메카로 분기보고서 (2021.03)
II. 사업의 내용

1. 사업의 개요

가. 산업의 특성 반도체 산업은 광의로는 반도체 소자 제조업, 소자 생산을 위한 반도체 장비 제조업 및 소자 생산용 소재를 공급하는 재료 제조업 등을 포괄하는 산업으로써, 이들 반도체 산업 각 부문은 상호 유기적인 연관하에 발전하는 특성이 있습니다. 소자, 장비, 재료(소재) 산업 각 부문은 첨단 산업으로서의 반도체 산업의 특성을 공유하는 한편 각 부문간 상이한 특징들도 있습니다. 산업 각 부문별 주요 특성은 다음과 같습니다.

구분	특성	주요 내용

반도체 산업
전반	기술집약적
산업	반도체 산업은 기술 자체에 대한 많은 연구개발이 요구되고 있어 매출액 대비 연구개발 투자가 타산업보다 현저히 높은 산업입니다. 또한 양산 단계로의 전환시 대규모 설비 투자가 요구되는 고위험부담 산업이기도 합니다.

기술혁신
속도가 빠른 산업	반도체 산업은 제품의 라이프사이클이 매우 짧기 때문에 산업이 성숙화 되어감에 따라 기술혁신 속도가 더욱 가속화되고 있습니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 산업은 제품의 개발에서 판매까지의 시장 진출단계에 있어서 각 부문 별 타산업보다 더욱 세밀하고 조직적인 경영 전략 및 긴밀한 협업이 요구되는 산업입니다.

고부가가치
산업	반도체 산업은 생산액당 자원 및 에너지 투입비용이 타산업 대비 매우 낮으며 고도의 기술력이 체화된 인적자본에 대한 의존도가 높은 고부가가치 산업입니다.

타산업으로의 파급효과가 큰 산업	반도체 산업은 소자의 고집적화 기술이 급속히 발달되면서 마이크로프로세서의 응용분야가 크게 확대되어 전산산업뿐 아니라 통신기기 등 전 제조업 제품에 사용되고 있으며, 전방 산업의 발전을 이끄는 핵심 부품 산업입니다. 한편으로는 전방 산업의 발전에 의해 반도체 산업의 생산규모가 결정되고 신규 시장이 창출되기도 하는 상호 보완적인 특성을 가지고 있습니다.

반도체 장비 및 소재 산업 전반	다품종 소량 생산방식이 적합한 산업	반도체 장비 및 소재 기업은 주로 소자 기업으로부터 주문생산방식 및 판매시장 수요에 대한 예측생산방식을 병행하고 있으며, 장비 사양 또는 소재 물질의 특성이 같아도 반도체 소자 업체별, 제조 공정별 최적화가 필요합니다. 이와 같이 장비 및 소재는 대규모 양산체제가 아닌 특성상 대형기업보다는 중견 중소기업에 적합한 산업이라고 볼 수 있습니다.

반도체 소재	진입장벽이
높은 산업	반도체 산업은 기술집약적인 산업 특성상 전반적으로 진입장벽이 높은 특성이 있으나, 이중 특히 반도체 소재 및 전구체 산업은 신규업체가 진입하기에는 매우 까다로운 특성이 있습니다. 반도체용 소재는 안정적 공급을 위한 높은 수준의 합성 및 정제 기술뿐 아니라 소자 업체 공정 변경에 대한 신속한 대응력 및 사후 관리 능력이 필요하며, 특히 이중 전구체는 해당 공정에 필요한 다양한 조건이 요구되고 있습니다. 반면 일단 납품이 개시되면, 해당 반도체 소자업체 입장에서도 거래처 변경에 따른 생산 공정 차질 및 불량 발생 등 리스크가 크기 때문에 장기적으로 안정된 매출 흐름을 기대할 수 있는 특성을 지니고 있습니다.

반도체 장비	경기순환에
민감한 산업	반도체 산업은 전반적으로 경기 변동에 따른 경영실적의 변동성이 있는 산업이나, 반도체 장비산업은 경기에 따른 변동성이 반도체 소자산업보다 더 큰 특징이 있습니다. 반도체 설비투자 사이클이 실리콘 사이클의 진폭보다도 오히려 더 크기 때문에 반도체 경기 호조시에는 장비기업의 매출액 증가폭이 소자기업보다 큰 반면 불경기시에는 그 타격이 더 심합니다. 불경기시 소자기업은 출하가격이 하락하고 재고가 늘어나는 손해를 입으나 장비기업은 생산량 자체가 격감하게 되는 특성이 있습니다.

나 . 시장 규모 및 전망 시장 조사기관인 가트너에 따르면, 2020년도 세계 반도체 시장규모는 전년대비 7.3% 증가한 $4,498억을 기록하였으며, 이 중 메모리 시장은 $1,230억으로 전년대비 12.3%의 상승을 기록했습니다. 메모리 반도체는 전체 반도체 시장의 약 27% 비중을 차지하였으며, 그 중, DRAM은메모리 시장에서 53%를 차지하며 $653억을 기록하였고, 낸드플래시가 $528억으로 43%, 기타 메모리가 $49억으로 4%를 차지하였습니다. 이는 2019년도 부터 이어진 COVID-19 사태가 계속되면서 수급차질을 우려한 IT제조업체들이 물량을 비축하며 반도체 가격상승을 이끌었고, 언택트 활동이 계속됨에 따라 데이터센터 구 축 이 주요영향으로 볼 수 있습니다. 2021년도 글로벌 반도체 시장은 주 요 리서치조사기업(OMDIA, WSTS, Gartner)에 따르면, 전년 대비 평균 8.7% 증가하고, 메모리 시장은 15.5% 늘어날 것으로 전망했습니다. 비대면 경제확산과 5G 시장의 확대, 소비심리까지 활성화 될 것으로 시장에서는 판단 하고 있으며 2023년까지 매년 6.4% 성장을 전망 하고 있습니다.

