야스 분기보고서 (2025.09)
3. 타법인출자 현황(상세)

☞ 본문 위치로 이동

(기준일 : 2025년 09월 30일 ) (단위 : 백만원, 주, %)

법인명	상장여부	최초취득일자	출자목적	최초취득금액	기초잔액	증가(감소)	기말잔액	최근사업연도재무현황

수량	지분율	장부가액	취득(처분)	평가손익	수량	지분율	장부가액	총자산	당기순손익

수량	금액

(주)단단	비상장	2013년 05월 15일	경영참여	2,000	25,000	15.15	3,266	-	-	172	25,000	15.15	3,438	20,304	1,956

(주)기전	비상장	2017년 08월 09일	경영참여	1,642	100,000	100.00	3,322	-	-	-312	100,000	100.00	3,010	14,339	-1,080

티비테크놀러지(주)	비상장	2019년 05월 10일	단순투자	999	18,000	14.94	1,115	-	-	-	18,000	14.94	1,115	9,084	-1,150

(주)로티	비상장	2020년 02월 24일	단순투자	1,000	45,181	18.37	-	-	-	-	45,181	18.37	-	2,162	-1,193

(주)알피이	비상장	2020년 10월 29일	일반투자	300	65,000	33.24	633	-	-	73	65,000	33.24	707	2,516	172

(주)오플렉스	비상장	2022년 02월 28일	경영참여	2,998	244,200	26.30	181	-	-	72	244,200	25.64	253	10,010	-345

허페이 야스 전자과기 유한공사	비상장	2024년 04월 02일	경영참여	223	-	100.00	242	-	-	-5	-	100.00	236	244	-

합 계	497,381	-	8,759	-	-	-	497,381	-	8,759	58,659	-1,640

주1) 상기 회사들의 재무현황은 최근사업연도말 2024년 기준입니다.주2) (주)로티 관련 당기 증가분은 매출채권(미수금) 및 연체이자 잔액 전부를 지분상품 출자전환한 내역입니다.주3) 당사는 (주)단단 관련 2016년 기말감사시 649,623천원의 관계기업손상차손을 인식하였습니다. 주4) 당사는 (주)오플렉스 관련 2024년 기말감사시 672,332천원의 관계기업손상차손을 인식하였습니다.

(단위 : 천원)

회사명	최초취득	누적 지분법 손익	기말 장부가액	기말 평가금액	손상차손금액

(주)단단	2,000,000	255,398	2,255,398	1,605,775	(649,623)

(주)오플렉스	1,648,350	(795,352)	852,998	180,666	(672,332)

- 주식가치평가 상세

구분	(주)단단	(주)오플렉스

평가기준일	2016년 12월 31일	2024년 12월 31일

평가보고서일	2017년 02월 10일	2025년 03월 07일

평가방법	미래현금흐름할인법(DCF법)	미래현금흐름할인법(DCF법) 중기업잉여현금흐름 할인법(FCFF Method)

영업가치	11,639 백만원	435 백만원

기업가치	11,748 백만원	4,620 백만원

1주당가치	64,231 원	740 원

평가금액	1,606 백만원	181 백만원

평가기관	대주회계법인	서우회계법인

4. 지적재산권 보유현황[상세]

☞ 본문 위치로 이동

NO	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	주무관청

1	특허권	기판 이송 스피드 버퍼 챔버를 적용한 선형 증착시스템	㈜야스	2009.12.14	2011.03.22	OLED 증착 시스템	특허청

2	특허권	증발원을 공유하는 다중 증착 시스템	㈜야스	2011.08.22	2013.04.03	OLED 증착 시스템	특허청

3	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치	㈜야스	2013.03.18	2013.10.11	OLED 증착 시스템	특허청

