더코디 반기보고서 (2023.06)
6. 주요계약 및 연구개발활동

1) 연구개발 현황가. 연구개발 조직

당사의 연구개발 조직은 그 관련업무 분야를 제품단위로 분할함으로써 역시 제품단위로 업무분장되어 있는 영업조직의 담당자들과의 즉시적인 의사소통을 통하여 개발관련 정보의 입수 및 대응을 위한 시간소요를 최소화하고 각 업무그룹 내 개발 Process 를 집중과 선택에 있어 가장 효율적인 형태로 구성하고 있습니다.

나. 연구개발비용(단위: 백만원)

구 분	2020년	2021년	2022년	2023년6월

자산
처리	원재료비원재료비	-	-	-	-

인건비인건비	-	-	-	-

감가상각비감가상각비	-	-	-	-

위탁용역비위탁용역비	-	-	-	-

기타 경비기타 경비	-	-	-	-

소 계소 계	-	-	-	-

비용
처리	제조원가제조원가	-	-	-	-

판관비판관비	144	117	684	4

합 계
(매출액 대비 비율)	144(0.51%)	117(0.26%)	684(3.40%)	4(0.05%)

다. 연구개발 실적

[표. OLED 용 초대형 IR OVEN 개발]

연구과제	OLED 용 초대형 IR OVEN 개발
(2011.12.01 ~ 2013.11.30)

연구기관	주)더코디 기술연구소

연구결과	o 개요
OELD 용 IR OVEN System
Integration 기술 확보 및 대면적 Glass의 Baking Process 기술개발을
위한 장비 설계 이론 확보 및 설계 , 제작.
o 개발내용
* OLED 용 초대형 IR OVEN System integration 기술 확보 및
대면적 Glass Baking process 기술개발을 통한 양산 장비 개발.
- 온도 Control System 개발
1) 대면적 Glass 의 Heating Control 용 System 개발
- Heating Chamber 개발
1) 대면적 Glass 의 최적 온도 유지용 Heating Chamber 개발
2) Glass Support 용 Lift Pin 부착 Type
- 냉각 용 Chamber 개발
1) 대면적 Glass의 최적 온도 유지용 Cooling Zone 개발2) Glass Support 용 Lift Pin 부착 Type
-. Chamber 및 Plate Concept 설계와 열응력 해석 및 구조해석
1) Chamber 및 Plate 3차원 모델구현을 통한 구조해석
2) Chamber 및 Plate 열응력 해석
o 개발 중 추진 사항
* OLED 용 초대형 IR OVEN System integration 기술 확보 및 대면적 Glass 의 Baking process 기술개발을 통한 양산 장비 개발.
- 온도 Control System 개발
1) 대면적 Glass 의 Heating Control 용 System 개발
- Heating Chamber 개발
1) 대면적 Glass 의 최적 온도 유지용 Heating Chamber 개발
2) Glass Support 용 Lift Pin 부착 Type
- 냉각 용 Chamber 개발
1) 대면적 Glass의 최적 온도 유지용 Cooling Zone 개발
2) Glass Support 용 Lift Pin 부착 Type
-. Chamber 및 Plate Concept 설계와 열응력 해석 및 구조해석(위탁기관)
1) Chamber 및 Plate 3차원 모델구현을 통한 구조해석
2) Chamber 및 Plate 열응력 해석
o 정량적 목표
OLED 용 IR OVEN System integration 기술 확보 및 대면적
Glass 의 Baking process 기술개발
1) Heating Chamber 내 Glass 표면 온도 : 220 ± 2.5 ℃
2) Glass Heating 표면 온도 도달 시간 : 270 sec
3) Cooling Zone 의 Glass 표면 온도 : 23 ± 1.5 ℃
4) Glass 표면 냉각 온도 도달 시간 : 270 sec

기대효과	-. 본 기술개발로 개발한 장비의 기술적 성과는 해외 경쟁사 보다 성능이 개선되고 정밀도 및 사양이 한층 증가 되었음.
-. 주요 부품을 모두 국산화 하여 USER 의 단 납기 대응에도 기술적인 측면 과 구매에서 부품 공급에 문제 없게 하였음
-. 대형화 장비 구조를 MODULE TYPE 으로 채택하여 운반, 해체 가 용이하게 개발 하였음.
-. 우수한 기술개발을 바탕으로 당사의 매출 증대 및 장비 시장 확대 및 당사 인력의 증원하는 고용 창출에도 기여
-. 기존 OVEN 공정 의 문제점을 해결하여 USER 가 요구하는 기술적 문제를 해결하여 수입 대체 및 수출 증대 예상

