메카로 분기보고서 (2024.09)
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요계약 등

(가) 브레인시티 일반산업단지 토지매입계약

당사는 2023년 2월 13일 평택 브레인시티 일반산업단지 내의 획지번호 산업9-1 및 산업9-4에 대한 용지매매계약을 체결하였습니다. 토지면적은 약 39,291㎡이며, 매입금액은 약 410억원입니다. 토지매입의 완료시기는 2025년 하반기 이후가 될 것으로 예상됩니다. (나) 람다 마이크로 전환사채 계약당사는 2023년 10월 27일 람다 마이크로 주식회사와 약 49억원 규모의 전환사채 인수계약을 체결하였습니다. 계약에 따라 당사는 람다 마이크로 주식회사로부터 2023년 10월 30일 전환사채권을 수령하였습니다. 당사의 전환사채 취득과 관련한 자세한 내용은 2023년 10월 27일 공시한 「주권관련사채권의취득결정(자율공시)」내용을 참고하시기 바랍니다.(다) Joint Venture 합작투자 계약당사의 100% 자회사인 MECARO CHINA는 2024년 3월 20일 공동투자자들과 중국내에 Joint Venture (이하 'JV') 공동설립에 대한 합작투자계약서를 체결하였습니다. 계약에 따라 MECARO CHINA와 공동투자자들은 2024년 3월 27일 중국 내 화동지역에 Chip Core Technology CO., LTD를 설립하였으며, MECARO CHINA는 최대주주로서 설립된 JV의 지분 44.5%를 취득하였습니다. 나. 연구개발활동 개요 (가) 중앙연구소중앙연구소는 미래성장동력을 위한 신규 제품개발을 주요목적으로 하며 세라믹 부품 및 소재를 개발하는 세라믹팀으로 구성되어 있습니다. 당사가 개발중인 AlN 히터블럭은 500℃ 이상의 공정에서 사용되며, 메탈히터블럭 대비 더 높은 열전도, 고온안정성 등 CVD 히터블럭으로서 좋은 특성을 많이 가지고 있습니다.

(나) H/B개발팀

CVD 장비, ALD 장비에서 히터블럭의 역할은 대단히 중요한데, 특히 CVD 장비에서 사용되는 히터블럭은 400℃ 미만에서는 알루미늄 히터블럭이 사용되며, 500℃ 이상에서는 AlN 히터블럭이 사용되고 있습니다.선 폭을 줄이는 미세공정에 대응하기 위한 알루미늄 히터블럭은 더 높은 온도 균일도, 더 적은 열변형 등의 특성이 요구됩니다. 이러한 고객 요구사항에 대응하기 위해 열해석, 구조해석 등의 시뮬레이션(Simulation)을 진행하여 고객 맞춤형 제품을 기획, 개발, 개선하는 개발/설계 파트와 제작된 제품의 검증, 공정 중 문제가 발생된 제품의 분석을 담당하는 분석파트를 운영하고 있습니다. 당사에서는 상대적으로 제조비용이 저렴하면서 400℃ 이상의 공정온도에서 적용이 가능한 고온용 금속 히터블럭을 개발하여 새로운 시장을 창출하기 위해 선행 연구 개발을 진행하는 선행개발 파트를 운영하고 있습니다. (다) 밸브개발팀밸브사업본부는 CVD ETCH 등 고도의 정밀성과 System이 발전한 고객의 다양한 요구를 만족시키기 위해 APC Pendulum Valve 를 개발하는 밸브개발팀을 따로 운용하고 있습니다. 밸브개발팀은 APC VALVE를 개발중이며 당사의 미래 먹거리로 연구 개발에 힘쓰고 있습니다. 그리고, 장비의 필요 VALVE(1.AGV Controller. 2.Manual V/V)등 을 개발하며 ITEM 다양화를 위해 장비의 부품 RTP, HOT N2의 UPGRADE 를 진행하고 있습니다.(라) 메카로에너지CIGS박막태양전지와 페로브스카이트, 투명태양전지 개발을 담당하고 있으며, 중장기적으로 당사의 미래 먹거리 준비를 위해 현재 제품군과 다른 차별화 된 제품을 연구하고 있습니다. 메카로에너지는 2019년 11월 1일 연구소의 CIGS박막태양전지 사업부문을 단순물적 분할을 통해 메카로에서 분할하였습니다.