4	특허권	AL 증착용 도가니 및 이를 사용한 증착 시스템	㈜야스	2013.05.03	2013.12.04	OLED 증착 시스템	특허청

5	특허권	클러스터 장비에 적용되는 정전기 부상 기판 이송 시스템	㈜야스	2013.07.02	2015.01.27	OLED 증착 시스템	특허청

6	특허권	택 타임을 단축시킨 증착 시스템	㈜야스	2014.10.16	2015.10.14	OLED 증착 시스템	특허청

7	특허권	로딩 챔버와 얼라인 챔버가 통합된 증착 시스템	㈜야스	2015.03.10	2016.06.17	OLED 증착 시스템	특허청

8	특허권	유리 기판 파손 검출 시스템	㈜야스	2015.07.20	2017.06.09	OLED 증착 시스템	특허청

9	특허권	두 장의 기판을 연속 증착하는 듀얼 증착 시스템	㈜야스	2015.08.03	2017.03.02	OLED 증착 시스템	특허청

10	특허권	왕복이송장치를 이용한 기판 연속 이송 인라인 증착 시스템	㈜야스	2015.08.03	2017.03.27	OLED 증착 시스템	특허청

11	특허권	마스크와 기판 트레이가 일체로 된 기판이송장치	㈜야스	2015.11.25	2017.07.26	OLED 증착 시스템	특허청

12	특허권	기판 척 보관용 저장고 및 척 순환용 반송 롤러를 포함하는 클러스터 시스템	㈜야스	2016.02.17	2018.05.28	OLED 증착 시스템	특허청

13	특허권	하나의 진공 증착 챔버에서 두 장의 기판에 순차 증착하는 시스템	㈜야스	2016.03.14	2017.11.02	OLED 증착 시스템	특허청

14	특허권	두 장의 기판을 연속 증착하는 듀얼 증착 시스템	㈜야스	2016.05.30	2018.01.25	OLED 증착 시스템	특허청

15	특허권	마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 클러스터 시스템	㈜야스	2016.12.05	2018.05.14	OLED 증착 시스템	특허청

16	특허권	마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 인라인 시스템	㈜야스	2016.12.12	2018.12.26	OLED 증착 시스템	특허청

17	특허권	진공유리 열융착 인라인 시스템	㈜야스	2018.02.22	2018.12.26	OLED 증착 시스템	특허청

18	특허권	마스크 시이트와 기판 갭을 최소화하는 기판 고정 유닛	㈜야스	2017.09.22	2019.05.13	OLED 증착 시스템	특허청

19	특허권	FMM 없는 재료절감형 컬러 화소 형성 시스템	㈜야스	2017.08.02	2019.05.27	OLED 증착 시스템	특허청

20	특허권	기체의 압력차를 이용한 점착 척과 기판 간의 합착 시스템	㈜야스	2017.11.16	2019.08.01	OLED 증착 시스템	특허청

21	특허권	FMM 없이 컬러 화소를 형성하는 방법 및 장치	㈜야스	2017.06.16	2019.10.01	OLED 증착 시스템	특허청

22	특허권	증착 시스템	㈜야스	2017.12.15	2019.10.16	OLED 증착 시스템	특허청

23	특허권	스위칭 마그넷을 이용한 기판홀딩부 슬립방지 시스템	㈜야스	2017.09.27	2019.11.26	OLED 증착 시스템	특허청

24	특허권	각도제한부의 공정 중 교체시스템	㈜야스	2017.11.30	2020.03.09	OLED 증착 시스템	특허청

25	특허권	패스 챔버와 디척 챔버 사이에 기판 검사장비가 배치된 증착 시스템	㈜야스	2018.04.09	2020.06.17	OLED 증착 시스템	특허청

26	특허권	이물비산을 방지한 증발원 이송장치	㈜야스	2018.04.18	2020.02.27	OLED 증착 시스템	특허청

27	특허권	두 장의 기판을 연속 증착하는 듀얼 증착 시스템	㈜야스	2018.11.21	2020.08.03	OLED 증착 시스템	특허청

28	특허권	걸쇠 방착판을 구비한 진공 증착기	㈜야스	2018.05.04	2020.08.19	OLED 증착 시스템	특허청

29	특허권	OLED 조명증착용 인라인 시스템	㈜야스	2019.07.10	2020.11.18	OLED 증착 시스템	특허청

30	특허권	증착 고정의 소스와 기판 간의 거리를 자동 제어할 수 있는 증착 시스템	㈜야스	2018.05.14	2020.12.02	OLED 증착 시스템	특허청

31	특허권	증착 시스템	㈜야스	2018.05.02	2020.12.23	OLED 증착 시스템	특허청

32	특허권	FMM이 없는 재료절감형 컬러 화소 형성 시스템	㈜야스	2018.05.19	2020.12.29	OLED 증착 시스템	특허청

33	특허권	공기의 공기 수분 흡착 및 순환을 위한 자동화 시스템	㈜야스	2019.05.07	2020.12.31	OLED 증착 시스템	특허청

34	특허권	면 증발원을 적용한 다목적 증착시스템	㈜야스	2020.06.08	2021.02.10	OLED 증착 시스템	특허청

35	특허권	점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템	㈜야스	2019.04.15	2021.02.15	OLED 증착 시스템	특허청