최종결과	-. OLED 공정에 적용되는 IR OVEN 으로 소성, 건조, 경화의 목적으로 사용되며 공정에 따라 선택적으로 적용 가능.
-. Glass의 수축/팽창 처리, 재료의 접착력 강화, 박막 형성 등에 사용되는 기존 OVEN의 문제점을 대체 할수 있는 장비.
-. IR OVEN 기술은 핵심 기구 요소 부품 기술과 이를 제어하는 시스템 기술을 개발의 결과로 볼 수 있다.
-. 온도 Control System 개발
1) 대면적 Glass의 Heating Control 용 System 개발
- Heating Chamber 개발
1) 대면적 Glass의 최적 온도 유지 Heating Chamber 개발
2) Glass Support 용 Lift Pin 부착 Type
- 냉각 용 Chamber 개발
1) 대면적 Glass의 최적 온도 유지용 Cooling Zone 개발
2) Glass Support 용 Lift Pin 부착 Type
-. Chamber 및 Plate Concept 설계, 열응력 해석 및 구조해석
1) Chamber 및 Plate 3차원 모델구현을 통한 구조해석
2) Chamber 및 Plate 열응력 해석
-. 기구 핵심 요소 부품 기술은 다수의 Glass 를 동시 적재하는 부분과 적정 온도를 유지하는 기술 확보가 필수적
-. 선진사의 기존 IR OVEN 장비의 기술 극복 및 국산화 통한수입 장비 도입을 최소화 및 수출 경쟁력 필요한 기술
-. 세계 최대 OLED 제조사인 국내 업체의 양산 성공을 통해 해외에 적극적인 영업 활동을 진행

상품화여부	당사에서 연구한 과제는 OLED장비 중 8세대에 적용 가능한 기술로서 현재 OLED 6세대 적용 상품화가 되어 당사 과제는 상품화 되지 않고 있음.
향후 OLED 8세대 투자가 진행 될 경우 당사 연구과제가 상품화될 것으로 예상

[표. 디지털 노광장비 핵심기술 개발]

연구과제	디지털 노광장비 핵심기술 개발
(2008.12.01.~2013.09.30)

연구기관	주관사 : 삼성전자
(주)더코디 기술연구소

연구결과	o 개요
기존 노광기술은 물리적인 Photo Mask를 사용하는 반면에 디지털 노광기술은
디지털 신호로 Photo Mask를 대체하는 노광기술이다.
LCD 대형화에 따라 Mask 제작비용이 급증하고 있는 추세로 Mask 비용을 획기적
으로 줄일 수 있는 신공정, 신개념의 노광기의 필요성이 절실한 상태
o 개발내용
1) 디지털 노광 system 시제품의 integration 완료
- single head system 시제품의 integration 완료
: 광학시스템, 패턴 생성 및 전송, 스테이지 등 각 세부 핵심 원천기술을 융합하고 시스템화 하기 위한 시제품의 integration 완료
- system S/W 기초 기술 개발 완료
: system S/W와 GUI의 시스템 통합 및 평가 완료
- single head 설치, 조정 및 calibration unit 제작 및 head 설치 및 조정 완료
: single head 설치, 미세 조정 및 calibration 완료
- 시스템 좌표계 설정 및 alignment 유닛 개발 완료
: 노광 head, 스테이지, 기판 간의 상대위치 측정을 통한 시스템 좌표계 설정 및 off axis align unit 개발 완료
: align mark vision 인식 알고리듬 개발 완료
- chamber 내 환경 control 평가 완료
: 노광 system을 enclose할 항온/항습 chamber의 온도/습도 제어 평가 완료
2) 디지털 노광 process feasibility 평가 완료
- CAD to pattern data off line 생성 기술 개발 완료
: 패널 CAD 도면(GDS-II 등)을 parse 모듈 개발 완료
: pattern data를 off line으로 생성하기 위한 on/off 생성 기술 개발 완료
- multi layer pattern overlay 기술 개발 완료
: overlay를 구현하기 위해 align mark vision 인식기술, pattern correction 기술, 스테이지 정밀 제어기술 등을 융합하는 기술 개발 및 평가 완료
- off line pattern correction 기술 개발 완료
: 기판의 변형량을 측정하여 노광될 패턴 정보를 off line으로 보정하는 기술 개발 및 평가 완료
- lens distortion correction 기술 개발 완료
: 측정된 렌즈 왜곡을 inverse distortion map model을 통하여 픽셀의 위치 정보를 보정 기술 개발 및 평가 완료
- 디지털 노광 시뮬레이션 튜닝
: 실제 노광 테스트 결과와 시뮬레이션 결과 튜닝
3) 개발 중 추진 사항
-. System Integration 모듈 조립 및 조정
*모듈 조립/조정 및 통합 조정
*각세부기술의 융합과 시스템화
-. 시스템 S/W Loading 및 I/F Debug
*시스템 S/W Coding 및 Loading
*GUI 구현
*Main Controller와 모듈간 통신 I/F Debug
*시스템 통합 테스트
-.시스템 조정 및 성능 평가
*System Integration 조립/조정/평가
*System S/W 장착 및 운용
*환경Chamber Control 평가
*System S/W Debug
-.Process Feasibility 평가
*Intensity
*Stitching
*Alignment Accuracy
*Overlay Accuracy
*Resolution
*CD Uniformity
o 정량적 목표
-. 8세대급 디지털 노광 system integration 기술 확보 및 대면적 디지털 노광 process 기술 개발을 통한 양산 장비 가능성 검증
- 기판 크기 : 2200 mm × 2500 mm
- 노광 head 수 : 3EA
- tact time : 300초 (단, 수십 개의 노광 head를 부착하여 기판 전체 one scan노광시의 경우로서, 기판 loading/unloading 및 alignment 시간 포함)
- chamber내 온도 제어 : ≤ ±0.1℃
- 해상도 (resolution) : 3.5 ㎛ (Line Space)
- 중첩정밀도 (overlay accuracy) : 3σ ≤ 0.8 ㎛
- 선폭정밀도 (CD uniformity) : ≤ ±10%

