야스 분기보고서 (2021.03)
II. 사업의 내용

[용어정리]

용 어	설 명

원장	TFT 공정을 거친 후 Cell 단위로 자르기 전의 원판을 의미, 여러 개의 패널의 원판에서 컷팅하기 전 상태

패널	원장을 용도에 맞는 크기로 자른 상태, 하나의 디스플레이로 사용 가능한 상태

모듈	Panel에 PCB등의 부품을 결합한 상태, 핸드폰에 들어가기 직전의 상태

LTPS	디스플레이 제조공정중 하나로 고해상도 디스플레이를 만들기 위해 많이 쓰임

LCD	액정(Liquid Crystal)에 주어지는 전압에 따라 광의 특성을 변조하는 원리를 이용하며 휴대폰, 노트북, 컴퓨터, TV등 디스플레이 전반에 걸쳐 활용하고 있음

PDP	전면 유리 기판상의 전극간에 전압을 가한 후 발생된 자외선이 형광체를 자극하여 가시광선을 발생시키는 원리를 이용한 디스플레이

OLED	전자(-)와 정공(+)의 결합과정에서 나오는 자연발광을 이용한 디스플레이

PMOLED 또는 POLED	화면 상에 배열된 발광 소자의 가로축과 세로축에 각각 전압을 넣어 그 교차점을 빛나게 하는 방식, 수동방식 OLED라고 칭함

AMOLED	발광 소자마다 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor)를 내장하여 각 소자의 발광 여부를 개별적으로 제어, 능동방식 OLED라고 칭함
AMOLED : Active Matrix Organic Light Emitting Diodes

Wearable Display	몸에 입거나 부착할 수 있는 디스플레이

Flexible Display	전자종이 기술을 포함한 종래 디스플레이 기술을 유연한 기판에 구현하여 종이처럼 얇고, 가볍고, 깨지지않고, 접을 수 있으며, 자유롭게 휘어지는 디스플레이

PDA	손에 들고 다닐 수 있는 크기의(Hand Held Size) 일종의 초소형 컴퓨터

태블릿	노트북과 PAD(요즈음은 스마트폰)의 혼합형기기를 의미

LED	BLU의 광원으로 쓰이는 자체발광 다이오드

BLU	액정 패널의 내부 액정뒤쪽에서 액정이 환하게 보이도록 불을 켜주는 장치, LCD같은 자체 발광이 불가한 디스플레이에 사용

TFT	박막트랜지스터, 전기신호를 증폭·제어·발생시킬 수 있는 부품인 트랜지스터 중 얇은 형태의 트랜지스터를 의미

UHD	해상도의 단위로써 Full HD보다 4배 선명한 초고화질 해상도를 말함

베젤	디스플레이 화면의 표시영역과 키기의 테두리 사이의 영역을 의미

1. 사업의 개요 가. 업계의 개황 (1) 디스플레이 산업의 현황 디스플레이 산업은 기존의 CRT에서 LCD에서 OLED로 발전하는 과정을 거쳐 오고 있습니다. 이에 따라 디스플레이 시장은 지난 수년간 LCD를 중심으로 급격하게 성장해왔으나, 최근에는 그 성장의 무게중심이 OLED로 전환되었으며, 디스플레이 제조장비 역시 LCD 제조장비에서 OLED 제조장비로 성장의 축이 전환되었습니다. 당사는 OLED 제조장비의 핵심 기술인 증착기 및 증착원 기술을 보유하여 패널업체에 공급하는 사업을 영위하고 있습니다.최근 디스플레이는 초박형, 초경량화, 저전력, 고해상도, 고휘도 등의 고성능 사양의 요구 외에도 유저의 몰입감을 높이기 위해 소형모바일부터 대형 TV에 이르기 까지 화면이 휘어진 형태로 디스플레이 기술은 진화하고 있습니다. 또한 foldable, wearable, rollable로 발전되는 트랜드에 맞춰 산업 전반에 걸쳐 개발은 급속하게 진행되고 있으며, 내년 중으로 foldable display 성능을 가지는 휴대폰 출시가 임박해 있는 상황입니다. 또한 미래 disposable, stretchable까지 가능한 기술도 개발하여 관련 기술을 선점하기 위해 업계에서는 앞다투어 많은 투자가 이루어지고 있습니다.최근 OLED가 각광받은 이유는 기존 LCD가 가지고 있는 기술적인 한계를 넘어 차세대 디스플레이로서 요구되는 고성능의 디스플레이 성능과 산업에서 요구되는 다양한 형태의 외형적인 부분까지 응용이 가능하기 때문입니다. 최근에 갤럭시 모바일폰과 OLED TV 제품은 이미 일상 생활에 들어온 지 오래된 상황이며 PC와 노트북용 모니터, 자동차용 디스플레이와 사이니즈 영역까지 넓히고 있는 OLED 관련 기사는 손쉽게 접할 수가 있습니다. OLED는 일찍이 기존 LED와는 다르게 면발광, flexible, warm white 등의 강점으로 차세대 조명용으로도 각광을 많이 받아 왔으며 현재는 실제 제품으로도 출하되고 있어 향후에는 LED조명을 대체할 것으로 기대되고 있습니다.

[디스플레이의 종류]

디스플레이의 종류	설명

브라운관(CRT)	진공 상태에서 음극선에서 나오는 전자가 화면의 형광면에 충격을 주어 발광하게 함으로써 시각적 정보를 표현하는 디스플레이.

평판 디스플레이	LCD	액정에 주어지는 전압에 따라 광의 특성을 변조하는 원리를 이용하며 휴대폰, 노트북, 컴퓨터, TV등 디스플레이 전반에 걸쳐 활용.

PDP	전면 유리 기판상의 전극간에 전압을 가한 후 발생된 자외선이 형광체를 자극하여 가시광선을 발생시키는 원리를 이용하며, 자체 발광형 표시소자로서 시야각이 넓고 대면적화에 유리하여 대형 벽걸이용 TV로 활용.

OLED	전자(-)와 정공(+)의 결합과정에서 나오는 자연발광을 이용한 디스플레이로 현재 모바일 시장에 적용 중이며, TV를 비롯한 다양한 디스플레이로 확대 전망.
OLED는 PMOLED와 AMOLED로 나뉘지만 대부분 AMOLED이므로특별한 언급이 없는 한 OLED라 함은 AMOLED를 의미함.

FED	CRT와 유사하게 진공속에서 전자가 화면의 형광체를 발광시키는 디스플레이. CRT와 달리 각 화소마다 음극이 있으므로 음극관이 필요 없어 CRT에 비해 얇은 형태로 구현 가능.

기타	PROJECTION	스크린에 투사하는 형태의 디스플레이를 의미하며 대형 스크린 등 평판디스플레이가 실현하기 어려운 영역에 응용.

3D	시차발생 필터기술 원리를 이용해 입체적인 영상을 구현하며, 대부분의 평판디스플레이 및 projection 디스플레이로 이용 가능.

FLEXIBLE	전자종이 기술을 포함한 종래 디스플레이 기술을 유연한 기판에 구현하여 종이처럼 얇고, 가볍고, 깨지지 않고, 자유롭게 휘어지는 디스플레이.

(가) OLED 정의유기 발광 다이오드(Organic Light-Emitting Diode, OLED)는 빛을 내는 층이 전류에 반응하여 빛을 발산하는 유기 화합물의 필름으로 이루어진 박막 발광 다이오드(LED)입니다. OLED는 빛을 발생시키는 발광 소자이기 때문에 디스플레이 등의 표시소자, 키패드용 광원, LCD 백라이트 등 IT기기 광원, 조명 등에 응용할 수 있어 잠재 응용 범위가 넓은 특징이 있습니다. 현재 OLED는 디스플레이 분야에 가장 널리 으용되고 있으며 향후 조명 등에도 광범위하게 응용될 것으로 예측되고 있습니다.OLED 디스플레이는 자발광 특성을 갖고 있기 때문에 백라이트 등의 보조광원이 불필요하기 때문에 아주 얇은 디스플레이 제작이 가능하며, 시야각이 넓어 디스플레이로서 손색이 없고, 응답속도가 마이크로초 이하이기 때문에, 동영상 구현에 적합합니다. 또한 플렉서블 기판을 사용할 수 있어 차세대 디스플레이인 플렉서블 디스플레이 에도 대응이 가능합니다. (나) OLED vs. LCD 기존 디스플레이 시장은 TFT-LCD가 주도하고 있었으나, 현재 점차적으로 OLED의시장으로 확대대고 있습니다. 앞으로의 디스플레이 시장을 주도할 두 가지 방식을 비교하면 다음과 같습니다.LCD는 광원에서 나오는 빛의 투과량을 조절하여 색을 구현하는 방법으로 자체 발광이 아니나 OLED는 유기 화합물로 전기가 흐르면 스스로 빛을 내는 자체 발광 물질입니다. 즉, LCD는 백라이트(최근 LED 사용)를 사용하며 인가된 외부 전압에 따른 액정의 상태 변화와 Color filter를 통해 외부로 나오는 빛을 우리가 확인하는 방식입니다. 그러나 OLED는 저류 구동에 의해 발광 소자( RGD 화소)로부터 직접 빛을 방출시키는 방식으로 필터나 백라이트가 사용되지 않습니다. 따라서 소자 구조가 단순하며 두께 또한 LCD에 비해 얇아 초박형 디스플레이 구현이 용이하며 필터링 없이 자연 발광된 빛을 사용하기 때문에 휘도, 시야각, 응답속도 등에서도 월등히 우수하여 최근 LCD를 대체하는 차세대 디스플레이로 각광을 받고 있습니다.

[LCD, OLED 성능 비교]

구분	LCD	OLED	비고

응답속도	30/1,000sec	1/1,000,000sec	응답속도 개선

전력 소모량	고전력 소모	궁극적으로 전력소모가 감소할 전망

시야각	제한 있음	시야각 해소

작동온도	0℃ ~ 65℃	-30℃ ~ 80℃	확대된 작동 온도

가격	LCD OLED	이론적으로 LCD보다 70% 수준까지 절감 가능

발광방식	BLU필요	자체 발광형	BLU 필요 없으므로 제품 두께를 줄일 수 있음

수명	약 6만 시간 이상	약 2.5만 시간	유기 물질 수명 문제 보유

명암비	LCD OLED	OLED는 완벽한 검은색 표현 가능

크기	다양	다양	휴대폰 등 작은 전자제품용 디스플레이 위주 생산

유연성	낮음	높음	LCD는 BLU 때문에 Flexible Display 구현 불가능

자료 : Displaysearch (2) 디스플레이 제조 장비 산업 개황 디스플레이 장비란 디스플레이 패널 제조를 위한 각 공정에 사용되는 장비를 의미합니다. 국내외 디스플레이 산업은 삼성전자, LG전자, BOE 등 디스플레이 패널 업체가 선도하는 산업으로써, 디스플레이 장비 및 부품·소재 제조 업체는 디스플레이 패널 제조 업체가 요구하는 제품을 공급하고 있습니다. OLED, 플랙서블(Flexible)등 신규 디스플레이 시장의 확대됨으로써 패널 제조 업체에서 신규 투자가 이어지고 있으며, 이와 함께 설비 투자가 확대되고 있습니다. 또한 디스플레이 공정이 고도화되면서 설비 요구 사양의 증가로 인한 디스플레이 장비 개발 및 고품질화가 요구 되고 있어, 산업의 부가가치 또한 증가하고 있습니다.