다. 연구개발비용 당사의 최근 3년간 연구개발비용은 다음과 같습니다.

(단위 : 천원)

과 목	제25기(2024년 3분기)	제24기(2023년)	제23기(2022년)	비 고

연구개발비용 총계	4,535,007	6,611,561	3,493,203	-

(정부보조금)	(83,246)	(101,434)	(52,401)	-

원재료비	341,849	637,840	316,754	-

인건비	1,323,178	2,396,947	1,510,672	-

감가상각비	1,938,350	2,569,433	1,043,523	-

위탁용역비	33,618	318,418	113,634	-

기타	814,766	587,489	456,219	-

연구개발비용 계	4,451,761	6,510,127	3,440,802	-

회계처리	판매비와 관리비	4,451,761	6,510,127	3,440,802	-

제조경비	-	-	-	-

개발비(무형자산)	-	-	-	-

연구개발비 / 매출액비율[연구개발비용계 ÷ 당기매출액 ×100]	10.5%	16.3%	6.5%	-

주1) 연결기준이며, 한국채택국제회계기준(K-IFRS)에 따라 작성되었습니다.

라. 지적재산권 현황 (가) 국내현황 (메카로)

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	화학기상증착용 페데스탈 히터블럭	메카로	2007.10.12	2009.12.29	히터블럭	대한민국

2	특허권	전극층 형성방법	메카로	2008.12.30	2011.06.03	히터블럭	대한민국

3	특허권	정전척의 제조방법	메카로	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

4	특허권	정전척의 제조방법	메카로	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

5	특허권	기판 처리 설비용 기화기	메카로	2014.05.22	2016.03.14	신사업	대한민국

6	특허권	히터블럭	메카로	2014.11.12	2016.03.14	히터블럭	대한민국

7	특허권	투룸형 기화기	메카로	2017.08.24	2019.02.11	신사업	대한민국

8	특허권	고온 시즈히터 및 이를 구비한 히터블럭의 제조방법	메카로	2018.02.21	2020.04.10	히터블럭	대한민국

9	특허권	진공밸브	메카로	2018.09.21	2020.07.29	AGV	대한민국

10	특허권	GEM 검출기 및 그 배경 노이즈 제거 방법	메카로	2019.02.19	2020.10.12	신사업	대한민국

11	특허권	와류 흐름을 이용한 질소가스 가열 장치	메카로	2020.07.10	2020.11.17	HOTN2	대한민국

12	특허권	초음파 무화기	메카로	2020.07.16	2022.07.18	신사업	대한민국

13	특허권	열분포 균일성을 향상시킨 액체 혹은 기체 개폐장치(3way valve)	메카로	2021.11.19	2022.11.08	밸브	대한민국

14	특허권	비대칭 열선 구조를 가진 페데스탈 히터 블록	메카로	2020.10.08	2022.12.02	히터블럭	대한민국

15	특허권	기화효율이 향상된 반도체 공정용 기화기	메카로	2021.01.20	2023.07.10	신사업	대한민국

16	특허권	버터플라이 밸브의 제어방법 및 장치	메카로	2023.09.05	2024.05.20	밸브	대한민국

17	특허권	압력별 회전 각도 정보를 이용한 버터플라이 밸브의 제어 방법 및 장치	메카로	2024.07.03	2024.08.29	밸브	대한민국

18	특허권	게이트 플레이트 내부 발열체를 포함하는 버터플라이 밸브	메카로	2024.02.07	2024.09.24	밸브	대한민국

19	상표권	제 [01] 류를 포함한 [6]개류	메카로	2015.03.30	2016.04.11	-	대한민국

20	상표권	제 [07] 류를 포함한 [6]개류	메카로	2015.03.30	2016.04.11	-	대한민국

21	상표권	제 [35] 류를 포함한 [6]개류	메카로	2015.03.30	2016.04.11	-	대한민국

(나) 해외현황 (메카로)

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	PEDESTAL HEATER BLOCK HAVING ASYMMETRIC HEATING WIRE STRUCTURE	메카로	2023.04.04	2024.07.17	히터블럭	일본