다. 경쟁현황 가) 전구체 경쟁상황

(1) 경쟁형태 당사의 주요 제품인 반도체 공정재료 공급업체는 반도체라는 제한적인 형태의 시장을 공유하고 있어 진입이 매우 치열한 상황이지만 진입 후에는 안정적인 시장을 유지할 수 있습니다. 경쟁에서 가장 중요한 것은 제품기술과 품질관리에 있습니다. 반도체 공정재료는 한 제품에서 불량이 발생할 경우 이로 인해 많은 수의 반도체에 불량이 발생할 수 있기 때문입니다. 그리고 반도체 원자재 시장은 실적이 매우 중요하고, 고객사와의 신뢰가 매우 중요하게 반영되는 사업으로 거래 실적이 없는 회사의 경우 해당 제품평가가 매우 어려울 뿐만 아니라, 기술력이 있다 하더라도 고객의 신뢰가 없으면 진입 자체가 어려운 사업입니다. 이처럼 높은 진입장벽을 갖고 있어 신규 업체들의 진출이 매우 어려운 사업으로 현재 국내 경쟁사는 SK트리켐㈜, ㈜유피케미칼, ㈜디엔에프, ㈜한솔케미칼, 솔브레인㈜ 등 국내 반도체 원자재 국산화 초창기 진입한 기업 또는 대기업이 주를 이루고 있습니다. 공급회사 수를 보면 매우 경쟁이 적은 것으로 보일 수 있으나 국내 반도체 시장 특성상 크게 삼성전자와 SK하이닉스 두 반도체 회사가 국내시장 전체를 차지하는 등 고객사가 매우 제한적이어서 공급사들은 품목별로 치열한 경쟁을 하고 있습니다. 이러한 시장 상황에서 당사는 후발주자이지만 경쟁을 이겨내고 뛰어난 생산 및 품질보증 능력을 인정받아 전구체를 포함한 반도체 공정재료 시장 진입에 성공하였습니다.

(2) 진입장벽 반도체 공정재료 시장에 진입하기 위해 고객사가 원하는 스펙을 확인하고 공정에 실제 적용 하여 테스트를 완료한 후 판매를 할 수 있습니다. 해당 테스트는 샘플평가 단계부터 양산 수율검증까지 여러단계를 거쳐야 하며 최소 1년에서 최대3년의 시간이 소요됩니다. 이러한 이유로 신규업체의 경우 제안을 통해 테스트가 진행되고 납품이 되기까지의 과정이 매우 어렵습니다. 또한 반도체 자체가 기술 집약적 산업으로 사용되는 원재료 또한 매우 높은 기술적 장벽이 존재합니다. 당사가 생산하고 있는 모든 제품들은 공기와의 접촉을 완전히 차단해야 하며, 매우 높은 진공과 높은 온도로 생산이 되어야 하기 때문에 원재료와 관련된 기반 기술 외에도 제조 장비 운영 노하우와 기술력이 반드시 필요하게 됩니다. 후발주자의 경우 더욱 진입하기 어려운데 이는 반도체 소자업체들이 해당 제품에 대해 다른 반도체 FAB에서 사용된 이력이 있는지 여부를 매우 중요하게 판단하기 때문입니다. 후발주자의 경우 Reference에 대한 확보 어려움, 시설투자 및 케미칼 용기 등에 대한 많은 투자가 이루어져야 하는 점 등 경쟁력 확보를 어렵게 하는 많은 진입장벽 요인이 작용하고 있습니다.

나) 히터블럭 경쟁현황

(1) 경쟁형태반도체 공정용 히터블럭의 공급 업체는 반도체라는 제한적인 형태의 시장을 공유하고 있어 진입이 매우 치열한 상황이나 진입 후에는 안정적인 시장을 유지할 수 있습니다. 경쟁에서 가장 중요한 것은 제품기술과 품질 관리에 있습니다. 그리고 반도체 시장은 거래실적이 매우 중요하고 고객사와의 신뢰가 매우 중요하게 반영되는 사업으로 거래 실적이 없는 회사의 경우 해당 제품 평가가 매우 어려울 뿐만 아니라 기술력이 있다 하더라도 고객의 신뢰가 없으면 진입 자체가 어려운 사업입니다. 이처럼 높은 진입장벽을 갖고 있어 신규 업체들의 진출이 매우 어려운 사업으로 현재 국내 경쟁사는 보부하이테크 및 티티에스, 동원파츠 등이 있습니다. 당사가 제조하여 공급하고 있는 메탈 히터블럭의 경우는 국내점유율 측면에서는 1위를 유지 하고 있으며, 글로벌 경쟁력을 갖고 히터블럭 분야에서 최고의 자리를 구축하고 있습니다.

(2) 진입장벽

반도체 시장에 진입하기 위해 스펙을 확인하고 공정에 실제 적용하여 테스트를 완료한 후 판매를 할 수 있습니다. 약 1년에서 최대 3년의 시간이 소요 되고, 그 과정이 매우 길며 신규업체 변경에 따른 고객사 제품 품질 risk가 커져 신규 업체의 경우 제안을 통해 TEST가 진행 되고 납품이 되기까지의 과정이 매우 어렵습니다. 후발주자의 경우 Reference에 대한 확보가 어렵고, Reference 확보 후 양산 적용 시에도 400도 이상의 고온에 사용되는 만큼 품질을 1년에서 1년 6개월가량 지속 유지하여야 하는 등 기술적으로 상당한 Quality를 유지해야 합니다. 또한 많은 투자가 이루어져야 하는 점 등 경쟁력 확보를 어렵게 하는 진입장벽 요인이 작용하고 있습니다. 다) 비교우위 사항

(1) 기술력(가) 전구체

당사는 설계기술 분야에서 경쟁사 대비 특장점을 가지고 있습니다. 설계기술에서는 화학물질에 대한 기술은 기본적으로 보유해야 하며, 전구체를 이용하여 증착하는 박막의 물성에 적합하도록 공정 메커니즘을 화학적으로 시뮬레이션 하여 실제 공정 장비에 적용이 원활하도록 설계하는 것이 중요합니다.

당사에서는 설계단계에서부터 화학물질 전문가, ALD 공정/장비 개발 엔지니어, 박막증착 연구원들이 함께 논의하여 ALD 공정이 되는 구조의 설계, 반응성이 우수하고 반응후 잔류 불순물이 적게 형성되는 화학구조 설계 등에 대한 사전 논의와 시뮬레이션을 진행하고 있기 때문에 대상 공정에 가장 적합성이 뛰어난 제품의 개발이 가능한 장점을 보유하고 있습니다.

(나) 히터블럭

당사는 국내 업체에서는 가장 먼저 히터블럭을 개발하고 양산화하였으며 약 20여년간 축적된 각 요소기술과 고객과의 문제해결 과정을 통해 터득된 경험치는 이후 신제품 개발이나 고객과의 신뢰유지를 위해 매우 중요한 요소이며 이러한 신뢰를 바탕으로 국내 점유율에 있어서 부동의 1위 자리를 유지하고 있습니다. 현재 국내에서 당사만 진행하고 있는 AlF막(불화알루미늄) 표면코팅 기술로 제작된 히터블럭은 알루미늄의 연한 표면을 AlF 박막의 세라믹으로 코팅을 해 줌으로써 알루미늄의 표면 부식을 억제하고 표면의 돌출물 등이 제어됨으로서 이물의 생성이 저감되고 AlF 막의 높은 열 방사도로 인한 표면 온도 균일도가 우수하여, 온도 조건이 민감한 공정이나 특정 디바이스에서는 당사 제품만이 적용되고 있으며 선폭이 미세화 됨에 따라 경쟁사 제품이 당사의 제품으로 교체되고 있는 추세입니다. 당사에서는 히터블럭의 설계단계부터 연분포 및 열응력 해석을 위한 시뮬레이션을 진행하고 있으며 시뮬레이션 결과와 그 동안 축적된 경험과 기술을 조합하여 제품을 개발하고 있기 때문에 적합성이 우수한 제품을 단기간에 개발할 수 있고 실패율도 낮은 장점을 가지고 있습니다. 이러한 장점의 바탕은 사업을 영위하면서 축적된 기술들의 데이터베이스이며, 이 또한 경쟁사 대비 뛰어난 장점이라 할 수 있습니다.