당사가 영위하고 있는 OLED 제조 공정을 간단히 살펴보면 폴리이미드 코팅 및 경화 -> LTPS TFT 제조(열처리, 결정화 공정 포함) -> 유기물 증착 -> 봉지 -> 유리기판 제거(LLO) 공정으로 구성됩니다.

제조 공정의 큰 흐름은 다음과 같습니다.

(가) 폴리이미드 코팅

유리 소재의 Glass Substrate에 액체 상태의 폴리이미드 (Polyimide)를 올립니다.

(나) 폴리이미드 열처리

PI Curing장비(열처리 장비)를 통해 500도 미만의 온도에서 장시간 열처리를 하면 폴리이미드가 딱딱하게 굳으며 디스플레이 기판의 역할을 하게 됩니다.

(다) LTPS TFT 제조(열처리, 결정화 공정 포함)

이렇게 만들어진 PI층 위에 디스플레이의 각 화소를 조절하는 TFT가 올라가게 됩니다. TFT 공정은 통상적으로 세정->증착->노광->현상->식각으로 이루어진 Mask공정을 반복하며 회로를 하나씩 쌓는 방식으로 만들어지며 a-Si TFT에 열처리 공정과 Laser Annealing(결정화)를 통해 LTPS TFT가 됩니다.

(라) OLED 유기물 증착

제조된 LTPS TFT위에 OLED 소재들을 증착합니다. 소형 OLED의 경우 Red, Green, Blue 유기물질을 각각 독립적으로 패터닝하는 RGB방식이 사용됩니다.

(마) 박막 봉지층 형성

증착된 유기 재료는 수분 및 산소에 취약한 성향을 띄기 때문에 기판을 보호해주는 봉지 공정이 진행됩니다. 과거에는 투명한 Glass로 봉지를 했었으나, 최근에는 박막필름을 활용해 봉지층을 구성하는 방식이 많이 사용되고 있습니다.

(바) 유리기판 제거

Laser Lift Off장비를 통해 레이져를 쏘아주면 Flexible OLED에서 공정 제일 처음에 투입된 Glass Substrate가 떨어지게 됩니다.

(사) 하판 보호용 Base Film 부착

Glass가 떨어져나간 이후 PI층을 보호하기 위해 Base Film 을 붙이게 됩니다.

(아) 터치센서, 편광판, 보호필름, 커버윈도우 부착

상단의 박막봉지층 위로 터치센서, 편광판, 보호 필름을 올리고 마지막으로 OLED 패널의 상판을 보호하는 커버윈도우를 붙이면 Flexible OLED패널이 완성됩니다.

나. 산 업의 성장성 (1) 디스플레이 시장 규모 및 전망 최근 OLED는 스마트폰을 중심으로 확산되고 있으며, TV 제품에도 적용되어 LCD를 대체할 디스플레이로 부상하고 있습니다. 또한, 플렉서블 OLED가 상용화됨에 따라 기존의 스마트폰, TV 등의 완제품에서는 Form Factor 차별화가 확대대고, 신규로 차량용 디스플레이, 웨어러블 디스플레이, 상업용 디스플레이로 확대되는 등 이에OLED의 시장 수요는 폭발적으로 증가할 것으로 전망됩니다.한국디스플레이산업협회 디스플레이산업 주요 통계에 따르면, 글로벌 LCD 디스플레이 시장규모는 2020년 925억 달러에서 2026년 902억 달러로 시장이 줄어들 것으로 전망되지만, OLED부문은 2020년 296억달러에서 2026년 482억 달러로 연평균 8.5% 성장할 것으로 전망하고 있습니다. 지속적인 기술개발을 통해 디스플레이 품질 및 양산 수율 개선, 수요처 확대 등을 통해 OLED 시장은 지속적으로 성장할 것으로 예상됩니다.

[글로벌 디스플레이 시장규모 및 전망(금액기준)]

(단위 : 억달러, %)

구분	2020년	2021년(F)	2022년(F)	2023년(F)	2024년(F)	2025년(F)	2026년(F)	CAGR
('20~'26)

LCD
(비중)	925(75.3)	1,011(72.3)	981(69.9)	958(66.8)	946(64.9)	920(62.7)	902(61.2)	-0.4%

OLED
(비중)	296(24.1)	380(27.2)	411(29.2)	444(30.9)	459(31.5)	476(32.5)	482(32.7)	8.5%

기타
(비중)	7(0.6)	7(0.5)	12(0.9)	33(2.3)	52(3.6)	71(4.8)	89(6.1)	52.8%

합계	1,228	1,398	1,404	1,435	1,457	1,467	1,473	3.1%

자료 : 한국디스플레이산업협회, OMDIA OLED 부문별로 살펴보면 글로벌 시장에서 모바일용 중소형 패널은 2020년 253억 달러에서 2026년 400억 달러로 연평균 7.9% 성장할 전망이며, TV용 대형 패널은 2020년 43억 달러에서 2026년 82억 달러로 연평균 11.4% 성장할 것으로 보입니다. 최근 중소형 패널 기준 OLED의 제조원가가 LCD 원가에 근접하였고, 향후 제조원가가 더욱 낮아질 것으로 예상됨에 따라 스마트폰 시장에서 OLED 채택이 확대될 것으로 예상됩니다. 대형패널 부문에서는 양산수율 개선, 지속적인 기술 개발을 통한 제조원가가 낮아지고, 중소형 패널과 마찬가지로 TV 시장에서 OLED 대형 패널의 적용이 확대되어 전체 OLED 패널 중 차지하는 비중이 증가할 것으로 전망됩니다.

[글로벌 OLED 시장규모 및 전망(금액기준)]

(단위 : 억달러, %)

구분	2020년	2021년(F)	2022년(F)	2023년(F)	2024년(F)	2025년(F)	2026년(F)	CAGR
('20~'26)

중소형
(비중)	253
(85.5)	320(84.3)	348(84.8)	379(85.5)	390(84.8)	398(83.7)	400(83.1)	7.9%

대형
(비중)	43
(14.5)	60(15.7)	62(15.2)	64(14.5)	70(15.2)	78(16.3)	82(16.9)	11.4%

합계	296	380	411	444	459	476	482	8.5%

자료 : 한국디스플레이산업협회, OMDIA (2) 디스플레이 장비 시장 규모 및 전망 디스플레이 및 OLED 시장이 성장함에 따라 관련 디스플레이 장비시장 규모 또한 확대될 것으로 전망됩니다. 상품의 기술 및 디자인의 다변화 등 소비 시장의 니즈에 따라 디스플레이 제조장비 산업의 구도에도 변화가 이루어지고 있으며 2020년 세계 디스플레이 장비 시장 규모는 OLED 장비의 시장 확대에 따라 148억달러 수준으로 예상되고 있습니다. OLED 및 Flexible 해외 투자 확대에 따른 장비 수출 동향은 2015년 1,647백만달러에서 2020년 3,069백만달러로 증가하였습니다.

[디스플레이 장비 수출 동향]
(단위: 백만달러)

구분	2015	2016	2017	2018	2019	2020

제조장비	1,440	1,439	3,147	2,837	2,514	2,693

부분품	207	292	515	447	410	376

합계	1,647	1,731	3,662	4,284	2,924	3,069

자료 : 한국디스플레이산업협회, KITA

최근 디스플레이 산업은 중국의 공격적인 LCD 투자로 한국과 일본, 대만 디스플레이 패널 업체들의 시장 경쟁력 및 장악력이 점차 악화되고 있는 실정입니다. 이에 따라 대면적 TV 시장에서 삼성디스플레이와 LG디스플레이의 대면적 LCD에 대한 경쟁력 확보는 더욱 어려워 질 것으로 예상되고 있기에 한국 패널 업체들의 대면적 OLED 패널 양산은 필수적인 상황입니다. 따라서 경쟁력이 약해진 한국의 대면적 LCD 양산라인을 대면적 OLED 패널 양산 라인으로 전환하는 투자가 본격적으로 이뤄질 것으로 예상하고 있으며, LG디스플레이가 대면적 OLED 패널에 적용하고 있는 Oxide TFT와 WRGB+Color Filter 기술을 타 디스플레이 업체가 채택한다면 기존 대면적 a-Si LCD 라인의 Backplane 장비와 Color Filter 장비를 그대로 활용할 수 있어 투자비용이 감소함에 따라 대면적 OLED 패널의 가격을 절감할 수 있을 것으로 판단됩니다.

이러한 AMOLED 주요 장비 시장은 한국과 중국의 패널 업체에 의해 주도될 것으로 예상되고 있으며 TV용 AMOLED 패널과 Flexible AMOLED 패널의 수요 증가로 관련 장비의 수주가 활발하게 이루어질 것으로 전망되고 있습니다. 그에 따라 당사가 제조하고 있는 OLED 패널의 주요 공정 중 하나인 증착 장비의 향후 투자규모는 큰 폭의 상승을 보일 것으로 전망하고 있으며 상세 수치는 다음과 같습니다.

[OLED 증착 장비 신규 투자 금액 전망]
(단위: 백만달러)

구분	2016	2017	2018	2019

OLED 증착 장비	RGB 증착	1,223	1,609	1,264	1,182

White 증착	155	155	398	541

Solution 증착	-	13	73	167

합계	1,378	1,777	1,735	1,890

출처: 유비산업리서치(2016.07)

OLED 증착 장비의 신규 투자규모는 2016년 1,378백만달러에서 2019년 1,890백만달러로 연평균 11.1% 상승할 것으로 예상하고 있으며, 특히 당사가 LG디스플레이의 대면적 OLED 패널의 증착을 위해 공급하는 White 증착 장비는 2016년 155백만달러에서 2019년 541백만달러로 연평균 51.7%상승하며 증착 장비 시장의 성장세를 주도할 것으로 전망하고 있습니다.

다. 경기 변동의 특성

디스플레이 산업의 최종 제품은 TV, 컴퓨터, 노트북, 휴대폰 등 내구성 소비재로 경기변동에 민감한 제품입니다. 디스플레이 패널 제조업체는 디스플레이 패널의 예상 수요 및 관련 전방 산업 경기에 따라 디스플레이 생산라인 증설하거나 신규 투자를 수행하며, 디스플레이 장비산업은 디스플레이 패널 제조업체의 투자계획에 따라 변동될 수밖에 없습니다. 따라서 디스플레이 장비산업은 그 전방산업인 디스플레이 패널산업 경기에 민감하게 반응합니다. 즉, 디스플레이산업은 경기변동에 민감하게 반응하는 장치산업의 특징을 갖고 있어, 디스플레이 설비의 투자여부에 따라 통상 30~36개월 주기로 경기변동 사이클을 나타나고 있어 디스플레이 장비업체의 가동율 또한 민감하게 변동되는 특성이 있습니다.

또한 디스플레이 산업은 양산을 위한 투자에서 제품생산까지 일정한 시차가 존재하기에 수요 증가를 예측하고 투자를 시작하면 투자가 완료되는 시점에서 생산물량이 급증하여 초과공급이 발생하게 되고, 이후에는 투자를 축소하게 돼 일정시점 이후 초과수요가 발생하는 양상이 반복되어 왔습니다. 하지만 현재 LCD 패널은 성숙기에 접어든 상황에서 공급과잉 상태에 있어, 과거와 같은 패턴을 보이지는 않을 전망이며, OLED의 경우는 과거 LCD가 보여주었던 [투자실행 → 공급증가 → 초과공급 → 투자축소 → 수요증가 → 초과수요 → 투자실행]의 사이클을 반복할 가능성이 있습니다.

