메카로 반기보고서 (2021.06)
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 연구개발활동 개요 (가) MAPS연구소

MAPS연구소는 신제품 개발과 고객기술 지원을 하고 있습니다. 개발 경력이 풍부한 고경력 연구자를 채용하여 핵심역량 강화, 신사업 개척에 필요한 기술 및 시장 확장을 위한 선도 기술 확보에 매진하고 있습니다. 글로벌 일등 및 고부가가치 반도체 소재 개발을 통해 반도체 산업분야의 선도 기술 개발에 박차를 가하고 있습니다.

당사의 MAPS연구소는 현재 양산되고 있는 제품의 품질 향상, 공정 개발을 통해 좀 더 나은 제품을 고객에 납품하고, 고객의 요구사항에 대한 대응 업무을 수행하고 있습니다. 또한, DRAM 커패시터의 high-k 박막을 형성하는 ZM40 전구체를 이미 개발 완료하여 20nm 초에서 10nm 중반급 반도체 공정에서 우수한 평가를 받아 고객사에 양산공급을 하고 있습니다. ZM40 제품은 국내 유일하게 개발, 양산에 성공한 제품으로 국내/외 특허권과 설계, 합성 및 분석에 대한 자체 개발 기술력을 확보하고 있습니다. 당사는 이러한 자사의 기술력을 바탕으로 차세대 반도체 공정에 적용할 새로운 우수한 제품을 개발하고 있습니다.

(나) 시스템개발팀

CVD 장비, ALD 장비에서 히터블럭의 역할은 대단히 중요한데, 특히 CVD 장비에서 사용되는 히터블럭은 500℃ 미만에서는 알루미늄 히터블럭이 사용되며, 500℃ 이상에서는 AlN 히터블럭이 사용되고 있습니다. 선 폭을 줄이는 미세공정에 대응하기 위한 알루미늄 히터블럭은 더 높은 온도 균일도, 더 적은 열변형 등의 특성이 요구됩니다. 이러한 고객 요구사항에 대응하기 위해 열해석, 구조해석 등의 시뮬레이션(Simulation)을 진행하여 고객 맞춤형 제품을 기획, 개발, 개선하는 개발/설계 파트와 제작된 제품의 검증, 공정 중 문제가 발생된 제품의 분석을 담당하는 분석파트를 운영하고 있습니다.또한 500℃ 이상의 공정에 사용하는 AlN 히터블럭의 경우 높은 열전도, 고온안정성 등 CVD 히터블럭으로서 좋은 특성을 많이 갖고 있지만, AlN 분말 제조비용이 높고 소결 온도가 높아 공정비용이 증가하는 단점이 있습니다. 따라서 당사에서는 상대적으로 제조비용이 저렴하면서 500℃ 이상의 공정온도에서 적용이 가능한 고온용 금속 히터블럭을 개발하여 새로운 시장을 창출하기 위해 선행 연구 개발을 진행하는 선행개발 파트를 운영하고 있습니다.

(다) 미래사업부미래사업부는 크게 GEM(Gas Electron Multiplier, 기체 전자 증폭기) Foil을 비롯한 GEM 관련 제품을 개발 및 반도체 장비용 핵심 부품의 하나인 기화기(vaporizer)를 개발하는 솔루션개발팀과 세라믹 히터블럭을 개발하는 세라믹팀으로 구성되어 있습니다.

(라) 메카로에너지CIGS박 막태양전지와 페로브스카이트, 투명태양전지 개발을 담당하고 있으며, 중 장기적으로 당사의 미래 먹거리 준비를 위해 현재 제품군과 다른 차별화 된 제품을 연구하고 있습니다. 메카로에너지는 2019년 11월 1일 연구소의 CIGS박막태양전지 사업부문을 단순물적 분할을 통해 메카로에서 분할하였습니다.(마) 케이브이티에스케이브이티에스는 CVD ETCH 등 고도의 정밀성과 System이 발전한 고객의 다양한 요구를 만족시키기 위해 APC Pendulum Valve 를 개발하는 팀을 따로 운용하고 있습니다. APC VALVE를 개발중이며 미래의 케이브이티에스 먹거리로 연구 개발에 힘쓰고 있습니다. 그리고 장비의 필요 VALVE(1.AGV Controller. 2.Manual V/V)등 을 개발하며 ITEM 다양화를 위해 장비의 부품 RTP, HOT N2의 UPGRADE 도 진행하고 있습니다. 케이브이티에스는 2021년 8월 3일 메카로에 흡수합병 되어 소멸되었습니다.

