메카로 반기보고서 (2023.06)
7. 기타 참고사항

가. 지적재산권 현황 (가) 국내현황 (메카로)

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	화학기상증착용 페데스탈 히터블럭	메카로	2007.10.12	2009.12.29	히터블럭	대한민국

2	특허권	전극층 형성방법	메카로	2008.12.30	2011.06.03	히터블럭	대한민국

3	특허권	정전척의 제조방법	메카로	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

4	특허권	정전척의 제조방법	메카로	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

5	특허권	기판 처리 설비용 기화기	메카로	2014.05.22	2016.03.14	신사업	대한민국

6	특허권	히터블럭	메카로	2014.11.12	2016.03.14	히터블럭	대한민국

7	특허권	투룸형 기화기	메카로	2017.08.24	2019.02.11	신사업	대한민국

8	특허권	고온 시즈히터 및 이를 구비한 히터블럭의 제조방법	메카로	2018.02.21	2020.04.10	히터블럭	대한민국

9	특허권	진공밸브	메카로	2018.09.21	2020.07.29	AGV	대한민국

10	특허권	GEM 검출기 및 그 배경 노이즈 제거 방법	메카로	2019.02.19	2020.10.12	신사업	대한민국

11	특허권	와류 흐름을 이용한 질소가스 가열 장치	메카로	2020.07.10	2020.11.17	HOTN2	대한민국

12	특허권	초음파 무화기	메카로	2020.07.16	2022.07.18	신사업	대한민국

13	특허권	열분포 균일성을 향상시킨 액체 혹은 기체 개폐장치	메카로	2021.11.19	2022.11.08	밸브	대한민국

14	특허권	비대칭 열선 구조를 가진 페데스탈 히터 블록	메카로	2020.10.08	2022.12.02	히터블럭	대한민국

15	출원중	운반가스를 이용한 반도체 공정용 기화기	메카로	2021.01.20	신사업	대한민국

16	출원중	기화효율이 향상된 반도체 공정용 기화기	메카로	2021.01.20	신사업	대한민국

17	출원중	진공 가변 커패시터1	메카로	2022.08.11	신사업	대한민국

18	출원중	진공 가변 커패시터2	메카로	2022.08.11	신사업	대한민국

19	출원중	온도 균일도 개선을 위해 계단식 평탄도를 갖는 반도체 장비 온도 제어 장치	메카로	2023.05.11	히터블럭	대한민국

(나) 국내현황 (자회사현황)

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	2008.12.30	2011.10.04	태양전지	대한민국

2	특허권	원자층 증착법에 의한 CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	2009.01.12	2011.10.04	태양전지	대한민국

3	특허권	태양광 발전장치	메카로에너지	2009.12.24	2011.12.01	태양전지	대한민국

4	특허권	박막 태양전지의 버퍼층 제조방법	메카로에너지	2010.02.25	2016.05.18	태양전지	대한민국

5	특허권	화학적 증착법을 이용한 CIS 박막 태양전지의 제조방법	메카로에너지	2013.08.13	2014.12.08	태양전지	대한민국

6	특허권	칼코파이라이트계 박막 태양전지의 제조 방법	메카로에너지	2017.08.25	2018.06.07	태양전지	대한민국

7	특허권	화학기상증착법을 이용한 반사방지막 제조방법	메카로에너지	2018.02.09	2020.05.27	태양전지	대한민국

8	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.04.11	2020.03.11	태양전지	대한민국

9	특허권	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2020.06.01	2022.04.07	태양전지	대한민국

10	특허권	페로브스카이트 박막태양전지 제조방법	메카로에너지	2020.08.11	2022.05.23	태양전지	대한민국

11	출원중	페로브스카이트 태양전지의 정공 수송층 제조 방법	메카로에너지	2020.03.06	태양전지	대한민국

12	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.05.11	태양전지	대한민국

13	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2021.08.23	태양전지	대한민국

14	출원중	에너지 전환효율이 향상된 페로브스카이트 태양전지	메카로에너지	2021.12.28	태양전지	대한민국

15	출원중	투광형 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.01.20	태양전지	대한민국

16	출원중	투광형 탠덤 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.03.04	태양전지	대한민국