거시경제 요인 등 경기변동에 따른 수요 성장 변동에 따라, 공급이 수요를 초과하는 시기에는 패널 가격이 하락할 수 있으며, 수요증가 대비 공급이 부족할 경우에는 가격이 상승할 수 있습니다. 그러나 OLED 산업은 현재 초기 시장형성 단계로 국내 대형 패널 양산업체가 시장을 주도하고 있으며, 추격하는 해외업체들과의 경쟁적인 기술개발과 설비투자로 인하여 향후 상당 기간 동안 산업의 성장세가 지속될 것으로 전망됩니다.

라. 시장 여건 (1) OLED 디스플레이 시장 점유율 2000년대 중반 이후 LCD 시장에서 중국 디스플레이 업체의 성장으로 국내의 LG디스플레이와 삼성디스플레이는 LCD 시장에서 중국 업체와 출혈 경쟁을 벌이기보다는 OLED 시장에 대한 투자를 확대하기 시작하였습니다. 양사는 2000년 후반부터 본격적으로 기술개발 및 투자를 진행하였고, 그룹 관계사의 제품전략에 따라 LG디스플레이는 TV에 들어가는 대형 패널에, 삼성디스플레이는 모바일용 중소형 패널에 집중하였습니다.이러한 국내 디스플레이 패널업체의 사업 전략 속에서 LCD는 2017년까지 글로벌 시장 점유율 1위를 유지하고 있었으나 중국의 시장 점유율이 빠르게 상승 하였습니다.중국의 경우 2015년 15.8%에서 2020년 44.0%로 증가한 반면, 같은 기간 우리나라는 38.9%에서 20.8%로 점유율이 하락하였습니다.2020년 기준 글로벌 OLED 시장은 한국이 85.8% 점유율로 독점에 가까운 지위를 유지하고 있습니다. 기업별로 살펴볼 때, 중소형 OLED 시장 및 초기단계인 TV용 대형OLED 시장 모두 국내 디스플레이 업체가 시장을 주도하고 있습니다. 중소형 OLED 시장에서 2020년 금액 기준의 점유율은 삼성디스플레이 72.7%, LG디스플레이 12.1%이며, TV용 대형 OLED 시장은 LG디스플레이가 86.3%로 현재 과점하고 있는 상황입니다.

(2) 목표 시장 (가) LG디스플레이의 OLED 투자 전망LG 디스플레이 또한 OLED생산라인을 보유한 국내 주요 중소형 OLED 패널업체이자 중소형 OLED에 대한 투자를 본격적으로 단행하고 있는 업체입니다. 연간 4~5조원의 EBITDA규모에서 투자를 진행중인 LG디스플레이는 2018년 현재 15K/월의 생산 Capa를 보유중입니다. 이러한 수치는 지속적인 투자를 통해 2020년 74K/월 수준까지 확대될 전망입니다. 세부적으론 6세대 E6라인의 경우 지속적인 투자를 단행하여 향후 45K/월까지 증설이 예정되어있으며, 이는 애플 아이폰을 위한 라인으로 활용될 전망입니다. 만약 45K/월까지 증설이 완료될 경우, E6라인에서만 연간 대략 5,000만대의 5.5인치 스마트폰용 패널이 생상 가능할 전망입니다. LG디스플레이는 2012년~2013년 E4-1 라인(옛 M2) 구축을 위해 총 1조 5,700억원을 투자한 바 있습니다. 그 후, E4라인이 양산가동에 들어가자마자 추가로 증설투자를 결정하기도 했습니다. 2016년 증설을 시작한 E4-2라인에는 TFT 전환에 4,600억원, OLED 증착설비에 3,900억원 등 총 8,500억원의 투자를 단행했습니다. 또한 LGD는 2017년 7월 2020년까지 대형 및 중소형 OLED 라인에 총 15조원을 투자한다는 계획을 밝혔습니다. 특히 8세대 OLED 라인의 수율이 안정화된 이상 초대형 OLED 라인(10.5세대) 2.8조원을 투자 집행하며 OLED TV의 대중화를 앞당기기 위한 전략을 구사할 계획으로, 2020년 상반기부터 파주 P10 공장 내에 차세대 10.5세대 이상급의 초대형 OLED TV 양산라인 투자가 집행될 것으로 전망되고 있습니다. 또한 LG디스플레이는 중국 광저우 지역에 8.5세대 OLED TV 생산 설비 투자를 집행하기 위해 중국 지방 정부와의 합작 법인 설립을 완료하였고 2019년 하반기 양산목표로 진행중입니다.

(나) 해외 디스플레이 업체의 OLED 투자 전망

전례에 없던 중소형 OLED 투자의 가장 큰 모멘텀은 OLED 탑재 스마트폰 수요 증가로 볼 수 있습니다. 중소형 OLED기반 디스플레이에 대한 관심과 수요가 빠르게 증가면서 주요 스마트폰 업체들의 판매량 및 매출이 확대되고 있으며, 이러한 수요 급증에 대응하기 위하여 디스플레이 업체들은 중소형 OLED 패널 생산을 위한 공격적인 투자를 유치하고 있습니다.

먼저 삼성과 LG를 제외한 해외 업체들의 경우 중소형 OLED 투자는 2016년 이후 본격화 될 것으로 예상됩니다. 46,000장/월을 기록한 2016년 해외 업체들의 중소형 OLED 신규 생산 Capa는 2017년 179,000장/월, 또 2018년에는 그 수치가 212,000장/월을 기록할 것으로 전망되면서 향후 꾸준한 확대가 예상됩니다. 이는 최근 중소형 OLED 시장에 대한 중국 당국의 관심과 OLED투자에 대한 정부의 적극적인 지원 정책으로 대다수의 중국 패널업체들이 50%의 정부 보조금 (0% 이자)과 30~40%의 저금리 대출을 받고 있는 것에 기인합니다. 이에 따라 2018년 이후 중소형 OLED에 대한 투자는 중화권 업체를 중심으로 한 해외 업체가 주도할 것으로 전망되고 있습니다.

가장 공격적인 OLED 투자를 진행중인 중국 업체 BOE는 6세대 기술인 B7과 B11라인에 각각 3.7조원, 7.8조원 투자를 통해 48,000장/월 규모를 준비중에 있습니다. 이 외에도 CSOT, EDO, Tianma 등 중국 패널 업체들과 JD, Sharp(Foxconn) 등 일본 패널 업체들 또한 2017년부터 본격적으로 중소형 OLED에 대한 투자를 진행하였습니다. 2012년 설립된 디스플레이 스타트업체인 Royole의 경우 중국 정부에서 3조원 규모의 지원을 받아 2017~2018년에 걸쳐 5.5세대 15K/월, 그리고 6세대 30K/월규모의 생산능력을 확보할 수 있는 기반을 마련하는 등 전통적인 중소형 OLED 패널업체 외에도 다수의 업체들이 중소형 OLED에 대한 투자를 확대할 계획을 가지고 있습니다.

(다) TV용 대형 OLED 시장중소형 디스플레이 시장에서 점유율을 높여오던 OLED 기술이 TV 시장으로의 확산이 본격화되면서 디스플레이 시장에서의 점유율 상승세를 지속할 전망입니다. 특히 LG디스플레이가 2020년까지 15조원의 OLED 설비투자 계획을 발표하며 OLED TV 패널 사업 확대를 위한 설비투자 결정까지 내리면서 시장확대는 본격화될 전망입니다. 따라서 LG디스플레이가 OLED TV 패널 사업을 확대함에 따라 삼성디스플레이 중심의 중소형 OLED와 함께 디스플레이 시장은 LCD에서 OLED로의 전환이 가속화될 것으로 전망하고 있습니다. 프리미엄 TV 시장에서 OLED TV의 점유율 상승은 가파르게 상승하고 있습니다. 2017년 55인치 이상 TV 시장에서 OLED TV의 점유율은 약 20%로 낮은 수준이지만, 2018년 OLED TV 점유율은 약 25% 수준을 기록하고 있습니다. 즉 같은 사이즈, 비슷한 성능의 LCD TV에 비해 가격이 비싸지만 프로미엄 제품에 대한 소비자들의 선호가 LCD에서 OLED로 빠르게 전환되고 있는 것입니다.

[55인치 이상 OLED TV 출하량]
인치별 tv 시장 규모.jpg 인치별 tv 시장 규모

출처: 유 안타증권 리서치센터OLED TV시장에 가장 먼저 진입한 LG디스플레이는 현재 LG전자, 소니, 파나소닉, Skyworth, Changhong 등을 대상으로 대형 OLED 패널을 납품하고 있으며, 2014년 약 16만대에 불과하던 LG디스플레이의 대형 OLED TV 패널 출하량은 2018년 약 250만대 수준으로 증가하였으며, 그 수치는 향후 급속도로 증가할 것으로 예상하고 있습니다. 이는 중국 업체들의 LCD TV시장 진입에 따른 LG의 본격적인 OLED TV 양산단계 진입에 의한 것으로 판단됩니다.

[글로벌 OLED TV 시장 확대]
oled tv 출하량 전망.jpg oled tv 출하량 전망

출처: NH투자증권 리서치본부

이러한 양상은 LG디스플레이뿐만 아니라 삼성디스플레이 및 Sony 등 주요 대형 디스플레이 업체에서 역시 나타나고 있습니다. 최근 삼성디스플레이는 기존의 퀀텀닷 LED TV가 아닌 OLED 기술을 바탕으로 TV 시장을 재편하는 전략을 취할 것으로 예상되고 있고, Sony를 포함한 주요 대형 디스플레이 업체들 또한 OLED TV 비중을늘리는 등 차세대 먹거리인 OLED TV시장은 확대 되고 있습니다. 중국 BOE는 2016년말 중국 OLED TV시장 점유율 1위 업체 Skyworth와의 자체 OLED TV 출시 전략을 발표했고 중국 패널업체 CSOT도 현재 대형 OLED패널 R 투자를 진행 중 것으로 확인되고 있습니다. 대형 OLED의 open mask 증착과 이러한 추세는 최소 5년 간 지속될 것으로 보이며, 이에 따른 당사의 대형 OLED 증착 장비에 대한 수요는지속적으로 증가할 것으로 판단됩니다.

마. 경쟁현황 당사는 OLED 산업의 핵심 분야인 증착 관련하여 증착원 및 증착 시스템을 제작하여납품하고 있습니다. OLED 산업 발전이 시작될 때부터 증착 분야는 일본 업체들이 독점하는 핵심 기술 분야였습니다. 현재 OLED 시장 내 압도적인 점유율을 보유하고있는 삼성디스플레이와 LG디스플레이는 모두 일본 Canon Tokki社의 증착장비를 사용하고 있습니다. 사실상 일본 Canon Tokki社의 독점 시장이었던 증착장비 시장은 당사가 2013년 LG디스플레이에 세계 최초 8G(대형 디스플레이) 증착장비를 수주하여 양산에 성공하면서 사실상 독점에서 벗어 날 수 있었습니다. 또한 LG디스플레이는 중소형 OLED 생산 라인에 선익시스템의 증착기를 투입하여 양산을 준비하고 있습니다. 그에 따라 현재 대규모 양산 라인에 OLED 증착기 납품 실적으로 시장에서 검증된 증착기 업체는 상기 기술한 바와 같이 日 Tokki社, 한국의 당사와 선익시스템등 3개 업체를 꼽을 수 있습니다. 최근 삼성디스플레이, LG디스플레이 외 중화권 디스플레이 패널 업체들의 OLED 라인 증설로 인해 증착기의 수주 경쟁은 조금씩 증가하고 있습니다. 에스앤유는 2013년에 BOE와 GVO에, 에스에프에이는 2014년 Truly에 증착 장비를 공급한 경험이 있으며, 이를 통해 중화권 패널업체들의 추가적인 OLED 증설 시 같은 업체에 발주를 줄 가능성이 존재할 수 있습니다.

