메카로 분기보고서 (2022.09)
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요계약 등(가) SPA 계약당사는 8월 17일 버슘버티리얼즈 코리아에게 당사의 소재사업부문을 분할 후 지분의 100%를 매각하는 SPA를 체결하였습니다. 당사는 버슘버티리얼즈 코리아가 진행하는 기업결합신고 승인 후 지분을 매각할 예정이며, 지분매각에 대한 기본거래금액은 99,724,500,000원입니다. 그 외 조건부대가는 다음과 같습니다. - 메카로에너지(자회사) 소재지이전대가 : 13,296,600,000원 - Milestone 1 : 19,944,900,000원 (신규 high-k 전구체 매출액 100억 달성) - Milestone 2 : 13,296,600,000원 (신규 high-k 전구체 누적 매출액 150억 달성)조건부대가의 달성기한은 2023년 말까지이며, 모든 조건 달성시 거래금액은 총 146,262,600,000원입니다.※ 거래대금의 지급금액은 EURO(유로) 110,000,000 이며, 2022년 8월 16일 Europian Central Bank CET 16:00 최종고시 매매기준환율 1,329.66원/EURO 를 적용하였으며, 지급통화는 원화로 거래할 예정입니다.

나. 연구개발활동 개요(가) 개발본부개발본부는 미래성장동력을 위한 신규 제품개발을 주요목적으로 하며 진공가변 캐패시터(VVC)를 비롯한 반도체 장비용 핵심 부품의 하나인 기화기(vaporizer)를 개발하는 솔루션개발팀과 세라믹 히터블럭을 개발하는 세라믹팀으로 구성되어 있습니다.

(나) 부품개발팀

CVD 장비, ALD 장비에서 히터블럭의 역할은 대단히 중요한데, 특히 CVD 장비에서 사용되는 히터블럭은 500℃ 미만에서는 알루미늄 히터블럭이 사용되며, 500℃ 이상에서는 AlN 히터블럭이 사용되고 있습니다.선 폭을 줄이는 미세공정에 대응하기 위한 알루미늄 히터블럭은 더 높은 온도 균일도, 더 적은 열변형 등의 특성이 요구됩니다. 이러한 고객 요구사항에 대응하기 위해 열해석, 구조해석 등의 시뮬레이션(Simulation)을 진행하여 고객 맞춤형 제품을 기획, 개발, 개선하는 개발/설계 파트와 제작된 제품의 검증, 공정 중 문제가 발생된 제품의 분석을 담당하는 분석파트를 운영하고 있습니다.또한 500℃ 이상의 공정에 사용하는 AlN 히터블럭의 경우 높은 열전도, 고온안정성 등 CVD 히터블럭으로서 좋은 특성을 많이 갖고 있지만, AlN 분말 제조비용이 높고 소결 온도가 높아 공정비용이 증가하는 단점이 있습니다. 따라서 당사에서는 상대적으로 제조비용이 저렴하면서 500℃ 이상의 공정온도에서 적용이 가능한 고온용 금속 히터블럭을 개발하여 새로운 시장을 창출하기 위해 선행 연구 개발을 진행하는 선행개발 파트를 운영하고 있습니다.

(다) 밸브사업팀밸브사업팀은 CVD ETCH 등 고도의 정밀성과 System이 발전한 고객의 다양한 요구를 만족시키기 위해 APC Pendulum Valve 를 개발하는 팀을 따로 운용하고 있습니다. APC VALVE를 개발중이며 미래의 부품사업부문의 먹거리로 연구 개발에 힘쓰고 있습니다. 그리고 장비의 필요 VALVE(1.AGV Controller. 2.Manual V/V)등 을 개발하며 ITEM 다양화를 위해 장비의 부품 RTP, HOT N2의 UPGRADE 도 진행하고 있습니다. (라) 메카로에너지CIGS박막태양전지와 페로브스카이트, 투명태양전지 개발을 담당하고 있으며, 중장기적으로 당사의 미래 먹거리 준비를 위해 현재 제품군과 다른 차별화 된 제품을 연구하고 있습니다. 메카로에너지는 2019년 11월 1일 연구소의 CIGS박막태양전지 사업부문을 단순물적 분할을 통해 메카로에서 분할하였습니다. 다. 연구개발비용당사의 최근 3년간 연구개발비용은 다음과 같습니다.

(단위 : 천원)

과 목	제23기 3분기	제22기	제21기	비 고

원재료비	210,094	1,026,029	871,587	-

인건비	1,059,897	2,321,533	2,109,836	-

감가상각비	681,035	1,493,749	1,165,945	-

위탁용역비	85,451	276,650	376,216	-

기타	296,184	804,959	889,455	-

연구개발비용 계	2,332,661	5,922,920	5,413,039	-

회계처리	판매비와 관리비	2,332,661	5,922,920	5,413,039	-

제조경비	-	-	-	-

개발비(무형자산)	-	-	-	-

연구개발비 / 매출액비율[연구개발비용계 ÷ 당기매출액 ×100]	5.8%	7.2%	7.4%	-

주1) 연결기준이며, 한국채택국제회계기준(K-IFRS)에 따라 작성되었음.※ 당사는 2022년 8월 17일 소재부문매각 결정으로 K-IFRS 1105호 '매각예정비유동자산과 중단영업' 기준에 따라 소재부문은 본 보고서에서 제외되었습니다.

