야스 사업보고서 (2021.12)
4. 지적재산권 보유현황(상세)

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NO	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	주무관청

1	특허권	기판 홀딩장치 및 이를 이용한 박막 제작 장치	㈜야스	2004.02.03	2006.02.14	OLED 증착 시스템	특허청

2	특허권	선형 증발원과 이를 이용한 증착장치	㈜야스	2004.03.11	2005.01.13	OLED 증착 시스템	특허청

3	특허권	다층박막 제작장치	㈜야스	2005.02.01	2006.12.19	OLED 증착 시스템	특허청

4	특허권	라인형 발광소자와 표시소자 및 그 제작장치	㈜야스	2005.08.31	2012.06.25	OLED 증착 시스템	특허청

5	특허권	정전기를 이용한 유기 발광 소자 제작 방법 및 장치	㈜야스	2005.08.31	2012.12.04	OLED 증착 시스템	특허청

6	특허권	기판 이송 스피드 버퍼 챔버를 적용한 선형 증착시스템	㈜야스	2009.12.14	2011.03.22	OLED 증착 시스템	특허청

7	특허권	증발원을 공유하는 다중 증착 시스템	㈜야스	2011.08.22	2013.04.03	OLED 증착 시스템	특허청

8	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치	㈜야스	2013.03.18	2013.10.11	OLED 증착 시스템	특허청

9	특허권	AL 증착용 도가니 및 이를 사용한 증착 시스템	㈜야스	2013.05.03	2013.12.04	OLED 증착 시스템	특허청

10	특허권	클러스터 장비에 적용되는 정전기 부상 기판 이송 시스템	㈜야스	2013.07.02	2015.01.27	OLED 증착 시스템	특허청

11	특허권	택 타임을 단축시킨 증착 시스템	㈜야스	2014.10.16	2015.10.14	OLED 증착 시스템	특허청

12	특허권	로딩 챔버와 얼라인 챔버가 통합된 증착 시스템	㈜야스	2015.03.10	2016.06.17	OLED 증착 시스템	특허청

13	특허권	유리 기판 파손 검출 시스템	㈜야스	2015.07.20	2017.06.09	OLED 증착 시스템	특허청

14	특허권	두 장의 기판을 연속 증착하는 듀얼 증착 시스템	㈜야스	2015.08.03	2017.03.02	OLED 증착 시스템	특허청

15	특허권	왕복이송장치를 이용한 기판 연속 이송 인라인 증착 시스템	㈜야스	2015.08.03	2017.03.27	OLED 증착 시스템	특허청

16	특허권	마스크와 기판 트레이가 일체로 된 기판이송장치	㈜야스	2015.11.25	2017.07.26	OLED 증착 시스템	특허청

17	특허권	기판 척 보관용 저장고 및 척 순환용 반송 롤러를 포함하는 클러스터 시스템	㈜야스	2016.02.17	2018.05.28	OLED 증착 시스템	특허청

18	특허권	하나의 진공 증착 챔버에서 두 장의 기판에 순차 증착하는 시스템	㈜야스	2016.03.14	2017.11.02	OLED 증착 시스템	특허청

19	특허권	두 장의 기판을 연속 증착하는 듀얼 증착 시스템	㈜야스	2016.05.30	2018.01.25	OLED 증착 시스템	특허청

20	특허권	마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 클러스터 시스템	㈜야스	2016.12.05	2018.05.14	OLED 증착 시스템	특허청

21	특허권	마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 인라인 시스템	㈜야스	2016.12.12	2018.12.26	OLED 증착 시스템	특허청