(2) 영업 네트워크

반도체 산업의 특성상 소수의 주요 고객과의 관계 및 신뢰는 사업 성장에 매우 중요한 요소가 됩니다. 당사의 히터블럭과 전구체는 반도체 제조 공정이 진행되는 챔버 내에서 사용되는 핵심 제품으로서 장기간에 걸쳐 기술력에 대한 신뢰도를 유지하고 있습니다. 당사는 공정기술을 기반으로 하여 소자업체에서 발생한 문제현상 등에 대해서도 문제요인의 도출과 해결방안을 제시하는 등의 분석지원을 꾸준히 진행해 왔으며 이는 고객사인 소자업체와의 신뢰를 바탕으로 한 탄탄한 네트워크를 다질 수 있었던 요인이기도 합니다.

(3) 사업 시너지

전구체와 히터블럭은 공정이 진행되는 챔버내에서 사용함으로써 공정의 결과에 지대한 영향을 미치게 되는데, 개별 제품의 영향성뿐만이 아닌 두 제품의 교호작용으로 인한 영향성도 존재하게 됩니다. 따라서 한 가지 제품만을 공급하게 되면 챔버에서 이상이 발생시 정확한 원인을 파악하기 어렵게 됩니다. 당사는 전구체와 히터블럭 두 부문 모두에 대한 사업을 영위하고 있으며 관련 기술을 보유하고 있기 때문에 제품기술 노하우와 운영기술을 토대로 신속한 원인규명과 문제해결이 가능합니다. 또한 제품의 성능 향상에 요청에 대하여 단기간에 정확히 대응할 수 있는 장점을 보유하고 있습니다. 현재 히터블럭과 전구체를 동시에 사업화하고 있는 업체는 당사가 유일하며, 이러한 장점은 향후에도 양 사업이 지속적으로 상호 성장하는 발판이 될 것입니다.

라. 규제 환경

반도체 소재의 합성과 공정 기술은 화학 기술에 대한 의존도가 높습니다. 화학 기술을 기반으로 하는 소재 제품 생산은 최근 '화학물질관리법'과 '화학물질등록 및 평가' 등에 관한 법률에 의해 관할 지자체에 생산설비 및 공장 등에 대한 등록이 필요하며, 판매 허가를 취득해야 합니다. 또한 제품 생산 시 발생되는 부수물질 및 폐기물은 자체 처리시설을 갖추거나 위탁하여 처리 하여야 합니다. 제품의 해상운송을 위해서는 한국선급 또는 해상 위험물관리원, 항공운송을 위해서는 생활시험연구원에서 발행하는 UN 인증을 반드시 취득해야 합니다. 이와 같이 반도체 소재 산업은 제품의 생산 및 납품을 위해 필수적으로 받아야하는 인증과 규제가 많은 엄격한 시장으로 볼 수 있습니다.

마. 회사의 현황(1) 영업개황 및 사업부문의 구분

(가) 영업개황주식회사 메카로(이하 '당사')는 2000년 10월 6일 설립 된 반도체 부품 및 소재 전문 기업입니다. 보고서 제출기준일 현재 본사는 경기도 평택시에 위치하고 있으며, 경기도 평택, 충북 음성과 전남 목포에 사업장을 두고 있습니다. 당사는 반도체 제조공정의 원재료인 전구체와 챔버내의 웨이퍼에 열에너지를 균일하게 공급하는 역할을 하는 히터블럭을 주력으로 생산하고 있으며, high-k 전구체 주력 제품인 CpZb(ZM40)를 SK하이닉스에 공급하고 있습니다. 또한 당사의 ALD와 CVD 공정장비에 사용되는 히터블럭류 제품인 pedestal, vector 등을 삼성전자와 SK하이닉스, 해외 반도체 업체에 공급하고 있습니다. 히터블럭은 반도체 장비에서 진행되는 공정의 결과에 크게 영향을 미치는 부품이었기 때문에 그 당시 높은 단가에도 불구하고 국산화가 섣불리 진행되지 못하는 상황이었으나, 당사가 보유하고 있던 증착장비기술, 금속처리 기술과 소자업체의 기술지원을 기반으로 기존 제품의 국산화를 우선 진행하였으며 소재, 히터, 가공, 조립, 표면처리 분야에서 많은 시행착오를 통해 국내 기업으로 최초로 히터블럭의 양산화에 성공하였습니다.

(나) 공시대상 사업부문의 구분

사업부문	사업의 내용	주요제품	비고

반도체 부품	반도체 장비용 부품	히터블럭류	-

반도체 소재	반도체 증착 화학 물질	전구체류	-

(2) 시장점유율

(가) 전구체 전구체 시장의 전체적인 점유율은 산정하기 어려우나, 당사가 납품중인 SK하이닉스 high-k 전구체를 기준으로 2020년 점유율을 보면 CpZb(ZM40)은 당사가 30%정도로 추정됩니다. (나) 히터블럭 히터블럭은 메탈히터블럭과 고온용특수히터블럭 시장으로 구분되며 당사가 영위하는 시장은 메탈히터블럭으로 당사의 메탈히터블럭 시장점유율은 현재 국내 기준으로90% 차지하며 점유율 1위를 유지하고 있습니다.(삼성전자+SK하이닉스 판매수량 기준) 글로벌 점유율은 정확한 집계가 어려운 상황입니다.

(3) 시장의 특성

반도체용 전구체 및 히터블럭 시장의 특성은 가. 업계의 현황에 기술되어 있습니다.

(4) 신규사업 등의 내용 및 전망

당사는 신규사업을 준비하기 위해 아래와 같은 기술을 개발하고 있습니다. (가) 질화알루미늄(AlN)등의 세라믹 소재를 이용한 세라믹 히터블럭 및 반도체, LCD, LED분야에 사용되는 부품 (나) GEM foil 제조 및 GEM foil을 활용한 방사선 검출기 (다) 반도체, LCD 및 태양전지 공정용 기화기 (라) CVD방식의 CIGS 태양전지 - 당사가 신규사업으로 기술 개발을 하고 있었지만, 2019년 11월 1일 기준 CIG S 태양전지 사업부문은 단순물적분할 방식으로 분할되어 분할신설회사인 주 식회사 메카로에너지에서 계속하여 사업이 진행되고 있습니다.