36	특허권	정전기 모니터링 시스템	㈜야스	2020.04.01	2022.02.10	OLED 증착 시스템	특허청

37	특허권	고해상도 대면적 기판 증착시스탬	㈜야스	2020.05.26	2022.02.17	OLED 증착 시스템	특허청

38	특허권	정전기 모니터링 시스템	㈜야스	2022.02.07	2022.12.19	OLED 증착 시스템	특허청

39	특허권	점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템	㈜야스	2020.08.12	2022.09.08	OLED 증착 시스템	특허청

40	특허권	로봇 주행 트랙을 구비한 증착 시스템	㈜야스	2021.04.14	2023.01.25	OLED 증착 시스템	특허청

41	특허권	압력 측정 시스템	㈜야스	2021.07.20	2023.05.12	OLED 증착 시스템	특허청

42	특허권	증착시스템	㈜야스	2021.05.12	2023.10.19	OLED 증착 시스템	특허청

43	특허권	점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템	㈜야스	2022.09.07	2023.12.11	OLED 증착 시스템	특허청

44	특허권	점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템	㈜야스	2022.09.07	2023.12.18	OLED 증착 시스템	특허청

45	특허권	증착시스템	㈜야스	2023.06.20	2024.05.23	OLED 증착 시스템	특허청

46	특허권	인라인 이송시스템	㈜야스	2021.11.01	2024.08.19	OLED 증착 시스템	특허청

47	특허권	대면적 FMM 증착시스템	㈜야스	2022.03.03	2025.02.20	OLED 증착 시스템	특허청

48	특허권	증착 시스템의 기판 핸들링 시스템	㈜야스	2023.08.30	2025.07.11	OLED 증착 시스템	특허청

49	특허권	증착 시스템의 기판 핸들링 시스템	㈜야스	2023.08.30	2025.07.11	OLED 증착 시스템	특허청

50	특허권	초퍼를 이용한 대면적 박막 제작용 증착 장치	㈜야스	2007.08.30	2009.07.10	OLED 증착원	특허청

51	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원	㈜야스	2007.07.02	2010.09.01	OLED 증착원	특허청

52	특허권	하향 증착이 가능한 증착원	㈜야스	2008.11.12	2011.09.01	OLED 증착원	특허청

53	특허권	진공 챔버 내에서 진공을 깨뜨리지 않고 도가니를 교체할 수 있는 진공 증착 장치	㈜야스	2009.09.03	2012.01.12	OLED 증착원	특허청