22	특허권	진공유리 열융착 인라인 시스템	㈜야스	2018.02.22	2018.12.26	OLED 증착 시스템	특허청

23	특허권	마스크 시이트와 기판 갭을 최소화하는 기판 고정 유닛	㈜야스	2017.09.22	2019.05.13	OLED 증착 시스템	특허청

24	특허권	FMM 없는 재료절감형 컬러 화소 형성 시스템	㈜야스	2017.08.02	2019.05.27	OLED 증착 시스템	특허청

25	특허권	기체의 압력차를 이용한 점착 척과 기판 간의 합착 시스템	㈜야스	2017.11.16	2019.08.01	OLED 증착 시스템	특허청

26	특허권	FMM 없이 컬러 화소를 형성하는 방법 및 장치	㈜야스	2017.06.16	2019.10.01	OLED 증착 시스템	특허청

27	특허권	증착 시스템	㈜야스	2017.12.15	2019.10.16	OLED 증착 시스템	특허청

28	특허권	스위칭 마그넷을 이용한 기판홀딩부 슬립방지 시스템	㈜야스	2017.09.27	2019.11.26	OLED 증착 시스템	특허청

29	특허권	각도제한부의 공정 중 교체시스템	㈜야스	2017.11.30	2020.03.09	OLED 증착 시스템	특허청

30	특허권	패스 챔버와 디척 챔버 사이에 기판 검사장비가 배치된 증착 시스템	㈜야스	2018.04.09	2020.06.17	OLED 증착 시스템	특허청

31	특허권	이물비산을 방지한 증발원 이송장치	㈜야스	2018.04.18	2020.02.27	OLED 증착 시스템	특허청

32	특허권	두 장의 기판을 연속 증착하는 듀얼 증착 시스템	㈜야스	2018.11.21	2020.08.03	OLED 증착 시스템	특허청

33	특허권	걸쇠 방착판을 구비한 진공 증착기	㈜야스	2018.05.04	2020.08.19	OLED 증착 시스템	특허청

34	특허권	OLED 조명증착용 인라인 시스템	㈜야스	2019.07.10	2020.11.18	OLED 증착 시스템	특허청

35	특허권	증착 고정의 소스와 기판 간의 거리를 자동 제어할 수 있는 증착 시스템	㈜야스	2018.05.14	2020.12.02	OLED 증착 시스템	특허청

36	특허권	증착 시스템	㈜야스	2018.05.02	2020.12.23	OLED 증착 시스템	특허청

37	특허권	FMM이 없는 재료절감형 컬러 화소 형성 시스템	㈜야스	2018.05.19	2020.12.29	OLED 증착 시스템	특허청

38	특허권	공기의 공기 수분 흡착 및 순환을 위한 자동화 시스템	㈜야스	2019.05.07	2020.12.31	OLED 증착 시스템	특허청

39	특허권	면 증발원을 적용한 다목적 증착시스템	㈜야스	2020.06.08	2021.02.10	OLED 증착 시스템	특허청

40	특허권	점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템	㈜야스	2019.04.15	2021.02.15	OLED 증착 시스템	특허청

41	특허권	증착공정용 원추형 노즐 증발원	㈜야스	2002.11.18	2004.05.24	OLED 증착원	특허청

42	특허권	대면적 박막 제작용 증발원	㈜야스	2004.03.16	2004.11.03	OLED 증착원	특허청

43	특허권	박막두께분포를 조절 가능한 선형 및 평면형 증발원	㈜야스	2002.01.22	2005.01.13	OLED 증착원	특허청

44	특허권	물질의 재충전이 가능한 증착 공정용 증발원	㈜야스	2002.12.05	2005.06.08	OLED 증착원	특허청

45	특허권	증발 물질의 분출 방향을 조절 가능한 노즐형 증발원 및 이를 이용한 증착 방법	㈜야스	2003.11.27	2005.09.16	OLED 증착원	특허청

46	특허권	유기 발광소자 박막 제작을 위한 선형 노즐 증발원	㈜야스	2003.06.20	2005.09.20	OLED 증착원	특허청

47	특허권	다증발원을 이용한 동시증착에서 균일하게 혼합된 박막의 증착을 위한 증발 영역조절장치	㈜야스	2002.11.18	2005.11.24	OLED 증착원	특허청

48	특허권	유도 가열식 선형 증발원	㈜야스	2004.07.06	2006.05.04	OLED 증착원	특허청

49	특허권	초퍼를 이용한 대면적 박막 제작용 증착 장치	㈜야스	2007.08.30	2009.07.10	OLED 증착원	특허청

50	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원	㈜야스	2007.07.02	2010.09.01	OLED 증착원	특허청