2. 주요 제품, 서비스 등 가. 주요 제품 등의 현황 회사는 반도체 장비 부품, 화학 소스 제품 및 기타제품 등을 생산, 판매하고 있으며, 제품별 매출액과 총매출액에서 차지하는 비율은 다음과 같습니다.

(단위 : 천원, %)

매출유형	제품명	2021년도(제22기 1분기)	2020년도(제21기)	2019년도(제20기)

매출액	비율	매출액	비율	매출액	비율

자사제품	히터블럭	10,199,874	57.48	34,496,369	47.42	23,275,338	32.11

전구체	6,447,341	36.33	34,715,699	47.72	47,469,420	65.48

기 타	494,300	2.79	2,015,955	2.77	764,068	1.05

소 계	17,141,516	96.60	71,228,023	97.92	71,508,827	98.64

상 품	603,178	3.40	1,513,582	2.08	986,556	1.36

매출총계	17,744,694	100.00	72,741,605	100.00	72,495,382	100.00

※ 상기 내용은 한국채택국제회계기준(K-IFRS)으로 작성되었습니다. 나. 주요 제품 등의 가격변동추이

(단위 : 천원)

구 분	2021년도(제22기 1분기)	2020년도(제21기)	2019년도(제20기)

히터블럭	내수	3,556	3,650	4,159

수출	4,806	4,988	3,825

전구체	내수	9,439	13,251	12,729

수출	12,258	22,797	40,208

※ 가격 산정은 해당제품군의 매출액/판매수량(EA)으로 계산하여 산출하였습니다.※ 상기 내용은 한국채택국제회계기준(K-IFRS)으로 작성되었습니다. 3. 주요 원재료에 관한 사항 가. 매입현황 - 전구체 : 국내업체로부터 원재료를 조달 받아 전구체 제품을 생산하고 있으며, 주요 원재료는 Zr, Ti 등이 있습니다. 가격변동 원인은 연간 단가를 협력업체와 연초에 협의하고 결제 기준통화를 달러 베이스로 적용하고 있어 일부 환율 변동에 영향을 받고 있습니다.- 히터블럭 : 국내업체로부터 원재료를 조달 받아 히터블럭 제품을 생산하고 있으며,주요 원재료는 알루미늄, 인코넬 등이 있습니다. 주요 원재료의 가격변동 원인은 LME시세와 환율 변동 등이 있습니다. 자세한 원재료 매입현황은 아래와 같습니다.

(단위 : 천원, %)

매입유형	품목	구분	2021년도(제22기 1분기)	2020년도(제21기)	2019년도(제20기)	비고

금액	비율	금액	비율	금액	비율

원재료	케미칼소스	국내	3,478,620	48.37	11,431,489	44.59	10,670,690	56.78	-

수입	-	0.00	-	-	-	-	-

알루미늄	국내	782,049	10.87	3,237,101	12.63	1,902,660	10.12	-

수입	-	0.00	-	-	-	-	-

기타	국내	832,575	11.58	2,577,987	10.06	1,639,852	8.73	-

수입	6,900	0.10	274,678	1.07	163,450	0.87	-

외주가공비	국내	2,091,186	29.08	8,112,957	31.65	4,416,890	23.50	-

총 합 계	국내	7,184,430	99.90	25,359,534	98.93	18,630,092	99.13	-

수입	6,900	0.10	274,678	1.07	163,450	0.87	-

합계	7,191,330	100.00	25,634,212	100.00	18,793,542	100.00	-

※ 상기 내용은 한국채택국제회계기준(K-IFRS)으로 작성되었습니다. 나. 주요 원재료 가격변동 추이

(단위 : 원)

품 목	구 분	2021년도(제22기 1분기)	2020년도(제21기)	2019년도(제20기)	비고

케미칼 소스	국 내	697,399	952,005	1,132,376	-

수 입	-	-	-	-

알루미늄	국 내	8,463	8,612	8,523	-

수 입	-	-	-	-

※ 가격산출 기준은 kg당 매입하는 가격입니다. 4. 생산 및 설비에 관한 사항 가. 생산능력 및 생산능력의 산출 근거

(1) 전구체(주력 생산품인 ZM40 기준) 연간 생산능력 산출 근거 - [Flask당 생산량 (kg/flask) * batch당 flask수 (flask/batch) * 월 진행 batch수 (batch/월) * 수율 * 12(월/년)] + [System batch당 생산량 (kg/batch) * 장비대수 * 수율 * 월 진행 batch수 (batch/월) * 12(월/년)]- Flask당 생산량 (2014년, 2015년: 5 kg/flask, 2016년~2021년: 6 kg/flask)- Batch당 flask수 (2014년, 2015년: 8 flask/batch, 2016년~2019년: 54 flask/batch, 2020년~2021년: 30 flask/batch)- 월 진행 flask batch수 (2014년, 2015년: 3 batch/월, 2016년, 2017년: 3 batch/월, 2018년~2021년: 3.5 batch/월)- System Batch당 생산량: 22kg/batch - System Batch당 공정시간: 30Hr/batch- System 월진행 batch수 : 21batch/월- 보유 장비수 (2017년~2021년: 1대)(2) 히터블럭(주력 생산품인 PEDESTAL 12" 기준) 연간 생산능력 산출 근거- 생산인원 * (조업시간 + 평균 O.T) * 조업일수 * 12월 = 생산보유시간- 생산 LEAD TIME / 생산보유시간 = 단일품목생산능력- 단일품목생산능력 * 작업비율 = 생산능력- (생산실적 / 생산능력) * 100 = 가동률 나. 생산실적 및 가동율

(단위 : 전구체 kg, 히터블럭 EA)

제품품목명	구분	2021년도(제22기 1분기)	2020년도(제21기)	2019년도(제20기)	비고

수량	가동률	수량	가동률	수량	가동률

전구체	생산능력	27,750	62.86%	111,000	46.22%	97,084	54.90%	-

생산실적	17,445	51,300	53,299	-

히터블럭	생산능력	1,375	99.12%	5,203	98.56%	3,818	91.67%	-

생산실적	1,363	5,128	3,500	-

※ 전구체, TiCl4 생산증가에 따라 가동률이 증가되었습니다. 다. 생산설비의 현황 (1) 사업장 현황본 보 고 서 기준일 현재, 메카로는 평택에 위치한 본사를 포함하여 국내에 총 4개 사업장(평택사업장, 평택1공장, 음성사업장, 목포사업장)과 1개의 연구소(대전)가 있습니다. 또한, 종속회사 4개의 사업장이 국ㆍ내외 있으며 그 위치는 아래와 같습니다.

