허권	유기금속 화합물 공급 장치	㈜레이크머티리얼즈	2019.09.25	한국

12	특허권	유기금속아민 화합물의 제조방법	㈜레이크머티리얼즈	2019.11.05	한국

13	특허권	유기금속화합물 공급장치	㈜레이크머티리얼즈	2021.01.21	한국

14	특허권	고순도 반도체용 승화장치	㈜레이크머티리얼즈	2021-05-10	한국

15	특허권	유기금속 박막 전구체 및 이의 제조방법	㈜레이크머티리얼즈	2021-05-31	한국

16	특허권	유기금속 박막 전구체를 이용한 박막형성방법	㈜레이크머티리얼즈	2021-05-31	한국

다. 연구개발활동(1) 연구개발 담당조직

(2) 연구 개발비용(단위: 천원)

구 분	2019년도
(제3기)	2020년도
(제4기)	2021년도 반기
(제5기)

연구개발비용계	1,354,402	1,638,665	766,700

연구개발비용계/매출액 비율	3.89%	3.52%	2.15%

(3) 연구개발 실적

1) 비정질 산화물 반도체 IGZO(Indium-Gallium-Zinc Oxide) 박막 제조용 액체 인듐(In) 전구체 개발

연구과제명	비정질 산화물 반도체 IGZO(Indium-Gallium-Zinc Oxide)박막 제조용 액체 인듐(In) 전구체

연구기관/개발기간	㈜ 레이크머티리얼즈 / 2018.07 ~ 2021.04

관련제품	디스플레이 전자재료분야 IGZO 박막 증착용 액체 인듐(In) 전구체

연구결과/기대효과	연구결과 : 상온에서 액체이며, 수분이나 공기중에서 자연발화성이 억제되는 높은 증기압을 가지는 인듐(In) 박막 전구체(L2i-8) 개발기대효과 : 고체전구체를 사용하여 대량생산시 발생되는 용기를 교체하는 PM 과정을 하지않는 상온에서 액체이면서 높은 증기압을 가지는 인듐(In) 박막 전구체 개발로 대량 생산공정에 적용이 가능 할 것으로 판단되어 기업 이윤 창출에 큰 효과를 거둘 것으로 예상

2) 휘발성 및 안정성이 우수한 알루미늄 산화물 전구체

연구과제명	휘발성 및 안정성이 우수한 알루미늄 산화물용 전구체 개발

연구기관	㈜레이크머티리얼즈 / 2018.01~2020.01

관련제품	디스플레이, 반도체 전자재료 및 3-5족 화합물 반도체용 저온공정이 가능한 알루미늄(Al2O3)용 Al 전구체

연구결과/기대효과	연구결과 : 높은 증기압과 높은 열적안정성을 가지는 알루미늄 산화물 전구체 개발 기대효과 : 알킬알루미늄 산화물용 전구체로서 신규 구조와 높은 증기압(T1/2= 170℃), 점도가 낮은 특성을 가지고 있어 low-temp (250~300℃)에서 저 탄소 불순물 갖는 박막증착이 가능할 것으로기대

3) 시스템(반도체용 생산시설 기반)

연구과제명	TEOS 200L 자동화 세정 건조 설비 개발

연구기관	㈜레이크머티리얼즈 / 2018.04~2018.10

관련제품	반도체소재 TEOS

연구결과/기대효과	연구결과 : 자동화시설에 따른 효율적인TEOS 운영체계 확립 기대효과 : TEOS용기 세정/건조 자동화설비를 구축하여 병목구간 해소 효과를 확인

연구과제명	TiCl4 충진, 회수 자동화 설비 개발

연구기관	㈜레이크머티리얼즈 / 2018.09~2021.12

관련제품	반도체소재 TiCl4

연구결과/기대효과	연구결과 : 자동화시설에 따른 효율적인TiCl4 운영체계 확립 기대효과 : TiCl4 충진, 회수 자동화설비를 품질 안정성 확보 및 생산성 향상 확인

4) 반도체 박막용 전이금속 염화물 기반 고체 전구체 상용화 기술 개발

연구과제명	반도체 박막용 전이금속 염화물 고체 전구체 상용화 기술 개발

연구기관개발기간	㈜레이크머티리얼즈(주관), 한국화학연구원(참여), 영남대학교(참여)
2017.4~2018.12 (1단계, 2년), 2019.1~2021.12(2단계, 3년)