기대효과	1) LCD 산업은 차세대 성장동력산업의 하나로 현재 삼성전자와 LG 디스플레이가 세계 1,2위 기업이며 국가의 대표적인 산업이다.
그러나 LCD제조에 있어서 가장 핵심이 되는 노광장비는 소수의 외국회사가 공급을 독점하고 있다.
2) 선진사가 독점하고 있는 기존 노광장비는 기술적인 격차와 핵심특허 문제로 국산화가 어려운 것이 현실이다.
반면 디지털노광기술은 선진사와의 격차가 작고 또한 IT기술이 핵심적으로 필요한 기술로서 세계적인 경쟁력을 확보할 가능성이 충분히 있다.

최종결과	-. System Integration 모듈 조립 및 조정
*System Integration 완료
*모듈 조립 및 조정 완료
*광학부 조정 완료
-. 시스템 S/W Loading 및 I/F Debug
*Basic Module 개발 완료
*GUI 개발 완료
*전장 배선 및 S/W Loading 재작업 완료
*개별 Module 및 I/F Debug
BPS, ASU, Stage, XML, Log
-.시스템 조정 및 성능 평가
*ASU 및 BPS 조립. 조정 및 평가 완료
*Chamber Door 및 Access Floor 재조립
*환경 Chamber Control 계속평가
*System S/W Debug
-.Process Feasibility 평가
*Intensity 측정
*Beam Spot Size 측정
*Resolution 측정

상품화여부	디지털노광장비의 기술력을 습득하였으나, 과제 후 디지털노광장비의 추가적인 투자 지연으로 현재 상품화가 되지 않았으나, 투자가 진행 될 경우 상품화 가능

라. 지적재산권 보유 현황

종류	내 용	등록일	적용제품

특허권	유리 기판 지지용 근접핀	2013.06.03	HP/CP

특허권	엘씨디 기판 제조용 오븐챔버의 업다운장치	2013.04.24	HP/CP

특허권	범프 제조 시스템	2007.01.11	노광기

특허권	판넬 절단장치	2006.11.03	노광기

특허권	노광장치	2007.07.06	노광기

특허권	노광 장치용 기판 스테이지 평형 장치	2007.07.06	노광기

특허권	기판 스테이지	2007.11.08	노광기

특허권	기판 엣지 노광 장치	2008.04.11	노광기

특허권	노광 장치 및 이를 이용하여 마스크와 기판 사이의 간극을설정하는 방법	2008.01.03	노광기

특허권	노광장치용 광축확인기 및 이를 구비한 노광장치	2008.11.17	노광기

특허권	액체분사용 슬릿 노즐	2008.04.11	노광기

특허권	냉각장치가 구비된 노광설비	2008.04.11	노광기

특허권	노광장치	2008.04.11	노광기

특허권	기판의 엣지노광장치	2008.07.15	노광기

특허권	노광기용 광원장치	2010.11.04	노광기

특허권	노광장치용 타원경 설계방법	2010.06.17	노광기

특허권	노광 장치의 조명 광학계	2009.07.14	노광기

특허권	베이킹 장치용 배기량 조절기	2012.04.04	HP/CP

특허권	베이킹 장치	2012.04.04	HP/CP

특허권	엘씨디 기판 제조용 오븐장치	2011.07.01	HP/CP

특허권	섀도 마스크 기능을 구비한 마이크로렌즈 어레이의 제조 방법	2011.09.08	노광기

특허권	마이크로렌즈 어레이의 제조 방법	2012.08.06	노광기

특허권	스테이지 모듈 반송형 노광 장치 및 스테이지 모듈의 기판 정렬 및 이송 제어 방법	2012.01.03	노광기

특허권	기판 인식형 디지털 노광 장치 및 그에 의한 노광 방법	2013.07.10	노광기

특허권	디지털 노광기용 광학 엔진	2013.09.03	노광기

특허권	유리기판 건조장치	2014.05.09	HP/CP