17	출원중	태양광 발전모듈을 이용한 창문일체형 공기정화장치	메카로에너지	2022.03.18	태양전지	대한민국

18	출원중	태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.13	태양전지	대한민국

19	출원중	투광형 태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.24	태양전지	대한민국

20	출원중	투광형 양면 태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.09.02	태양전지	대한민국

21	출원중	패턴형 투광 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.12.23	태양전지	대한민국

22	출원중	창호형 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.01.04	태양전지	대한민국

23	출원중	페로브스카이트 박막 태양전지 및 페로브스카이트 박막 태양전지의 무기물	메카로에너지	2023.04.17	태양전지	대한민국

24	출원중	창호형 태양전지 경량화 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.04.24	태양전지	대한민국

(다) 해외현황 (메카로)

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	출원중	PEDESTAL HEATER BLOCK HAVING ASYMMETRIC HEATING WIRE STRUCTURE	메카로	2023.04.04	히터블럭	일본

2	출원중	PEDESTAL HEATER BLOCK HAVING ASYMMETRIC HEATING WIRE STRUCTURE	메카로	2023.04.06	히터블럭	미국

3	출원중	PEDESTAL HEATER BLOCK HAVING ASYMMETRIC HEATING WIRE STRUCTURE	메카로	2023.04.07	히터블럭	중국

(라) 해외현황 (자회사 현황)

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.21	2019.09.13	태양전지	일본

2	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.27	2020.07.28	태양전지	미국

3	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.27	2021.06.22	태양전지	중국

4	출원중	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.05.29	태양전지	유럽

5	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2020.06.02	태양전지	해외

6	출원중	페로브스카이트 박막 태양전지 제조방법	메카로에너지	2020.12.03	태양전지	해외

7	출원중	페로브스카이트 태양전지의 정공 수송층 제조 방법	메카로에너지	2021.03.05	태양전지	해외

8	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.11.05	태양전지	중국

9	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.11.10	태양전지	유럽

10	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.11.11	태양전지	미국

11	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.11.11	태양전지	일본

12	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	2022.04.28	태양전지	해외

13	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.27	태양전지	중국

14	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.29	태양전지	미국

15	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.30	태양전지	유럽

16	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.07.04	태양전지	일본

17	출원중	태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.04.21	태양전지	해외

18	출원중	투광형 양면 태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.04.21	태양전지	해외

나. 규제 환경

당사는 법률에서 정하고 있는 각종 제품환경 규제와 사업장관리 환경규제를 철저하게 준수하고 있습니다. 제품생산과정에서 발생되는 오염물질의 배출을 최소화하기 위하여 대기오염방지시설을 설치하여 운영하고 있으며, 수질오염방지 및 폐기물처리를 위하여 적법한 절차를 따라 처리함으로써 주변 환경에 대한 영향을 최소화 하도록 하고 있습니다. 이러한 사업장의 환경관리는 관련 부처, 지방자치단체의 관리감독을 받고 있으며, 당사는 국제 환경안전보건경영시스템 인증(ISO14001, ISO45001)을 취득하여 법규준수 및 자율관리 체제를 강화하고 있습니다.

다. 산업의 특성 반도체 산업은 광의로는 반도체 소자 제조업, 소자 생산을 위한 반도체 장비 제조업 및 소자 생산용 소재를 공급하는 재료 제조업 등을 포괄하는 산업으로써, 이들 반도체 산업 각 부문은 상호 유기적인 연관하에 발전하는 특성이 있습니다. 소자, 장비, 재료(소재) 산업 각 부문은 첨단 산업으로서의 반도체 산업의 특성을 공유하는 한편 각 부문간 상이한 특징들도 있습니다. 산업 각 부문별 주요 특성은 다음과 같습니다.

구분	특성	주요 내용

반도체 산업
전반	기술집약적
산업	반도체 산업은 기술 자체에 대한 많은 연구개발이 요구되고 있어 매출액 대비 연구개발 투자가 타산업보다 현저히 높은 산업입니다. 또한 양산 단계로의 전환시 대규모 설비 투자가 요구되는 고위험부담 산업이기도 합니다.

기술혁신
속도가 빠른 산업	반도체 산업은 제품의 라이프사이클이 매우 짧기 때문에 산업이 성숙화 되어감에 따라 기술혁신 속도가 더욱 가속화되고 있습니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 산업은 제품의 개발에서 판매까지의 시장 진출단계에 있어서 각 부문 별 타산업보다 더욱 세밀하고 조직적인 경영 전략 및 긴밀한 협업이 요구되는 산업입니다.