51	특허권	하향 증착이 가능한 증착원	㈜야스	2008.11.12	2011.09.01	OLED 증착원	특허청

52	특허권	진공 챔버 내에서 진공을 깨뜨리지 않고 도가니를 교체할 수 있는 진공 증착 장치	㈜야스	2009.09.03	2012.01.12	OLED 증착원	특허청

53	특허권	증착 공정용 증발원	㈜야스	2010.01.20	2012.04.17	OLED 증착원	특허청

54	특허권	선형증발원	㈜야스	2011.01.20	2012.11.02	OLED 증착원	특허청

55	특허권	유기물질 카트리지 및 박막제작에 이를 사용하는 방법	㈜야스	2012.04.02	2013.01.16	OLED 증착원	특허청

56	특허권	물질분사 각도를 제한한 선형 소스	㈜야스	2011.05.08	2013.02.07	OLED 증착원	특허청

57	특허권	선형 증발원용 히터	㈜야스	2011.05.04	2013.02.07	OLED 증착원	특허청

58	특허권	점증발원을 병렬연결한 대면적 증착 증발원	㈜야스	2011.08.22	2013.05.15	OLED 증착원	특허청

59	특허권	대면적용 선형 증발원	㈜야스	2011.09.16	2013.06.28	OLED 증착원	특허청

60	특허권	대면적용 선형 증발원	㈜야스	2013.05.06	2013.11.06	OLED 증착원	특허청

61	특허권	유기물질 카트리지 및 박막제작에 이를 사용하는 방법	㈜야스	2013.11.22	2013.12.30	OLED 증착원	특허청

62	특허권	증발관 노즐 교체식 선형 증발원	㈜야스	2012.05.03	2014.01.03	OLED 증착원	특허청

63	특허권	박막 균일도를 균일하게 유지하는 선형 증발원	㈜야스	2014.07.10	2016.03.28	OLED 증착원	특허청

64	특허권	쉐도우 효과를 방지하기 위한 선형증발원용 차단판	㈜야스	2015.07.22	2017.01.17	OLED 증착원	특허청

65	특허권	호스트 물질 증발원과 도펀트 증발원이 선형 배열된 증발원	㈜야스	2015.10.27	2017.05.08	OLED 증착원	특허청

66	특허권	히터의 선형 부재 휨을 방지한 히터 커넥터	㈜야스	2016.04.06	2017.07.05	OLED 증착원	특허청

67	특허권	기울일 수 있는 선형 증발원	㈜야스	2016.11.10	2018.11.01	OLED 증착원	특허청

68	특허권	고온 증발원용 히터	㈜야스	2017.02.24	2019.04.02	OLED 증착원	특허청

69	특허권	증발원이 선형 배열된 증발원	㈜야스	2017.04.22	2019.06.19	OLED 증착원	특허청

70	특허권	물질소모량 계측이 가능한 증발원	㈜야스	2019.04.22	2021.05.31	OLED 증착원	특허청

71	특허권	평판 기판 홀딩장치	㈜야스	2002.10.09	2005.04.25	Chuck	특허청

72	특허권	기판 홀딩장치	㈜야스	2004.11.09	2006.01.02	Chuck	특허청

73	특허권	기판 홀터 탈착 장치 및 방법	㈜야스	2010.06.23	2012.09.10	Chuck	특허청

74	특허권	축전기형 대면적 기판용 정전 척	㈜야스	2012.10.16	2013.01.08	Chuck	특허청

75	특허권	기판 홀더 탈부착 장치	㈜야스	2011.01.21	2013.02.07	Chuck	특허청

76	특허권	기판 홀더 이송 장치	㈜야스	2011.03.29	2013.06.03	Chuck	특허청

77	특허권	기판 홀딩용 척	㈜야스	2011.05.06	2013.06.28	Chuck	특허청

78	특허권	자석 척	㈜야스	2012.03.15	2013.10.01	Chuck	특허청

79	특허권	미세전극 구조의 정전 척	㈜야스	2013.04.04	2013.10.11	Chuck	특허청

80	특허권	링 모양 점착부를 이용한 기판 탈부착 장치	㈜야스	2011.05.07	2013.11.06	Chuck	특허청