[OLED 증착기 업체와 수주 실적]

장비업체	패널 크기	수주실적

Cannon Tokki(日)	중소형	SDC(6GH), LGD(6GH), BOE(6GH), Sharp(6GH) 외

선익시스템(韓)	중소형	LGD(R), LGD(6GH) 외

야스(韓)	대형	LGD(8G TV), LGD(5G Lighting), BOE(8G/6 Pilot) 외

에스에프에이	중소형	Truly(4.5G Pilot), GVO(5.5GQ), Royole(5.5GQ) 외

에스엔유	중소형	BOE(5.5GQ), GVO(5.5GQ), Truly(R) 외

위에서 언급한 바와 같이 OLED 증착장비 분야는 한국, 일본의 업체들이 경쟁하고 있으나 중소형은 일본의 Tokki가 양산에 성공하면서 앞서고 있으며, 대면적은 당사가 8G 개발 완료하고 양산 성공하며 기술적 우위를 보유하고 있습니다. 증착기와 증착원 모두 양산 성공경험을 보유하고 당사는 전세계에서 유일한 업체이며, 특히 8G 대형 제품을 생산할 수 있는 독보적인 기술력을 보유하고 있습니다. 바. 경쟁상의 강점 (1) 대형 OLED 증착 장비의 기술적 우위

RGB 방식 OLED TV 기술은 8G 기판을 6분할하여 증착하는 방식이며, White OLED 방식은 8G 기판을 그대로 사용하여 증착하고 있기에 RGB방식 대비 생산성이 6배높은 특징을 지니고 있습니다. 또한 화소 형성을 위해 Fine Metal Mask를 사용하는 RGB 방식에 대비 Open Mask를 사용하는 White OLED의 공정 난이도가 낮고 공정 마진이 커서 생산성이 좋은 특징을 지니고 있습니다.

또한 유기 물질이 OLED 패널에서 차지하는 원가 비중이 14%~24% 수준으로 큰 비중을 차지하고 있기에 증착 과정에서 유기물질의 loss율을 최소화하는 것이 매우 중요합니다. 당사의 In-line OLED 증착 System은 유기물질의 사용효율을 극대화 할 수 있는 생산 장비로, 8G 기판 기준 70% 이상의 물질 사용 효율을 확보하고 있습니다.

8세대 기판을 이용하는 OLED TV 생산공정은 LG 디스플레이에서 처음 적용하였으며, OLED TV 생산에 필요한 핵심 공정 장비인 증착기와 기판 핸들링 방법을 당사와 LG 디스플레이에서 사전 연구/개발을 진행하였습니다. 그 결과, 양산에 적합한 기술 개발을 완료하여 생산라인(E4-1,2)을 구축하였습니다.

또한 생산라인 구축 이후 OLED TV 생산 수율을 높이기 위해 2년 이상의 개선 작업을 진행하였으며, 그 결과 당사는 대형 OLED 증착 장비 분야에 있어 유일한 양산 경험을 보유하고 있습니다. 현재까지 메이저 디스플레이 업체로의 증착 장비 공급을 통해 적정 수율 확보를 위한 양산 경험을 보유한 경쟁사는 Canon Tokki가 유일한 상황입니다. 또한 LG디스플레이 E4-1 라인의 성공적인 양산을 발판으로 2016년에는 추가 생산라인(E4-2)의 증착 장비 발주를 완료하였으며, 현재까지 전세계 유일한 대형 OLED 증착 장비 생산 경험을 보유하고 있고, 이런 양산경험을 바탕으로 LG 디스플레이 추가 생산라인인 광저우 2개 라인을 예정하고 있습니다.

(2) 증착원 기술OLED display를 제작하기 위해서는 유기물 혹은 금속을 기판에 여러 층으로 얇게 코팅하여 다층 박막을 제작해야 하는데 이러한 유기 박막 혹은 금속 박막을 제작하는 공정을 증착 공정이라고 합니다. 증착 공정에 사용되는 유기 물질을 가열하여 증발시키는 장치를 증착원이라고 하며, 증착 공정은 기판 아래에 증착원을 위치시키고 이를가열하여 기판에 원하는 박막을 증착시키는 방식으로 진행되고 있습니다.

당사 증착원 기술의 핵심요소는 크게 3가지로 구분할 수 있습니다.

1) 박막 균일도

현재 OLED 생산에 사용되는 가장 큰 면적의 기판은 8세대 기판으로 그 크기가 2,200mm X 2,500mm에 달하고 있습니다. 큰 면적의 기판에 대해서 박막 두께 불균일도는 2% 미만으로 요구되고 있으며 이를 달성하기 위해서는 증착 분포를 제어하는 증발원 노즐 디자인 기술이 매우 중요합니다. 당사는 이러한 기술에서 높은 수준의 기술력을 가지고 있으며, 2% 수준의 박막 불균일도를 달성하여 8세대 OLED 생산에 투입된 증착원은 당사의 증착원이 유일한 상황입니다.

2) 물질 사용 효율

OLED 증착에 사용되는 유기물들은 OLED를 위해 특수하게 합성된 고가의 물질들로 OLED 생산원가에서 큰 비중(14~24%)을 차지하고 있습니다. 따라서 생산원가 절감을 위해서는 유기물질의 사용효율을 높일 수 있는 증발원 설계가 필수적으로 당사의 증발원은 최고 수준의 물질 사용 효율을 보여주고 있습니다. 당사의 8세대 증착원의 경우 물질 사용 효율은 70% 수준으로 세계 최고 수준입니다.

3) 양산성 확보

대형 기판의 균일도를 생산시간(LOT 당 2주) 동안 동일하게 유지하는 것과 생산 준비 시간을 최소한으로 줄이는 것, 그리고 기판 및 마스크에 열적 데미지를 최소화하는 것, 그리고 마스크를 이용한 RGB 패턴 형성 시 마스크 쉐도우로 인한 혼색을 최소화하는 것 등이 생산성 향상에 영향을 미치는 요인들이며 당사는 다년간의 양산 경험을 통해 많은 노하우가 축적되어 있습니다. 현재 디스플레이 패널 업체 중 OLED 양산에 성공한 회사는 삼성디스플레이와 LG디스플레이 밖에 없으며, 삼성디스플레이는 자사가 직접 개발한 증착원을 사용하기에 증착설비 전문업체로는 당사가 가장 많은 양산 경험을 가지고 있다고 판단됩니다.

2. 주요 제품등에 관한 사항 가. 주요 제품등의 현황

(단위 : 백만원)

구분	구체적 용도	2021년 1분기	2020년	2019년	2018년

매출액	비율	매출액	비율	매출액	비율	매출액	비율

제품매출	증착시스템	유기물질증착 진공관 외	1,549	12.9%	27,719	50.3%	50,177	57.8%	140,656	76.2%

증착원	유기물 증발장치	5,353	44.6%	12,875	23.4%	22,208	25.6%	23,705	12.9%

장비 개조 용역 및 부품판매	파트 및 용역매출	5,098	42.5%	14,461	26.3%	14,468	16.6%	20,147	10.9%

합계	12,000	100.0%	55,055	100.0%	86,853	100.0%	184,508	100.0%

(1) 증착기OLED 증착기는 OLED 제조공정 가운데 유리기판에 유기물질을 증착할 때 쓰이는 핵심장비입니다. 증착이란 진공에서 유기물, 금속 증기를 증발시켜서 패널 기판에 부착시키는 것으로, 불순물을 방지하고 균일하게 유기물질을 부착시키기 위해서는 높은 기술력이 필요합니다. 당사의 OLED 증착기 제품은 크게 OLED TV용 8세대 제품과 OLED 조명용 5세대 제품으로 구분할 수 있습니다.(2) 증착원진공 증착원은 Chamber 내 진공속에서 도가니에 들어있는 물질을 가열하여 박막 제조 대상 물질을 증발시키는 장치입니다. OLED 증착원으로는 발광층에 사용되는 유기물 증착원, 전자 이송층 혹은 정공 이송층 등에 사용되는 무기물 증착원, 전극을 형성할때 사용되는 금속 증착원이 있으며, 금속 증발원은 CIGS의 금속 증착원으로도 사용됩니다. 이는 온도에 따라 저온용/고온용 증발원, 형태에 따라 점형(PNS)/CNS/선형(LNS, CLNS) 증착원으로 구분 합니다.

나. 주요 제품 등의 가격변동추이 당사의 주요 제품은 디스플레이 등 장비의 가격은 주문자생산방식의 특성 때문에 동일 품목이라 하더라도 사양에 따라 단가가 상이하여 평균단가가 유의미 하지 않아 기재를 생략합니다.

3. 주요 원재료에 관한 사항 가. 주요 매 입 현황

(단위: 천원)

매입유형	품 목	구 분	2021년 1분기(제20기)	2020년(제19기)	2019년(제18기)	2018년(제17기)

원재료	Chamber	국 내	31,300	433,360	722,549	15,119,959

수 입	-	-	-	-

소 계	31,300	433,360	722,549	15,119,959

SMPS	국 내	52,645	300,642	156,182	3,541,254

수 입	-	-	-	-

소 계	52,645	300,642	156,182	3,541,254

Crucible	국 내	1,627,760	5,048,212	6,705,347	6,915,437

수 입	-	-	-	-

소 계	1,627,760	5,048,212	6,705,347	6,915,437

Heater	국 내	294,694	1,096,744	2,627,489	4,808,718

수 입	-	-	-	-

소 계	294,694	1,096,744	2,627,489	4,808,718

기타	국 내	4,089,736	13,981,229	29,033,190	63,309,432

수 입	-	-	-	-

소 계	4,089,736	13,981,229	29,033,190	63,309,432

총 합 계	국 내	6,096,135	20,860,187	39,244,757	93,694,800

수 입	-	-	-	-

합 계	6,096,135	20,860,187	39,244,757	93,694,800

나. 원재료 가격 변동 추이 당사는 고객의 요청에 따라 주문 제작되는 장비로 대부분의 장비 사양이 다릅니다. 이에 따라 각 장비는 사양이 다르기 때문에 동일 분류상의 원재료라 하더라도 차이가존재하기에 가격 변동이 일정하지 않습니다. 또한 대부분의 원재료는 고객의 요청에 따라 당사에서 설계 진행후 주문 제작으로 진행되기 때문에 원재료 가격 변동 추이를기재를 생략합니다.