고부가가치
산업	반도체 산업은 생산액당 자원 및 에너지 투입비용이 타산업 대비 매우 낮으며 고도의 기술력이 체화된 인적자본에 대한 의존도가 높은 고부가가치 산업입니다.

타산업으로의 파급효과가 큰 산업	반도체 산업은 소자의 고집적화 기술이 급속히 발달되면서 마이크로프로세서의 응용분야가 크게 확대되어 전산산업뿐 아니라 통신기기 등 전 제조업 제품에 사용되고 있으며, 전방 산업의 발전을 이끄는 핵심 부품 산업입니다. 한편으로는 전방 산업의 발전에 의해 반도체 산업의 생산규모가 결정되고 신규 시장이 창출되기도 하는 상호 보완적인 특성을 가지고 있습니다.

반도체 장비 및 소재 산업 전반	다품종 소량 생산방식이 적합한 산업	반도체 장비 및 소재 기업은 주로 소자 기업으로부터 주문생산방식 및 판매시장 수요에 대한 예측생산방식을 병행하고 있으며, 장비 사양 또는 소재 물질의 특성이 같아도 반도체 소자 업체별, 제조 공정별 최적화가 필요합니다. 이와 같이 장비 및 소재는 대규모 양산체제가 아닌 특성상 대형기업보다는 중견 중소기업에 적합한 산업이라고 볼 수 있습니다.

반도체 소재	진입장벽이
높은 산업	반도체 산업은 기술집약적인 산업 특성상 전반적으로 진입장벽이 높은 특성이 있으나, 이중 특히 반도체 소재 및 전구체 산업은 신규업체가 진입하기에는 매우 까다로운 특성이 있습니다. 반도체용 소재는 안정적 공급을 위한 높은 수준의 합성 및 정제 기술뿐 아니라 소자 업체 공정 변경에 대한 신속한 대응력 및 사후 관리 능력이 필요하며, 특히 이중 전구체는 해당 공정에 필요한 다양한 조건이 요구되고 있습니다. 반면 일단 납품이 개시되면, 해당 반도체 소자업체 입장에서도 거래처 변경에 따른 생산 공정 차질 및 불량 발생 등 리스크가 크기 때문에 장기적으로 안정된 매출 흐름을 기대할 수 있는 특성을 지니고 있습니다.

반도체 장비	경기순환에
민감한 산업	반도체 산업은 전반적으로 경기 변동에 따른 경영실적의 변동성이 있는 산업이나, 반도체 장비산업은 경기에 따른 변동성이 반도체 소자산업보다 더 큰 특징이 있습니다. 반도체 설비투자 사이클이 실리콘 사이클의 진폭보다도 오히려 더 크기 때문에 반도체 경기 호조시에는 장비기업의 매출액 증가폭이 소자기업보다 큰 반면 불경기시에는 그 타격이 더 심합니다. 불경기시 소자기업은 출하가격이 하락하고 재고가 늘어나는 손해를 입으나 장비기업은 생산량 자체가 격감하게 되는 특성이 있습니다.

라. 시장 규모 및 전망 세계반도체무역통계기구(WSTS)와 시장조사업체 가트너 등은 2023년도 글로벌 반도체 시장이 전년(약$ 6,180억) 대비 최소 3% 이상 역성장할 것으로 전망하고 있습니다. 그 중 메모리 시장 규모는 17.0% 감소할 것으로 전망했습니다. 수요기업의 메모리반도체 재고수준이 높아, 상반기는 재고소진 등으로 수요가 둔화되나, 하반기부터 구매활동이 증가하며 수요가 회복될 것으로 기대하고 있습니다. 또한, 가트너는 올초 챗GPT의 영향으로 AI 개발에 대한 관심도가 높아지며, AI 반도체 시장규모는 2026년까지 826억 달러 수준까지 성장할 것으로 전망하고 있습니다.