81	특허권	자석을 이용한 기판 척킹 부재	㈜야스	2012.11.12	2014.05.28	Chuck	특허청

82	특허권	대면적 기판 홀딩 장치	㈜야스	2012.11.19	2014.05.28	Chuck	특허청

83	특허권	혼합형 대면적 기판 홀딩 장치	㈜야스	2014.11.19	2014.05.28	Chuck	특허청

84	특허권	척킹 구간을 한정한 점착제 척	㈜야스	2014.06.11	2014.07.16	Chuck	특허청

85	특허권	필름 척	㈜야스	2012.01.17	2014.07.24	Chuck	특허청

86	특허권	미세전극으로 된 정전 척의 탈부착 시스템	㈜야스	2013.07.05	2014.11.24	Chuck	특허청

87	특허권	척 플레이트의 기판 로딩 및 디척용 홀 막음장치	㈜야스	2013.11.11	2015.05.22	Chuck	특허청

88	특허권	기판 감지 센서를 구비한 척	㈜야스	2015.04.17	2016.10.21	Chuck	특허청

89	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템	㈜야스	2015.10.13	2017.04.25	Chuck	특허청

90	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템	㈜야스	2016.01.12	2017.05.08	Chuck	특허청

91	특허권	클램핑 유닛을 포함하는 점착척	㈜야스	2016.02.03	2018.02.22	Chuck	특허청

92	특허권	기판 쳐짐을 개선을 기판과 마스크 합착 장치	㈜야스	2016.02.03	2018.03.27	Chuck	특허청

93	특허권	바이폴라 대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템	㈜야스	2016.12.19	2018.08.29	Chuck	특허청

94	특허권	점착척의 점착 시트 교체 자동화 장치	㈜야스	2018.01.04	2019.05.31	Chuck	특허청

95	특허권	스위칭 마그넷의 자력을 이용한 기판홀딩장치	㈜야스	2017.08.19	2019.08.05	Chuck	특허청

96	특허권	효과적인 기판 탈부착 구조의 점착 척과 탈착 장치	㈜야스	2017.09.22	2019.10.07	Chuck	특허청

97	특허권	효율적인 점착제 교체를 위한 점착 척 구조	㈜야스	2017.09.22	2019.11.25	Chuck	특허청

98	특허권	포켓을 구비한 기판 이송 장치	㈜야스	2017.09.26	2020.01.07	Chuck	특허청

99	특허권	기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛	㈜야스	2018.09.12	2020.06.21	Chuck	특허청

100	특허권	클램핑 유닛을 포함하는 점착척	㈜야스	2018.04.30	2020.08.10	Chuck	특허청

101	특허권	스위칭 마그넷의 자력을 이용한 기판홀딩장치	㈜야스	2019.08.05	2020.08.13	Chuck	특허청

102	특허권	타공한 점착재를 이용한 점착척 및 이를 이용한 척킹 방법	㈜야스	2018.09.11	2020.08.18	Chuck	특허청

103	특허권	효율적인 점착제 교체를 위한 점착 척 구조	㈜야스	2019.11.25	2020.09.04	Chuck	특허청

104	특허권	기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛	㈜야스	2020.06.21	2020.10.06	Chuck	특허청

105	특허권	점착척의 점착시트 보호 용 커버 필름	㈜야스	2019.01.21	2020.12.15	Chuck	특허청

106	특허권	기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛	㈜야스	2020.10.05	2021.02.03	Chuck	특허청

