메카로 사업보고서 (2025.12)
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요계약 등

(가) 브레인시티 일반산업단지 토지매입계약

당사는 2023년 2월 13일 평택 브레인시티 일반산업단지 내의 획지번호 산업9-1 및 산업9-4에 대한 용지매매계약을 체결하였습니다. 토지면적은 약 39,291㎡이며, 총 취득대가는 약 417억원입니다. 토지매입의 완료시기는 2026년 하반기 이후가 될 것으로 예상됩니다.

(나) Chip Core Technology 기술이전계약당사는 2024년 Chip Core Technology와 메탈히터블럭을 중국내에서 제조, 판매할 수 있도록 기술이전 계약을 체결하였습니다.

※ 기타 영업기밀에 해당하는 사항은 기재하지 않았습니다.

나. 연구개발활동 개요(가) 중앙연구소중앙연구소는 미래성장동력을 위한 신규 제품개발을 주요목적으로 하며 세라믹 부품 및 소재를 개발하는 선행기술팀과 공정개발팀으로 구성되어 있습니다. 당사가 개발중인 AlN(세라믹) 히터블럭은 500℃ 이상의 공정에서 사용되며, 메탈히터블럭 대비 더 높은 열전도, 고온안정성 등 CVD 히터블럭으로서 좋은 특성을 많이 가지고 있습니다.

(나) H/B개발팀

당사가 생산하는 히터블럭은 주로 증착장비에 사용됩니다. 특히 CVD 장비에서 사용되는 히터블럭은 400℃ 미만에서는 알루미늄 히터블럭이 사용되며, 500℃ 이상에서는 AlN(세라믹) 히터블럭이 사용되고 있습니다.선 폭을 줄이는 미세공정에 대응하기 위한 알루미늄 히터블럭은 더 높은 온도 균일도, 더 적은 열변형 등의 특성이 요구됩니 다. 이러한 고객 요구사항에 대응하기 위해 H/B개발팀은 열해석, 구조해석 등의 시뮬레이션(Simulation)을 진행하여 고객 맞춤형 제품을 기획, 개발, 개선하고 있으며, 제작된 제품의 검증, 공정 중 문제가 발생된 제품의 분석 및 상대적으로 제조비용이 저렴하면서 400℃ 이상의 공정온도에서 적용이 가능한 고온용 금속 히터블럭을 개발하여 새로운 시장을 창출하기 위해 선행 연구 개발을 진행하고 있습니다.(다) 메카로에너지CIGS박막태양전지와 페로브스카이트, 투명태양전지 개발을 담당하고 있으며, 중장기적으로 당사의 미래 먹거리 준비를 위해 현재 제품군과 다른 차별화 된 제품을 연구하고 있습니다. 메카로에너지는 2019년 11월 1일 연구소의 CIGS박막태양전지 사업부문을 단순물적 분할을 통해 메카로에서 분할하였으며, 메카로가 지분의 100%를 소유하고 있습니다.

다. 연구개발비용 당사의 최근 3년간 연구개발비용은 다음과 같습니다.

(단위 : 천원)

과 목	제26기(2025년)	제25기(2024년)	제24기(2023년)	비 고

연구개발비용 총계	11,826,158	7,199,127	6,225,923	-

(정부보조금)	(84,367)	(111,369)	(101,434)	-

원재료비	466,161	707,328	579,705	-

인건비	2,914,126	1,962,905	2,117,801	-

감가상각비	4,602,543	3,172,295	2,562,172	-

위탁용역비	41,106	20,854	318,418	-

기타	3,717,855	1,224,376	546,393	-

연구개발비용 계	11,741,791	7,087,758	6,124,489	-

회계처리	판매비와 관리비	11,741,791	7,087,758	6,124,489	-

제조경비	-	-	-	-

개발비(무형자산)	-	-	-	-

연구개발비 / 매출액비율[연구개발비용계 ÷ 당기매출액 ×100]	12.5%	11.4%	16.1%	-

주1) 연결기준이며, 한국채택국제회계기준(K-IFRS)에 따라 작성되었습니다.