지역	사업장	소재지

국내	평택사업장	경기도 평택시 산단로 121번길 89

평택1공장	경기도 평택시 산단로 103-14

음성(원남)사업장	충북 음성군 원남면 원남산단로 261

목포사업장	전남 목포시 고하대로 719-22

대전연구소	대전 유성구 엑스포로339번길 10-5

케이에프알엔디 본사	경기도 용인시 경안천로 364

메카로에너지	충북 음성군 원남면 원남산단로 261

케이브이티에스	경기도 군포시 공단로 140번길 46, 1104호 외

해외	MS Tech	중국 허페이

※ 케이에프알엔디는 2021년 4월 25일 경기도 용인시 처인구 포곡읍 석성로 1081로 이전 하였습니다.※ 음성(성본)사업장은 보고서 현재, 토지매입이 완료되었으며, 건축을 위한 설계를 진행중입니다. (2) 생산설비 현황 당사의 주요 생산설비는 토지, 건물, 기계장치, 시설장치 등이 있으며, '21년 1분기 말 장부가치는 887억원입 니 다. 아래 현황은 건설중인자산 22억원을 제외한 금액입니다 .

(단위 : 백만원)

구 분	2021년 1분기말	비고

기초장부가액	당기증감	당기상각	당분기말 장부가액

증가	감소

토지	14,211	9,837	-	-	24,048

평택	10,044	-	-	-	10,044

음성(원남)	3,721	-	-	-	3,721

음성(성본)	-	9,837	-	-	9,837

대전	346	-	-	-	346

케이브이티에스	100	-	-	-	100

건물	36,188	1,059	-	521	36,726

평택	18,958	-	-	257	18,701

음성(원남)	14,637	-	-	226	14,411

대전	2,243	1,059	-	33	3,269

케이브이티에스	350	-	-	5	345

구축물	419	-	-	6	413

평택	87	-	-	1	86

음성(원남)	329	-	-	5	324

목포	3	-	-	-	3

기계장치	6,314	154	-	473	5,995

평택	3,901	26	-	279	3,647

음성(원남)	1,157	39	-	71	1,125

목포	14	-	-	1	13

메카로에너지	1,242	-	-	119	1,123

케이브이티에스	-	90	-	3	87

차량운반구	43	-	-	3	39

평택	22	-	-	1	21

음성(원남)	8	-	-	1	7

목포	12	-	-	1	11

케이브이티에스	1	-	-	-	-

공구와기구	3,575	181	-	301	3,455

평택	587	88	-	52	624

음성(원남)	2,474	21	-	206	2,289

목포	57	10	-	4	63

대전	-	11	-	-	10

메카로에너지	457	51	-	39	469

비품	2,394	64	1	172	2,285

평택	712	36	1	55	692

음성(원남)	1,600	15	-	107	1,508

목포	7	-	-	1	6

대전	-	12	-	-	12

메카로에너지	60	-	-	7	53

MS테크	3	-	-	1	2

케이브이티에스	12	-	-	1	11

시설장치	14,858	1,616	-	723	15,751

평택	1,641	34	-	113	1,562

음성(원남)	12,917	59	-	563	12,414

목포	4	-	-	-	4

대전	-	1,367	-	17	1,350

메카로에너지	264	5	-	23	246

케이브이티에스	31	151	-	6	175

소계	78,002	12,911	1	2,199	88,712

※ 연결기준입니다. ※ 주요 유형자산에 대한 객관적인 시가판단이 어려워 기재를 생략합니다.(3) 설비의 신설 매입계획 등 (가) 계획성본산업단지 토지 매입 계약을 2020년 11월 체결하 고, 2021년 2월 5일 잔금 지급이 완료 되었습니다. 현재 건축 설계 중에 있으며, 설계가 완료 되는 대로, 업체를 선정하여 건축을 진행할 예정입니다. 완공 후 성본산업단지는 세라믹 사업의 확대를 위해 연구개발과 제품 생산을 담당할 예정입니다.(나) 완료된 계획 음성공장 증축을 143억원으로 계약 체결하고, 평택공장 또한 이전을 위해 150억원의 계약을 체결하고 신축을 진행하였습니다. 두 투자 모두 2019년 준공이 완료 되었으며, 2020년 잔금 지급도 완료 되었습니다. 완공 후 기대되는 부분은 음성공장의 경우, 일부 라인을 연구라인으로 변경하여 효율적인 연구활동이 가능해지며, 제품군의 다양화 및 물량 증가에 대해 즉시 대응할 수 있습니다. 평택공장은 시설확충 공간이 마련됨에 따라 시스템부품사업의 capa-up과 라인 자동화가 가능해져 늘어나는 고객의 물량 증가에 원활한 대응과 원가절감이 가능해져 경쟁력 향상으로 이어질 것으로 기대됩니다.

5. 매출 현황가. 매출실적(단위 : 천원)

매출유형	품목	2021년제22기 1분기	2020년제21기	2019년제20기

제품	히터블럭	내수	7,369,893	25,703,454	16,551,492

수출	2,829,981	8,792,915	6,723,846

소계	10,199,874	34,496,369	23,275,338

전구체	내수	52,139	484,699	174,773

수출	6,395,202	34,231,000	47,294,647

소계	6,447,341	34,715,699	47,469,420

기타	내수	494,300	1,980,772	762,055

수출	-	35,184	2,013

소계	494,300	2,015,956	764,068

상품	기타	내수	523,891	1,267,389	695,145

수출	79,287	246,192	291,411

소계	603,178	1,513,581	986,556

합 계	내수	8,440,223	29,436,314	18,183,465

수출	9,304,470	43,305,291	54,311,918

소계	17,744,693	72,741,605	72,495,382

나. 판매조직 당사의 판매조직은 보고서기준일 현재 총 25명이며 , 각 사업부별 영업조직이 있습니다. 그리고 각 사업부는 고객영업 및 지원하는 파트와 신규 제품 및 신규 고객 런칭, 마켓분석과 영업 전략 수립 등을 담당하는 파트로 구성됩니다. 또한 각 사업부의 영업팀은 당사의 연구소 및 개발팀과 협력하여 신규 과제 개발을 지원하고 있습니다.

다. 판매경로

당사가 주력하는 반도체 재료는 반도체 칩 메이커인 삼성전자, SK하이닉스 등의 업체가 직접 사용하는 품목이므로 국내의 경우에는 100% 당사가 직접 공급하는 형식을 유지하고 있습니다. 해외의 경우, 해당국의 영업력 및 신뢰성이 확인 된 해외판매법인 및 자회사를 통해서 판매를 진행하고 있습니다.