마. 경쟁현황가) 히터블럭 경쟁현황

(1) 경쟁형태반도체 공정용 히터블럭의 공급 업체는 반도체라는 제한적인 형태의 시장을 공유하고 있어 진입이 매우 치열한 상황이나 진입 후에는 안정적인 시장을 유지할 수 있습니다. 경쟁에서 가장 중요한 것은 제품기술과 품질 관리에 있습니다. 그리고 반도체 시장은 거래실적이 매우 중요하고 고객사와의 신뢰가 매우 중요하게 반영되는 사업으로 거래 실적이 없는 회사의 경우 해당 제품 평가가 매우 어려울 뿐만 아니라 기술력이 있다 하더라도 고객의 신뢰가 없으면 진입 자체가 어려운 사업입니다. 이처럼 높은 진입장벽을 갖고 있어 신규 업체들의 진출이 매우 어려운 사업으로 현재 국내 경쟁사는 보부하이테크 및 티티에스, 동원파츠 등이 있습니다. 당사가 제조하여 공급하고 있는 메탈 히터블럭의 경우는 국내점유율 측면에서는 1위를 유지 하고 있으며, 글로벌 경쟁력을 갖고 히터블럭 분야에서 최고의 자리를 구축하고 있습니다.

(2) 진입장벽

반도체 시장에 진입하기 위해 스펙을 확인하고 공정에 실제 적용하여 테스트를 완료한 후 판매를 할 수 있습니다. 약 1년에서 최대 3년의 시간이 소요 되고, 그 과정이 매우 길며 신규업체 변경에 따른 고객사 제품 품질 risk가 커져 신규 업체의 경우 제안을 통해 TEST가 진행 되고 납품이 되기까지의 과정이 매우 어렵습니다. 후발주자의 경우 Reference에 대한 확보가 어렵고, Reference 확보 후 양산 적용 시에도 400도 이상의 고온에 사용되는 만큼 품질을 1년에서 1년 6개월가량 지속 유지하여야 하는 등 기술적으로 상당한 Quality를 유지해야 합니다. 또한 많은 투자가 이루어져야 하는 점 등 경쟁력 확보를 어렵게 하는 진입장벽 요인이 작용하고 있습니다.나) 비교우위 사항

(1) 기술력(가) 히터블럭

당사는 국내 업체 중 가장 먼저 히터블럭을 개발하고 양산화하였으며 약 20여년간 축적된 각 요소기술과 고객과의 문제해결 과정을 통해 터득된 경험치는 이후 신제품 개발이나 고객과의 신뢰유지를 위해 매우 중요한 요소이며 이러한 신뢰를 바탕으로 국내 점유율에 있어서 부동의 1위 자리를 유지하고 있습니다.현재 국내에서 당사만 진행하고 있는 AlF(불화알루미늄) 박막 표면코팅 기술로 제작된 히터블럭은 알루미늄의 연한 표면을 AlF 박막의 세라믹으로 코팅을 해 줌으로써 알루미늄의 표면 부식을 억제하고 표면의 돌출물 등이 제어됨으로서 이물의 생성이 저감되고 AlF 박막의 높은 열 방사도로 인한 표면 온도 균일도가 우수하여, 온도 조건이 민감한 공정이나 특정 디바이스에서는 당사 제품만이 적용되고 있으며 선폭이 미세화 됨에 따라 경쟁사 제품이 당사의 제품으로 교체되고 있는 추세입니다.당사에서는 히터블럭의 설계단계부터 열분포 및 열응력 해석을 위한 시뮬레이션을 진행하고 있으며 시뮬레이션 결과와 그 동안 축적된 경험과 기술을 조합하여 제품을 개발하고 있기 때문에 적합성이 우수한 제품을 단기간에 개발할 수 있고 실패율도 낮은 장점을 가지고 있습니다. 이러한 장점의 바탕은 사업을 영위하면서 축적된 기술들의 데이터베이스이며, 이 또한 경쟁사 대비 뛰어난 장점이라 할 수 있습니다.

(2) 영업 네트워크

반도체 산업의 특성상 소수의 주요 고객과의 관계 및 신뢰는 사업 성장에 매우 중요한 요소가 됩니다. 당사의 히터블럭과 전구체는 반도체 제조 공정이 진행되는 챔버 내에서 사용되는 핵심 제품으로서 장기간에 걸쳐 기술력에 대한 신뢰도를 유지하고 있습니다.당사는 공정기술을 기반으로 하여 소자업체에서 발생한 문제현상 등에 대해서도 문제요인의 도출과 해결방안을 제시하는 등의 분석지원을 꾸준히 진행해 왔으며 이는 고객사인 소자업체와의 신뢰를 바탕으로 한 탄탄한 네트워크를 다질 수 있었던 요인이기도 합니다.