4. 생산 및 설비에 관한 사항 가. 생산능력 및 생산실적

(단위: 대수, 백만원)

제품
품목명	구분	2021년도 1분기
(제19기)	2020년도
(제19기)	2019년도
(제18기)	2018년도
(제17기)

수량	금액	수량	금액	수량	금액	수량	금액

증착기	생산능력	1	87,200	1	87,200	1	87,200	1	87,200

생산실적	1	1,549	1	27,719	1	41,604	1	87,200

가동율	1.78%	31.79%	47.71%	100.0%

기말재고	-	-	-	-

증착원	생산능력	452	38,944	452	38,944	452	38,944	452	38,944

생산실적	62	5,353	149	12,875	258	22,208	275	23,705

가동율	13.75%	33.06%	57.02%	60.87%

기말재고	-	-	-	-

나. 생산설비에 관한 사항 (1) 현황

(단위 : 천원)

공장별	자산별	소재지	기초가액 주)	당기증감	당기
상각	기말가액주)	비고

증가	감소

파주공장	토지	본사	11,397,745	-	-	-	11,397,745	-

건물	6,306,492	-	-	(47,591)	6,258,901	-

구축물	28,577	-	-	(487)	28,090	-

기계장치	444,548	5,600	-	(38,186)	411,962	-

차량운반구	337,549	-	-	(22,250)	315,299	-

시설장치	206,127	-	-	(22,795)	183,332	-

비품	219,046	15,660	-	(24,972)	209,734	-

유형자산합계	18,940,084	21,260	-	(156,281)	18,805,063	-

주) 기초 2021.01.01, 기말 2021.03.31

(2) 설비의 신설 및 매입 계획 등(단위: 평, 백만원)

구 분	설비능력(평)	총소요
자금	기
지출액	지 출 예 정	착공일	예상준공
년월일	진척율	비 고

2021년1분기	2021년1분기이후

토 지	20,000	8,000	8,000	-	-	2018.12	2021.12	100%	-

건 물	40,000	35,000	27,529	19	7,452	78%	-

기 타	-	18,000	14,466	1	3,533	80%	-

계	60,000	61,000	49,995	20	10,985	82%	-

5. 매출에 관한 사항 가. 매출실적(단위 : 백만원)

매출유형	2021년 1분기	2020년	2019년	2018년

제품	증착시스템	1,549	27,719	50,177	140,656

증착원	5,353	12,875	22,208	23,705

부품 및 기타	5,098	14,461	14,468	20,147

합계	12,000	55,055	86,853	184,508

나. 판매경로 및 방법 (1) 판매조직

당사의 판매조직은 영업관리본부 하에 영업팀으로 구성되어 있으며, 고객사와 수주 관련 협의 시 연구개발본부와 협력하여 고객의 요구 사항에 대응하고 있습니다. 당사가 공급하는 증착 장비는 대당 판매단가가 높은 수준을 지니고 있습니다. 그에 따라 증착장비 제조는 고부가가치 산업이며 높은 기술적 이해도를 요구하고 있으며 국내외 구분없이 영업담당 임원과 연구소장님이 함께 고객사와 제품관련 협의 진행하고 있습니다.(2) 판매경로당사는 공급하고 있는 품목을 고객사로부터 직접 수주 받아 제작하여 직접 납품하는 형태로 공급하고 있습니다.

(단위 : 백만원)

매출유형	품목	판매경로	판매경로별 매출액(2021년 1분기)	비중

제품	증착시스템	직판	1,549	12.9%

증착원	5,353	44.6%

부품 및 기타	5,098	42.5%

6. 수주상황 가. 수주현황(단위:백만원)

회사명	품목	발주처	계약일	공사기한	수주총액	진행률	미청구공사	공사미수금	초과청구공사

총액	손상차손누계액	총액	대손충당금

주식회사 야스	제조장비	M	2018년 09월 28일	2018년 10월 31일	15,440	77.8	-	-	1,573	110	3,822

주식회사 야스	제조장비	N	2019년 03월 06일	2021년 08월 31일	18,900	71.8	7,893	-	-	-	-

주식회사 야스	제조장비	O	2019년 04월 08일	2019년 06월 26일	16,204	63.6	-	-	1,616	81	6,361

주식회사 야스	제조장비	P	2020년 05월 14일	2020년 12월 28일	6,300	76.7	-	-	-	-	838

주식회사 야스	제조장비	Q	2020년 09월 07일	2021년 06월 01일	6,200	19.7	-	-	-	-	638

합 계	63,044	-	7,893	-	3,189	191	11,659

(주1) 공사기한은 계약서상 납품기일이며, 입고 후 현장 set up 등의 추가적 업무를 진행하게 되며 거래처의 검수 완료시까지 진행률이 적용됩니다.

(주2) 해외수주 프로젝트의 경우, 원화 환산적용 환율 차이로 원화금액 기준의 기납품액, 수주잔고, 미청구공사 및 진행률 정보 상호간에 다소 차이가 발생할 수 있습니다. (주3) 공사기한은 고객사와의 협의에 따라 변경될 수 있습니다. (주4) 기 재 된 계 약일은 계약 체결일 혹은 PO(Purchase Order) 발행일 중 빠른날을 기준으로 작성되었습니다.(주5) 해 당 수주계약 관련 기재된 계약일은 회사가 인식하는 수익인식 개시일과 상이 할 수 있습니다. 나. 수주잔고

[기준일 : 2021년 3월 31일] (단위 : 백만원)

품목	수주총액	수주잔고

증착시스템	12,500	6,445

증착원	50,544	14,673

주) 수주총액에서 진행률 매출로 인식한 금액을 차감한 수치입니다.

7. 시장위험과 위험관리 가. 재무위험요소

연결회사는 자산, 부채 및 예상거래에 영향을 미치는 이자율, 시장 가격 등의 변동에 따른위험에 노출되어 있습니다. 재무위험 관리의 목적은 영업활동 및 재무활동에 있어 이러한 시장위험을 통제하는데 있습니다. 위험평가에 근거하여 선택적인 파생 또는 비파생 위험회피수단을 이러한 목적에 사용하고 있습니다. 또한 거래상대방의 신용도에 따라 위험노출에 대한 상대적, 절대적 금액의 설정을 통해 금융상품의 신용위험을관리하고 있습니다.연결회사의 재무정책은 중장기적으로 수립되며 이사회에 매년 보고되고 있습니다. 연결회사의 자금담당은 재무정책의 수행 및 지속적인 위험관리를 책임지고 있으며, 특정거래의 심각성 및 현재 위험노출금액 등을 주기적으로 보고하고 있습니다. 회사의 자금담당은 효과적인 시장위험의 관리를 주요 업무로 다루고 있으며, 시장 상황에 따른 효과의 추정을 위해 여러가지 시장상황을 고려하고 있습니다.1) 시장위험연결회사의 시장위험 관리는 연결회사의 수익에 대한 위험을 최소화할 수 있도록 그 노출정도를 관리하는 데에 있습니다. 시장위험은 이자율 및 기타 시장 요소의 움직임에 대해 연결회사가 보유한 포트폴리오의 수익이나 가치가 감소할 위험을 의미합니다.민감도는 각 위험 유형에 따른 시장 상황을 관측하는 방법으로 측정되었습니다. 이자율, 환율 및 기타가격의 변동에 대해 시장의 특성을 고려한 합리적인 변동범위를 판단하였으며 위험변수의 변동률이 안정적일 경우 결정된 변동 범위를 수정하지 않았습니다. 이러한 분석에서는 희박하거나 '최악의 상황' 시나리오 또는 '위기상황' 분석은 포함하지 않았습니다.

가. 외환위험연결회사의 외환위험은 주로 인식된 자산과 부채의 환율변동과 관련하여 발생하고 있습니다. 연결회사의 영업거래 상 외환위험에 대한 회피가 필요하다고 판단되는 경우 통화선도 거래 등을 통해 외환위험을 관리하고 있습니다. 외환위험은 미래예상거래 및 인식된 자산ㆍ부채가 기능통화 외의 통화로 표시될 때 발생하고 있습니다. 한편, 당분기말과 전기말 현재 연결회사가 보유하고 있는 회화표시 화폐성자산 및 화폐성부채의 장부금액은 다음과 같습니다.

(외화단위:USD, 단위:천원)

구 분	계정과목	외화종류	당분기말	전기말

외화	원화환산금액	외화	원화환산금액

자산	현금 및 현금성자산	USD	3,402,605	3,856,853	2,632,920	2,864,617

기타금융자산	USD	-	-	-	-

매출채권	USD	5,452,328	6,180,214	11,032,871	12,003,763

합 계	USD	8,854,933	10,037,067	13,665,791	14,868,380

한편, 당분기말 현재 다른 모든 변수가 일정하고 각 외화에 대한 원화의 환율 5% 변동시 환율변동이 법인세차감전순이익에 미치는 영향은 다음과 같습니다.

(단위:천원)

통 화	금 액

5% 상승시	5% 하락시

USD	501,853	(501,853)

나. 가격위험당분기말 현재 연결기업이 보유하고 있는 금융상품 중 가격변동위험에 노출되어 있는 항목은 없습니다. 다. 이자율 위험연결기업은 일부 변동금리부 차입금을 통하여 자금을 조달하고 있기 때문에, 시장이자율의 변동으로부터 영향을 받습니다.

2) 신용위험신용위험은 연결기업의 통상적인 거래 및 투자활동에서 발생하며 고객 또는 거래상대방이 계약조건상 의무사항을 지키지 못하였을 때 발생합니다. 이러한 신용위험을 관리하기 위하여 연결기업은 주기적으로 고객과 거래상대방의 재무상태와 과거 경험 및 기타 요소들을 고려하여 재무신용도를 평가하고 있으며 고객과 거래상대방 각각에 대한 신용한도를 설정하고 있습니다. 금융기관예치금, 매출채권및기타채권 등 금융자산의장부금액은 신용위험에 대한 최대노출정도를 나타냅니다. 당분기말과 전기말 현재 연결기업의 신용위험에 대한 최대 노출정도는 다음과 같습니다.

(단위:천원)

구 분	당분기말	전기말

현금및현금성자산	14,633,804	11,900,165

매출채권및기타채권	14,923,487	25,353,325

기타금융자산	81,325,823	81,077,165

합 계	110,883,114	118,330,655

3 ) 유동성위험 유동성위험관리에 대한 궁극적인 책임은 연결기업의 단기 및 중장기 자금조달과 유동성관리규정을 적절하게 관리하기 위한 기본정책을 수립하는 이사회에 있습니다. 연결기업은 적정 유동성의 유지를 위하여 주기적인 자금수지 예측, 조정을 통해 유동성 위험을 관리하고 있습니다.

다음은 당분기말 현재 부채별 상환계획으로서 할인되지 않은 계약상의 금액이며 재무상태표의 금액과 다를 수 있습니다.

(단위:천원)

구 분	1년 이하	1년초과~5년이하

매입채무및기타채무	12,851,858	-

차입금	1,500,000	-

리스부채	467,765	231,366

합 계	14,891,623	231,366

연결기업은 위의 현금흐름이 만기보다 유의적으로 더 이른 기간에 발생하거나, 유의적으로 다른 금액일 것으로 기대하지 않습니다.