107	특허권	기판과 쉐도우 마스크 고정장치	㈜야스	2002.05.28	2005.01.20	Align	특허청

108	특허권	자석을 이용한 마스크의 고정장치	㈜야스	2004.03.11	2006.03.16	Align	특허청

109	특허권	기판과 마스크 정렬장치	㈜야스	2005.08.31	2006.09.05	Align	특허청

110	특허권	척 플레이트를 이용한 마스크 얼라인 시스템	㈜야스	2012.07.11	2014.09.30	Align	특허청

111	특허권	이동식 카메라를 구비한 마스크 얼라인용 비전 시스템	㈜야스	2015.01.29	2016.02.24	Align	특허청

112	특허권	회전 도중 냉각판과 유리기판의 미끄러짐 방지를 위한 부쉬와 부쉬 하우징	㈜야스	2015.03.04	2016.05.31	Align	특허청

113	특허권	정전 척을 적용한 얼라이너 및 얼라인 방법	㈜야스	2015.09.04	2016.10.25	Align	특허청

114	특허권	기판을 안정화시키는 밀착판을 구비한 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2015.12.17	2017.12.11	Align	특허청

115	특허권	진공유리 열융착 인라인 시스템	㈜야스	2016.04.27	2018.02.22	Align	특허청

116	특허권	기판을 안정화시키는 밀착판을 구비한 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2017.12.04	2018.10.29	Align	특허청

117	특허권	대면적 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2018.01.12	2019.12.11	Align	특허청

118	특허권	터치 플레이트와 일체로 되고 스위칭 마그넷을 구비한 마그넷 플레이트 및 이를 적용한 얼라인먼트 시스템	㈜야스	2017.12.26	2020.01.28	Align	특허청

119	특허권	대면적 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2017.11.10	2020.03.20	Align	특허청

120	특허권	대면적 OLED 제조용 와이어 마스크 및 와이어 마스크의 고정방법	㈜야스	2008.11.12	2010.12.13	Mask	특허청

121	특허권	대면적 기판용 판 마스크	㈜야스	2011.03.29	2012.11.02	Mask	특허청

122	특허권	자기력을 이용한 마스크 척	㈜야스	2011.05.07	2013.07.08	Mask	특허청

123	특허권	필름 밴드 마스크	㈜야스	2012.01.17	2014.02.05	Mask	특허청

124	특허권	필름 밴드 마스크	㈜야스	2015.09.11	2016.03.14	Mask	특허청

125	특허권	유리 마스크	㈜야스	2018.09.11	2020.08.12	Mask	특허청

126	특허권	유기발광소자 증착용 대면적 마스크 및 그 제조방법	㈜야스	2019.02.22	2021.01.06	Mask	특허청

127	특허권	길이 최적화된 마스크프레임	㈜야스	2019.08.16	2021.06.28	Mask	특허청

128	특허권	유기 반도체 소자의 양전극의 제조방법 및 그 소자	㈜야스	2003.01.29	2005.09.16	OLED Device	특허청

129	특허권	유기 전계발광 표시소자의 유기 발광층 형성방법	㈜야스	2008.11.17	2010.04.23	OLED Device	특허청

130	특허권	유기 전계발광 표시소자의 유기 발광층 형성방법	㈜야스	2010.04.23	2012.06.01	OLED Device	특허청

131	특허권	레이저 버닝을 이용한 유기발광소자의 제조방법	㈜야스	2012.04.18	2014.03.04	OLED Device	특허청

132	특허권	열 증착에 의한 산화물 TFT의 제조방법	㈜야스	2013.11.28	2015.11.05	OLED Device	특허청

133	특허권	증발원을 이용한 패시베이션	㈜야스	2018.05.10	2020.01.22	OLED Device	특허청

134	특허권	에어로졸을 이용한 유기발광소자의 봉지 방법	㈜야스	2013.08.09	2015.06.08	Encap.	특허청

135	특허권	증착율 센서 어레이를 이용한 선형 증발원의 증착 제어시스템	㈜야스	2012.06.07	2014.01.03	QCM	특허청

136	특허권	수정 미세 저울 센서 포장용기 및 이를 이용한 센서 헤드에 대한 장전방법	㈜야스	2013.06.03	2014.04.22	QCM	특허청