2	출원중	PEDESTAL HEATER BLOCK HAVING ASYMMETRIC HEATING WIRE STRUCTURE	메카로	2023.04.06	히터블럭	미국

3	출원중	PEDESTAL HEATER BLOCK HAVING ASYMMETRIC HEATING WIRE STRUCTURE	메카로	2023.04.07	히터블럭	중국

(다) 국내현황 (자회사현황)

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	2008.12.30	2011.10.04	태양전지	대한민국

2	특허권	원자층 증착법에 의한 CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	2009.01.12	2011.10.04	태양전지	대한민국

3	특허권	태양광 발전장치	메카로에너지	2009.12.24	2011.12.01	태양전지	대한민국

4	특허권	박막 태양전지의 버퍼층 제조방법	메카로에너지	2010.02.25	2016.05.18	태양전지	대한민국

5	특허권	화학적 증착법을 이용한 CIS 박막 태양전지의 제조방법	메카로에너지	2013.08.13	2014.12.08	태양전지	대한민국

6	특허권	칼코파이라이트계 박막 태양전지의 제조 방법	메카로에너지	2017.08.25	2018.06.07	태양전지	대한민국

7	특허권	화학기상증착법을 이용한 반사방지막 제조방법	메카로에너지	2018.02.09	2020.05.27	태양전지	대한민국

8	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.04.11	2020.03.11	태양전지	대한민국

9	특허권	페로브스카이트 태양전지의 정공 수송층 제조 방법	메카로에너지	2020.03.06	2023.08.07	태양전지	대한민국

10	특허권	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2020.06.01	2022.04.07	태양전지	대한민국

11	특허권	페로브스카이트 박막태양전지 제조방법	메카로에너지	2020.08.11	2022.05.23	태양전지	대한민국

12	특허권	에너지 전환효율이 향상된 페로브스카이트 태양전지	메카로에너지	2021.12.28	2024.04.12	태양전지	대한민국

13	특허권	투광형 탠덤 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.03.04	2024.04.12	태양전지	대한민국

14	특허권	투광형 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.01.20	2024.06.24	태양전지	대한민국

15	특허권	투광형 태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.24	2024.07.02	태양전지	대한민국

16	특허권	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2021.08.23	2024.09.05	태양전지	대한민국

17	특허권	창호형 태양전지 경량화 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.04.24	2024.09.30	태양전지	대한민국

18	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.05.11	태양전지	대한민국

19	출원중	태양광 발전모듈을 이용한 창문일체형 공기정화장치	메카로에너지	2022.03.18	태양전지	대한민국

20	출원중	태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.13	태양전지	대한민국

21	출원중	투광형 양면 태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.09.02	태양전지	대한민국

22	출원중	패턴형 투광 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.12.23	태양전지	대한민국

23	출원중	창호형 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.01.04	태양전지	대한민국

24	출원중	페로브스카이트 박막 태양전지 및 페로브스카이트 박막 태양전지의 무기물 정공수송층 제조 방법	메카로에너지	2023.04.17	태양전지	대한민국

(라) 해외현황 (자회사 현황)

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.21	2019.09.13	태양전지	일본

2	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.27	2020.07.28	태양전지	미국

3	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.07.02	2021.06.22	태양전지	중국

4	특허권	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.11.11	2023.07.24	태양전지	일본

5	특허권	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.29	2024.05.07	태양전지	미국

6	특허권	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.07.04	2024.08.20	태양전지	일본

7	특허권	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.30	2024.06.05	태양전지	유럽

8	출원중	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.05.29	태양전지	유럽

9	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.11.05	태양전지	중국

10	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.11.10	태양전지	유럽

11	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.27	태양전지	중국

12	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	2023.11.07	태양전지	중국

13	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	2023.11.22	태양전지	유럽

14	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	2023.11.02	태양전지	미국

15	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	2023.11.10	태양전지	일본

16	출원중	패턴형 투광 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.12.19	태양전지	유럽

17	출원중	패턴형 투광 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.12.20	태양전지	미국

18	출원중	패턴형 투광 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.12.20	태양전지	중국

19	출원중	패턴형 투광 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.12.22	태양전지	일본

20	출원중	투광형 태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.04.21	태양전지	PCT

21	출원중	태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2023.04.21	태양전지	PCT

22	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2020.06.02	태양전지	PCT

23	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	2022.04.28	태양전지	PCT