8. 파생상품 및 풋백옵션등 거래현황 당사는 분기보고서 제출일 현재 해당사항이 없어서 기재 생략합니다. 9. 경영상의 주요계약 등에 관한 사항 당사는 분기보고서 제출일 현재 해당사항이 없어서 기재 생략합니다. 10. 연구개발 활동 가. 연구개발 조직

당사는 2004년 3월 기업부설연구소를 설립하여 OLED 증착원, OLED 증착장비, CIGS Solar Cell 증착장비에 대한 공정기술개발을 수행하고 있으며, 각 부서내 개발부서 및 연구원을 구성하여 양산기술개발을 수행하고 있습니다. 나. 연구개발비용

(단위 : 천원)

구 분	2021년 1분기(제20기)	2020년(제19기)	2019년(제18기)	2018년(제17기)

자산처리	원재료비	-	-	-	-

인건비	-	-	-	-

감가상각비	-	-	-	-

위탁용역비	-	-	-	-

기타 경비	-	-	-	-

소 계	-	-	-	-

비용처리	제조원가	-	-	-	-

판관비	599,349	5,949,894	6,837,034	7,653,871

합 계
(매출액 대비 비율)	599,349(4.99%)	5,949,894 (10.81%)	6,837,034(7.87%)	7,653,871(4.15%)

다. 연구개발 실적

연구과제명	연구기관	연구결과 및 기대효과	비고

8세대 2분할 OLED용Metal 증발원 개발	자체	OLED TV 양산을 위한 설비에 적용되는 Metal 증발원은 8세세 2분할 기판용 증발원으로 증착 폭이 2.2m로 세계 최대 길이의 증발장치를 개발	상품화

고해상도 OLED용 3.5세대 리니어 소스 개발	자체	Mobile 등의 소형 panelldyd Flexible OLED의 최대 기술적 이슈는 고해상도 구현인데 쉐도우를 최소화한 증발원 기술을 통해 고해상도 OLED 구현이 가능해짐	상품화

QCM 개발	자체	대면적 기판의 유기물 증착의 박막 균일도를 측정 가능하여 박막 두께 측정이 용이 해짐	상품화

대면적 CIGS 증발원 요소 기술개발	자체	하향식 고온 선형 증발원의 개발로 1500℃이상의 고온 노즐 및 도가니의 설계 및 제작 기술을 개발할고 증착속도 25Å/s(150nm/min)이상, 박막 두께의 불균일도 7% 이하의 조건을 충족하는 기술개발	개발완료

Vacuum Glass 개발	자체	진공 챔버 안에서 두 장의 유리를 합착시키므로 진공 유리 진공화 과정이 용이해져 생산성 향상에 기여	개발완료

ESC Chuck 개발	자체	유리와 같은 투명 기판에 TFT 소자를 형성 후, 화소 형성을 위해 추가적인 증착공정을 실시할 경우, TFT 소자가 형성된 기판 면에 전혀 터치함이 없이 기판을 붙들어 이송하면서 증발원으로부터 물질을 증발시켜 화소를 형성하게 되므로 파티클 발생으로 인한 TFT 소자부분에 미칠 수 있는 오염 문제 해결	상품화 추진

라. 연구개발 계획

연구과제명	연구기관	연구결과 및 기대효과	비고

대면적 OLED 증착을 위한 금속 선형 증발 장치 개발	자체	금속 선형 증발원의 개발로 대면적/저자격 제품의 생산이 가능하여 단가 절감 기대하고, 세계 최초 OLED TV를 양산하는 한국 디스플레이 산업의 경쟁력을 기반으로 장비 산업 경쟁력을 확보	2014.11~2019.6

내플라즈마용 직경 550mm이상 고밀도 세라믹 소재 및 코팅 기술개발	자체	세라믹 소재를 이용한 정전척의 개발로 대면적 기판을 들어 올리는 기술에서의 문제점을 해결하고 양산에 적용 가능	2014.11 ~2018.5

초경량 유연 CIGS 박막모듈 공정장비 상용화기술개발	자체	유연기판 박막태양전지용 장비기술이 개발될 경우 CIGS 증착뿐만 아니라 CIGS 생산 공정 시스템의 국산화에 기여할 수 있으며, 개별 장비뿐만 아니라 Turn-key 공정시스템 솔루션 장비의 수입 대체 효과 예상태양광 모듈 및 장비에 대한 기술 및 시장을 선점할 수 있으며, 유연기판상에 유연 CIGS를 생산하면 저렴하게 CIGS 태양전지를 생산할 수 있어 생산 가격을 절감할 수 있음.	2015.06 ~ 2020.06

11. 그 밖에 투자의사결정에 필요한 사항 가. 지적재산권 보유현황

NO	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	주무관청

1	특허권	양산용 다층 박막 제작장치	㈜야스	2001.03.09	2003.11.21	OLED 증착 시스템	특허청

2	특허권	양산용 유기 전계 발광소자의 제작장치	㈜야스	2001.11.16	2004.04.23	OLED 증착 시스템	특허청

3	특허권	기판 홀딩장치 및 이를 이용한 박막 제작 장치	㈜야스	2004.02.03	2006.02.14	OLED 증착 시스템	특허청

4	특허권	선형 증발원과 이를 이용한 증착장치	㈜야스	2004.03.11	2005.01.13	OLED 증착 시스템	특허청

5	특허권	다층박막 제작장치	㈜야스	2005.02.01	2006.12.19	OLED 증착 시스템	특허청

6	특허권	라인형 발광소자와 표시소자 및 그 제작장치	㈜야스	2005.08.31	2012.06.25	OLED 증착 시스템	특허청

7	특허권	정전기를 이용한 유기 발광 소자 제작 방법 및 장치	㈜야스	2005.08.31	2012.12.04	OLED 증착 시스템	특허청

8	특허권	기판 이송 스피드 버퍼 챔버를 적용한 선형 증착시스템	㈜야스	2009.12.14	2011.03.22	OLED 증착 시스템	특허청

9	특허권	증발원을 공유하는 다중 증착 시스템	㈜야스	2011.08.22	2013.04.03	OLED 증착 시스템	특허청

10	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치	㈜야스	2013.03.18	2013.10.11	OLED 증착 시스템	특허청

11	특허권	AL 증착용 도가니 및 이를 사용한 증착 시스템	㈜야스	2013.05.03	2013.12.04	OLED 증착 시스템	특허청

12	특허권	클러스터 장비에 적용되는 정전기 부상 기판 이송 시스템	㈜야스	2013.07.02	2015.01.27	OLED 증착 시스템	특허청

13	특허권	택 타임을 단축시킨 증착 시스템	㈜야스	2014.10.16	2015.10.14	OLED 증착 시스템	특허청

14	특허권	로딩 챔버와 얼라인 챔버가 통합된 증착 시스템	㈜야스	2015.03.10	2016.06.17	OLED 증착 시스템	특허청

15	특허권	유리 기판 파손 검출 시스템	㈜야스	2015.07.20	2017.06.09	OLED 증착 시스템	특허청

16	특허권	두 장의 기판을 연속 증착하는 듀얼 증착 시스템	㈜야스	2015.08.03	2017.03.02	OLED 증착 시스템	특허청

17	특허권	왕복이송장치를 이용한 기판 연속 이송 인라인 증착 시스템	㈜야스	2015.08.03	2017.03.27	OLED 증착 시스템	특허청

18	특허권	마스크와 기판 트레이가 일체로 된 기판이송장치	㈜야스	2015.11.25	2017.07.26	OLED 증착 시스템	특허청

19	특허권	기판 척 보관용 저장고 및 척 순환용 반송 롤러를 포함하는 클러스터 시스템	㈜야스	2016.02.17	2018.05.28	OLED 증착 시스템	특허청

20	특허권	하나의 진공 증착 챔버에서 두 장의 기판에 순차 증착하는 시스템	㈜야스	2016.03.14	2017.11.02	OLED 증착 시스템	특허청

21	특허권	두 장의 기판을 연속 증착하는 듀얼 증착 시스템	㈜야스	2016.05.30	2018.01.25	OLED 증착 시스템	특허청

22	특허권	마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 클러스터 시스템	㈜야스	2016.12.05	2018.05.14	OLED 증착 시스템	특허청

23	특허권	마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 인라인 시스템	㈜야스	2016.12.12	2018.12.26	OLED 증착 시스템	특허청

24	특허권	진공유리 열융착 인라인 시스템	㈜야스	2018.02.22	2018.12.26	OLED 증착 시스템	특허청

25	특허권	마스크 시이트와 기판 갭을 최소화하는 기판 고정 유닛	㈜야스	2017.09.22	2019.05.13	OLED 증착 시스템	특허청

26	특허권	FMM 없는 재료절감형 컬러 화소 형성 시스템	㈜야스	2017.08.02	2019.05.27	OLED 증착 시스템	특허청

27	특허권	기체의 압력차를 이용한 점착 척과 기판 간의 합착 시스템	㈜야스	2017.11.16	2019.08.01	OLED 증착 시스템	특허청

28	특허권	FMM 없이 컬러 화소를 형성하는 방법 및 장치	㈜야스	2017.06.16	2019.10.01	OLED 증착 시스템	특허청

29	특허권	증착 시스템	㈜야스	2017.12.15	2019.10.16	OLED 증착 시스템	특허청

30	특허권	스위칭 마그넷을 이용한 기판홀딩부 슬립방지 시스템	㈜야스	2017.09.27	2019.11.26	OLED 증착 시스템	특허청

31	특허권	각도제한부의 공정 중 교체시스템	㈜야스	2017.11.30	2020.03.09	OLED 증착 시스템	특허청

32	특허권	패스 챔버와 디척 챔버 사이에 기판 검사장비가 배치된 증착 시스템	㈜야스	2018.04.09	2020.06.17	OLED 증착 시스템	특허청

33	특허권	이물비산을 방지한 증발원 이송장치	㈜야스	2018.04.18	2020.02.27	OLED 증착 시스템	특허청

34	특허권	두 장의 기판을 연속 증착하는 듀얼 증착 시스템	㈜야스	2018.11.21	2020.08.03	OLED 증착 시스템	특허청

35	특허권	걸쇠 방착판을 구비한 진공 증착기	㈜야스	2018.05.04	2020.08.19	OLED 증착 시스템	특허청

36	특허권	OLED 조명증착용 인라인 시스템	㈜야스	2019.07.10	2020.11.18	OLED 증착 시스템	특허청

37	특허권	증착 고정의 소스와 기판 간의 거리를 자동 제어할 수 있는 증착 시스템	㈜야스	2018.05.14	2020.12.02	OLED 증착 시스템	특허청

38	특허권	증착 시스템	㈜야스	2018.05.02	2020.12.23	OLED 증착 시스템	특허청

39	특허권	FMM이 없는 재료절감형 컬러 화소 형성 시스템	㈜야스	2018.05.19	2020.12.29	OLED 증착 시스템	특허청

40	특허권	공기의 공기 수분 흡착 및 순환을 위한 자동화 시스템	㈜야스	2019.05.07	2020.12.31	OLED 증착 시스템	특허청

41	특허권	면 증발원을 적용한 다목적 증착시스템	㈜야스	2020.06.08	2021.02.10	OLED 증착 시스템	특허청

42	특허권	점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템	㈜야스	2019.04.15	2021.02.15	OLED 증착 시스템	특허청

43	특허권	증착공정용 원추형 노즐 증발원	㈜야스	2002.11.18	2004.05.24	OLED 증착원	특허청

44	특허권	대면적 박막 제작용 증발원	㈜야스	2004.03.16	2004.11.03	OLED 증착원	특허청

45	특허권	박막두께분포를 조절 가능한 선형 및 평면형 증발원	㈜야스	2002.01.22	2005.01.13	OLED 증착원	특허청

46	특허권	물질의 재충전이 가능한 증착 공정용 증발원	㈜야스	2002.12.05	2005.06.08	OLED 증착원	특허청

47	특허권	증발 물질의 분출 방향을 조절 가능한 노즐형 증발원 및 이를 이용한 증착 방법	㈜야스	2003.11.27	2005.09.16	OLED 증착원	특허청