관련제품	반도체 CMOS(complementary metal-oxide semiconductor) 트랜지스터에서 절연막(HfO2), 확산방지막(TaC), 게이트(W)박막 제조공정으로 적용 가능한 전이금속 염화물 (HfCl4, TaCl5, WCl6) 기반 고체전구체 3종과 고체전구체 맞춤형 이송장치(캐니스터)

연구결과/기대효과	연구결과 : 신규 텅스텐(W), 탄탈럼(Ta), 하프늄(Hf) 고체 전구체 4종개발 완료 및 고체 전구체 맞춤형 이송장치(캐니스터) 개발
기대효과 : 전량 수입에 의존하는 반도체용 고체 전구체의 국산화를 통해 국내 칩 메이커의 가격 경쟁력 확보 및 국내 반도체 산업 발전에 기여 할 것으로 예상

5) 3D NAND word line용 Free or low fluorine W 박막 증착을 위한 전구체 소재 개발

연구과제명	3D NAND word line용 Free or low fluorine W 박막 증착을 위한 전구체 소재 개발

연구기관개발기간	㈜레이크머티리얼즈
2017.6 ~2019.06 (2년)

관련제품	텅스텐 금속박막 전구체 WF6 을 대체할 수 있는 F-free 화합물 W-072 W-073 전구체

연구결과/기대효과	연구결과 : 신규 Free or low fluorine 텅스텐 전구체 개발기대효과 : 칩 메이커 및 장비업체에서 요구되는 물성의 텅스텐 전구체 개발, Fluorine이 없는Ligand 도입에 따른 안정한 텅스텐 전구체 및 그에 따른Fluorine 오염이 없는 신규 텅스텐 전구체 개발후보군을 발굴함으로써 증착공정 개발 후 매출 발생을 기대

6) 차세대 디바이스용 다성분계 물질 증착을 위한 고생산성 Batch Type ALD 장비 개발

연구과제명	차세대 디바이스용 다성분계 물질 증착을 위한 고생산성 Batch Type ALD 장비 개발

연구기관개발기간	㈜예스티(주관), ㈜레이크머티리얼즈(참여), The University of Texas at Dallas(참여)2020.04 ~2023.12 (45개월)

관련제품	다성분계 고유전율(High-k) 공정용 전구체(TDMAH, TDMAZ, CpHf, ZAC 등) 및 신규 개발 전구체

연구결과/기대효과	연구결과 : ZrO2, HfO2 증착 평가를 위한 상용화 전구체 공급 및 복합막 증착용 신규 전구체 개발기대효과 : 차세대 메모리 소자 제조시 반도체 메모리 칩 메이커 및 장비업체에서 요구되는 캐패시터의 정전 용량을 확보하고 복합막 증착이 가능한 Zr, Hf, Ti, Al 등의 금속을 기반으로 한 신규 전구체 개발을 통해 관련 제품의 매출 발생 기대

7) 정부과제 수행실적

연구과제명	주관부서	연구기간	정부출연금	관련제품	비고

축차중합법에 의한 Flexible Pseudo-blocky Brush Polyolefin Copolymer 개발	한국산업기술평가관리원	'14.10 ∼
'18.09	1,934,639,991	태양광 패널 소재/자동차용 소재/의료용 소재	과제완료

반도체 박막용 전이금속 염화물 고체 전구체 상용화 기술 개발	한국산업기술평가관리원	'17.04∼
'18.12	900,000,000	-	과제완료

3D NAND word line용 Free or low fluorine W 박막 증착을 위한 전구체 소재 개발	중소기업청	’17.06~
’19.06	500,000,000	-	과제완료

반도체 박막용 전이금속 염화물 고체 전구체 상용화 기술 개발	한국산업기술평가관리원	'19.01∼
'21.12	1,470,000,000	-	진행중

면상발열체 활용을 통한 고온 고체소스용 캐니스터 기술개발	한국산업기술평가관리원	'19.07∼
'21.12	1,700,000,000	-	중단(주관기관폐업)