라. 판매전략 (1) 국내 판매전략

당사는 신기술 개발에 맞추어 변화하는 시장에 핵심역량과 사업전략을 혁신하는데 집중하고 있습니다. 고객의 입장에서 주요 제품별 부서를 재구성하고, 부분별 연구인력 및 연구개발비 투자를 높여 생산 플랜트 다변화/대형화로 다양한 소재의 재료를 단기간에 대량 생산할 수 있는 능력을 갖추며 고객을 만족시키는 기술력과 경험을 축적하여 고객에게 차별화된 가치를 제공하고자 합니다. 수요업체에 근접하게 위치함으로써 신속한 납품업무와 상황에 따른 이슈발생시 대처를 위한 서비스를 제공하며, 반도체 설비 업체와의 협력관계를 적극 강화하여 제품 개발, 공급사슬, 구매, 생산, 고객관리, 재무, 인사, 정보기술 등을 고객중심으로 연구개발함으로써 고객의 요구에 언제든 유연하게 대처할 수 있는 체제를 갖추려 노력하고 있습니다. 이를 바탕으로 대량생산과 품질관리, 메모리 생산 공정에서 최적화된 소재를 제공할 수 있는 기술력을 확보하여 초기 시장진입이 가능한 공동개발 형식의 연구개발을 집중적으로 수행하고자 합니다.

(2) 해외 판매전략

미국 및 일본, 대만 반도체 메이커에 해당 제품의 시장진입을 추진하고 있습니다. 해당 국가의 업체와 영업 대리점 계약을 체결하고 대리점과 협력하여 해당 국가의 반도체 시장에 히터블럭과 전구체 품목으로 진입하려는 전략입니다.

6. 수주상황 당사의 제품은 반도체 생산업체의 생산계획에 의한 주문 생산방식이며, 제품개발 수주를 제외하고는 통상 2주에서 4주이전에 생산제품 주문을 접수하는 단기 발주형식으로 이루어 지고 있어 수주현황은 작성하지 아니하고 있습니다. 7. 보호예수 중인 주식수 및 보호예수기간 본 보고서 제출일 기준 보호예수된 주식은 없습니다.

8. 시장위험과 위험관리

(1) 재무위험관리요소연결회사는 여러 활동으로 인하여 시장위험(환위험, 이자율위험), 신용위험 및 유동성위험과 같은 다양한 재무위험에 노출되어 있습니다. 연결회사의 전반적인 위험관리정책은 금융시장의 변동성에 초점을 맞추고 있으며 재무성과에 미치는 부정적 영향을 최소화하는데 중점을 두고 있습니다.1) 시장위험① 외환 위험연결회사는 기능통화인 원화 외의 통화로 표시되는 판매, 구매에 대해 환위험에 노출되어 있습니다. 이러한 거래들이 표시되는 주된 통화는 USD, JPY 입니다.당분기말 현재 다른 모든 변수가 일정하고 각 외화에 대한 원화의 환율 10% 변동 시 연결회사의 세전순이익에 미치는 영향은 다음과 같습니다.(단위: 천원)

구 분	10% 상승시	10% 하락시

USD	1,065,804	(1,065,804)

JPY	32,186	(32,186)

합 계	1,097,990	(1,097,990)

② 이자율 위험이자율 위험은 미래의 시장 이자율 변동에 따라 예금 또는 차입금 등에서 발생하는 이자수익 및 이자비용이 변동될 위험을 뜻하며, 이는 주로 변동금리부 조건의 예금과차입금에서 발생하고 있습니다. 연결회사의 이자율 위험관리의 목표는 이자율 변동으로 인한 불확실성과 순이자비용의 최소화를 추구함으로써 기업의 가치를 극대화하는데 있습니다.2) 신용 위험신용 위험은 보유하고 있는 매출채권 및 수취채권을 포함한 거래처에 대한 신용위험뿐 아니라 현금성자산, 금융기관 예치금 등으로부터 발생하고 있습니다. 거래처의 경우 독립적으로 신용 평가를 받는다면 평가된 신용 등급이 사용되며, 독립적인 신용 등급이 없는 경우에는 고객의 재무 상태, 과거 경험 등 기타 요소들을 고려하여 신용 위험을 평가하고 있습니다. 3) 유동성 위험연결회사는 미사용 차입금한도를 적정수준으로 유지하고 영업 자금 수요를 충족시킬 수 있도록 유동성에 대한 예측을 항시 모니터링하여 차입금 한도나 약정을 위반하는 일이 없도록 하고 있습니다. 유동성에 대한 예측 시에는 연결회사의 자금조달 계획, 약정 준수, 내부의 목표재무비율 및 통화에 대한 제한과 같은 외부 법규나 법률 요구사항이 있는 경우 그러한 요구사항을 고려하고 있습니다.연결회사는 상기에서 언급한 예측을 통해 결정된 대로 여유있는 유동성이 확보될 수 있도록 적절한 만기나 충분한 유동성을 제공해 주는 수시입출금식 예금상품을 선택하여 잉여자금을 투자하고 있습니다. 당분기말 현재 연결회사는 유동성위험을 관리할 수 있도록 즉시 출금이 가능한 현금및현금성자산을32,077백만원(전기말: 43,116백만원)을 보유하고 있습니다.연결회사의 당분기말 및 전기말 유동성위험 만기 분석내역은 다음과 같습니다.(단위: 천원)

구 분	당분기말

장부금액	계약상 현금흐름	3개월 미만	3개월~1년 이하	1년~2년 이하	2년~5년 이하

매입채무	4,057,177	4,057,177	3,965,837	91,340	-	-

기타채무	6,128,409	6,128,409	4,259,597	1,109,490	663,085	96,237

리스부채	1,330,280	1,366,250	592,159	351,835	224,455	197,801

유동성장기부채	56,000	60,392	15,207	45,185	-	-

차입금	2,170,000	2,223,175	69,006	1,623,512	90,185	440,472

합 계	13,741,866	13,835,403	8,901,806	3,221,362	977,725	734,510

구 분	전기말

장부금액	계약상 현금흐름	3개월 미만	3개월~1년 이하	1년~2년 이하	2년~5년 이하

매입채무	3,195,769	3,195,769	3,104,429	91,340	-	-

기타채무	5,283,951	5,283,951	3,279,298	1,319,842	632,362	52,449

리스부채	1,365,966	1,404,508	176,872	819,511	189,644	218,481

차입금	1,624,375	1,647,671	1,046,226	6,886	5,730	588,829

합 계	11,470,061	11,531,899	7,606,825	2,237,579	827,736	859,759

(2) 자본 위험연결회사의 자본 관리 목적은 계속기업으로서 주주 및 이해당사자들에게 이익을 지속적으로 제공할 수 있는 능력을 보호하고 자본 비용을 절감하기 위해 최적의 자본 구조를 유지하는 것입니다.연결회사는 부채비율에 기초하여 자본을 관리하고 있습니다. 부채비율은 재무상태표상 총부채를 총자본으로 나누어 산출하고 있습니다(단위: 천원).