54	특허권	증착 공정용 증발원	㈜야스	2010.01.20	2012.04.17	OLED 증착원	특허청

55	특허권	선형증발원	㈜야스	2011.01.20	2012.11.02	OLED 증착원	특허청

56	특허권	유기물질 카트리지 및 박막제작에 이를 사용하는 방법	㈜야스	2012.04.02	2013.01.16	OLED 증착원	특허청

57	특허권	물질분사 각도를 제한한 선형 소스	㈜야스	2011.05.08	2013.02.07	OLED 증착원	특허청

58	특허권	선형 증발원용 히터	㈜야스	2011.05.04	2013.02.07	OLED 증착원	특허청

59	특허권	점증발원을 병렬연결한 대면적 증착 증발원	㈜야스	2011.08.22	2013.05.15	OLED 증착원	특허청

60	특허권	대면적용 선형 증발원	㈜야스	2011.09.16	2013.06.28	OLED 증착원	특허청

61	특허권	대면적용 선형 증발원	㈜야스	2013.05.06	2013.11.06	OLED 증착원	특허청

62	특허권	유기물질 카트리지 및 박막제작에 이를 사용하는 방법	㈜야스	2013.11.22	2013.12.30	OLED 증착원	특허청

63	특허권	증발관 노즐 교체식 선형 증발원	㈜야스	2012.05.03	2014.01.03	OLED 증착원	특허청

64	특허권	박막 균일도를 균일하게 유지하는 선형 증발원	㈜야스	2014.07.10	2016.03.28	OLED 증착원	특허청

65	특허권	쉐도우 효과를 방지하기 위한 선형증발원용 차단판	㈜야스	2015.07.22	2017.01.17	OLED 증착원	특허청

66	특허권	호스트 물질 증발원과 도펀트 증발원이 선형 배열된 증발원	㈜야스	2015.10.27	2017.05.08	OLED 증착원	특허청

67	특허권	히터의 선형 부재 휨을 방지한 히터 커넥터	㈜야스	2016.04.06	2017.07.05	OLED 증착원	특허청

68	특허권	기울일 수 있는 선형 증발원	㈜야스	2016.11.10	2018.11.01	OLED 증착원	특허청

69	특허권	고온 증발원용 히터	㈜야스	2017.02.24	2019.04.02	OLED 증착원	특허청

70	특허권	증발원이 선형 배열된 증발원	㈜야스	2017.04.22	2019.06.19	OLED 증착원	특허청

71	특허권	물질소모량 계측이 가능한 증발원	㈜야스	2019.04.22	2021.05.31	OLED 증착원	특허청

72	특허권	다중 리플렉터를 포함하는 가열장치	㈜야스	2020.05.12	2022.03.02	OLED 증착원	특허청

73	특허권	증착원	㈜야스	2020.08.27	2022.11.10	OLED 증착원	특허청

74	특허권	증발 물질 튐 방지체가 적용된 증발원	㈜야스	2021.06.29	2023.06.14	OLED 증착원	특허청

75	특허권	플럭스 조절 가능한 노즐을 구비한 증발원	㈜야스	2021.02.09	2023.08.18	OLED 증착원	특허청

76	특허권	증착원	㈜야스	2023.02.27	2024.02.19	OLED 증착원	특허청

77	특허권	정밀한 물질 소모량 계측이 가능한 증발원	㈜야스	2021.07.20	2024.03.18	OLED 증착원	특허청

78	특허권	수직 선형 증발원	㈜야스	2021.08.30	2024.03.12	OLED 증착원	특허청

79	특허권	수직 증착용 점증발원	㈜야스	2021.08.30	2024.03.12	OLED 증착원	특허청

80	특허권	증발원	㈜야스	2023.06.27	2025.06.11	OLED 증착원	특허청

81	특허권	증발원	㈜야스	2022.11.25	2025.08.05	OLED 증착원	특허청

82	특허권	기판 홀터 탈착 장치 및 방법	㈜야스	2010.06.23	2012.09.10	Chuck	특허청

83	특허권	축전기형 대면적 기판용 정전 척	㈜야스	2012.10.16	2013.01.08	Chuck	특허청

84	특허권	기판 홀더 탈부착 장치	㈜야스	2011.01.21	2013.02.07	Chuck	특허청

85	특허권	기판 홀더 이송 장치	㈜야스	2011.03.29	2013.06.03	Chuck	특허청

86	특허권	기판 홀딩용 척	㈜야스	2011.05.06	2013.06.28	Chuck	특허청

87	특허권	자석 척	㈜야스	2011.05.06	2013.10.01	Chuck	특허청

88	특허권	미세전극 구조의 정전 척	㈜야스	2013.04.04	2013.10.11	Chuck	특허청

89	특허권	링 모양 점착부를 이용한 기판 탈부착 장치	㈜야스	2011.05.07	2013.11.06	Chuck	특허청

90	특허권	자석을 이용한 기판 척킹 부재	㈜야스	2012.11.12	2014.05.28	Chuck	특허청

91	특허권	대면적 기판 홀딩 장치	㈜야스	2012.11.19	2014.05.28	Chuck	특허청

92	특허권	혼합형 대면적 기판 홀딩 장치	㈜야스	2014.11.19	2014.05.28	Chuck	특허청

93	특허권	척킹 구간을 한정한 점착제 척	㈜야스	2014.06.11	2014.07.16	Chuck	특허청

94	특허권	필름 척	㈜야스	2012.01.17	2014.07.24	Chuck	특허청

95	특허권	미세전극으로 된 정전 척의 탈부착 시스템	㈜야스	2013.07.05	2014.11.24	Chuck	특허청

96	특허권	척 플레이트의 기판 로딩 및 디척용 홀 막음장치	㈜야스	2013.11.11	2015.05.22	Chuck	특허청

97	특허권	기판 감지 센서를 구비한 척	㈜야스	2015.04.17	2016.10.21	Chuck	특허청

98	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템	㈜야스	2015.10.13	2017.04.25	Chuck	특허청