48	특허권	유기 발광소자 박막 제작을 위한 선형 노즐 증발원	㈜야스	2003.06.20	2005.09.20	OLED 증착원	특허청

49	특허권	다증발원을 이용한 동시증착에서 균일하게 혼합된 박막의 증착을 위한 증발 영역조절장치	㈜야스	2002.11.18	2005.11.24	OLED 증착원	특허청

50	특허권	유도 가열식 선형 증발원	㈜야스	2004.07.06	2006.05.04	OLED 증착원	특허청

51	특허권	초퍼를 이용한 대면적 박막 제작용 증착 장치	㈜야스	2007.08.30	2009.07.10	OLED 증착원	특허청

52	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원	㈜야스	2007.07.02	2010.09.01	OLED 증착원	특허청

53	특허권	하향 증착이 가능한 증착원	㈜야스	2008.11.12	2011.09.01	OLED 증착원	특허청

54	특허권	진공 챔버 내에서 진공을 깨뜨리지 않고 도가니를 교체할 수 있는 진공 증착 장치	㈜야스	2009.09.03	2012.01.12	OLED 증착원	특허청

55	특허권	증착 공정용 증발원	㈜야스	2010.01.20	2012.04.17	OLED 증착원	특허청

56	특허권	선형증발원	㈜야스	2011.01.20	2012.11.02	OLED 증착원	특허청

57	특허권	유기물질 카트리지 및 박막제작에 이를 사용하는 방법	㈜야스	2012.04.02	2013.01.16	OLED 증착원	특허청

58	특허권	물질분사 각도를 제한한 선형 소스	㈜야스	2011.05.08	2013.02.07	OLED 증착원	특허청

59	특허권	선형 증발원용 히터	㈜야스	2011.05.04	2013.02.07	OLED 증착원	특허청

60	특허권	점증발원을 병렬연결한 대면적 증착 증발원	㈜야스	2011.08.22	2013.05.15	OLED 증착원	특허청

61	특허권	대면적용 선형 증발원	㈜야스	2011.09.16	2013.06.28	OLED 증착원	특허청

62	특허권	대면적용 선형 증발원	㈜야스	2013.05.06	2013.11.06	OLED 증착원	특허청

63	특허권	유기물질 카트리지 및 박막제작에 이를 사용하는 방법	㈜야스	2013.11.22	2013.12.30	OLED 증착원	특허청

64	특허권	증발관 노즐 교체식 선형 증발원	㈜야스	2012.05.03	2014.01.03	OLED 증착원	특허청

65	특허권	박막 균일도를 균일하게 유지하는 선형 증발원	㈜야스	2014.07.10	2016.03.28	OLED 증착원	특허청

66	특허권	쉐도우 효과를 방지하기 위한 선형증발원용 차단판	㈜야스	2015.07.22	2017.01.17	OLED 증착원	특허청

67	특허권	호스트 물질 증발원과 도펀트 증발원이 선형 배열된 증발원	㈜야스	2015.10.27	2017.05.08	OLED 증착원	특허청

68	특허권	히터의 선형 부재 휨을 방지한 히터 커넥터	㈜야스	2016.04.06	2017.07.05	OLED 증착원	특허청

69	특허권	기울일 수 있는 선형 증발원	㈜야스	2016.11.10	2018.11.01	OLED 증착원	특허청

70	특허권	고온 증발원용 히터	㈜야스	2017.02.24	2019.04.02	OLED 증착원	특허청

71	특허권	증발원이 선형 배열된 증발원	㈜야스	2017.04.22	2019.06.19	OLED 증착원	특허청

72	특허권	평판 기판 홀딩장치	㈜야스	2002.10.09	2005.04.25	Chuck	특허청

73	특허권	기판 홀딩장치	㈜야스	2004.11.09	2006.01.02	Chuck	특허청

74	특허권	기판 홀터 탈착 장치 및 방법	㈜야스	2010.06.23	2012.09.10	Chuck	특허청

75	특허권	축전기형 대면적 기판용 정전 척	㈜야스	2012.10.16	2013.01.08	Chuck	특허청

76	특허권	기판 홀더 탈부착 장치	㈜야스	2011.01.21	2013.02.07	Chuck	특허청

77	특허권	기판 홀더 이송 장치	㈜야스	2011.03.29	2013.06.03	Chuck	특허청

78	특허권	기판 홀딩용 척	㈜야스	2011.05.06	2013.06.28	Chuck	특허청

79	특허권	자석 척	㈜야스	2012.03.15	2013.10.01	Chuck	특허청

80	특허권	미세전극 구조의 정전 척	㈜야스	2013.04.04	2013.10.11	Chuck	특허청

81	특허권	링 모양 점착부를 이용한 기판 탈부착 장치	㈜야스	2011.05.07	2013.11.06	Chuck	특허청

82	특허권	자석을 이용한 기판 척킹 부재	㈜야스	2012.11.12	2014.05.28	Chuck	특허청

83	특허권	대면적 기판 홀딩 장치	㈜야스	2012.11.19	2014.05.28	Chuck	특허청

84	특허권	혼합형 대면적 기판 홀딩 장치	㈜야스	2014.11.19	2014.05.28	Chuck	특허청

85	특허권	척킹 구간을 한정한 점착제 척	㈜야스	2014.06.11	2014.07.16	Chuck	특허청

86	특허권	필름 척	㈜야스	2012.01.17	2014.07.24	Chuck	특허청

87	특허권	미세전극으로 된 정전 척의 탈부착 시스템	㈜야스	2013.07.05	2014.11.24	Chuck	특허청

88	특허권	척 플레이트의 기판 로딩 및 디척용 홀 막음장치	㈜야스	2013.11.11	2015.05.22	Chuck	특허청

89	특허권	기판 감지 센서를 구비한 척	㈜야스	2015.04.17	2016.10.21	Chuck	특허청

90	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템	㈜야스	2015.10.13	2017.04.25	Chuck	특허청

91	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템	㈜야스	2016.01.12	2017.05.08	Chuck	특허청

92	특허권	클램핑 유닛을 포함하는 점착척	㈜야스	2016.02.03	2018.02.22	Chuck	특허청

93	특허권	기판 쳐짐을 개선을 기판과 마스크 합착 장치	㈜야스	2016.02.03	2018.03.27	Chuck	특허청

94	특허권	바이폴라 대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템	㈜야스	2016.12.19	2018.08.29	Chuck	특허청

95	특허권	점착척의 점착 시트 교체 자동화 장치	㈜야스	2018.01.04	2019.05.31	Chuck	특허청

96	특허권	스위칭 마그넷의 자력을 이용한 기판홀딩장치	㈜야스	2017.08.19	2019.08.05	Chuck	특허청

97	특허권	효과적인 기판 탈부착 구조의 점착 척과 탈착 장치	㈜야스	2017.09.22	2019.10.07	Chuck	특허청

98	특허권	효율적인 점착제 교체를 위한 점착 척 구조	㈜야스	2017.09.22	2019.11.25	Chuck	특허청

99	특허권	포켓을 구비한 기판 이송 장치	㈜야스	2017.09.26	2020.01.07	Chuck	특허청

100	특허권	기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛	㈜야스	2018.09.12	2020.06.21	Chuck	특허청

101	특허권	클램핑 유닛을 포함하는 점착척	㈜야스	2018.04.30	2020.08.10	Chuck	특허청

102	특허권	스위칭 마그넷의 자력을 이용한 기판홀딩장치	㈜야스	2019.08.05	2020.08.13	Chuck	특허청

103	특허권	타공한 점착재를 이용한 점착척 및 이를 이용한 척킹 방법	㈜야스	2018.09.11	2020.08.18	Chuck	특허청

104	특허권	효율적인 점착제 교체를 위한 점착 척 구조	㈜야스	2019.11.25	2020.09.04	Chuck	특허청

105	특허권	기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛	㈜야스	2020.06.21	2020.10.06	Chuck	특허청

106	특허권	점착척의 점착시트 보호 용 커버 필름	㈜야스	2019.01.21	2020.12.15	Chuck	특허청

107	특허권	기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛	㈜야스	2020.10.05	2021.02.03	Chuck	특허청

108	특허권	기판과 쉐도우 마스크 고정장치	㈜야스	2002.05.28	2005.01.20	Align	특허청

109	특허권	자석을 이용한 마스크의 고정장치	㈜야스	2004.03.11	2006.03.16	Align	특허청

110	특허권	기판과 마스크 정렬장치	㈜야스	2005.08.31	2006.09.05	Align	특허청

111	특허권	척 플레이트를 이용한 마스크 얼라인 시스템	㈜야스	2012.07.11	2014.09.30	Align	특허청

112	특허권	이동식 카메라를 구비한 마스크 얼라인용 비전 시스템	㈜야스	2015.01.29	2016.02.24	Align	특허청

113	특허권	회전 도중 냉각판과 유리기판의 미끄러짐 방지를 위한 부쉬와 부쉬 하우징	㈜야스	2015.03.04	2016.05.31	Align	특허청

114	특허권	정전 척을 적용한 얼라이너 및 얼라인 방법	㈜야스	2015.09.04	2016.10.25	Align	특허청

115	특허권	기판을 안정화시키는 밀착판을 구비한 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2015.12.17	2017.12.11	Align	특허청

116	특허권	진공유리 열융착 인라인 시스템	㈜야스	2016.04.27	2018.02.22	Align	특허청

117	특허권	기판을 안정화시키는 밀착판을 구비한 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2017.12.04	2018.10.29	Align	특허청

118	특허권	대면적 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2018.01.12	2019.12.11	Align	특허청

119	특허권	터치 플레이트와 일체로 되고 스위칭 마그넷을 구비한 마그넷 플레이트 및 이를 적용한 얼라인먼트 시스템	㈜야스	2017.12.26	2020.01.28	Align	특허청

120	특허권	대면적 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2017.11.10	2020.03.20	Align	특허청

121	특허권	대면적 OLED 제조용 와이어 마스크 및 와이어 마스크의 고정방법	㈜야스	2008.11.12	2010.12.13	Mask	특허청

122	특허권	대면적 기판용 판 마스크	㈜야스	2011.03.29	2012.11.02	Mask	특허청

123	특허권	자기력을 이용한 마스크 척	㈜야스	2011.05.07	2013.07.08	Mask	특허청

124	특허권	필름 밴드 마스크	㈜야스	2012.01.17	2014.02.05	Mask	특허청

125	특허권	필름 밴드 마스크	㈜야스	2015.09.11	2016.03.14	Mask	특허청

126	특허권	유리 마스크	㈜야스	2018.09.11	2020.08.12	Mask	특허청

127	특허권	유기발광소자 증착용 대면적 마스크 및 그 제조방법	㈜야스	2019.02.22	2021.01.06	Mask	특허청

128	특허권	유기 반도체 소자의 양전극의 제조방법 및 그 소자	㈜야스	2003.01.29	2005.09.16	OLED Device	특허청

129	특허권	유기 전계발광 표시소자의 유기 발광층 형성방법	㈜야스	2008.11.17	2010.04.23	OLED Device	특허청

130	특허권	유기 전계발광 표시소자의 유기 발광층 형성방법	㈜야스	2010.04.23	2012.06.01	OLED Device	특허청

131	특허권	레이저 버닝을 이용한 유기발광소자의 제조방법	㈜야스	2012.04.18	2014.03.04	OLED Device	특허청

132	특허권	열 증착에 의한 산화물 TFT의 제조방법	㈜야스	2013.11.28	2015.11.05	OLED Device	특허청

133	특허권	증발원을 이용한 패시베이션	㈜야스	2018.05.10	2020.01.22	OLED Device	특허청

134	특허권	에어로졸을 이용한 유기발광소자의 봉지 방법	㈜야스	2013.08.09	2015.06.08	Encap.	특허청

135	특허권	증착율 센서 어레이를 이용한 선형 증발원의 증착 제어시스템	㈜야스	2012.06.07	2014.01.03	QCM	특허청

136	특허권	수정 미세 저울 센서 포장용기 및 이를 이용한 센서 헤드에 대한 장전방법	㈜야스	2013.06.03	2014.04.22	QCM	특허청