라. 지적재산권 현황 (가) 국내특허 현황 (메카로)

번호	구분	내용	권리자	출원/등록번호	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	화학기상증착용 페데스탈 히터블럭	메카로	10-0935648	2007.10.12	2009.12.29	히터블럭	대한민국

2	특허권	전극층 형성방법	메카로	10-1040726	2008.12.30	2011.06.03	히터블럭	대한민국

3	특허권	정전척의 제조방법	메카로	10-1397132	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

4	특허권	정전척의 제조방법	메카로	10-1397133	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

5	특허권	히터블럭	메카로	10-1604755	2014.11.12	2016.03.14	히터블럭	대한민국

6	특허권	고온 시즈히터 및 이를 구비한 히터블럭의 제조방법	메카로	10-2102035	2018.02.21	2020.04.10	히터블럭	대한민국

7	특허권	비대칭 열선 구조를 가진 페데스탈 히터 블록	메카로	10-2475295	2020.10.08	2022.12.02	히터블럭	대한민국

8	특허권	기판 처리 설비용 기화기	메카로	10-1604757	2014.05.22	2016.03.14	-	대한민국

9	특허권	투룸형 기화기	메카로	10-1949030	2017.08.24	2019.02.11	-	대한민국

10	특허권	GEM 검출기 및 그 배경 노이즈 제거 방법	메카로	10-2166734	2019.02.19	2020.10.12	-	대한민국

11	특허권	초음파 무화기	메카로	10-2423874	2020.07.16	2022.07.18	-	대한민국

12	특허권	기화효율이 향상된 반도체 공정용 기화기	메카로	10-2555279	2021.01.20	2023.07.10	-	대한민국

13	특허권	진공밸브	메카로	10-2140960	2018.09.21	2020.07.29	-	대한민국

14	특허권	반도체 제조장치용 히터 단자	메카로	10-2809981	2024.02.16	2025.05.15	AlN	대한민국

15	특허권	반도체 제조장치용 히터 로드 및 히터 단자	메카로	10-2809989	2024.02.16	2025.05.15	AlN	대한민국

16	특허권	반도체 히터부품용 AlN 세라믹 소재 및 이의 제조방법	메카로	10-2821969	2024.05.24	2025.06.13	AlN	대한민국

17	특허권	세라믹 히터 및 이의 제조방법	메카로	10-2832370	2024.08.02	2025.07.07	AlN	대한민국

18	특허권	반도체 제조장치용 히터 단자	메카로	10-2832377	2024.04.21	2025.07.07	AlN	대한민국

19	출원중	기판 처리 장치	메카로, 삼성전자	10-2023-0106418	2023.08.14	-	히터블럭	대한민국

20	출원중	기판 지지 장치와 이를 포함하는 반도체 제조 장비	메카로, 삼성전자	10-2024-0038850	2024.03.21	-	히터블럭	대한민국

21	출원중	웨이퍼 증착을 위한 웨이퍼 홀딩 장치	메카로	10-2025-0031883	2025.03.12	-	히터블럭	대한민국

(나) 해외특허 현황 (메카로)

번호	구분	내용	권리자	출원/등록번호	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	PEDESTAL HEATER BLOCK HAVING ASYMMETRIC HEATING WIRE STRUCTURE	메카로	JP 7522506 B2	2023.04.04	2024.07.17	히터블럭	일본

2	특허권	PEDESTAL HEATER BLOCK HAVING ASYMMETRIC HEATING WIRE STRUCTURE	메카로	CN 116324029 B	2023.04.07	2025.05.30	히터블럭	중국

3	특허권	BUTTERFLY VALVE CONTROL METHOD AND DEVICE	메카로	CN 118434991	2024.05.09	2025.03.21	밸브	중국