99	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템	㈜야스	2016.01.12	2017.05.08	Chuck	특허청

100	특허권	클램핑 유닛을 포함하는 점착척	㈜야스	2016.02.03	2018.02.22	Chuck	특허청

101	특허권	기판 쳐짐을 개선을 기판과 마스크 합착 장치	㈜야스	2016.02.03	2018.03.27	Chuck	특허청

102	특허권	바이폴라 대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템	㈜야스	2016.12.19	2018.08.29	Chuck	특허청

103	특허권	점착척의 점착 시트 교체 자동화 장치	㈜야스	2018.01.04	2019.05.31	Chuck	특허청

104	특허권	스위칭 마그넷의 자력을 이용한 기판홀딩장치	㈜야스	2017.08.19	2019.08.05	Chuck	특허청

105	특허권	효과적인 기판 탈부착 구조의 점착 척과 탈착 장치	㈜야스	2017.09.22	2019.10.07	Chuck	특허청

106	특허권	효율적인 점착제 교체를 위한 점착 척 구조	㈜야스	2017.09.22	2019.11.25	Chuck	특허청

107	특허권	포켓을 구비한 기판 이송 장치	㈜야스	2017.09.26	2020.01.07	Chuck	특허청

108	특허권	기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛	㈜야스	2018.09.12	2020.06.21	Chuck	특허청

109	특허권	클램핑 유닛을 포함하는 점착척	㈜야스	2018.04.30	2020.08.10	Chuck	특허청

110	특허권	스위칭 마그넷의 자력을 이용한 기판홀딩장치	㈜야스	2019.08.05	2020.08.13	Chuck	특허청

111	특허권	타공한 점착재를 이용한 점착척 및 이를 이용한 척킹 방법	㈜야스	2018.09.11	2020.08.18	Chuck	특허청

112	특허권	효율적인 점착제 교체를 위한 점착 척 구조	㈜야스	2019.11.25	2020.09.04	Chuck	특허청

113	특허권	기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛	㈜야스	2020.06.21	2020.10.06	Chuck	특허청

114	특허권	점착척의 점착시트 보호 용 커버 필름	㈜야스	2019.01.21	2020.12.15	Chuck	특허청

115	특허권	기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛	㈜야스	2020.10.05	2021.02.03	Chuck	특허청

116	특허권	ESC 전극 제조 방법	㈜야스	2020.01.30	2021.12.20	Chuck	특허청

117	특허권	패턴 또는 구조를 가진 점착제를 이용한 점착 척	㈜야스	2019.09.09	2022.05.23	Chuck	특허청

118	특허권	3중 합지 방식을 적용한 점착제 롤 필름	㈜야스	2021.02.23	2023.01.18	Chuck	특허청

119	특허권	기판 전면부 접촉 없이 다 모델 대응 가능한 분할형 기판 홀딩 장치	㈜야스	2021.02.05	2023.05.23	Chuck	특허청

120	특허권	다모델 대응 척 플레이트용 홀 막음 장치와 사용 방법	㈜야스	2021.07.13	2023.11.17	Chuck	특허청

121	특허권	기판 전면부 접촉 없이 다 모델 대응 가능한 분할형 기판 홀딩 장치의 구조	㈜야스	2021.04.27	2024.03.14	Chuck	특허청

122	특허권	기판 전면부 접촉 없이 다 모델 대응 가능한 분할형 기판 홀딩 장치	㈜야스	2022.06.24	2024.11.06	Chuck	특허청

123	특허권	기판 이송 장치의 핀홀을 개폐하는 핀홀 개폐 유닛	㈜야스	2023.06.13	2025.06.10	Chuck	특허청

124	특허권	기판 이송 장치의 핀홀을 개폐하는 핀홀 개폐 유닛	㈜야스	2023.06.13	2025.06.10	Chuck	특허청

125	특허권	척 플레이트를 이용한 마스크 얼라인 시스템	㈜야스	2012.07.11	2014.09.30	Align	특허청

126	특허권	이동식 카메라를 구비한 마스크 얼라인용 비전 시스템	㈜야스	2015.01.29	2016.02.24	Align	특허청

127	특허권	회전 도중 냉각판과 유리기판의 미끄러짐 방지를 위한 부쉬와 부쉬 하우징	㈜야스	2015.03.04	2016.05.31	Align	특허청