나. 연구개발비용 당사의 최근 3년간 연구개발비용은 다음과 같습니다.

(단위 : 천원)

과 목	제22기 반기	제21기	제20기	비 고

원재료비	432,057	871,587	993,080	-

인건비	1,083,537	2,109,836	3,758,798	-

감가상각비	709,505	1,165,945	1,098,847	-

위탁용역비	175,565	376,216	100,197	-

기타	405,083	889,455	806,433	-

연구개발비용 계	2,805,747	5,413,039	6,757,354	-

회계처리	판매비와 관리비	2,805,747	5,413,039	6,757,354	-

제조경비	-	-	-	-

개발비(무형자산)	-	-	-	-

연구개발비 / 매출액비율[연구개발비용계 ÷ 당기매출액 ×100]	7.2%	7.4%	9.3%	-

주1) 연결기준이며, 한국채택국제회계기준(K-IFRS)에 따라 작성되었음. 다. 지적재산권 현황 (가) 국내현황

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	금속을 포함하는 박막의 화학기상증착 또는 원자층증착을위한 다용도 유기금속화합물과 그 제조방법	메카로	2002.06.11	2007.03.21	전구체	대한민국

2	특허권	화학기상증착용 페데스탈 히터블럭	메카로	2007.10.12	2009.12.29	히터블럭	대한민국

3	특허권	케니스터	메카로	2008.03.04	2010.06.25	전구체	대한민국

4	특허권	히팅블럭	메카로	2009.02.12	2011.04.29	히터블럭	대한민국

5	특허권	전극층 형성방법	메카로	2008.12.30	2011.06.03	히터블럭	대한민국

6	특허권	CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	2008.12.30	2011.10.04	태양전지	대한민국

7	특허권	원자층 증착법에 의한CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	2009.01.12	2011.10.04	태양전지	대한민국

8	특허권	이산화실리콘 증착을 위한 박막증착방법	메카로	2009.07.03	2012.07.30	태양전지	대한민국

9	특허권	지르코늄 금속을 함유하는 신규한 유기금속화합물 및 그 제조방법	메카로	2011.03.15	2013.05.06	전구체	대한민국

10	특허권	신규한 4-비이 족 금속 유기화합물 및 그 제조방법	메카로	2012.02.08	2014.05.09	전구체	대한민국

11	특허권	정전척의 제조방법	메카로	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

12	특허권	정전척의 제조방법	메카로	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

13	특허권	화학적 증착법을 이용한 CIS 박막 태양전지의 제조방법	메카로에너지	2013.08.13	2014.12.08	태양전지	대한민국

14	특허권	OLED용 글래스 기판의 엣지부위 열처리장치	메카로	2014.02.20	2016.02.01	신사업	대한민국

15	특허권	기판 처리 설비용 기화기	메카로	2014.05.22	2016.03.14	신사업	대한민국

16	특허권	히터블럭	메카로	2014.11.12	2016.03.14	히터블럭	대한민국

17	특허권	박막 태양전지의 버퍼층 제조방법	메카로에너지	2010.02.25	2016.05.18	태양전지	대한민국

18	특허권	유리기판 테두리 열처리장치	메카로	2016.02.01	2017.05.23	신사업	대한민국

19	특허권	유리기판 절단 모서리의 열처리장치에 적용되는 토오치	메카로	2016.08.12	2018.05.14	신사업	대한민국

20	특허권	칼코파이라이트계 박막 태양전지의 제조 방법	메카로에너지	2017.08.25	2018.06.07	태양전지	대한민국

21	특허권	접착력을 이용한 유리기판 테두리 처리장치 및 모듈	메카로	2016.09.19	2018.08.24	신사업	대한민국

22	특허권	투룸형 기화기	메카로	2017.08.24	2019.02.11	신사업	대한민국

23	특허권	유기금속화합물 및 그 제조방법, 그리고 이를 이용한 박막 및 그 제조방법	메카로	2018.02.02	2019.08.22	전구체	대한민국