4	출원중	PEDESTAL HEATER BLOCK HAVING ASYMMETRIC HEATING WIRE STRUCTURE	메카로	US18/248,069	2023.04.06	-	히터블럭	미국

5	출원중	SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS	메카로, 삼성전자	US18/660,546	2024.05.10	-	히터블럭	미국

6	출원중	SUBSTRATE SUPPORT DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS INCLUDING THE SAME	메카로, 삼성전자	US18/990,222	2024.12.20	-	히터블럭	미국

7	출원중	BUTTERFLY VALVE CONTROL METHOD AND DEVICE	메카로	US18/704,992	2024.04.26	-	-	미국

8	출원중	반도체 히터부품용 AlN 세라믹 소재 및 이의 제조방법	메카로	TW114119441	2025.05.23	AlN	대만

9	PCT	버터플라이 밸브의 제어방법 및 장치	메카로	PCT/KR2023/018147	2023.11.13	-	-	-

10	PCT	반도체 히터부품용 AlN 세라믹 소재 및 이의 제조방법	메카로	PCT/KR2025/004943	2025.04.11	-	AlN	-

(다) 상표권 현황 (메카로)

번호	구분	내용	권리자	출원/등록번호	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	상표권	제 [01] 류를 포함한 [6]개류	메카로	45-0064151-00-00	2015.03.30	2016.04.11	-	대한민국

2	상표권	제 [07] 류를 포함한 [6]개류	메카로	45-0064152-00-00	2015.03.30	2016.04.11	-	대한민국

3	상표권	제 [35] 류를 포함한 [6]개류	메카로	45-0064153-00-00	2015.03.30	2016.04.11	-	대한민국

(라) 국내특허 현황 (자회사현황)

번호	구분	내용	권리자	출원/등록번호	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	10-1071545	2008.12.30	2011.10.04	태양전지	대한민국

2	특허권	원자층 증착법에 의한 CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	10-1071544	2009.01.12	2011.10.04	태양전지	대한민국

3	특허권	태양광 발전장치	메카로에너지	10-1091372	2009.12.24	2011.12.01	태양전지	대한민국

4	특허권	화학적 증착법을 이용한 CIS 박막 태양전지의 제조방법	메카로에너지	10-1472409	2013.08.13	2014.12.08	태양전지	대한민국

5	특허권	박막 태양전지의 버퍼층 제조방법	메카로에너지	10-1623923	2010.02.25	2016.05.18	태양전지	대한민국

6	특허권	칼코파이라이트계 박막 태양전지의 제조 방법	메카로에너지	10-1867310	2017.08.25	2018.06.07	태양전지	대한민국

7	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	10-2090184	2018.04.11	2020.03.11	태양전지	대한민국

8	특허권	화학기상증착법을 이용한 반사방지막 제조방법	메카로에너지	10-2117945	2018.02.09	2020.05.27	태양전지	대한민국

9	특허권	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	10-2385551	2020.06.01	2022.04.07	태양전지	대한민국

10	특허권	페로브스카이트 박막태양전지 제조방법	메카로에너지	10-2402711	2020.08.11	2022.05.23	태양전지	대한민국

11	특허권	페로브스카이트 태양전지의 정공 수송층 제조 방법	메카로에너지	10-2566015	2020.03.06	2023.08.07	태양전지	대한민국

12	특허권	에너지 전환효율이 향상된 페로브스카이트 태양전지	메카로에너지	10-2658357	2021.12.28	2024.04.12	태양전지	대한민국

13	특허권	투광형 탠덤 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	10-2658363	2022.03.04	2024.04.12	태양전지	대한민국

14	특허권	투광형 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	10-2678846	2022.01.20	2024.06.24	태양전지	대한민국

15	특허권	투광형 태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	10-2681972	2022.06.24	2024.07.02	태양전지	대한민국