128	특허권	정전 척을 적용한 얼라이너 및 얼라인 방법	㈜야스	2015.09.04	2016.10.25	Align	특허청

129	특허권	기판을 안정화시키는 밀착판을 구비한 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2015.12.17	2017.12.11	Align	특허청

130	특허권	진공유리 열융착 인라인 시스템	㈜야스	2016.04.27	2018.02.22	Align	특허청

131	특허권	기판을 안정화시키는 밀착판을 구비한 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2017.12.04	2018.10.29	Align	특허청

132	특허권	대면적 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2018.01.12	2019.12.11	Align	특허청

133	특허권	터치 플레이트와 일체로 되고 스위칭 마그넷을 구비한 마그넷 플레이트 및 이를 적용한 얼라인먼트 시스템	㈜야스	2017.12.26	2020.01.28	Align	특허청

134	특허권	대면적 기판 얼라인 시스템	㈜야스	2017.11.10	2020.03.20	Align	특허청

135	특허권	적외선을 이용한 웨이퍼 얼라인 시스템	㈜야스	2021.07.20	2023.11.27	Align	특허청

136	특허권	대면적 기판 증착 시스템의 대면적 기판 핸들링 시스템	㈜야스	2022.03.15	2024.01.23	Align	특허청

137	특허권	대면적 OLED 제조용 와이어 마스크 및 와이어 마스크의 고정방법	㈜야스	2008.11.12	2010.12.13	Mask	특허청

138	특허권	대면적 기판용 판 마스크	㈜야스	2011.03.29	2012.11.02	Mask	특허청

139	특허권	자기력을 이용한 마스크 척	㈜야스	2011.05.07	2013.07.08	Mask	특허청

140	특허권	필름 밴드 마스크	㈜야스	2012.01.17	2014.02.05	Mask	특허청

141	특허권	필름 밴드 마스크	㈜야스	2015.09.11	2016.03.14	Mask	특허청

142	특허권	유리 마스크	㈜야스	2018.09.11	2020.08.12	Mask	특허청

143	특허권	유기발광소자 증착용 대면적 마스크 및 그 제조방법	㈜야스	2019.02.22	2021.01.06	Mask	특허청

144	특허권	길이 최적화된 마스크프레임	㈜야스	2019.08.16	2021.06.28	Mask	특허청

145	특허권	증착 시스템용 마스크 반송 시스템	㈜야스	2021.02.05	2023.09.14	Mask	특허청

146	특허권	유기 전계발광 표시소자의 유기 발광층 형성방법	㈜야스	2008.11.17	2010.04.23	OLED Device	특허청

147	특허권	유기 전계발광 표시소자의 유기 발광층 형성방법	㈜야스	2010.04.23	2012.06.01	OLED Device	특허청

148	특허권	레이저 버닝을 이용한 유기발광소자의 제조방법	㈜야스	2012.04.18	2014.03.04	OLED Device	특허청

149	특허권	열 증착에 의한 산화물 TFT의 제조방법	㈜야스	2013.11.28	2015.11.05	OLED Device	특허청

150	특허권	증발원을 이용한 패시베이션	㈜야스	2018.05.10	2020.01.22	OLED Device	특허청

151	특허권	에어로졸을 이용한 유기발광소자의 봉지 방법	㈜야스	2013.08.09	2015.06.08	Encap.	특허청

152	특허권	증착율 센서 어레이를 이용한 선형 증발원의 증착 제어시스템	㈜야스	2012.06.07	2014.01.03	QCM	특허청

153	특허권	수정 미세 저울 센서 포장용기 및 이를 이용한 센서 헤드에 대한 장전방법	㈜야스	2013.06.03	2014.04.22	QCM	특허청

154	특허권	OLED 인라인 증착 시스템 용 증착율 측정장치	㈜야스	2012.12.21	2014.05.28	QCM	특허청

155	특허권	제어모듈 일체형 증착율 센서	㈜야스	2013.01.30	2014.06.23	QCM	특허청

156	특허권	선형 증착율 센서	㈜야스	2013.04.04	2014.12.10	QCM	특허청

157	특허권	증착율 센서용 초퍼 및 그 연결 부재	㈜야스	2017.02.16	2018.08.20	QCM	특허청

158	특허권	박막형 반도체 소자를 유연한 기판에 제작하는 롤투롤 장치	㈜야스	2008.12.22	2010.12.13	Flexible System	특허청