구 분	당분기말	전기말

총부채	19,140,806	17,336,031

총자본	138,275,339	138,120,108

부채비율	13.84%	12.55%

9. 파생상품 및 풋백옵션 등 거래현황 본 보고서 제출일 현재 해당사항이 없습니다. 10 경영상의 주요계약 본 보고서 제출일 현재 해당사항이 없습니다.

11 . 연구개발활동 가. 연구개발활동 개요 (가) MAPS연구소

MAPS연구소는 신제품 개발과 고객기술 지원을 하고 있습니다. 개발 경력이 풍부한 고경력 연구자를 채용하여 핵심역량 강화, 신사업 개척에 필요한 기술 및 시장 확장을 위한 선도 기술 확보에 매진하고 있습니다. 글로벌 일등 및 고부가가치 반도체 소재 개발을 통해 반도체 산업분야의 선도 기술 개발에 박차를 가하고 있습니다.

당사의 MAPS연구소는 현재 양산되고 있는 제품의 품질 향상, 공정 개발을 통해 좀 더 나은 제품을 고객에 납품하고, 고객의 요구사항에 대한 대응 업무을 수행하고 있습니다. 또한, DRAM 커패시터의 high-k 박막을 형성하는 ZM40 전구체를 이미 개발 완료하여 20nm 초에서 10nm 중반급 반도체 공정에서 우수한 평가를 받아 고객사에 양산공급을 하고 있습니다. ZM40 제품은 국내 유일하게 개발, 양산에 성공한 제품으로 국내/외 특허권과 설계, 합성 및 분석에 대한 자체 개발 기술력을 확보하고 있습니다. 당사는 이러한 자사의 기술력을 바탕으로 차세대 반도체 공정에 적용할 새로운 우수한 제품을 개발하고 있습니다.

(나) 시스템개발팀

CVD 장비, ALD 장비에서 히터블럭의 역할은 대단히 중요한데, 특히 CVD 장비에서 사용되는 히터블럭은 500℃ 미만에서는 알루미늄 히터블럭이 사용되며, 500℃ 이상에서는 AlN 히터블럭이 사용되고 있습니다. 선 폭을 줄이는 미세공정에 대응하기 위한 알루미늄 히터블럭은 더 높은 온도 균일도, 더 적은 열변형 등의 특성이 요구됩니다. 이러한 고객 요구사항에 대응하기 위해 열해석, 구조해석 등의 시뮬레이션(Simulation)을 진행하여 고객 맞춤형 제품을 기획, 개발, 개선하는 개발/설계 파트와 제작된 제품의 검증, 공정 중 문제가 발생된 제품의 분석을 담당하는 분석파트를 운영하고 있습니다.또한 500℃ 이상의 공정에 사용하는 AlN 히터블럭의 경우 높은 열전도, 고온안정성 등 CVD 히터블럭으로서 좋은 특성을 많이 갖고 있지만, AlN 분말 제조비용이 높고 소결 온도가 높아 공정비용이 증가하는 단점이 있습니다. 따라서 당사에서는 상대적으로 제조비용이 저렴하면서 500℃ 이상의 공정온도에서 적용이 가능한 고온용 금속 히터블럭을 개발하여 새로운 시장을 창출하기 위해 선행 연구 개발을 진행하는 선행개발 파트를 운영하고 있습니다.

(다) 미래사업부미래사업부는 크게 GEM(Gas Electron Multiplier, 기체 전자 증폭기) Foil을 비롯한 GEM 관련 제품을 개발하는 PI2팀(Product Incubating)과 반도체 장비용 핵심 부품의 하나인 기화기(vaporizer)를 개발하는 PI1팀으로 구성되어 있습니다.

(라) 메카로에너지CIGS박 막태양전지와 페로브스카이트 개발을 담당하고 있으며, 중 장기적으로 당사의 미래 먹거리 준비를 위해 현재 제품군과 다른 차별화 된 제품을 연구하고 있습니다. 메카로에너지는 2019년 11월 1일 연구소의 CIGS박막태양전지 사업부문을 단순물적 분할을 통해 메카로에서 분할하였습니다.(마) 케이브이티에스케이브이티에스는 CVD ETCH 등 고도의 정밀성과 System이 발전한 고객의 다양한 요구를 만족시키기 위해 APC Pendulum Valve 를 개발하는 팀을 따로 운용하고 있습니다. APC VALVE를 개발중이며 미래의 케이브이티에스 먹거리로 연구 개발에 힘쓰고 있습니다. 그리고 장비의 필요 VALVE(1.AGV Controller. 2.Manual V/V)등 을 개발하며 ITEM 다양화를 위해 장비의 부품 RTP, HOT N2의 UPGRADE 도 진행하고 있습니다

나. 연구개발비용 당사의 최근 3년간 연구개발비용은 다음과 같습니다.

(단위 : 천원)

과 목	제22기 1분기	제21기	제20기	비 고

원재료비	251,336	871,587	993,080	-

인건비	522,050	2,109,836	3,758,798	-

감가상각비	335,077	1,165,945	1,098,847	-

위탁용역비	25,768	376,216	100,197	-

기타	278,404	889,455	806,433	-

연구개발비용 계	1,412,635	5,413,039	6,757,354	-

회계처리	판매비와 관리비	1,412,635	5,413,039	6,757,354	-

제조경비	-	-	-	-

개발비(무형자산)	-	-	-	-

연구개발비 / 매출액비율[연구개발비용계 ÷ 당기매출액 ×100]	8.0%	7.4%	9.3%	-

주1) 연결기준이며, 한국채택국제회계기준(K-IFRS)에 따라 작성되었음. 12. 지적재산권 현황

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	금속을 포함하는 박막의 화학기상증착 또는 원자층증착을위한 다용도 유기금속화합물과 그 제조방법	메카로	2002.06.11	2007.03.21	전구체	대한민국

2	특허권	화학기상증착용 페데스탈 히터블럭	메카로	2007.10.12	2009.12.29	히터블럭	대한민국

3	특허권	케니스터	메카로	2008.03.04	2010.06.25	전구체	대한민국

4	특허권	히팅블럭	메카로	2009.02.12	2011.04.29	히터블럭	대한민국

5	특허권	전극층 형성방법	메카로	2008.12.30	2011.06.03	히터블럭	대한민국

6	특허권	CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	2008.12.30	2011.10.04	태양전지	대한민국