137	특허권	OLED 인라인 증착 시스템 용 증착율 측정장치	㈜야스	2012.12.21	2014.05.28	QCM	특허청

138	특허권	제어모듈 일체형 증착율 센서	㈜야스	2013.01.30	2014.06.23	QCM	특허청

139	특허권	선형 증착율 센서	㈜야스	2013.04.04	2014.12.10	QCM	특허청

140	특허권	증착율 센서용 초퍼 및 그 연결 부재	㈜야스	2017.02.16	2018.08.20	QCM	특허청

141	특허권	박막형 반도체 소자를 유연한 기판에 제작하는 롤투롤 장치	㈜야스	2008.12.22	2010.12.13	Flexible System	특허청

142	특허권	박막소자를 유연 기판에 제작하는 롤투롤 증착기의 기판 홀딩장치	㈜야스	2012.08.09	2013.09.04	Flexible System	특허청

143	특허권	롤투롤 장치의 유연 기판 처짐 방지 시스템	㈜야스	2013.08.09	2015.05.18	Flexible System	특허청

144	특허권	롤투롤 장치의 유연 기판 처짐 방지 시스템	㈜야스	2015.10.28	2016.04.18	Flexible System	특허청

145	특허권	다중 프로세스 롤투롤 시스템	㈜야스	2015.06.23	2017.04.21	Flexible System	특허청

146	특허권	척을 적용한 롤투롤 시스템	㈜야스	2018.05.04	2020.05.04	Flexible System	특허청

147	특허권	면 증발원을 적용한 다목적 증착시스템	㈜야스	2018.05.04	2020.11.13	Flexible System	특허청

148	특허권	유도가열 방식을 적용한 박막형 화합물 반도체 태양광 소자 제작 장치 및 방법	㈜야스	2010.08.03	2011.11.02	CIGS 증착 시스템	특허청

149	특허권	직접 가열방식을 적용한 선형 증착원	㈜야스	2009.12.21	2012.10.11	CIGS 증착 시스템	특허청

150	특허권	하이브리드 가열방식 증발원	㈜야스	2012.09.21	2013.01.16	CIGS 증착 시스템	특허청

151	특허권	직접 가열방식을 적용한 선형 증착원	㈜야스	2012.07.21	2013.02.07	CIGS 증착 시스템	특허청

152	특허권	히터 내장형 증발원	㈜야스	2010.08.11	2013.04.03	CIGS 증착 시스템	특허청

153	특허권	대용량 고온 증발원	㈜야스	2012.07.31	2014.02.05	CIGS 증착 시스템	특허청

154	특허권	고온 증발원 및 그 제조방법	㈜야스	2012.06.20	2014.02.12	CIGS 증착 시스템	특허청

155	특허권	하이브리드 가열방식 증발원	㈜야스	2011.03.29	2013.01.16	CIGS 증착 시스템	특허청

156	특허권	고온 선형 증발원	㈜야스	2016.11.22	2018.03.26	CIGS 증착 시스템	특허청

157	특허권	진공유리 또는 그를 이용하는 반도체 소자의 진공 봉지 장치 및 진공 봉지 방법	㈜야스	2013.01.17	2014.03.04	Vacuum Glass	특허청

158	특허권	진공유리 및 반도체 소자의 진공 봉지 장치 및 제조방법	㈜야스	2012.10.11	2014.06.14	Vacuum Glass	특허청

159	특허권	진공유리 또는 그를 이용하는 반도체 소자의 진공 봉지 방법	㈜야스	2013.01.24	2014.07.24	Vacuum Glass	특허청

160	특허권	레이저를 이용한 진공유리의 진공 마감 방법	㈜야스	2013.11.06	2015.05.22	Vacuum Glass	특허청

161	특허권	양산용 유기 전계 발광소자의 제작장치(일본)	㈜야스	2002.11.15	2007.08.31	OLED 증착 시스템	특허청

162	특허권	양산용 유기 전계 발광소자의 제작장치(중국)	㈜야스	2002.11.15	2007.12.26	OLED 증착 시스템	특허청

163	특허권	양산용 유기 전계 발광소자의 제작장치(싱가포르)	㈜야스	2002.11.15	2008.07.31	OLED 증착 시스템	특허청

164	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(미국)	㈜야스	2014.03.07	2016.03.01	OLED 증착 시스템	특허청

165	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(일본)	㈜야스	2014.03.12	2016.03.18	OLED 증착 시스템	특허청

166	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(중국)	㈜야스	2014.03.10	2017.03.01	OLED 증착 시스템	특허청

167	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(대만)	㈜야스	2014.03.18	2017.07.21	OLED 증착 시스템	특허청

168	특허권	박막두께분포를 조절 가능한 선형 및 평면형 증발원(대만)	㈜야스	2003.01.22	2005.03.11	OLED 증착원	특허청

169	특허권	박막두꼐분포를 조절 가능한 선형 및 평명형 증발원(중국)	㈜야스	2003.01.22	2007.10.03	OLED 증착원	특허청

170	특허권	박막두꼐분포를 조절 가능한 선형 및 평명형 증발원(싱가포르)	㈜야스	2003.01.22	2008.02.29	OLED 증착원	특허청

171	특허권	증착 공정용 노즐 증발원(대만)	㈜야스	2004.03.02	2006.06.11	OLED 증착원	특허청

172	특허권	증착 공정용 노즐 증발원(일본)	㈜야스	2004.03.10	2008.02.01	OLED 증착원	특허청

173	특허권	증착 공정용 노즐 증발원(싱가포르)	㈜야스	2004.03.03	2008.02.29	OLED 증착원	특허청

174	특허권	증착 공정용 노즐 증발원(중국)	㈜야스	2004.03.30	2008.10.21	OLED 증착원	특허청

175	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원(미국)	㈜야스	2007.07.03	2010.11.16	OLED 증착원	특허청

176	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원(미국)	㈜야스	2010.10.07	2011.07.12	OLED 증착원	특허청

177	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원(일본)	㈜야스	2007.07.03	2011.07.15	OLED 증착원	특허청

178	특허권	평판 기판 홀딩장치(일본)	㈜야스	2004.03.30	2007.09.14	Chuck	특허청

179	특허권	평판 기판 홀딩장치(중국)	㈜야스	2004.05.09	2008.05.28	Chuck	특허청

180	특허권	평판 기판 홀딩장치(대만)	㈜야스	2004.05.21	2008.09.21	Chuck	특허청

181	특허권	평판 기판 홀딩장치(싱가포르)	㈜야스	2004.04.15	2007.08.31	Chuck	특허청

182	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(일본)	㈜야스	2016.05.09	2017.04.28	Chuck	특허청

183	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(대만)	㈜야스	2016.06.30	2017.08.17	Chuck	특허청

184	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(일본)	㈜야스	2018.05.14	2018.09.26	Chuck	특허청

185	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(중국)	㈜야스	2016.07.01	2019.07.19	Chuck	특허청

186	실용신안	다수의 웨이퍼를 일괄 반송하는 웨이퍼 반송시스템	㈜야스	2018.05.10	2020.02.20	OLED 증착 시스템	특허청

187	실용신안	택 타임 단축을 위한 기판 플립 수단 및 그 운용 시스템	㈜야스	2018.07.16	2020.05.14	OLED 증착 시스템	특허청

188	상표권	CNS	㈜야스	2006.01.09	2006.09.20	OLED 증착원	특허청

189	상표권	LNS	㈜야스	2006.01.19	2007.01.25	OLED 증착원	특허청

190	특허권	정전기 모니터링 시스템	㈜야스	2020.04.01	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

191	특허권	점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템	㈜야스	2020.08.12	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

192	특허권	기판의 국소부위를 세정하는 버텀 업 방식의 플라즈마 처리 시스템	㈜야스	2020.08.14	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

193	특허권	증착시스템	㈜야스	2021.01.15	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

194	특허권	홀(Hole)을 구비한 유리기판 검사시스템	㈜야스	2021.01.21	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

195	특허권	증착시스템	㈜야스	2021.02.01	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

196	특허권	물질소모량 계측이 가능한 증발원	㈜야스	2019.04.22	N/A	OLED 증착원	특허청

197	특허권	증착원	㈜야스	2020.03.11	N/A	OLED 증착원	특허청

198	특허권	다중 리플렉터를 포함하는 가열장치	㈜야스	2020.05.12	N/A	OLED 증착원	특허청

199	특허권	증착원	㈜야스	2020.06.08	N/A	OLED 증착원	특허청

200	특허권	증착원	㈜야스	2020.08.27	N/A	OLED 증착원	특허청

201	특허권	플럭스 조절 가능한 노즐을 구비한 증발원	㈜야스	2021.02.09	N/A	OLED 증착원	특허청

202	특허권	패턴 또는 구조를 가진 점착제를 이용한 점착 척	㈜야스	2019.09.09	N/A	Chuck	특허청

203	특허권	ESC 전극 제조 방법	㈜야스	2020.01.30	N/A	Chuck	특허청

204	특허권	기판 전면부 접촉 없이 다 모델 대응 가능한 분할형 기판 홀딩 장치	㈜야스	2021.02.05	N/A	Chuck	특허청

205	특허권	3중 합지 방식을 적용한 점착제 롤 필름	㈜야스	2021.02.23	N/A	Chuck	특허청

206	특허권	적외선을 이용한 웨이퍼 얼라인 시스템	㈜야스	2019.01.11	N/A	Align	특허청

207	특허권	길이 최적화된 마스크프레임	㈜야스	2019.08.16	N/A	Mask	특허청

208	특허권	증착 시스템용 마스크 반송 시스템	㈜야스	2021.02.05	N/A	Mask	특허청

209	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(독일)	㈜야스	2014.04.08	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

210	특허권	패턴 또는 구조를 가진 점착제를 이용한 점착 척(중국)	㈜야스	2020.08.03	N/A	Chuck	특허청

211	특허권	길이 최적화된 마스크프레임(일본)	㈜야스	2020.08.07	N/A	Mask	특허청

212	특허권	길이 최적화된 마스크프레임(중국)	㈜야스	2020.09.02	N/A	Mask	특허청

213	실용신안	균등 증발원	㈜야스	2020.10.16	N/A	CIGS 증착 시스템	특허청

214	실용신안	패턴 또는 구조를 가진 점착제를 이용한 점착 척	㈜야스	2020.08.03	N/A	Chuck	특허청

나. 법규, 정부 규제에 관한 사항 분기보고서 제출일 현재 해당사항 없습니다. 12. 기업 인수목적회사의 합병추진 분기보고서 제출일 현재 해당사항이 없어서 기재를 생략합니다.