16	특허권	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	10-2705231	2021.08.23	2024.09.05	태양전지	대한민국

17	특허권	창호형 태양전지 경량화 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	10-2714056	2023.04.24	2024.09.30	태양전지	대한민국

18	특허권	투광형 양면 태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	10-2721785	2022.09.02	2024.10.21	태양전지	대한민국

19	특허권	창호형 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	10-2734368	2023.01.04	2024.11.21	태양전지	대한민국

20	특허권	태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	10-2734598	2022.06.13	2024.11.21	태양전지	대한민국

21	특허권	패턴형 투광 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	10-2737376	2022.12.23	2024.11.28	태양전지	대한민국

22	출원중	페로브스카이트 박막 태양전지 및 페로브스카이트 박막 태양전지의 무기물 정공수송층 제조 방법	메카로에너지	10-2023-0050140	2023.04.17	-	태양전지	대한민국

23	출원중	고효율 투광형 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	10-2023-0165638	2023.11.24	-	태양전지	대한민국

(마) 해외특허 현황 (자회사 현황)

번호	구분	내용	권리자	출원/등록번호	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	일본6586238	2018.06.21	2019.09.13	태양전지	일본

2	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	미국10,727,366	2018.06.27	2020.07.28	태양전지	미국

3	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	중국1085413498	2018.07.02	2021.06.22	태양전지	중국

4	특허권	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	일본7318873	2021.11.11	2023.07.24	태양전지	일본

5	특허권	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	미국11,978,817	2022.06.29	2024.05.07	태양전지	미국

6	특허권	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	유럽4141969	2022.06.30	2024.06.05	태양전지	유럽

7	특허권	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	일본7541386	2022.07.04	2024.08.20	태양전지	일본

8	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	US.202218558735	2022.04.28	-	태양전지	미국

9	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	CN.202280032879.0	2022.04.28	-	태양전지	중국

10	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	JP.2023569923	2022.04.28	-	태양전지	일본

11	출원중	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	EP.22807676.6	2022.04.28	-	태양전지	유럽

12	출원중	태양광 발전모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	CN.202210735844.5	2022.06.27	-	태양전지	중국

13	출원중	패턴형 투광 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	EP.23217898.8	2023.12.19	-	태양전지	유럽

14	출원중	패턴형 투광 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	US.202318390100	2023.12.20	-	태양전지	미국

15	출원중	패턴형 투광 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	CN.202311760280.1	2023.12.20	-	태양전지	중국

16	출원중	패턴형 투광 태양전지 모듈 및 그 제조 방법	메카로에너지	JP.2023217267	2023.12.22	-	태양전지	일본

18	출원중	태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	CN.202380046865.9	2023.04.21	-	태양전지	중국

19	출원중	태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	EP.23824072.5	2023.04.21	-	태양전지	유럽

20	PCT	화학기상증착법을 이용한 태양전지용 CIGS 광흡수층의 제조방법	메카로에너지	PCT/KR2022/006130	2022.04.28	-	태양전지	-

21	PCT	태양전지 및 그 제조 방법	메카로에너지	PCT/KR2023/005453	2023.04.21	-	태양전지	-

(바) 상표권 현황 (자회사 현황)

번호	구분	내용	권리자	출원/등록번호	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	상표권	뷰라이트 ( VIEWLIGHT )	메카로에너지	40-2244702	2023.03.13	2024.09.05	태양전지	대한민국

2	상표권	VIEWLIGHT	메카로에너지	40-2244708	2023.03.13	2024.09.05	태양전지	대한민국

3	상표권	VIEWLIGHT	메카로에너지	유럽018968864	2023.12.27	2024.05.29	태양전지	유럽

4	상표권	VIEWLIGHT	메카로에너지	일본6990008	2023.12.27	2025.12.04	태양전지	일본

5	상표권	VIEWLIGHT	메카로에너지	미국98/331,409	2023.12.27	-	태양전지	미국