7	특허권	원자층 증착법에 의한CIGS 박막 제조방법	메카로에너지	2009.01.12	2011.10.04	태양전지	대한민국

8	특허권	이산화실리콘 증착을 위한 박막증착방법	메카로	2009.07.03	2012.07.30	태양전지	대한민국

9	특허권	지르코늄 금속을 함유하는 신규한 유기금속화합물 및 그 제조방법	메카로	2011.03.15	2013.05.06	전구체	대한민국

10	특허권	초기 저장장치 생산 및 테스트용 호스트 버스 아답터	케이에프알엔디	2011.07.26	2013.05.10	신사업	대한민국

11	특허권	신규한 4-비이 족 금속 유기화합물 및 그 제조방법	메카로	2012.02.08	2014.05.09	전구체	대한민국

12	특허권	정전척의 제조방법	메카로	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

13	특허권	정전척의 제조방법	메카로	2013.04.29	2014.05.13	히터블럭	대한민국

14	특허권	화학적 증착법을 이용한 CIS 박막 태양전지의 제조방법	메카로에너지	2013.08.13	2014.12.08	태양전지	대한민국

15	특허권	Group 4B organometallic compound, and method for preparing same	메카로	2012.09.03	2015.01.21	전구체	대만

16	특허권	Group 4B organometallic compound, and method for preparing same	메카로	2013.03.02	2015.02.03	전구체	미국

17	특허권	OLED용 글래스 기판의 엣지부위 열처리장치	메카로	2014.02.20	2016.02.01	신사업	대한민국

18	특허권	기판 처리 설비용 기화기	메카로	2014.05.22	2016.03.14	신사업	대한민국

19	특허권	히터블럭	메카로	2014.11.12	2016.03.14	히터블럭	대한민국

20	특허권	박막 태양전지의 버퍼층 제조방법	메카로에너지	2010.02.25	2016.05.18	태양전지	대한민국

21	특허권	Group 4B organometallic compound, and method for preparing same	메카로	2012.03.02	2016.07.06	전구체	중국

22	특허권	Group 4B organometallic compound, and method for preparing same	메카로	2012.03.02	2016.06.24	전구체	일본

23	특허권	유리기판 테두리 열처리장치	메카로	2016.02.01	2017.05.23	신사업	대한민국

24	특허권	유리기판 절단 모서리의 열처리장치에 적용되는 토오치	메카로	2016.08.12	2018.05.14	신사업	대한민국

25	특허권	칼코파이라이트계 박막 태양전지의 제조 방법	메카로에너지	2017.08.25	2018.06.07	태양전지	대한민국

26	특허권	접착력을 이용한 유리기판 테두리 처리장치 및 모듈	메카로	2016.09.19	2018.08.24	신사업	대한민국

27	특허권	투룸형 기화기	메카로	2017.08.24	2019.02.11	신사업	대한민국

28	특허권	유기금속화합물 및 그 제조방법, 그리고 이를 이용한 박막 및 그 제조방법	메카로	2018.02.02	2019.08.22	전구체	대한민국

29	특허권	유기금속화합물 및 이를 이용한 박막	메카로	2018.02.08	2019.08.22	전구체	대한민국

30	특허권	유기금속화합물 및 이를 이용한 박막	메카로	2019.03.08	2019.08.22	전구체	대한민국

31	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.21	2019.09.13	태양전지	일본

32	특허권	박막용 유기금속화합물 및 그 제조방법, 그리고 이를 이용한 박막 및 그 제조방법	메카로	2019.03.08	2020.01.20	전구체	대한민국

33	특허권	골전도 이어엣구조체	케이에프알엔디	2019.03.27	2019.09.10	신사업	대한민국

34	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.04.11	2020.03.11	태양전지	대한민국

35	특허권	고온 시즈히터 및 이를 구비한 히터블럭의 제조방법	메카로	2018.02.21	2020.04.10	히터블럭	대한민국

36	특허권	화학기상증착법을 이용한 반사방지막 제조방법	메카로에너지	2018.02.09	2020.05.27	신사업	대한민국

37	특허권	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.06.27	2020.07.28	태양전지	미국

38	특허권	진공밸브	케이브이티에스	2018.09.21	2020.07.29	AGV	대한민국

39	특허권	유기금속화합물 및 이를 이용한 박막	메카로	2019.01.11	2020.10.05	전구체	대한민국

40	특허권	유기금속화합물 및 이를 이용한 박막	메카로	2019.01.11	2020.10.05	전구체	대한민국

41	특허권	GEM 검출기 및 그 배경 노이즈 제거 방법	메카로	2019.02.19	2020.10.12	신사업	대한민국

42	특허권	와류 흐름을 이용한 질소가스 가열 장치	케이브이티에스	2020.07.10	2020.11.17	HOTN2	대한민국

43	특허권	텅스텐 전구체 화합물 및 이를 이용하여 제조된 텅스텐 함유 박막	메카로	2019.02.13	2021.01.28	전구체	대한민국

44	특허권	유기금속 전구체 화합물 및 이를 이용하여 제조된 유기금속 함유 박막	메카로	2019.08.05	2021.03.17	전구체	대한민국

45	특허권	THE ORGANOMETALLIC COMPOUNDS AND THE THIN FILM USING THEREOF	메카로	2019.01.25	2021.03.21	전구체	대만

46	출원중	유기금속화합물 및 이를 이용한 박막	메카로	2019.01.25	전구체	해외

47	출원중	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.05.29	태양전지	유럽

48	출원중	CIGS 광흡수층을 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법	메카로에너지	2018.07.02	태양전지	중국

49	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2019.06.03	태양전지	대한민국

50	출원중	증착막 형성용 전구체 및 이를 이용하여 제조된 증착막	메카로	2019.09.26	전구체	대한민국

51	출원중	초음파 센서를 이용하는 액체 질량 유량계	메카로	2019.12.17	신사업	대한민국

52	출원중	페로브스카이트 태양전지의 정공 수송층 제조 방법	메카로에너지	2020.03.06	태양전지	대한민국

53	출원중	화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법	메카로에너지	2020.06.02	태양전지	해외

54	출원중	초음파 무화기	메카로	2020.07.16	신사업	대한민국

55	출원중	페로브스카이트 박막 태양전지 제조방법	메카로에너지	2020.08.11	태양전지	대한민국

56	출원중	반도체 디바이스 테스트 장치	케이에프알엔디	2020.08.13	SSD	대한민국

57	출원중	비대칭 열선 구조를 가진 페데스탈 히터 블록	메카로	2020.10.08	히터블럭	대한민국

58	출원중	페로브스카이트 박막 태양전지 제조방법	메카로에너지	2020.12.03	태양전지	해외

59	출원중	운반가스를 이용한 반도체 공정용 기화기	메카로	2021.01.20	신사업	대한민국

60	출원중	기화효율이 향상된 반도체 공정용 기화기	메카로	2021.01.20	신사업	대한민국

61	출원중	페로브스카이트 태양전지의 정공 수송층 제조 방법	메카로에너지	2021.03.05	태양전지	대한민국

13. 그 밖에 투자의사결정에 필요한 사항

해당사항이 없습니다.