159	특허권	박막소자를 유연 기판에 제작하는 롤투롤 증착기의 기판 홀딩장치	㈜야스	2012.08.09	2013.09.04	Flexible System	특허청

160	특허권	롤투롤 장치의 유연 기판 처짐 방지 시스템	㈜야스	2013.08.09	2015.05.18	Flexible System	특허청

161	특허권	롤투롤 장치의 유연 기판 처짐 방지 시스템	㈜야스	2015.10.28	2016.04.18	Flexible System	특허청

162	특허권	다중 프로세스 롤투롤 시스템	㈜야스	2015.06.23	2017.04.21	Flexible System	특허청

163	특허권	척을 적용한 롤투롤 시스템	㈜야스	2018.05.04	2020.05.04	Flexible System	특허청

164	특허권	면 증발원을 적용한 다목적 증착시스템	㈜야스	2018.05.04	2020.11.13	Flexible System	특허청

165	특허권	유도가열 방식을 적용한 박막형 화합물 반도체 태양광 소자 제작 장치 및 방법	㈜야스	2010.08.03	2011.11.02	CIGS 증착 시스템	특허청

166	특허권	직접 가열방식을 적용한 선형 증착원	㈜야스	2009.12.21	2012.10.11	CIGS 증착 시스템	특허청

167	특허권	하이브리드 가열방식 증발원	㈜야스	2012.09.21	2013.01.16	CIGS 증착 시스템	특허청

168	특허권	직접 가열방식을 적용한 선형 증착원	㈜야스	2012.07.21	2013.02.07	CIGS 증착 시스템	특허청

169	특허권	히터 내장형 증발원	㈜야스	2010.08.11	2013.04.03	CIGS 증착 시스템	특허청

170	특허권	대용량 고온 증발원	㈜야스	2012.07.31	2014.02.05	CIGS 증착 시스템	특허청

171	특허권	고온 증발원 및 그 제조방법	㈜야스	2012.06.20	2014.02.12	CIGS 증착 시스템	특허청

172	특허권	하이브리드 가열방식 증발원	㈜야스	2011.03.29	2013.01.16	CIGS 증착 시스템	특허청

173	특허권	고온 선형 증발원	㈜야스	2016.11.22	2018.03.26	CIGS 증착 시스템	특허청

174	특허권	진공유리 또는 그를 이용하는 반도체 소자의 진공 봉지 장치 및 진공 봉지 방법	㈜야스	2013.01.17	2014.03.04	Vacuum Glass	특허청

175	특허권	진공유리 및 반도체 소자의 진공 봉지 장치 및 제조방법	㈜야스	2012.10.11	2014.06.14	Vacuum Glass	특허청

176	특허권	진공유리 또는 그를 이용하는 반도체 소자의 진공 봉지 방법	㈜야스	2013.01.24	2014.07.24	Vacuum Glass	특허청

177	특허권	레이저를 이용한 진공유리의 진공 마감 방법	㈜야스	2013.11.06	2015.05.22	Vacuum Glass	특허청

178	특허권	홀(Hole)을 구비한 유리기판 검사시스템	㈜야스	2021.01.21	2023.07.17	검사시스템	특허청

179	특허권	하이브리드 광학계를 적용한 기판 검사시스템	㈜야스	2021.07.14	2024.02.28	검사시스템	특허청

180	특허권	홀 검사 시스템 및 방법	㈜야스	2023.12.28	2024.11.01	검사시스템	특허청

181	특허권	검사대상체 위치틀어짐 측정 시스템	㈜야스	2022.11.23	2025.04.01	검사시스템	특허청

182	특허권	다수의 홀이 형성된 기판의 홀 위치 검사 시스템	㈜야스	2022.11.23	2025.08.07	검사시스템	특허청

183	특허권	기판 이송 트레이	㈜야스	2023.07.27	2024.09.19	페로브스카이트	특허청

184	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(미국)	㈜야스	2014.03.07	2016.03.01	OLED 증착 시스템	특허청

185	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(일본)	㈜야스	2014.03.12	2016.03.18	OLED 증착 시스템	특허청

186	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(중국)	㈜야스	2014.03.10	2017.03.01	OLED 증착 시스템	특허청

187	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(대만)	㈜야스	2014.03.18	2017.07.21	OLED 증착 시스템	특허청