라. 지적재산권 현황(가) 국내현황 (메카로)

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	화학기상증착용 페데스탈 히터블럭	메카로	2007.10.12	2009.12.29	히터블럭	대한민국

2	특허권	전극층 형성방법	메카로	2008.12.30	2011.06.03	히터블럭	대한민국

3	특허권	정전척의 제조방법	메카로	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

4	특허권	정전척의 제조방법	메카로	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

5	특허권	기판 처리 설비용 기화기	메카로	2014.05.22	2016.03.14	신사업	대한민국

6	특허권	히터블럭	메카로	2014.11.12	2016.03.14	히터블럭	대한민국

7	특허권	투룸형 기화기	메카로	2017.08.24	2019.02.11	신사업	대한민국

8	특허권	고온 시즈히터 및 이를 구비한 히터블럭의 제조방법	메카로	2018.02.21	2020.04.10	히터블럭	대한민국

9	특허권	진공밸브	메카로	2018.09.21	2020.07.29	AGV	대한민국

10	특허권	GEM 검출기 및 그 배경 노이즈 제거 방법	메카로	2019.02.19	2020.10.12	신사업	대한민국

11	특허권	와류 흐름을 이용한 질소가스 가열 장치	메카로	2020.07.10	2020.11.17	HOTN2	대한민국

12	특허권	초음파 무화기	메카로	2020.07.16	2022.07.18	신사업	대한민국

13	출원중	비대칭 열선 구조를 가진 페데스탈 히터 블록	메카로	2020.10.08	히터블럭	대한민국

14	출원중	운반가스를 이용한 반도체 공정용 기화기	메카로	2021.01.20	신사업	대한민국

15	출원중	기화효율이 향상된 반도체 공정용 기화기	메카로	2021.01.20	신사업	대한민국

16	출원중	열분포 균일성을 향상시킨 액체 혹은 기체 개폐장치(3way valve)	메카로	2021.11.19	밸브	대한민국

17	출원중	진공 가변 커패시터1	메카로	2022.08.11	신사업	대한민국

18	출원중	진공 가변 커패시터2	메카로	2022.08.11	신사업	대한민국

(나) 국내현황 (자회사현황)

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	2008.12.30	2011.10.04	태양전지	대한민국

2	특허권	원자층 증착법에 의한 CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	2009.01.12	2011.10.04	태양전지	대한민국

3	특허권	태양광 발전장치	메카로에너지	2009.12.24	2011.12.01	태양전지	대한민국

4	특허권	박막 태양전지의 버퍼층 제조방법	메카로에너지	2010.02.25	2016.05.18	태양전지	대한민국

5	특허권	화학적 증착법을 이용한 CIS 박막 태양전지의 제조방법	메카로에너지	2013.08.13	2014.12.08	태양전지	대한민국

6	특허권	칼코파이라이트계 박막 태양전지의 제조 방법	메카로에너지	2017.08.25	2018.06.07	태양전지	대한민국

7	특허권	화학기상증착법을 이용한 반사방지막 제조방법	메카로에너지	2018.02.09	2020.05.27	태양전지	대한민국

8	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.04.11	2020.03.11	태양전지	대한민국

9	특허권	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2020.06.01	2022.04.07	태양전지	대한민국

10	특허권	페로브스카이트 박막태양전지 제조방법	메카로에너지	2020.08.11	2022.05.23	태양전지	대한민국

11	출원중	페로브스카이트 태양전지의 정공 수송층 제조 방법	메카로에너지	2020.03.06	태양전지	대한민국

12	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.05.11	태양전지	대한민국

13	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2021.08.23	태양전지	대한민국

14	출원중	에너지 전환효율이 향상된 페로브스카이트 태양전지	메카로에너지	2021.12.28	태양전지	대한민국

15	출원중	투광형 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.01.20	태양전지	대한민국

16	출원중	투광형 탠덤 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.03.04	태양전지	대한민국

17	출원중	태양광 발전모듈을 이용한 창문일체형 공기정화장치	메카로에너지	2022.03.18	태양전지	대한민국

18	출원중	태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.13	태양전지	대한민국

19	출원중	투광형 태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.24	태양전지	대한민국

20	출원중	투광형 양면 태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.09.02	태양전지	대한민국

(다) 해외현황 (메카로 및 자회사 현황)

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.21	2019.09.13	태양전지	일본

2	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.27	2020.07.28	태양전지	미국

3	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.27	2021.06.22	태양전지	중국

4	출원중	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.05.29	태양전지	유럽

5	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2020.06.02	태양전지	해외

6	출원중	페로브스카이트 박막 태양전지 제조방법	메카로에너지	2020.12.03	태양전지	해외

7	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.11.05	태양전지	중국

8	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.11.10	태양전지	유럽

9	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.11.11	태양전지	미국

10	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2021.11.11	태양전지	일본

11	출원중	페로브스카이트 태양전지의 정공 수송층 제조 방법	메카로에너지	2021.03.05	태양전지	해외

12	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	2022.04.28	태양전지	해외

13	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.27	태양전지	중국

14	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.29	태양전지	미국

15	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.06.30	태양전지	유럽

16	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	2022.07.04	태양전지	일본