137	특허권	OLED 인라인 증착 시스템 용 증착율 측정장치	㈜야스	2012.12.21	2014.05.28	QCM	특허청

138	특허권	제어모듈 일체형 증착율 센서	㈜야스	2013.01.30	2014.06.23	QCM	특허청

139	특허권	선형 증착율 센서	㈜야스	2013.04.04	2014.12.10	QCM	특허청

140	특허권	증착율 센서용 초퍼 및 그 연결 부재	㈜야스	2017.02.16	2018.08.20	QCM	특허청

141	특허권	박막형 반도체 소자를 유연한 기판에 제작하는 롤투롤 장치	㈜야스	2008.12.22	2010.12.13	Flexible System	특허청

142	특허권	박막소자를 유연 기판에 제작하는 롤투롤 증착기의 기판 홀딩장치	㈜야스	2012.08.09	2013.09.04	Flexible System	특허청

143	특허권	롤투롤 장치의 유연 기판 처짐 방지 시스템	㈜야스	2013.08.09	2015.05.18	Flexible System	특허청

144	특허권	롤투롤 장치의 유연 기판 처짐 방지 시스템	㈜야스	2015.10.28	2016.04.18	Flexible System	특허청

145	특허권	다중 프로세스 롤투롤 시스템	㈜야스	2015.06.23	2017.04.21	Flexible System	특허청

146	특허권	척을 적용한 롤투롤 시스템	㈜야스	2018.05.04	2020.05.04	Flexible System	특허청

147	특허권	면 증발원을 적용한 다목적 증착시스템	㈜야스	2018.05.04	2020.11.13	Flexible System	특허청

148	특허권	유도가열 방식을 적용한 박막형 화합물 반도체 태양광 소자 제작 장치 및 방법	㈜야스	2010.08.03	2011.11.02	CIGS 증착 시스템	특허청

149	특허권	직접 가열방식을 적용한 선형 증착원	㈜야스	2009.12.21	2012.10.11	CIGS 증착 시스템	특허청

150	특허권	하이브리드 가열방식 증발원	㈜야스	2012.09.21	2013.01.16	CIGS 증착 시스템	특허청

151	특허권	직접 가열방식을 적용한 선형 증착원	㈜야스	2012.07.21	2013.02.07	CIGS 증착 시스템	특허청

152	특허권	히터 내장형 증발원	㈜야스	2010.08.11	2013.04.03	CIGS 증착 시스템	특허청

153	특허권	대용량 고온 증발원	㈜야스	2012.07.31	2014.02.05	CIGS 증착 시스템	특허청

154	특허권	고온 증발원 및 그 제조방법	㈜야스	2012.06.20	2014.02.12	CIGS 증착 시스템	특허청

155	특허권	하이브리드 가열방식 증발원	㈜야스	2011.03.29	2013.01.16	CIGS 증착 시스템	특허청

156	특허권	고온 선형 증발원	㈜야스	2016.11.22	2018.03.26	CIGS 증착 시스템	특허청

157	특허권	진공유리 또는 그를 이용하는 반도체 소자의 진공 봉지 장치 및 진공 봉지 방법	㈜야스	2013.01.17	2014.03.04	Vacuum Glass	특허청

158	특허권	진공유리 및 반도체 소자의 진공 봉지 장치 및 제조방법	㈜야스	2012.10.11	2014.06.14	Vacuum Glass	특허청

159	특허권	진공유리 또는 그를 이용하는 반도체 소자의 진공 봉지 방법	㈜야스	2013.01.24	2014.07.24	Vacuum Glass	특허청

160	특허권	레이저를 이용한 진공유리의 진공 마감 방법	㈜야스	2013.11.06	2015.05.22	Vacuum Glass	특허청

161	특허권	양산용 유기 전계 발광소자의 제작장치(일본)	㈜야스	2002.11.15	2007.08.31	OLED 증착 시스템	특허청

162	특허권	양산용 유기 전계 발광소자의 제작장치(중국)	㈜야스	2002.11.15	2007.12.26	OLED 증착 시스템	특허청

163	특허권	양산용 유기 전계 발광소자의 제작장치(싱가포르)	㈜야스	2002.11.15	2008.07.31	OLED 증착 시스템	특허청

164	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(미국)	㈜야스	2014.03.07	2016.03.01	OLED 증착 시스템	특허청