188	특허권	정전기 부상을 이용한 기판이송장치(독일)	㈜야스	2014.04.08	2021.08.12	OLED 증착 시스템	특허청

189	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원(미국)	㈜야스	2007.07.03	2010.11.16	OLED 증착원	특허청

190	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원(미국)	㈜야스	2010.10.07	2011.07.12	OLED 증착원	특허청

191	특허권	증착 공정용 다중 노즐 증발원(일본)	㈜야스	2007.07.03	2011.07.15	OLED 증착원	특허청

192	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(일본)	㈜야스	2016.05.09	2017.04.28	Chuck	특허청

193	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(대만)	㈜야스	2016.06.30	2017.08.17	Chuck	특허청

194	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(일본)	㈜야스	2018.05.14	2018.09.26	Chuck	특허청

195	특허권	대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템(중국)	㈜야스	2016.07.01	2019.07.19	Chuck	특허청

196	특허권	패턴 또는 구조를 가진 점착제를 이용한 점착 척(중국)	㈜야스	2020.08.03	2023.04.28	Chuck	특허청

197	특허권	길이 최적화된 마스크프레임(일본)	㈜야스	2020.08.07	2022.01.19	Mask	특허청

198	특허권	길이 최적화된 마스크프레임(일본)	㈜야스	2021.12.07	2023.11.13	Mask	특허청

199	실용신안	다수의 웨이퍼를 일괄 반송하는 웨이퍼 반송시스템	㈜야스	2018.05.10	2020.02.20	OLED 증착 시스템	특허청

200	실용신안	택 타임 단축을 위한 기판 플립 수단 및 그 운용 시스템	㈜야스	2018.07.16	2020.05.14	OLED 증착 시스템	특허청

201	실용신안	패턴 또는 구조를 가진 점착제를 이용한 점착 척	㈜야스	2020.08.03	2021.04.19	Chuck	특허청

202	실용신안	균등 증발원	㈜야스	2020.10.16	2021.09.02	CIGS 증착 시스템	특허청

203	상표권	CNS	㈜야스	2006.01.09	2006.09.20	OLED 증착원	특허청

204	상표권	LNS	㈜야스	2006.01.19	2007.01.25	OLED 증착원	특허청

205	특허권	기판의 국소부위를 세정하는 버텀 업 방식의 플라즈마 처리 시스템	㈜야스	2020.08.14	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

206	특허권	증착시스템	㈜야스	2024.03.13	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

207	특허권	인라인 이송시스템	㈜야스	2023.12.21	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

208	특허권	인라인 이송시스템	㈜야스	2023.12.21	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

209	특허권	증착 장비 및 증착 시스템	㈜야스	2024.07.31	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

210	특허권	적층 구조의 버퍼 챔버를 포함하는 증착시스템 및 증착방법	㈜야스	2023.08.30	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

211	특허권	증착시스템	㈜야스	2023.05.10	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

212	특허권	증착시스템	㈜야스	2023.11.01	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

213	특허권	증착 공정 중 기판의 온도를 측정하는 온도 측정 장치	㈜야스	2023.11.09	N/A	OLED 증착 시스템	특허청

214	특허권	선형 증발원	㈜야스	2022.08.18	N/A	OLED 증착원	특허청

215	특허	증착시스템	㈜야스	2022.11.11	N/A	OLED 증착원	특허청

216	특허권	증발원	㈜야스	2022.12.02	N/A	OLED 증착원	특허청

217	특허권	증발원	㈜야스	2023.02.17	N/A	OLED 증착원	특허청

218	특허권	증발원	㈜야스	2023.02.17	N/A	OLED 증착원	특허청

219	특허권	증발원	㈜야스	2023.04.07	N/A	OLED 증착원	특허청

220	특허권	물징 상호 간섭 방지를 위한 오리피스형 증착률 모니터링 시스템	㈜야스	2022.08.07	N/A	QCM	특허청

221	특허권	진공 챔버용 기판 고정 장치	㈜야스	2023.04.28	N/A	페로브스카이트	특허청

222	실용신안	증착원용 다중히터	㈜야스	2023.02.27	N/A	OLED 증착원	특허청

223	특허권	길이 최적화된 마스크프레임(중국)	㈜야스	2020.09.02	N/A	Mask	특허청

224	특허권	증착 장비 및 증착 시스템(대만)	㈜야스	2024.08.02	N/A	OLED 증착 시스템	특허청