24	특허권	유기금속화합물 및 이를 이용한 박막	메카로	2018.02.08	2019.08.22	전구체	대한민국

25	특허권	유기금속화합물 및 이를 이용한 박막	메카로	2019.03.08	2019.08.22	전구체	대한민국

26	특허권	박막용 유기금속화합물 및 그 제조방법, 그리고 이를 이용한 박막 및 그 제조방법	메카로	2019.03.08	2020.01.20	전구체	대한민국

27	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.04.11	2020.03.11	태양전지	대한민국

28	특허권	고온 시즈히터 및 이를 구비한 히터블럭의 제조방법	메카로	2018.02.21	2020.04.10	히터블럭	대한민국

29	특허권	화학기상증착법을 이용한 반사방지막 제조방법	메카로에너지	2018.02.09	2020.05.27	신사업	대한민국

30	특허권	진공밸브	케이브이티에스	2018.09.21	2020.07.29	AGV	대한민국

31	특허권	유기금속화합물 및 이를 이용한 박막	메카로	2019.01.11	2020.10.05	전구체	대한민국

32	특허권	GEM 검출기 및 그 배경 노이즈 제거 방법	메카로	2019.02.19	2020.10.12	신사업	대한민국

33	특허권	와류 흐름을 이용한 질소가스 가열 장치	케이브이티에스	2020.07.10	2020.11.17	HOTN2	대한민국

34	특허권	텅스텐 전구체 화합물 및 이를 이용하여 제조된 텅스텐 함유 박막	메카로	2019.02.13	2021.01.28	전구체	대한민국

35	특허권	유기금속 전구체 화합물 및 이를 이용하여 제조된 유기금속 함유 박막	메카로	2019.08.05	2021.03.17	전구체	대한민국

36	출원중	증착막 형성용 전구체 및 이를 이용하여 제조된 증착막	메카로	2019.09.26	-	전구체	대한민국

37	출원중	초음파 센서를 이용하는 액체 질량 유량계	메카로	2019.12.17	-	신사업	대한민국

38	출원중	페로브스카이트 태양전지의 정공 수송층 제조 방법	메카로에너지	2020.03.06	-	태양전지	대한민국

39	출원중	초음파 무화기	메카로	2020.07.16	-	신사업	대한민국

40	출원중	페로브스카이트 박막 태양전지 제조방법	메카로에너지	2020.08.11	-	태양전지	대한민국

41	출원중	비대칭 열선 구조를 가진 페데스탈 히터 블록	메카로	2020.10.08	-	히터블럭	대한민국

42	출원중	운반가스를 이용한 반도체 공정용 기화기	메카로	2021.01.20	-	신사업	대한민국

43	출원중	기화효율이 향상된 반도체 공정용 기화기	메카로	2021.01.20	-	신사업	대한민국

44	출원중	페로브스카이트 태양전지의 정공 수송층 제조 방법	메카로에너지	2021.03.05	-	태양전지	대한민국

45	출원중	화학기상증착법을 이용한 CIGS 광흡수층 제조방법	메카로에너지	2021.05.11	-	태양전지	대한민국

46	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2020.06.01	-	태양전지	대한민국

(나) 해외현황

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	Group 4B organometallic compound, and method for preparing same	메카로	2012.09.03	2015.01.21	전구체	대만

2	특허권	Group 4B organometallic compound, and method for preparing same	메카로	2013.03.02	2015.02.03	전구체	미국

3	특허권	Group 4B organometallic compound, and method for preparing same	메카로	2012.03.02	2016.07.06	전구체	중국

4	특허권	Group 4B organometallic compound, and method for preparing same	메카로	2012.03.02	2016.06.24	전구체	일본

5	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.21	2019.09.13	태양전지	일본

6	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.27	2020.07.28	태양전지	미국

7	특허권	THE ORGANOMETALLIC COMPOUNDS AND THE THIN FILM USING THEREOF	메카로	2019.01.25	2021.03.21	전구체	대만

8	출원중	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.07.02	2021.06.22	태양전지	중국

9	출원중	유기금속화합물 및 이를 이용한 박막	메카로	2019.01.25	-	전구체	해외

10	출원중	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.05.29	-	태양전지	유럽

11	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2020.06.02	-	태양전지	해외

12	출원중	페로브스카이트 박막 태양전지 제조방법	메카로에너지	2020.12.03	-	태양전지	해외