165	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(일본)	㈜야스	2014.03.12	2016.03.18	OLED 증착 시스템	특허청

166	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(중국)	㈜야스	2014.03.10	2017.03.01	OLED 증착 시스템	특허청

167	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(대만)	㈜야스	2014.03.18	2017.07.21	OLED 증착 시스템	특허청

168	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(독일)	㈜야스	2014.04.08	2021.08.12	OLED 증착 시스템	특허청

169	특허권	박막두께분포를 조절 가능한 선형 및 평면형 증발원(대만)	㈜야스	2003.01.22	2005.03.11	OLED 증착원	특허청

170	특허권	박막두꼐분포를 조절 가능한 선형 및 평명형 증발원(중국)	㈜야스	2003.01.22	2007.10.03	OLED 증착원	특허청

171	특허권	박막두꼐분포를 조절 가능한 선형 및 평명형 증발원(싱가포르)	㈜야스	2003.01.22	2008.02.29	OLED 증착원	특허청

172	특허권	증착 공정용 노즐 증발원(대만)	㈜야스	2004.03.02	2006.06.11	OLED 증착원	특허청

173	특허권	증착 공정용 노즐 증발원(일본)	㈜야스	2004.03.10	2008.02.01	OLED 증착원	특허청

174	특허권	증착 공정용 노즐 증발원(싱가포르)	㈜야스	2004.03.03	2008.02.29	OLED 증착원	특허청

175	특허권	증착 공정용 노즐 증발원(중국)	㈜야스	2004.03.30	2008.10.21	OLED 증착원	특허청

176	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원(미국)	㈜야스	2007.07.03	2010.11.16	OLED 증착원	특허청

177	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원(미국)	㈜야스	2010.10.07	2011.07.12	OLED 증착원	특허청

178	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원(일본)	㈜야스	2007.07.03	2011.07.15	OLED 증착원	특허청

179	특허권	평판 기판 홀딩장치(일본)	㈜야스	2004.03.30	2007.09.14	Chuck	특허청

180	특허권	평판 기판 홀딩장치(중국)	㈜야스	2004.05.09	2008.05.28	Chuck	특허청

181	특허권	평판 기판 홀딩장치(대만)	㈜야스	2004.05.21	2008.09.21	Chuck	특허청

182	특허권	평판 기판 홀딩장치(싱가포르)	㈜야스	2004.04.15	2007.08.31	Chuck	특허청

183	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(일본)	㈜야스	2016.05.09	2017.04.28	Chuck	특허청

184	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(대만)	㈜야스	2016.06.30	2017.08.17	Chuck	특허청

185	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(일본)	㈜야스	2018.05.14	2018.09.26	Chuck	특허청

186	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(중국)	㈜야스	2016.07.01	2019.07.19	Chuck	특허청

187	실용신안	다수의 웨이퍼를 일괄 반송하는 웨이퍼 반송시스템	㈜야스	2018.05.10	2020.02.20	OLED 증착 시스템	특허청

188	실용신안	택 타임 단축을 위한 기판 플립 수단 및 그 운용 시스템	㈜야스	2018.07.16	2020.05.14	OLED 증착 시스템	특허청

189	실용신안	패턴 또는 구조를 가진 점착제를 이용한 점착 척	㈜야스	2020.08.03	2021.04.19	Chuck	특허청

190	실용신안	균등 증발원	㈜야스	2020.10.16	2021.09.02	CIGS 증착 시스템	특허청

191	상표권	CNS	㈜야스	2006.01.09	2006.09.20	OLED 증착원	특허청

192	상표권	LNS	㈜야스	2006.01.19	2007.01.25	OLED 증착원	특허청

193	특허권	정전기 모니터링 시스템	㈜야스	2020.04.01	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

194	특허권	고해상도 대면적 기판 증착시스탬	㈜야스	2020.05.26	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

195	특허권	점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템	㈜야스	2020.08.12	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

196	특허권	기판의 국소부위를 세정하는 버텀 업 방식의 플라즈마 처리 시스템	㈜야스	2020.08.14	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

197	특허권	증착시스템	㈜야스	2021.01.15	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

198	특허권	홀(Hole)을 구비한 유리기판 검사시스템	㈜야스	2021.01.21	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

199	특허권	증착시스템	㈜야스	2021.02.01	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

200	특허권	로봇 주행 트랙을 구비한 증착 시스템	㈜야스	2021.04.14	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

201	특허권	증착시스템	㈜야스	2021.05.12	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

202	특허권	하이브리드 광학계를 적용한 기판 검사시스템	㈜야스	2021.07.14	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

203	특허권	압력 측정 시스템	㈜야스	2021.07.20	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

204	특허권	인라인 이송시스템	㈜야스	2021.11.01	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

205	특허권	증착원	㈜야스	2020.03.11	N/A	OLED 증착원	특허청

206	특허권	다중 리플렉터를 포함하는 가열장치	㈜야스	2020.05.12	N/A	OLED 증착원	특허청

207	특허권	증착원	㈜야스	2020.06.08	N/A	OLED 증착원	특허청

208	특허권	증착원	㈜야스	2020.08.27	N/A	OLED 증착원	특허청

209	특허권	플럭스 조절 가능한 노즐을 구비한 증발원	㈜야스	2021.02.09	N/A	OLED 증착원	특허청

210	특허권	증착 두께 균일도 조절 장치	㈜야스	2021.06.24	N/A	OLED 증착원	특허청

211	특허권	증발 물질 튐 방지체가 적용된 증발원	㈜야스	2021.06.29	N/A	OLED 증착원	특허청

212	특허권	증발원	㈜야스	2021.07.14	N/A	OLED 증착원	특허청

213	특허권	정밀한 물질 소모량 계측이 가능한 증발원	㈜야스	2021.07.20	N/A	OLED 증착원	특허청

214	특허권	수직 선형 증발원	㈜야스	2021.08.30	N/A	OLED 증착원	특허청

215	특허권	수직 증착용 점증발원	㈜야스	2021.08.30	N/A	OLED 증착원	특허청

216	특허권	박막 형성 장치	㈜야스	2021.11.23	N/A	OLED 증착원	특허청

217	특허권	패턴 또는 구조를 가진 점착제를 이용한 점착 척	㈜야스	2019.09.09	N/A	Chuck	특허청

218	특허권	ESC 전극 제조 방법	㈜야스	2020.01.30	2021.12.20	Chuck	특허청

219	특허권	기판 전면부 접촉 없이 다 모델 대응 가능한 분할형 기판 홀딩 장치	㈜야스	2021.02.05	N/A	Chuck	특허청

220	특허권	3중 합지 방식을 적용한 점착제 롤 필름	㈜야스	2021.02.23	N/A	Chuck	특허청

221	특허권	기판 전면부 접촉 없이 다 모델 대응 가능한 분할형 기판 홀딩 장치의 구조	㈜야스	2021.04.27	N/A	Chuck	특허청

222	특허권	다모델 대응 척 플레이트용 홀 막음 장치와 사용 방법	2021.07.13	N/A	Chuck	특허청

223	특허권	적외선을 이용한 웨이퍼 얼라인 시스템	㈜야스	2019.01.11	N/A	Align	특허청

224	특허권	증착 시스템용 마스크 반송 시스템	㈜야스	2021.02.05	N/A	Mask	특허청

225	특허권	패턴 또는 구조를 가진 점착제를 이용한 점착 척(중국)	㈜야스	2020.08.03	N/A	Chuck	특허청

226	특허권	길이 최적화된 마스크프레임(일본)	㈜야스	2020.08.07	N/A	Mask	특허청

227	특허권	길이 최적화된 마스크프레임(중국)	㈜야스	2020.09.02	N/A	Mask	특허청

228	특허권	길이 최적화된 마스크프레임(일본)	㈜야스	2021.12.07	N/A	Mask	특허청